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VX)8pV$ 内容简介 m\>gOTpA4 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 "| '~y}v_ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Olzw)WjG 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 kvbZx{s nb_/1{F 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 qk& F>6<9* 目录 v-8>@s jy8 Preface 1 Z
'5itN^ 内容简介 2 ASXGM0t 目录 i %2 r~ 1 引言 1 E*'Y xI 2 光学薄膜基础 2 3BMz{ny= 2.1 一般规则 2 b**vUt\ 2.2 正交入射规则 3 MzvhE0ab 2.3 斜入射规则 6 XFhH+4#] 2.4 精确计算 7 mEY#QN[eq 2.5 相干性 8 5IU!BQU 2.6 参考文献 10 NM. e4 3 Essential Macleod的快速预览 10 j7!u;K^c 4 Essential Macleod的特点 32 ZKi&f,:
4.1 容量和局限性 33 #BRIp(65-6 4.2 程序在哪里? 33 mE~WE+lw9 4.3 数据文件 35 5EtR>Pc 4.4 设计规则 35 :w8{BIUN) 4.5 材料数据库和资料库 37 >2#<gp3 4.5.1材料损失 38 @gP*z6Z 4.5.1材料数据库和导入材料 39 %FjUtB 4.5.2 材料库 41 ,hzRqFg2 4.5.3导出材料数据 43 ,6+joKe- 4.6 常用单位 43 ,M.C]6YMr 4.7 插值和外推法 46 eT%x(P 4.8 材料数据的平滑 50 t24`*' 4.9 更多光学常数模型 54 dS1HA>c)O 4.10 文档的一般编辑规则 55 7C|AiSH 4.11 撤销和重做 56 0AM_D >fH 4.12 设计文档 57 hb3n-
rO 4.10.1 公式 58 ;@;aeu 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 2Bt/co-~4 4.10.3 沉积密度 59 2IYzc3Z{9 4.10.4 平行和楔形介质 60 )G48,.
" 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Yc#Uu8f- 4.10.4 性能 61 ;lmg0dtJ 4.10.5 保存设计和性能 64 ~(GvjB/C8 4.10.6 默认设计 64 :hICe+2ca 4.11 图表 64 t jM9EP 4.11.1 合并曲线图 67 Zfs-M) 4.11.2 自适应绘制 68 TQB)
A9 4.11.3 动态绘图 68 8~!E.u9w 4.11.4 3D绘图 69 `}Y)l:G*g 4.12 导入和导出 73 0H_Ai=G 4.12.1 剪贴板 73 #IH9S5B [ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 !Yc:yF 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 nWK8.&{. 4.13 背景 77 ?e9tnk3 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 WsbVO|C 4.15 生成Rugate 84 NVzo)C8kb 4.16 参考文献 91 z$&B7? 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 0Y oKSo 5.1 Jobs 92 [P}Bq6;p 5.2 创建一个新Job(工作) 93 CDJ@Tdp 5.3 输入材料 94 her>L3G-E 5.4 设计数据文件夹 95 'bbw0aB4 5.5 默认设计 95
bZ`#;D< 6 细化和合成 97 r(^00hvH 6.1 优化介绍 97 2D!jVr! 6.2 细化 (Refinement) 98 8cO?VH,nk 6.3 合成 (Synthesis) 100 '6zZ`Ll9 6.4 目标和评价函数 101 NLZ5 5yo$ 6.4.1 目标输入 102 _sy{rnaqvb 6.4.2 目标 103 "e-z2G@z 6.4.3 特殊的评价函数 104 r 2:{r`ocM 6.5 层锁定和连接 104 ue8 @=} 6.6 细化技术 104 3?E7\\/R 6.6.1 单纯形 105 wai3g-` 6.6.1.1 单纯形参数 106 pCkMm)2g! 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 KaEaJ 6.6.2.1 Optimac参数 108 <HnJD/g 6.6.3 模拟退火算法 109 {)Wf[2zJ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 |2'WSAWG 6.6.4 共轭梯度 111 jA"}\^%3 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 A^}# 6.6.5 拟牛顿法 112 k*_Gg 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 `N[@lV\xp! 6.6.6 针合成 113 9o,Eqx4J 6.6.6.1 针合成参数 114 n]6'!Eo 6.6.7 差分进化 114 aUL7]'q} 6.6.8非局部细化 115 8`S1E0s 6.6.8.1非局部细化参数 115 1*A^v 6.7 我应该使用哪种技术? 116 7mSNz. 6.7.1 细化 116 q=^;lWs4 6.7.2 合成 117 r?)1)?JnHe 6.8 参考文献 117 ]6(%tU 7 导纳图及其他工具 118 <5L99<E 7.1 简介 118 ]$#bNt/p 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 wHbmK 7.2.1 四分之一波长规则 119 g]j&F65D 7.2.2 导纳图 120 NtGJpT4YX 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 [!U%'' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 W7C1\'T 7.5 斜入射导纳图 141 p7AsNqEp 7.6 对称周期 141 ok6t|
