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jIL$hqo 内容简介 mG+hLRTXP Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 6 WEu(}= 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Xj;5i
Vq 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 i
,g<y 0= -D 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 }$1Aw%p^ 目录 ?p!+s96 Preface 1 *,p16"Q; 内容简介 2 ;@I}eZ,f$ 目录 i ZUUfn~ORc 1 引言 1 &Qq4xn+J 2 光学薄膜基础 2 RYKV?f#[H 2.1 一般规则 2 .@;,'Xw1~ 2.2 正交入射规则 3 da53XEF& 2.3 斜入射规则 6 4r>buEU 2.4 精确计算 7 9{5 c}bX 2.5 相干性 8 7`6JK 2.6 参考文献 10 c}g:vh 3 Essential Macleod的快速预览 10 sYY=MD
4 Essential Macleod的特点 32 [8C6%n{W 4.1 容量和局限性 33 [EV}P&U 4.2 程序在哪里? 33 P;!4 VK 4.3 数据文件 35 =v]eQIp 4.4 设计规则 35 "rIBy 4.5 材料数据库和资料库 37 ,JmA e6 4.5.1材料损失 38 9 ulr6 4.5.1材料数据库和导入材料 39 JPT VZ 4.5.2 材料库 41 "227 U)Q 4.5.3导出材料数据 43 zVs|go>F 4.6 常用单位 43 7w=%aW| 4.7 插值和外推法 46 JTg0T+ 4.8 材料数据的平滑 50 "RJf2~(ZX 4.9 更多光学常数模型 54 ICgyCsZ, 4.10 文档的一般编辑规则 55 ^NTOZ0x~# 4.11 撤销和重做 56 |d1%N'Ll 4.12 设计文档 57 $MG. I[h 4.10.1 公式 58 GQ8r5V4: 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 .o5r;KD 4.10.3 沉积密度 59 0\y@etb:mf 4.10.4 平行和楔形介质 60 ywV8s|o 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 g$*VA} s 4.10.4 性能 61
]=g|e 4.10.5 保存设计和性能 64 #UH7z 4u 4.10.6 默认设计 64 '3@WF2a 4.11 图表 64 d/ OIc){tD 4.11.1 合并曲线图 67 ;DKwv} 4.11.2 自适应绘制 68 A
fctycQ- 4.11.3 动态绘图 68 *ad"3> 4.11.4 3D绘图 69 :1wMGk 4.12 导入和导出 73 B1A5b=6G< 4.12.1 剪贴板 73 -zVa[& 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 2;`"B|-T 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 U<
p kg 4.13 背景 77 0R2 AhA# 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 3rZ" T 4.15 生成Rugate 84 1XO*yZF 4.16 参考文献 91 ^eEj
5Rh 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 +mT}};-TS 5.1 Jobs 92 S!n
9A 5.2 创建一个新Job(工作) 93 D4r5wc% 5.3 输入材料 94 'gojP 5.4 设计数据文件夹 95 FZ/l
T-" 5.5 默认设计 95 <nj[=C4v 6 细化和合成 97 Sn/~R|3XA7 6.1 优化介绍 97 $E4W{ad2jW 6.2 细化 (Refinement) 98 QWf)5S 6.3 合成 (Synthesis) 100 h tn2` 6.4 目标和评价函数 101 ^F~e?^s 6.4.1 目标输入 102 `B6{y9J6 6.4.2 目标 103 AAdRuO{l1 6.4.3 特殊的评价函数 104 ^[CD- # 6.5 层锁定和连接 104 fwRlqfi 6.6 细化技术 104 +2w54X%?M 6.6.1 单纯形 105 ?8(`tS(_? 6.6.1.1 单纯形参数 106 >{4pEy 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 c+G: bb%p 6.6.2.1 Optimac参数 108 |7/B20 6.6.3 模拟退火算法 109 .VmI4V?}h 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Md
{,@ G 6.6.4 共轭梯度 111 k&DHQvfB 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 \sC0om, 6.6.5 拟牛顿法 112 )
