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nW\W<[O9 内容简介 wXnVQ-6H Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 }|8^+V& 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 qG~6YCqii 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 s%vy^x29 `) ],FE*: 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 .dxELSV 目录 Ax=)J{4v Preface 1 d5{=<j 内容简介 2 jHHCJOHB8 目录 i eAP
8! 1 引言 1 9 2D~trn 2 光学薄膜基础 2 eYkg4 O' 2.1 一般规则 2 tZg)VJQys 2.2 正交入射规则 3 RZnmia 2.3 斜入射规则 6 x2HISxg 2.4 精确计算 7 }{,Wha5\n 2.5 相干性 8 !RwhVaSh 2.6 参考文献 10 xf7YIhL^* 3 Essential Macleod的快速预览 10 #J5_z#-Q; 4 Essential Macleod的特点 32 {LA?v& b' 4.1 容量和局限性 33 Y+g(aak+. 4.2 程序在哪里? 33 W)o*$cu 4.3 数据文件 35 qZV|}M>P) 4.4 设计规则 35 v}AjW%rB
4.5 材料数据库和资料库 37 WL,2<[)Ew 4.5.1材料损失 38 14uv[z6 4.5.1材料数据库和导入材料 39 5{DwD{Q 4.5.2 材料库 41 jyyig% 4.5.3导出材料数据 43 ^PJN$BJx 4.6 常用单位 43 d9jD?HgM( 4.7 插值和外推法 46 5efN5Kt 4.8 材料数据的平滑 50 0SIUp/. 4.9 更多光学常数模型 54 !.pcldx 4.10 文档的一般编辑规则 55 b *0u xvLu 4.11 撤销和重做 56 #
&5. 4.12 设计文档 57 `]4(Z"R 4.10.1 公式 58 >XiT[Ru 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 @ %q>Jd 4.10.3 沉积密度 59 b&_Ifx_YF 4.10.4 平行和楔形介质 60 o>yXEg 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 S&[9Vb 4.10.4 性能 61 #CyqiOM\* 4.10.5 保存设计和性能 64 ?Oy0p8 4.10.6 默认设计 64 DaGny0|BB 4.11 图表 64 )~nieQEZQ 4.11.1 合并曲线图 67 >/}p{Tj 4.11.2 自适应绘制 68 1#+|RL4o 4.11.3 动态绘图 68 F)imeu 4.11.4 3D绘图 69 H~Uy/22aQy 4.12 导入和导出 73 H=Cj/jE 4.12.1 剪贴板 73 HmU6:8V
*Z 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 uD{ xs 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 4
540Lw'A 4.13 背景 77 6
A#xFPYY{ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ,BGUIu6 4.15 生成Rugate 84 ;9 ChBA 4.16 参考文献 91 |:2B )X 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 GGhk`z 5.1 Jobs 92 q j9q 5.2 创建一个新Job(工作) 93 WMWMb3 5.3 输入材料 94 &U}8@; 5.4 设计数据文件夹 95 *O[/-
p&7 5.5 默认设计 95 ;<b7kepR 6 细化和合成 97 Q^@7Yg@l 6.1 优化介绍 97 JxLfDr,dy 6.2 细化 (Refinement) 98 Q^05n$ tI 6.3 合成 (Synthesis) 100 1_c%p#?K 6.4 目标和评价函数 101 KPjAk 6.4.1 目标输入 102 w2('75$J 6.4.2 目标 103 XsFzSm 6.4.3 特殊的评价函数 104 O1DUBRli!q 6.5 层锁定和连接 104 C"s-ttP
6.6 细化技术 104 Lg#(?tMp,' 6.6.1 单纯形 105 7&%#bMnw 6.6.1.1 单纯形参数 106 b9-3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Cp>y<C" 6.6.2.1 Optimac参数 108 \"Z\Af< 6.6.3 模拟退火算法 109 9v3n4=gc 6.6.3.1 模拟退火参数 109 GY0OVAW6'c 6.6.4 共轭梯度 111 aXZi 2 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 uf (_<~ 6.6.5 拟牛顿法 112 P7/Xh3 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ORWi+H| 6.6.6 针合成 113 -XwS?*O 6.6.6.1 针合成参数 114 g:G5'pZf 6.6.7 差分进化 114 g4 +Hq * 6.6.8非局部细化 115
+`ov1h 6.6.8.1非局部细化参数 115 Bm%|WQK 6.7 我应该使用哪种技术? 116 co^h2b 6.7.1 细化 116 8?: 2< 6.7.2 合成 117 ~.0'v [N 6.8 参考文献 117 ^L7!lzyo 7 导纳图及其他工具 118 ) vVf- zU 7.1 简介 118 $}z/BV1I 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 h5-yhG 7.2.1 四分之一波长规则 119 h9iQn<lp4. 7.2.2 导纳图 120 hJir_= 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 RQ^
\|+_ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 U^U
hZ! 7.5 斜入射导纳图 141 8.I3%u 7.6 对称周期 141 :h3n[% 7.7 参考文献 142 hk