7sq 7.7 参考文献 142 RQ0^
1
R 8 典型的镀膜实例 143 7zz F M 8.1 单层抗反射薄膜 145 TgJ+:^+0 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ms3" 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 .hckZx / 8.4 W-膜层 148 2aTq?ZR|8A 8.5 V-膜层 149 v,opyTwG| 8.6 V-膜层高折射基底 150 C_3,|Zq?| 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 T0A=vh;S 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ~;6^n 8.9 四层抗反射薄膜 153 @ddCVxd 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 )09ltr0@" 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 PP!/WX 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 uj)vh 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 }!xc@ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ?6"U('y>n 8.15十五层宽带抗反射膜 159 zvGncjMkC 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 dB~A4pZa 8.17 1/4波长堆栈 162 K:e[#b8:R 8.18 陷波滤波器 163 L_T+KaQCH 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 3 }sy{Mx%9 8.20 褶皱 165
cY+fZ= 8.21 消偏振分光器1 169
n?c[ E+i; 8.22 消偏振分光器2 171 ,f%4xXI 8.23 消偏振立体分光器 172 x?rd9c 8.24 消偏振截止滤光片 173 9b6U]z, 8.25 立体偏振分束器1 174 Zk~Pq%u 8.26 立方偏振分束器2 177 V(;T{HW& 8.27 相位延迟器 178 Uo9@Y{<B 8.28 红外截止器 179 7[ n
|3 8.29 21层长波带通滤波器 180 2f{p$YIt 8.30 49层长波带通滤波器 181 "*HEXru#B 8.31 55层短波带通滤波器 182 $ r-rIW5\ 8.32 47 红外截止器 183 6Ik
v}q_j 8.33 宽带通滤波器 184 E3{kH
7_'\ 8.34 诱导透射滤波器 186 [T9]q8" 8.35 诱导透射滤波器2 188 9s!R_R&W. 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 &hZ.K"@7{ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 >bI\pJ 8.35 增益平坦滤波器 193 ,Y|
;V 8.38 啁啾反射镜 1 196 OW6dK#CFt 8.39 啁啾反射镜2 198 <}.!G>X 8.40 啁啾反射镜3 199 CXuMNa 8.41 带保护层的铝膜层 200 (I6Q"&h] 8.42 增加铝反射率膜 201 9*~";{O.Oa 8.43 参考文献 202 jZ"j_=o@ 9 多层膜 204 N2|NYDQs 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 )b%zYD9p 9.2 内部透过率 204 XL44pE
m 9.3 内部透射率数据 205 @K S .H 9.4 实例 206 4KHIUW$ 9.5 实例2 210 =/xx:D/ 9.6 圆锥和带宽计算 212 `wIWK7i 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 sSk qU 10 光学薄膜的颜色 216 ~-G_c=E? 10.1 导言 216 cb|hIn\>7 10.2 色彩 216 !K2QD[x 10.3 主波长和纯度 220 cM<08-:v 10.4 色相和纯度 221 OrL4G
`O 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 #N|JC d_ 10.6 色差 226 yK"HHdYTV 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 gw">xt5 10.8 颜色渲染指数 234 V@y&n1?6 10.9 色差计算 235 zFDtC-GF 10.10 参考文献 236 RkTYvAk|kY 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 .F%jbnKd_ 11.1 短脉冲 238 OXl0R{4 11.2 群速度 239 X>pCkGE 11.3 群速度色散 241 #}Xsi&:XU 11.4 啁啾(chirped) 245 SY:ISzB} 11.5 光学薄膜—相变 245 ]
X)~D!mA 11.6 群延迟和延迟色散 246 <EE^ KR96 11.7 色度色散 246 }G^'y8U 11.8 色散补偿 249 {wk#n.c 11.9 空间光线偏移 256 !,Cbb } 11.10 参考文献 258 8$ RiFD, 12 公差与误差 260 CQmozh- 12.1 蒙特卡罗模型 260 r}(m jC"o 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
