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R,2P3lv1v@ 内容简介 ]bdFr/!'S+ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 TCKu,}s 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Rf-[svA 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 =}!Mf' [V8fu
qE> 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 e$)300 o 目录 {No L Preface 1 266oTER]v: 内容简介 2 SGc8^%-` 目录 i RJeDEYXeg 1 引言 1 AV8T 2 光学薄膜基础 2 ~X(UcZ2 2.1 一般规则 2 B@YyQ' 2.2 正交入射规则 3 Fm_y&7._ 2.3 斜入射规则 6 UaG1c%7?X 2.4 精确计算 7 P(k(m<0 2.5 相干性 8 F^$led1/F 2.6 参考文献 10 fl\aqtF 3 Essential Macleod的快速预览 10 d)o!5L 4 Essential Macleod的特点 32 G_H?f\/ 4.1 容量和局限性 33 Sw&!y$ed 4.2 程序在哪里? 33 ,Tagj`@bHc 4.3 数据文件 35 <+j)P4O4 4.4 设计规则 35 U5HKRO 4.5 材料数据库和资料库 37 -Ng'<7 4.5.1材料损失 38 6R;3%-D 4.5.1材料数据库和导入材料 39 \VMD$zZx 4.5.2 材料库 41 7}O.wUKw% 4.5.3导出材料数据 43 zhI#f0c 4.6 常用单位 43 pE.PX
8 4.7 插值和外推法 46 G$zL)R8GE| 4.8 材料数据的平滑 50 SAV%4 4.9 更多光学常数模型 54 J
T#d(Y 4.10 文档的一般编辑规则 55 P>Euq'ajX 4.11 撤销和重做 56 tirIgZ 4.12 设计文档 57 $4FX(O0Q@ 4.10.1 公式 58 j9+I0>#X 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ppIbjt6r 4.10.3 沉积密度 59 &ZHC-qMRK 4.10.4 平行和楔形介质 60 M]v=- 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 x"P);su 4.10.4 性能 61 #%@*p,xh 4.10.5 保存设计和性能 64 6(|d|Si *c 4.10.6 默认设计 64 %h"z0@+ 4.11 图表 64 5v\!]?(O; 4.11.1 合并曲线图 67 ,B<l 4.11.2 自适应绘制 68 #3=P4FUz. 4.11.3 动态绘图 68 ixm&aW6< 4.11.4 3D绘图 69 ]j~"mFAP
4.12 导入和导出 73 ^\:8w0Y^ 4.12.1 剪贴板 73 2 !"
XzdD 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 KfCoe[Vv 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 &5{xXWJK 4.13 背景 77 . v@>JZC 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ~9\WFF/ 4.15 生成Rugate 84 6pOx'u>h+ 4.16 参考文献 91 )QagS.L{z 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 nfW&1a 5.1 Jobs 92 7r+g8+4 5.2 创建一个新Job(工作) 93 X;F?:Iw \ 5.3 输入材料 94 tcr// 5.4 设计数据文件夹 95 `cQo0{xK 5.5 默认设计 95 M~*u;vA/ 6 细化和合成 97 CRve.e8J 6.1 优化介绍 97 9vNkZ-1 6.2 细化 (Refinement) 98 Rv,JU6>i 6.3 合成 (Synthesis) 100 R1:k23{ 6.4 目标和评价函数 101 p Rdk>Ph 6.4.1 目标输入 102 ./j,Z$| 6.4.2 目标 103 p,pR!qC> 6.4.3 特殊的评价函数 104 *=ZsqOHwG 6.5 层锁定和连接 104 Hd7,ZHj3^ 6.6 细化技术 104 S_T^G` [ 6.6.1 单纯形 105 b*fgv9Kh' 6.6.1.1 单纯形参数 106 I\?9+3 XnQ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 WnUweSdW 6.6.2.1 Optimac参数 108 LLWB 6.6.3 模拟退火算法 109 H
xV#WoYKj 6.6.3.1 模拟退火参数 109 y|&}.~U[ 6.6.4 共轭梯度 111 X7UuwIIP 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 J?JeU/:+ 6.6.5 拟牛顿法 112 Fhz*&JC# 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 E Uar/ 6.6.6 针合成 113 { wF&+kH3 6.6.6.1 针合成参数 114 GT hL/M
6.6.7 差分进化 114 rdnno 6.6.8非局部细化 115 jJ4qR:] 6.6.8.1非局部细化参数 115 X1[CX&Am 6.7 我应该使用哪种技术? 116 !}\4utHY 6.7.1 细化 116 5 )2:stT73 6.7.2 合成 117 +#b:d=v! 6.8 参考文献 117 z|7zj/+g 7 导纳图及其他工具 118 Giq=*D+ 7.1 简介 118 5F t5@UF~ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 to8X=80-3 7.2.1 四分之一波长规则 119 OX%MP!#KU 7.2.2 导纳图 120 b5m=7;u*h 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 f\;65k_jq 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 rPc7(,o* 7.5 斜入射导纳图 141 S0g'r
