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STJJU]H 内容简介 Glpe/At Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 A mwa) 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 IO/4.m-aN# 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 @e'5E^ E(i[o? 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 0V!l,pg 目录 Q3y;$ " Preface 1 M5trNSL&u 内容简介 2 DU=dLE6-P; 目录 i 2m~V{mUT! 1 引言 1 h/,${,}J 2 光学薄膜基础 2 !L95^g 2.1 一般规则 2 `~W-Xx 2.2 正交入射规则 3 SnYLdwgl 2.3 斜入射规则 6 L-9~uM3@\ 2.4 精确计算 7 I=!rbF;Z 2.5 相干性 8 Y1arX^Zb 2.6 参考文献 10 EutP\K_Y 3 Essential Macleod的快速预览 10 3bNIZ#`|MB 4 Essential Macleod的特点 32 1*
]Ev 4.1 容量和局限性 33 :#lIx%l 4.2 程序在哪里? 33 8+Bu+|c%f 4.3 数据文件 35 bTSL<"(]N 4.4 设计规则 35 C8L'si 4.5 材料数据库和资料库 37 GAc{l=vT' 4.5.1材料损失 38 w2xG_q 4.5.1材料数据库和导入材料 39 | 0,vQv 4.5.2 材料库 41 ,Hgc-7g@Y 4.5.3导出材料数据 43 GT J{h 4.6 常用单位 43 K2<~(78C 4.7 插值和外推法 46 Q_vW3xz 4.8 材料数据的平滑 50 Ou>vX[{ 4.9 更多光学常数模型 54 w;e(Gb%9 4.10 文档的一般编辑规则 55 #YSF&*
4.11 撤销和重做 56 K)_WL]RJ.4 4.12 设计文档 57 O,.!2wVrN 4.10.1 公式 58 Mzd[fR5a8 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 P6Mhbmt9* 4.10.3 沉积密度 59 ]LZ`LL'#Y_ 4.10.4 平行和楔形介质 60 Hp|}~xjn 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Cbs5dn(Y 4.10.4 性能 61 J4YBqp 4.10.5 保存设计和性能 64 (7DXRcr< 4.10.6 默认设计 64 n$:IVX"2b 4.11 图表 64 =KT7nl 4.11.1 合并曲线图 67 /Ky__l!bu 4.11.2 自适应绘制 68 s[Ur~Wvn 4.11.3 动态绘图 68 1w"8~Z:UXV 4.11.4 3D绘图 69 #*>E*#?t 4.12 导入和导出 73 :L
3&FA 4.12.1 剪贴板 73 iL7VFo:Q 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 vJ`.iRU| 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 F6hmku>\1 4.13 背景 77 n$(p-po 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 }!TL2er_ 4.15 生成Rugate 84 |p00j|k
4.16 参考文献 91 `O6:t\d@ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 =?X$Yaw* 5.1 Jobs 92 ]Zf6Yw .Y 5.2 创建一个新Job(工作) 93 :|1.seLQ 5.3 输入材料 94 7P7b8] 5.4 设计数据文件夹 95 [ REf>_R 5.5 默认设计 95 ;
"3+YTtp 6 细化和合成 97 *xR
2)u 6.1 优化介绍 97 8Q)@ 6.2 细化 (Refinement) 98 `8\Ja$ = 6.3 合成 (Synthesis) 100 *Ul*%!?D 6.4 目标和评价函数 101 n,O5".aa< 6.4.1 目标输入 102 4ujvD ^ 6.4.2 目标 103 jKIc09H| 6.4.3 特殊的评价函数 104 y }08~L?2 6.5 层锁定和连接 104 k8]O65t| 6.6 细化技术 104 9PUes3"v 6.6.1 单纯形 105 N]YtLa,t 6.6.1.1 单纯形参数 106 >\A8#@1 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 H0"= Vs,n 6.6.2.1 Optimac参数 108 $ex!!rqN| 6.6.3 模拟退火算法 109 iGXBqUQ: 6.6.3.1 模拟退火参数 109 b.2J]6G
6.6.4 共轭梯度 111 DDd|T;8 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]=F8p2w? 6.6.5 拟牛顿法 112 6yAA~;*5' 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 nF)uTk 6.6.6 针合成 113 /b,TpuM^ 6.6.6.1 针合成参数 114 tK%c@gGU9 6.6.7 差分进化 114 D';eTy Y 6.6.8非局部细化 115 ] q~<= 6.6.8.1非局部细化参数 115 !~-6wN"k 6.7 我应该使用哪种技术? 116 xeTgV&$@ 6.7.1 细化 116 E&~nps8e 6.7.2 合成 117 9j|gdfb%ml 6.8 参考文献 117 `xKFqx:e 7 导纳图及其他工具 118 \0FT!}