S:_e= 8 典型的镀膜实例 143 `s Pk:cNz~ 8.1 单层抗反射薄膜 145 ~3f|-%Z 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 734n1-F?I% 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 y}|E) 8.4 W-膜层 148 T3 4Z#PFwe 8.5 V-膜层 149 *n[B Bz 8.6 V-膜层高折射基底 150 AP1ZIc6 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 :$PrlE 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 -"H0Qafm 8.9 四层抗反射薄膜 153 R(cg`8 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 eQn[ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 KU+\fwYpnk 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Z5)v 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 IA]wO%c 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 u&UmI-} 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Fr;
's(^ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 r
)_*MPY 8.17 1/4波长堆栈 162 qK9A
/Mc 8.18 陷波滤波器 163 hdSP#Y'- 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 de.f?y 8.20 褶皱 165 M7 kWJ 8.21 消偏振分光器1 169 s@y;b0$gk 8.22 消偏振分光器2 171 t+]1D@h v 8.23 消偏振立体分光器 172 #:/27 8.24 消偏振截止滤光片 173 `8Ych@f] 8.25 立体偏振分束器1 174 [/VpvQ' 8.26 立方偏振分束器2 177 7l~^KsX 8.27 相位延迟器 178 o8hE.pf& 8.28 红外截止器 179 Ht\2 IP 8.29 21层长波带通滤波器 180 tm2lxt 8.30 49层长波带通滤波器 181 V|}9bNF 8.31 55层短波带通滤波器 182 [^6z> 8.32 47 红外截止器 183 $N;J) 8.33 宽带通滤波器 184 4m"0R\ 8.34 诱导透射滤波器 186 #<Xq\yC51 8.35 诱导透射滤波器2 188 e5n]@mu% 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 l(}L-:@A 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 t,*1=S5 8.35 增益平坦滤波器 193 n00J21 8.38 啁啾反射镜 1 196 6-)WXJ@V 8.39 啁啾反射镜2 198 I.T?A9Z 8.40 啁啾反射镜3 199 i^ |G 8.41 带保护层的铝膜层 200 !IO\g"y~|% 8.42 增加铝反射率膜 201 Y Q.Xl_ 8.43 参考文献 202 i'"#{4I 9 多层膜 204 j6XHH&ZEb 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ?_A[E]/H 9.2 内部透过率 204 Th*}U& 9.3 内部透射率数据 205 -38"S;M8 9.4 实例 206 tY!l}:E[ 9.5 实例2 210 'd&d"E[ 9.6 圆锥和带宽计算 212 G +41D 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 c_M[>#` 10 光学薄膜的颜色 216 Hs:zfvD 10.1 导言 216 d
ePk}Sn 10.2 色彩 216 "e8EA!Ipte 10.3 主波长和纯度 220 o9]32l 10.4 色相和纯度 221 4Y2I'~' 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 r Dlu& 10.6 色差 226 g}gGm[1SUo 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 7Hgn/b[?b 10.8 颜色渲染指数 234 a7F_{Mm 10.9 色差计算 235 :9%e:- 10.10 参考文献 236 ?b{y#du2a 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ?E|=eO"I1 11.1 短脉冲 238 U1E@pDH 11.2 群速度 239 F --b,, 11.3 群速度色散 241 5p S$rf 11.4 啁啾(chirped) 245 vc p{Gf|^ 11.5 光学薄膜—相变 245 {Bk` Zlki 11.6 群延迟和延迟色散 246 Q#Zazvk 11.7 色度色散 246 RLF6Bc 11.8 色散补偿 249 pI8z.JD 11.9 空间光线偏移 256 DrV[1Z 11.10 参考文献 258 O2pE"8=4Q 12 公差与误差 260 yUpN`; 12.1 蒙特卡罗模型 260 FA)ot)] 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 L[Z^4l_! 12.2.1 误差工具 267 jQ%1lQ#R) 12.2.2 灵敏度工具 271 CrL9|78 12.2.2.1 独立灵敏度 271 xR&:]M[Vg 12.2.2.2 灵敏度分布 275 .PVYYhrt 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 gT$WG$^i 12.3 参考文献 276 lnyq%T[^ 13 Runsheet 与Simulator 277 3'` &D/n 13.1 原理介绍 277 f77W{T4 13.2 截止滤光片设计 277 $hcv}<$/ 14 光学常数提取 289 ]GY8f3~|{ 14.1 介绍 289 LmqSxHs0Q 14.2 电介质薄膜 289 ]?D$n 14.3 n 和k 的提取工具 295 ecz-jZ!