!;6 7.6 对称周期 141 wi8Yl1p]!z 7.7 参考文献 142 =Cv/Y%DN 8 典型的镀膜实例 143 :0K8h 8.1 单层抗反射薄膜 145 hqk}akXt 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 {
74mf'IW 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 )5%C3/Dl! 8.4 W-膜层 148 [U#72+K 8.5 V-膜层 149 ,y9iKkg 8.6 V-膜层高折射基底 150 ;TcvA 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 4$/i%B#ad 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 2#X4G~>#h 8.9 四层抗反射薄膜 153 $rXh0g 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 7@.cOB`y@3 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 [ rNXQ`/ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ,U)"WLmY 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 % |q0-x 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 z3t~}aL 8.15十五层宽带抗反射膜 159 nFX_+4V2 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Xd:7"/:r 8.17 1/4波长堆栈 162 \^1+U JU 8.18 陷波滤波器 163 AeIrr*~]B 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 juAMAplf 8.20 褶皱 165 <)g8yA 8.21 消偏振分光器1 169 ?::NO Dg 8.22 消偏振分光器2 171 RWgDD;&_[a 8.23 消偏振立体分光器 172 Sz{O2lY 8.24 消偏振截止滤光片 173 xRuFuf8 8.25 立体偏振分束器1 174 eMOD;{Q?X 8.26 立方偏振分束器2 177 D3Jr3
%> 8.27 相位延迟器 178 GN#<yv$av 8.28 红外截止器 179 xE}VTHFo' 8.29 21层长波带通滤波器 180 Ub0/r$]DK 8.30 49层长波带通滤波器 181 gu)=wu0 8.31 55层短波带通滤波器 182 , "jbq~ 8.32 47 红外截止器 183 *?QE2&S: 8.33 宽带通滤波器 184 :ztr) 8.34 诱导透射滤波器 186 JO&JP3N1 8.35 诱导透射滤波器2 188 OQ :dJe6 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 0s#vwK13 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 9[v1h,L 8.35 增益平坦滤波器 193 `=#01YX[0 8.38 啁啾反射镜 1 196 ka\OJ7u 8.39 啁啾反射镜2 198 YL
jHt\ 8.40 啁啾反射镜3 199 QQk{\PV 8.41 带保护层的铝膜层 200 rA0,`}8\ 8.42 增加铝反射率膜 201 A>VI{ 8.43 参考文献 202 * v8Ts 9 多层膜 204 -71dN0hWh 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
qLncn}oNM 9.2 内部透过率 204 d{et8N 9.3 内部透射率数据 205 ?%Rw(E 9.4 实例 206
|{g+Y 9.5 实例2 210 _ 7oV< 9.6 圆锥和带宽计算 212 ;TQf5|R\K 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 D+ V7hpH- 10 光学薄膜的颜色 216 @vgG1w 10.1 导言 216 BhpOXqg 10.2 色彩 216 @/J[t 10.3 主波长和纯度 220 [#" =yzR<3 10.4 色相和纯度 221 O^LTD#}$a) 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 DPe]daF 10.6 色差 226 d
"BW/%m|g 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 iK;dU2h 10.8 颜色渲染指数 234 ?:^mBb)T 10.9 色差计算 235 z2ms^Y=j 10.10 参考文献 236 mtic> 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 C2]Kc{4 11.1 短脉冲 238 HDM<w+ZxX 11.2 群速度 239 "_L?2ta 11.3 群速度色散 241 ZWc+),X 11.4 啁啾(chirped) 245 K.tlo^#^B[ 11.5 光学薄膜—相变 245 W#_/ak$uF* 11.6 群延迟和延迟色散 246 hf!|\f 11.7 色度色散 246 k'`m97B 11.8 色散补偿 249 tc_f;S`k 11.9 空间光线偏移 256 5yh/0i5 | 11.10 参考文献 258 MFJE6ei 12 公差与误差 260 z;]CmR@Ki 12.1 蒙特卡罗模型 260 >1L=,M 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 '2J0>Bla 12.2.1 误差工具 267 XA0(f* 12.2.2 灵敏度工具 271 JL}\* 12.2.2.1 独立灵敏度 271 PDx)S7+w[ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 dYFzye 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 RKd 12.3 参考文献 276 9z