L 7.1 简介 118 Rn+4DcR 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 l)+:4N?iVv 7.2.1 四分之一波长规则 119 1q.(69M 7.2.2 导纳图 120 J0220 _ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 yy(A(} 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 +1;'B4 7.5 斜入射导纳图 141 _ :^7a3I 7.6 对称周期 141 $1*3!}_0 7.7 参考文献 142 }{],GHCjQ 8 典型的镀膜实例 143 gY9\o#)< 8.1 单层抗反射薄膜 145 ~0-g%C?R 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 t"s5\;IJ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ^~L}<] 8.4 W-膜层 148 u@.>WHQN 8.5 V-膜层 149 $(HjI
\%l^ 8.6 V-膜层高折射基底 150 ,|To#umym> 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 q'(z #h,cv 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 gX} g
8.9 四层抗反射薄膜 153 6/mF2&&g 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 3#.\ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 s'_,:R\VM> 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 _|,{ ^m|d 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 _dU P7H ( 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 \3PE+$ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 w}<^l 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 0\a8}b|| 8.17 1/4波长堆栈 162 !0fI"3P@r 8.18 陷波滤波器 163 YL^Z4: p 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 LD55n%|0`H 8.20 褶皱 165 v:d9o.h 8.21 消偏振分光器1 169 T{S4|G1R6 8.22 消偏振分光器2 171 m@oUvxcd 8.23 消偏振立体分光器 172 `Q9+k< 8.24 消偏振截止滤光片 173 ^,7=X8Su 8.25 立体偏振分束器1 174 yr4ou 8.26 立方偏振分束器2 177
^Omfe 8.27 相位延迟器 178 H=.K 8.28 红外截止器 179 aR:<<IF\ 8.29 21层长波带通滤波器 180 -i_En^Fi 8.30 49层长波带通滤波器 181 :)P<jX-G 8.31 55层短波带通滤波器 182 N8+P 8.32 47 红外截止器 183 ]*ov&{' 8.33 宽带通滤波器 184 _+zVpZ 8.34 诱导透射滤波器 186 (fXq<GXAn/ 8.35 诱导透射滤波器2 188 AMk~dzNt 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 %ejeyc 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 H~m]nV,r 8.35 增益平坦滤波器 193
.fJ*c 8.38 啁啾反射镜 1 196 oCJbkt= 8.39 啁啾反射镜2 198 }aZrou3E 8.40 啁啾反射镜3 199 r'd/qnd 8.41 带保护层的铝膜层 200 aJ2H.E 8.42 增加铝反射率膜 201 /2h][zrZ[. 8.43 参考文献 202 5\G)Q<A]*L 9 多层膜 204 .3g&9WvN!Z 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ?L`ZKRD 9.2 内部透过率 204 qeMv
Vf 9.3 内部透射率数据 205 j)6G7T|
9.4 实例 206 *g$agyOfh 9.5 实例2 210 v&2+'7]w
r 9.6 圆锥和带宽计算 212 #`j][F@N 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 SOI)/u 10 光学薄膜的颜色 216 e\~l!f'z 10.1 导言 216 2v\W1VF 10.2 色彩 216 g8Aj `O 10.3 主波长和纯度 220 Ej|A
; &E 10.4 色相和纯度 221 MF|*AB|E 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 KnFQ)sX^ 10.6 色差 226 A`C-sD> 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 X2P``YFV{ 10.8 颜色渲染指数 234 NUu;tjt: 10.9 色差计算 235 %Qd3BZ 10.10 参考文献 236 YOKR//|3 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 `
@>ZGL: 11.1 短脉冲 238 3k{c$x} 11.2 群速度 239 @Mr}6x* 11.3 群速度色散 241 ZvyjMLf 11.4 啁啾(chirped) 245 ux&:Rw\ 11.5 光学薄膜—相变 245 DvJB59:_} 11.6 群延迟和延迟色散 246 \^m.dIPdO 11.7 色度色散 246 ;/aB)JZ5= 11.8 色散补偿 249 6JWGu/A 11.9 空间光线偏移 256 5U;nhDmM 11.10 参考文献 258 +_-Y`O!Q 12 公差与误差 260