ZOmv 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 q'2PG@ 6.6.6 针合成 113 tTyu,%/m 6.6.6.1 针合成参数 114 Z=!*7@QY 6.6.7 差分进化 114 _:'m/K3Ee 6.6.8非局部细化 115 Oyq<y~} 6.6.8.1非局部细化参数 115 S/d})8~. 6.7 我应该使用哪种技术? 116 GKY:"q&h 6.7.1 细化 116 n/8Kb.Vf 6.7.2 合成 117 0 $e;#} 6.8 参考文献 117 <'~8mV1 7 导纳图及其他工具 118 n/@/yJ<EFi 7.1 简介 118 B;;D(NH 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 0v0Y(
Mo@ 7.2.1 四分之一波长规则 119 e|Sg?ocR 7.2.2 导纳图 120 U&3*c+B4 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 XU9=@y+|v 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 TKLy38 7.5 斜入射导纳图 141 q 8=u.T 7.6 对称周期 141
Uzb"$Ue4 7.7 参考文献 142 [l#WS 8 典型的镀膜实例 143 E}@8sY L 8.1 单层抗反射薄膜 145 yekIw 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 @gi
Y 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 UWn}0:6t 8.4 W-膜层 148 4rM77Uw> 8.5 V-膜层 149 % C
3jxt 8.6 V-膜层高折射基底 150 FYcMvY 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 N@MeaO 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 pXFNK"jm 8.9 四层抗反射薄膜 153 z}bnw2d] 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 z{#F9'\& 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 >>$IHz4Z" 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 eF8`an5S 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 INbjk;k 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ^2kWD8c* 8.15十五层宽带抗反射膜 159 (uG4W|?p 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 xD\Km>|i 8.17 1/4波长堆栈 162 @5?T]V g 8.18 陷波滤波器 163 rIb[gm)Rk 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 z)VIbEy 8.20 褶皱 165 =(n'#mV 8.21 消偏振分光器1 169 2/7=@>| 8.22 消偏振分光器2 171 .v" lY2:N 8.23 消偏振立体分光器 172 Ar<OP'C 8.24 消偏振截止滤光片 173 Ox~'w0c,f 8.25 立体偏振分束器1 174 qz0v1057# 8.26 立方偏振分束器2 177 .897Z|$VB 8.27 相位延迟器 178 0X0D8H(7Q 8.28 红外截止器 179 3,vH:L4 8.29 21层长波带通滤波器 180 `90v~OF 8.30 49层长波带通滤波器 181 ,K9UT#h 8.31 55层短波带通滤波器 182 /hX"O?^ 8.32 47 红外截止器 183 /5x`TT 8.33 宽带通滤波器 184 KFZ[gqW8YY 8.34 诱导透射滤波器 186 1=;QWb6 8.35 诱导透射滤波器2 188 7%E1F)% 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 *c AoE l 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 (j~V 8.35 增益平坦滤波器 193 YjX=@ 8.38 啁啾反射镜 1 196 sN
C?o[9l! 8.39 啁啾反射镜2 198 &1h3o^K 8.40 啁啾反射镜3 199 "qj[[LQ 8.41 带保护层的铝膜层 200 `U g.c 8.42 增加铝反射率膜 201 kH&ZPAI 8.43 参考文献 202 %UQ{'JW?K 9 多层膜 204 "T&uS1+=c 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 @qC:% |> 9.2 内部透过率 204 %b{!9-n} 9.3 内部透射率数据 205 q9
;\B& 9.4 实例 206
7k\7G= 9.5 实例2 210 Q
jBCkx]g 9.6 圆锥和带宽计算 212 vv0zUvmT 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 WvJ?e 10 光学薄膜的颜色 216 +E [b Lz^ 10.1 导言 216 <dN=d3S