` 14.4 基底的参数提取 302 /}>8|#U3y 14.5 金属的参数提取 306 %%?}db1n 14.6 不正确的模型 306 Ao` e{ 14.7 参考文献 311 Oy=0Hsh@x 15 反演工程 313 \y=28KKc:c 15.1 随机性和系统性 313 *<:X3|3E 15.2 常见的系统性问题 314 Ib{l$# 15.3 单层膜 314 (:`4*xK
15.4 多层膜 314 @S}j=k 15.5 含义 319 Ua
6O~,\ 15.6 反演工程实例 319 :LNZC,-f}5 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 %#v$d 15.6.2 反演工程提取折射率 327 &ZC{ _t 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 #TR!x,Hc 16.1 光学性质的热致偏移 329 BF gxa#De 16.2 应力工具 335 U!o 16.3 均匀性误差 339 !h7:rv/ 16.3.1 圆锥工具 339 ciml:"nQ 16.3.2 波前问题 341 R$
+RTG:E 16.4 参考文献 343 [|eIax xR, 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 zc;kNkV#1Y 17.1 引言 345 36+/MvIT 17.2 操作数 345 EHn!ZrQgh 18 如何在Function中编写脚本 351 __$ ;Z 18.1 简介 351 ^[m-PS( 18.2 什么是脚本? 351 Lv/}&'\( 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 l9eTghLi 18.4 基础 352 Nh^I{%.x 18.4.1 Classes(类别) 352 8WP"~Js! 18.4.2 对象 352 JJWPte/ 18.4.3 信息(Messages) 352 4vG-d)"M2 18.4.4 属性 352 kjV>\e 18.4.5 方法 353 ">1wPq& 18.4.6 变量声明 353 iZdl0;16[ 18.5 创建对象 354 l6w\E=K 18.5.1 创建对象函数 355 zzI,iEG 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 YQ?hAAJ 18.5.3 丢弃对象 356 Ji!i}UjD7! 18.5.4 总结 356 ,z#D[5 18.6 脚本中的表格 357 E`^D9:3:) 18.6.1 方法1 357 gTTKjlI[ 18.6.2 方法2 357 r5hkxk' 18.7 2D Plots in Scripts 358 uuFQTx)) 18.8 3D Plots in Scripts 359 ?;P6#ByR 18.9 注释 360 rqN+0CT 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 leNX5 sX 18.11 一个更高级的脚本 362 oowofi(E 18.12 <esc>键 364 v*GS>S 18.13 包含文件 365 _/>I-\xWA 18.14 脚本被优化调用 366 XZ@+aG_%q 18.15 脚本中的对话框 368 L{>rN`{ 18.15.1 介绍 368 !=.y[Db= 18.15.2 消息框-MsgBox 368 jJ<&!= 18.15.3 输入框函数 370 fmv:vs /9 18.15.4 自定义对话框 371 kn>qX{W 18.15.5 对话框编辑器 371 DIQ30(MS 18.15.6 控制对话框 377 1=IOio4U 18.15.7 更高级的对话框 380 |iBf6smF 18.16 Types语句 384 L7rr/D 18.17 打开文件 385 dba_(I~y 18.18 Bags 387 ATc!c + 18.13 进一步研究 388 M61Nl)|mx& 19 vStack 389 !*&5O~dfN 19.1 vStack基本原理 389 6o6yx: 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 By7lSbj 19.3 五棱镜 393 v ,h"u 19.4 光束距离 396 l
7dm@S 19.5 误差 399 _$IWr)8f 19.6 二向分色棱镜 399 `fEzE\\!* 19.7 偏振泄漏 404 Q!IqvmO 19.8 波前误差—相位 405 ;rL1[qwk 19.9 其它计算参数 405 X!z-J> 20 报表生成器 406 xu-bn 20.1 入门 406 MhE".ZRd 20.2 指令(Instructions) 406 '*Dp2Y{7 20.3 页面布局指令 406 Fng 20.4 常见的参数图和三维图 407 ke W7pN? 20.5 表格中的常见参数 408 ]-#/wC[$l= 20.6 迭代指令 408 _ti^i\8~ 20.7 报表模版 408 }eZ\~2 20.8 开始设计一个报表模版 409 4pXY7+e2' 21 一个新的project 413 Q/Z>w+zh# 21.1 创建一个新Job 414 W!XBuk- 21.2 默认设计 415 _IU5HT}2 21.3 薄膜设计 416 TeZu*c 21.4 误差的灵敏度计算 420 ^hZ0"c 21.5 显色指数计算 422 .c<U5/ 21.6 电场分布 424 5 8;OTDR! 后记 426 X{!,j}
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