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AEEy49e 内容简介 (swP#t5S Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 L(}T-.,Slr 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 KLbP;:sr 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 R1?g6. Mq p2tBF98 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ]%G[<zD,1 目录 6nxf<1 Preface 1 F*hs3b0Db 内容简介 2 $JcU0tPq0 目录 i _RhCVoeB 1 引言 1 ~)WE 2 光学薄膜基础 2 l6)*u[}E 2.1 一般规则 2 3\6jzD 2.2 正交入射规则 3 fz,8 < 2.3 斜入射规则 6 [|uAfp5R 2.4 精确计算 7 8`'_ckIgr 2.5 相干性 8 ~vG~Z*F 2.6 参考文献 10 +-HaYB|p 3 Essential Macleod的快速预览 10 j2tw`*S+ 4 Essential Macleod的特点 32 v@< "b U 4.1 容量和局限性 33 %z1WdiC 4.2 程序在哪里? 33 Z'!jZF~4p 4.3 数据文件 35 <A+Yo3|7 4.4 设计规则 35 -s4qm)\ 4.5 材料数据库和资料库 37 7?B]X% 4.5.1材料损失 38 Ks9"U^bPs 4.5.1材料数据库和导入材料 39 b\H~Ot[i 4.5.2 材料库 41 Mx[tE?!2 4.5.3导出材料数据 43 /q(+r5k \ 4.6 常用单位 43 Rl<~:,D
4.7 插值和外推法 46 ~h0SD( 4.8 材料数据的平滑 50 g9p#v$V 4.9 更多光学常数模型 54 NCX!ss 4.10 文档的一般编辑规则 55 tUL(1:-C 4.11 撤销和重做 56 l$MX\ 4.12 设计文档 57 SyX>zN! 4.10.1 公式 58 oP_'0h0X 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 c tTbvXP 4.10.3 沉积密度 59 Cv~ t~ 4.10.4 平行和楔形介质 60 Q!|. ,?V 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 k45xtKS>d 4.10.4 性能 61 O*!+D- 4.10.5 保存设计和性能 64 a+,)rY9 4.10.6 默认设计 64 Vh4z+JOC 4.11 图表 64
X1y1 4.11.1 合并曲线图 67 $UO7AHk 4.11.2 自适应绘制 68 ym8\q:N(R 4.11.3 动态绘图 68 D)f hk!< 4.11.4 3D绘图 69 z2S53^C* 4.12 导入和导出 73 8_m dh + 4.12.1 剪贴板 73 \S1WF?<, 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Fg`r:,(a 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
{.;MsE 4.13 背景 77 R&=Y7MfZ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 O. @_2 4.15 生成Rugate 84 Kl\A&O*{ 4.16 参考文献 91 ATH0n>) 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 W!V06. 5.1 Jobs 92 NuW9.6$Jrf 5.2 创建一个新Job(工作) 93 \Qz>us=G 5.3 输入材料 94 2t/ba3Rfk 5.4 设计数据文件夹 95 qEX59v 5.5 默认设计 95 _sJp"4? 6 细化和合成 97 DJT)7l { 6.1 优化介绍 97 C5 ^_R 6.2 细化 (Refinement) 98 {Km|SG[-q 6.3 合成 (Synthesis) 100 @ U:WWTzf 6.4 目标和评价函数 101 HO}aLp 6.4.1 目标输入 102 q1`uS^3` 6.4.2 目标 103 +#,t 6.4.3 特殊的评价函数 104 XNd:x{ 6.5 层锁定和连接 104 noGMfZ1 6.6 细化技术 104 W)$;T%u 6.6.1 单纯形 105 PBR+NHrZ 6.6.1.1 单纯形参数 106 c;BQ$je} 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Nr6YQH*[ 6.6.2.1 Optimac参数 108 y @h^ 6.6.3 模拟退火算法 109 boJQ3Xc 6.6.3.1 模拟退火参数 109 U~!97,|ic 6.6.4 共轭梯度 111 j?3J-}XC 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 N@Bqe{r6j 6.6.5 拟牛顿法 112 mWta B>f 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 N{L ]H_= 6.6.6 针合成 113 %[&cy' 6.6.6.1 针合成参数 114 ^ D?;K8a-l 6.6.7 差分进化 114 Uw<Lt"ls. 6.6.8非局部细化 115 >LwAG:Ud 6.6.8.1非局部细化参数 115 -L</,>p 6.7 我应该使用哪种技术? 116 /$]dVvhX% 6.7.1 细化 116 ir3iW*5k 6.7.2 合成 117 a}El!7RO0 6.8 参考文献 117 j#<#o:If 7 导纳图及其他工具 118 K\,&wU 7.1 简介 118 ] l}8 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 SDcD(G 7.2.1 四分之一波长规则 119 %pe7[/ 7.2.2 导纳图 120 G2
