[技术]具有变化周期的亚波长光栅成像 [复制链接]

t
@.gmUUA  
当用近轴光照明时，亚波长光栅仅产生一个衍射级，因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题，可以使用非傍轴照明。如在此示例中，采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明，并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程，包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 T9Vyj3!i_  
.EloBP  
&t%CuU]/@  
SX^fh
.  
1. 建模任务 5F2+o#*h  
8tA.d.8  
ejo4mQ]a  
*"fg@B5  
2. 结果 =La}^  
d?N"NqaN  
![Ip)X OG  
6xL=JSi~  
?%Y?z]L#