m|Lbj 13 Runsheet 与Simulator 277 O@8pC+#`Z 13.1 原理介绍 277 vY6W|<s 13.2 截止滤光片设计 277 UIJx* 14 光学常数提取 289 %/"Oxi^G 14.1 介绍 289 FHy76^h>e 14.2 电介质薄膜 289 Itm8b4e9; 14.3 n 和k 的提取工具 295 )G^TW'9 14.4 基底的参数提取 302 `znB7VQ0 14.5 金属的参数提取 306 *E>.)B i 14.6 不正确的模型 306 ofc.zwH 14.7 参考文献 311 U3;aLQ* 15 反演工程 313 -P=g3Q i 15.1 随机性和系统性 313 $X`y%*<<v 15.2 常见的系统性问题 314 TmRxKrRs 15.3 单层膜 314 Ftb%{[0}u3 15.4 多层膜 314 wn+FTqj 15.5 含义 319 yT OyDm- 15.6 反演工程实例 319 4FeEGySow 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 >hMUr*j 15.6.2 反演工程提取折射率 327 !&kL9A). 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 UyYfpL"$A" 16.1 光学性质的热致偏移 329 7D" %%|:
h 16.2 应力工具 335 db=$zIB[: 16.3 均匀性误差 339 hp!d/X=J_ 16.3.1 圆锥工具 339 n/e
BE q 16.3.2 波前问题 341 v vu<:16 16.4 参考文献 343 `linG1mF 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 wjU.W5IR 17.1 引言 345 H(u+#PIIw 17.2 操作数 345 Hy;Hs# 18 如何在Function中编写脚本 351 /4S;QEv 18.1 简介 351 'E;W 18.2 什么是脚本? 351 ;Kxbg>U 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 i`U:gw 18.4 基础 352 c|p,/L09L 18.4.1 Classes(类别) 352 uq7T{7~< 18.4.2 对象 352 ,+/zH'U} 18.4.3 信息(Messages) 352 @_'OyRd8 18.4.4 属性 352 To"dG&h 18.4.5 方法 353 g9tu%cIkR 18.4.6 变量声明 353 Qez SJ
io 18.5 创建对象 354 I %_MV 18.5.1 创建对象函数 355 I?Y d
18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 3*S[eqMJc 18.5.3 丢弃对象 356 0`hwmDiB" 18.5.4 总结 356 O;XG^s@5 18.6 脚本中的表格 357 /F[+13C 18.6.1 方法1 357 % +Pl+`?E 18.6.2 方法2 357 .CV _\ 18.7 2D Plots in Scripts 358 '8Wv.X0` 18.8 3D Plots in Scripts 359 e=f .y< 18.9 注释 360 NGzgLSm\ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 "ORzWnE4U 18.11 一个更高级的脚本 362 V%
axeqs 18.12 <esc>键 364 A=3HO\n5 18.13 包含文件 365 Eek9|i"p 18.14 脚本被优化调用 366 2wpjU&8W! 18.15 脚本中的对话框 368 ija:H'j 18.15.1 介绍 368 :iCM=k 18.15.2 消息框-MsgBox 368 #!#z5DJu 18.15.3 输入框函数 370 4 rB8Nm1 18.15.4 自定义对话框 371 ;b~~s.+ 18.15.5 对话框编辑器 371 crmUrF# 18.15.6 控制对话框 377 L@)&vn] 18.15.7 更高级的对话框 380 q(]f]Vl|0 18.16 Types语句 384 ,"
R>}kPli 18.17 打开文件 385 Lyoor1 18.18 Bags 387 ?C;JJ#Ho 18.13 进一步研究 388 rg&+ 19 vStack 389 pG yRX_; 19.1 vStack基本原理 389 3B9nP._ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 av' *u 19.3 五棱镜 393 2_pz3<,\ 19.4 光束距离 396 L7q | ^` 19.5 误差 399 #s"B-sWE 19.6 二向分色棱镜 399 V/y=6wUiSl 19.7 偏振泄漏 404 T0|H9>M 19.8 波前误差—相位 405 uEd,rEB> 19.9 其它计算参数 405 xPQL?. 20 报表生成器 406 zXre~b03ZS 20.1 入门 406 s44iEh=V(I 20.2 指令(Instructions) 406 9N
Le&o 20.3 页面布局指令 406 qi=3L 20.4 常见的参数图和三维图 407 <MZi<Z` 20.5 表格中的常见参数 408 HHS45kg[c 20.6 迭代指令 408 'DAltr< 20.7 报表模版 408 sbla`6Fb 20.8 开始设计一个报表模版 409 31XU7A 21 一个新的project 413 *8\(FVyG^ 21.1 创建一个新Job 414 LM1b I4 21.2 默认设计 415 v]bAWo 21.3 薄膜设计 416 FMS2.E 21.4 误差的灵敏度计算 420 *T4ge|zUc 21.5 显色指数计算 422 h~ha 21.6 电场分布 424 /yYlu 后记 426 8~5|KO >F
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