wQw-:f- 12.1 蒙特卡罗模型 260 z'e1"Y. 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 f MzYFM'i 12.2.1 误差工具 267 O,]_ tp 12.2.2 灵敏度工具 271 2mq%|VG' 12.2.2.1 独立灵敏度 271 _r7=&oL.Q 12.2.2.2 灵敏度分布 275 1!f2*m 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 <>&89E%j' 12.3 参考文献 276 voH4 13 Runsheet 与Simulator 277 4[xA-
\ 13.1 原理介绍 277 ,0.|P`|w 13.2 截止滤光片设计 277 PAr|1i)mB 14 光学常数提取 289 HIrEv 14.1 介绍 289 taixBNv 14.2 电介质薄膜 289 X,&xhSzg? 14.3 n 和k 的提取工具 295
Y 0]Kl^\A 14.4 基底的参数提取 302 8k%H[Smn: 14.5 金属的参数提取 306 `:R-[>5P8 14.6 不正确的模型 306 pr)K{~m]{< 14.7 参考文献 311 =E;
#OZO 15 反演工程 313 Gzj3Ka 15.1 随机性和系统性 313 F;X"3F.! 15.2 常见的系统性问题 314 ,?fN#gc : 15.3 单层膜 314 n)Hk8)^8 15.4 多层膜 314 GP Ix@k 15.5 含义 319 $Llvp bl 15.6 反演工程实例 319 I=K[SY,]9 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 +=Yk-nJ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 fls#LcI9>6 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 TXx'7[ 16.1 光学性质的热致偏移 329 V!H(;Tuuo 16.2 应力工具 335 phe"JNML 16.3 均匀性误差 339 4 ;^g MI9 16.3.1 圆锥工具 339 )2#vhMpdN 16.3.2 波前问题 341 /AoVl'R 16.4 参考文献 343 z?I+u*rF6 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 `|uoqKv 17.1 引言 345 $}V7(wu 6@ 17.2 操作数 345 /!:L7@BZ 18 如何在Function中编写脚本 351 :mzCeX8 * 18.1 简介 351 4@ =
aa 18.2 什么是脚本? 351 dRHlx QUn 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 HqB|SWyK 18.4 基础 352 m\1VF\ 18.4.1 Classes(类别) 352 l#p}{ 18.4.2 对象 352 HUK"OH 18.4.3 信息(Messages) 352 8g-P_[> 18.4.4 属性 352 TS/Cp{ 18.4.5 方法 353 n#)PvV~ 18.4.6 变量声明 353 7:# 18.5 创建对象 354 5FZ47m ~{Z 18.5.1 创建对象函数 355 `D4oAx d9 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 iJEB?y 18.5.3 丢弃对象 356 _w\Y{(k 18.5.4 总结 356 c{^i$ 18.6 脚本中的表格 357 G OH 18.6.1 方法1 357 ^}>zYt 18.6.2 方法2 357 ,I/2.Q})[ 18.7 2D Plots in Scripts 358 !-F ^VGD(8 18.8 3D Plots in Scripts 359 4t,zHR6W 18.9 注释 360 C{8i7D 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 U.HoFf+HN 18.11 一个更高级的脚本 362 D!c1;IHZ 18.12 <esc>键 364 P\Ai|"=&] 18.13 包含文件 365
{VS''Lv 18.14 脚本被优化调用 366 B:B8"ODV 18.15 脚本中的对话框 368 8e]z6:}'E 18.15.1 介绍 368 ~*jsB=XM/ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ]jZiW1C*a 18.15.3 输入框函数 370 U? {'n#n 5 18.15.4 自定义对话框 371 <j{0!J@: 18.15.5 对话框编辑器 371 "xL;(Fqu 18.15.6 控制对话框 377 =X)Q7u".7 18.15.7 更高级的对话框 380 X\o/i\ C} 18.16 Types语句 384 ~8XX3+]z:X 18.17 打开文件 385 14mXx}O 18.18 Bags 387 }Q47_]5 18.13 进一步研究 388 eo>/ 19 vStack 389 TP{>O%b 19.1 vStack基本原理 389 R)sp 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 MMd0O X)P 19.3 五棱镜 393 YtV |e|aD 19.4 光束距离 396 }pbBo2 19.5 误差 399 T@%;0Ro~ 19.6 二向分色棱镜 399 q"{Up 19.7 偏振泄漏 404 ?BWHr(J 19.8 波前误差—相位 405 BM|-GErE 19.9 其它计算参数 405 NFrNm'v 20 报表生成器 406 9@$tiDV 20.1 入门 406 fBHkLRFH 20.2 指令(Instructions) 406 83{x"G3> 20.3 页面布局指令 406 ,`ZPtnH+ 20.4 常见的参数图和三维图 407 MV
Hz$hyB 20.5 表格中的常见参数 408 y%{*uH}SL 20.6 迭代指令 408 Y&oP>n! ei 20.7 报表模版 408 4w;rl(s 20.8 开始设计一个报表模版 409 S^3g]5YX 21 一个新的project 413 t}5'(9 21.1 创建一个新Job 414 f}L>&^I) 21.2 默认设计 415 /Ki0+(4 21.3 薄膜设计 416 B, QC-Tn 21.4 误差的灵敏度计算 420 v< 65(I> 21.5 显色指数计算 422 -&q |