$tc1te 12.2.1 误差工具 267 uvR l`"Y 12.2.2 灵敏度工具 271 CbxWK#aMmB 12.2.2.1 独立灵敏度 271 UxF9Ko( ]d 12.2.2.2 灵敏度分布 275 9s7TLT k 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 b>#=7; 12.3 参考文献 276 nW K7* 13 Runsheet 与Simulator 277 TI2K_' 13.1 原理介绍 277 j,
*=D6 13.2 截止滤光片设计 277 f;OB"p 14 光学常数提取 289 tv~Y5e&8 14.1 介绍 289 fo~*Bp()-E 14.2 电介质薄膜 289 n{{"+;oR 14.3 n 和k 的提取工具 295 CGb4C(%-7 14.4 基底的参数提取 302 bVa?yWb. 14.5 金属的参数提取 306 MXDCOe~07 14.6 不正确的模型 306 1*6xFn 14.7 参考文献 311 cf^ i!X0 15 反演工程 313 )J+A2> 15.1 随机性和系统性 313 pp{p4Z 15.2 常见的系统性问题 314 J,=ZUh@M 15.3 单层膜 314 ly_8p63- 15.4 多层膜 314 cF EO} 15.5 含义 319 `|v/qk7
^? 15.6 反演工程实例 319
}J-e:FUF# 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 8^_e>q*W 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Lm<WT*@ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 =[Z3]#h 16.1 光学性质的热致偏移 329 @SaxM4 16.2 应力工具 335 qUn+1.[% 16.3 均匀性误差 339 !g)rp`? 16.3.1 圆锥工具 339 EDh-pK 16.3.2 波前问题 341 QoxQ"r9Wh 16.4 参考文献 343 ][#|5UK8L 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 5')]Y1J 17.1 引言 345 3^$=XrD 17.2 操作数 345 Ro `Xs.X 18 如何在Function中编写脚本 351 O(e!Vx{t! 18.1 简介 351 f#7=N{wm 18.2 什么是脚本? 351 jaavh6h) 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Br{(sL0e 18.4 基础 352 lF40n4} 18.4.1 Classes(类别) 352 ^j10
f$B 18.4.2 对象 352 ZSD7%gE<D 18.4.3 信息(Messages) 352 AGO"), 18.4.4 属性 352 6V@_?a-K 18.4.5 方法 353 F!4V!VWA} 18.4.6 变量声明 353 hd(TKFL^y 18.5 创建对象 354 a<E9@ 18.5.1 创建对象函数 355 tTubW=H 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 OQKc_z'" 18.5.3 丢弃对象 356 ^|hVFM2 18.5.4 总结 356 >LH}A6dUC 18.6 脚本中的表格 357 f|F=)tJO 18.6.1 方法1 357 /;[x3}[ 18.6.2 方法2 357 23,pVo 18.7 2D Plots in Scripts 358 xD~r Q$6sI 18.8 3D Plots in Scripts 359 BgDWl{pm 18.9 注释 360 cnw+^8 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 gf9U<J#&C 18.11 一个更高级的脚本 362 0L ,!o[L* 18.12 <esc>键 364 R7!v=X]i 18.13 包含文件 365 L
8;H_:~_' 18.14 脚本被优化调用 366 Tow! 5VAM 18.15 脚本中的对话框 368 hn/yX|4c( 18.15.1 介绍 368 sX*L[3!vN 18.15.2 消息框-MsgBox 368 l%?4L/J)# 18.15.3 输入框函数 370 c5 AaUza 18.15.4 自定义对话框 371 DO+~ 18.15.5 对话框编辑器 371 Dfc%
jWbA 18.15.6 控制对话框 377 xirq$sEl 18.15.7 更高级的对话框 380 DnG9bVm> 18.16 Types语句 384 '.>y'= 18.17 打开文件 385 $;~YgOVZ5 18.18 Bags 387 _6`GHx 18.13 进一步研究 388 X=lsuKREZ 19 vStack 389 rl$"~/ oz 19.1 vStack基本原理 389 &5z9C=]e 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 cu'( Hj 19.3 五棱镜 393 iWFtb)3B 19.4 光束距离 396 /` nkz 19.5 误差 399 -Lb7=98 19.6 二向分色棱镜 399 j(K)CHH 19.7 偏振泄漏 404 &
BY\h: 19.8 波前误差—相位 405 ~3Zz.!F 19.9 其它计算参数 405 ZJF+./vN 20 报表生成器 406 jENC1T( 20.1 入门 406 ;cPPx`0$9 20.2 指令(Instructions) 406 GRVF/hPn 20.3 页面布局指令 406 ?$uF(>LD
20.4 常见的参数图和三维图 407
4~ L1~Gk 20.5 表格中的常见参数 408 3;wiwN' 20.6 迭代指令 408 [u^ fy<jdp 20.7 报表模版 408 ka ;=%*7T 20.8 开始设计一个报表模版 409 A"s?;hv\fS 21 一个新的project 413 ur=:Ha 21.1 创建一个新Job 414 4`fV_H.8 21.2 默认设计 415 @uN+]e+3 21.3 薄膜设计 416 _8F;-7Sz 21.4 误差的灵敏度计算 420 F< 5kcu#iL 21.5 显色指数计算 422 KK4e'[Wf 21.6 电场分布 424 sDTw</@ 后记 426 #3{}(T7
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