xYa$&][ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ]J?5qR:xCy 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 C
`k^So) 7.5 斜入射导纳图 141 ukzXQe;l1 7.6 对称周期 141 nYTI\f/8v 7.7 参考文献 142 Q3_ia5 `O 8 典型的镀膜实例 143 ~|R"GloUw 8.1 单层抗反射薄膜 145 S'B7C>i`#N 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 3,S5>~R= 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 v=iz*2+X 8.4 W-膜层 148 n[AJ'A{ 8.5 V-膜层 149 AbcmI*y 8.6 V-膜层高折射基底 150 DyYl97+Z? 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ib;:* 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 VL7zU->
8.9 四层抗反射薄膜 153 W(a=ev2sa 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 !@%m3)T8 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ].7)^ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 `b# w3 2 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 \/S?.P#L~ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 PHT;%;m= 8.15十五层宽带抗反射膜 159 .ye5;A} 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 8.'%wOU@A 8.17 1/4波长堆栈 162 y85GKysT 8.18 陷波滤波器 163 u` R 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Z:u7`% 8.20 褶皱 165 s:i$ s") 8.21 消偏振分光器1 169 kplyZ 8.22 消偏振分光器2 171 fW <qp 8.23 消偏振立体分光器 172 &HT
PeB 8.24 消偏振截止滤光片 173 11%^K=dq 8.25 立体偏振分束器1 174 gMFTZQsP 8.26 立方偏振分束器2 177 oT_k"]~Q~2 8.27 相位延迟器 178 ){icI< 8.28 红外截止器 179 +f;z{)%B 8.29 21层长波带通滤波器 180 OI::0KOv 8.30 49层长波带通滤波器 181 pV:X_M6 8.31 55层短波带通滤波器 182 .2Y"=|NdA 8.32 47 红外截止器 183 ZYc)_Og 8.33 宽带通滤波器 184 ,.x1+9X 8.34 诱导透射滤波器 186 !sK{:6s 8.35 诱导透射滤波器2 188 zl4Iq+5~6Q 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Ub4j3` 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 !pQQkZol 8.35 增益平坦滤波器 193 Q<w rO 8.38 啁啾反射镜 1 196 @]gP"Pp 8.39 啁啾反射镜2 198 %h2U(=/: 8.40 啁啾反射镜3 199 f* p=]]y 8.41 带保护层的铝膜层 200 )LKutN?tBy 8.42 增加铝反射率膜 201 m7~kRY514 8.43 参考文献 202 svHs&v 9 多层膜 204 JY4 +MApN 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 AW%^Xt 9.2 内部透过率 204 wRi!eN? 9.3 内部透射率数据 205 Kw"7M~ 9.4 实例 206 `>g:
: 9.5 实例2 210 8! pfy" 9.6 圆锥和带宽计算 212 G#
.z((Rj 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 305() 10 光学薄膜的颜色 216 |J?KHI 10.1 导言 216 e#<%`\qH 10.2 色彩 216 ;[uJ~7e3 10.3 主波长和纯度 220 A)/_: 10.4 色相和纯度 221 m';:): 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 h/QZcA 10.6 色差 226 Go=MG:` 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 CRw.UC\ 10.8 颜色渲染指数 234 &3:-(:<U 10.9 色差计算 235 QZYD;&iY& 10.10 参考文献 236 wS hsu_(i 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 |36d<b Io 11.1 短脉冲 238 l]uF!']f 11.2 群速度 239 gcQ>:mi 11.3 群速度色散 241 ApG_Gd. 11.4 啁啾(chirped) 245 X8GIRL)lJ 11.5 光学薄膜—相变 245 J
XPE9uH 11.6 群延迟和延迟色散 246 dE%rQE7' 11.7 色度色散 246 zL+jlUkE
11.8 色散补偿 249 OtBVfA:[ 11.9 空间光线偏移 256 zr-HL:js 11.10 参考文献 258 p>Qzz`@e 12 公差与误差 260 Xt_8=Q 12.1 蒙特卡罗模型 260 a[1^)=/DM 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 "fU=W|lY 12.2.1 误差工具 267 6`J*{%mP 12.2.2 灵敏度工具 271 -2{NI.-Xd 12.2.2.1 独立灵敏度 271 hV)D,oN3 12.2.2.2 灵敏度分布 275 v1oq[+ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 b>er 'U 12.3 参考文献 276 .-awl1 W 13 Runsheet 与Simulator 277 (1^AzE%U+Z 13.1 原理介绍 277 RpOGY{[)[ 13.2 截止滤光片设计 277 gp`$/ci 14 光学常数提取 289 h.l^f>,/ 14.1 介绍 289 6k|o<`~, 14.2 电介质薄膜 289 w/IYQC\v 14.3 n 和k 的提取工具 295 }~DlOvsq 14.4 基底的参数提取 302 Pv|g.hH9m 14.5 金属的参数提取 306 &5h{XSv 14.6 不正确的模型 306 I}q2)@ 14.7 参考文献 311 Hbn%CdDk1 15 反演工程 313 M ~zA 15.1 随机性和系统性 313 3X=9$xw_ 15.2 常见的系统性问题 314 lmi,P-Q 15.3 单层膜 314 LP-~; 15.4 多层膜 314 T~8= =Z{[ 15.5 含义 319 -GCC 15.6 反演工程实例 319 MHeUh[%( 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 w9<<|ZaU 15.6.2 反演工程提取折射率 327 {p[{5k 0 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Ti$G2dBO 16.1 光学性质的热致偏移 329 2Tec#eYe 16.2 应力工具 335 aMe]6cWHV> 16.3 均匀性误差 339 r'/&{?Je/ 16.3.1 圆锥工具 339 Kkcb'aDR 16.3.2 波前问题 341 K|,P 16.4 参考文献 343 =PYfk6j9 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Y3=5J\d!a 17.1 引言 345 H=RzY-\a% 17.2 操作数 345 u1a0w 18 如何在Function中编写脚本 351 /Jj7+? 18.1 简介 351 %A64AJZ 18.2 什么是脚本? 351 <:/Lap#D^ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Ne#FBRu5 18.4 基础 352 M(8dKj1+ 18.4.1 Classes(类别) 352 h;cl+c|B 18.4.2 对象 352 Kh&W\\K 18.4.3 信息(Messages) 352 xY4g2Q
J 18.4.4 属性 352 m#1>y} 18.4.5 方法 353 0)F.Y,L 18.4.6 变量声明 353 >M~1{ 18.5 创建对象 354 J=7.-R|t 18.5.1 创建对象函数 355 <` [o|>A Z 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Pt5"q3ec{T 18.5.3 丢弃对象 356 \]<eLw-v 18.5.4 总结 356 5|O~ 18.6 脚本中的表格 357 ,Ei!\U^) 18.6.1 方法1 357 nilis-Bk_ 18.6.2 方法2 357 E+z),"QA 18.7 2D Plots in Scripts 358 S!WG|75B 18.8 3D Plots in Scripts 359 vz6No%8X 18.9 注释 360 J;HYGu: 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 X})5XYvA* 18.11 一个更高级的脚本 362 S:B$c> 18.12 <esc>键 364 qlSI| @CO 18.13 包含文件 365 Ig&H0S 18.14 脚本被优化调用 366 *.%z 18.15 脚本中的对话框 368 ]gjQy.c| 18.15.1 介绍 368 @};
vl 18.15.2 消息框-MsgBox 368 W4Z8U0co 18.15.3 输入框函数 370 4.Kl/b; 18.15.4 自定义对话框 371 Fi+8| /5 18.15.5 对话框编辑器 371 .`p,pt; 18.15.6 控制对话框 377 E' -lpE 18.15.7 更高级的对话框 380 T<?
(KW 18.16 Types语句 384 'Em3;`/C*+ 18.17 打开文件 385 JuW"4R 18.18 Bags 387 |7%has3" 18.13 进一步研究 388 K*R 19 vStack 389 90wGS_P04 19.1 vStack基本原理 389 J.;!l 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 i%@blz:_Y 19.3 五棱镜 393 gn//]|#H+ 19.4 光束距离 396 5Ve`j,`=< 19.5 误差 399 K_!R 19.6 二向分色棱镜 399 b~$8<\ 19.7 偏振泄漏 404 L|hELWru 19.8 波前误差—相位 405 A_eO 19.9 其它计算参数 405
5ENU}0W 20 报表生成器 406 rU4;yy*b 20.1 入门 406 niA>afo 20.2 指令(Instructions) 406 a =
*' 20.3 页面布局指令 406 ^F)t>K$0m 20.4 常见的参数图和三维图 407 M^ZEAZi 20.5 表格中的常见参数 408 o5B]? ekpq 20.6 迭代指令 408 b>h
L*9 20.7 报表模版 408 ~3&*>H^U 20.8 开始设计一个报表模版 409 k"3@G?JY 21 一个新的project 413 [][ze2+b 21.1 创建一个新Job 414 z:^(#G{ 21.2 默认设计 415 uG7?:) pxv 21.3 薄膜设计 416 >sjvE4s 21.4 误差的灵敏度计算 420 q nb#~=x^ 21.5 显色指数计算 422 Rp+Lu 21.6 电场分布 424 DD5cUlOSu 后记 426 ;fW`#aE
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