10.2 色彩 216 =N{e iJ.(p 10.3 主波长和纯度 220 xI<dBg|]+ 10.4 色相和纯度 221 A$F;fCV* 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ;:|KfXiC8 10.6 色差 226 2Y4&Sba^Y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 btF%}<o) 10.8 颜色渲染指数 234 gr?pvf!I 10.9 色差计算 235 2wBU@T1 10.10 参考文献 236 7[H`;l 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 /K!,^Xn 11.1 短脉冲 238 {T.Vu]L80 11.2 群速度 239 D9C}Dys 11.3 群速度色散 241 |d5L
Ifb( 11.4 啁啾(chirped) 245 (7b_g6>: 11.5 光学薄膜—相变 245 3kQ ^f=Wd 11.6 群延迟和延迟色散 246 e1loI8 11.7 色度色散 246 Dq?HUb^X 11.8 色散补偿 249 0X?fDz}jd 11.9 空间光线偏移 256 n`}&,UA$4 11.10 参考文献 258 0tqR wKL 12 公差与误差 260 Z]S0AB.Z@ 12.1 蒙特卡罗模型 260 _cw^5 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 "J5Pwvs- 12.2.1 误差工具 267 nTU~M~gky 12.2.2 灵敏度工具 271 | q16%6q 12.2.2.1 独立灵敏度 271 #(IMRdUf 12.2.2.2 灵敏度分布 275 BNCJT$tYX 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 SU'1#$69F 12.3 参考文献 276 ;0!Wd 13 Runsheet 与Simulator 277 tTFoS[V 13.1 原理介绍 277 x#0@$ 13.2 截止滤光片设计 277 4) iEj 14 光学常数提取 289 {@ y, 14.1 介绍 289 qX'a&~s)n 14.2 电介质薄膜 289 k6-n.Rl01 14.3 n 和k 的提取工具 295 mY8=qkZE 14.4 基底的参数提取 302 'h^DI` 14.5 金属的参数提取 306 otVyuh 14.6 不正确的模型 306 *wB-lg7% 14.7 参考文献 311 ]0i2]=J&, 15 反演工程 313 \u_v7g 15.1 随机性和系统性 313 ePpK+E[0Z 15.2 常见的系统性问题 314 'B5J.Xe: 15.3 单层膜 314
_O;~
}N4u 15.4 多层膜 314 O|&TL9: 15.5 含义 319 JGDUCb~ 15.6 反演工程实例 319 6J-}&U 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 i>Bi&azx 15.6.2 反演工程提取折射率 327 /e sk 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 J8v:a`bX& 16.1 光学性质的热致偏移 329 ;v+uv f 16.2 应力工具 335 6+;2B<II 16.3 均匀性误差 339 0^&R7Rv c 16.3.1 圆锥工具 339 TJ[jZuT: 16.3.2 波前问题 341 SfobzX}~Jh 16.4 参考文献 343 >jz%bY 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 m=iov2K> 17.1 引言 345 kw^Dp[8X 17.2 操作数 345 /-YlC(kL 18 如何在Function中编写脚本 351 <SM&VOiaOz 18.1 简介 351 uP=_-ZUW 18.2 什么是脚本? 351 9;Pu9s[q2 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 /9+A97{ 18.4 基础 352 SxW}Z_8x 18.4.1 Classes(类别) 352 D
,ZNh1xt 18.4.2 对象 352 ]<;i}n|
< 18.4.3 信息(Messages) 352 q\b
?o!#_ 18.4.4 属性 352 d)GkXll1D 18.4.5 方法 353 e=]oh$] 18.4.6 变量声明 353 jbhJ;c : 18.5 创建对象 354 Go+xL/f 18.5.1 创建对象函数 355 3Ra\2(bR 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 G2+)R^FSC 18.5.3 丢弃对象 356 8P<UO 18.5.4 总结 356 YaVc9du7 18.6 脚本中的表格 357 S7NnC4)=-f 18.6.1 方法1 357 <#p|z`N 18.6.2 方法2 357 .FbZVY c] 18.7 2D Plots in Scripts 358 [OoH5dD 18.8 3D Plots in Scripts 359 GE~(N N 18.9 注释 360 +z jzO]8 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 1[/$ZYk: 18.11 一个更高级的脚本 362 a,57`Ks+n< 18.12 <esc>键 364 qgC-@I 18.13 包含文件 365 [%iUg\'7d 18.14 脚本被优化调用 366 KG-k$glD 18.15 脚本中的对话框 368 @Uj_+c
q 18.15.1 介绍 368 x:n9dm 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ;[OJ-|Q 18.15.3 输入框函数 370 jRdhLs,M9 18.15.4 自定义对话框 371 A D}}>v 18.15.5 对话框编辑器 371 O^R:_vb3I 18.15.6 控制对话框 377 IQlw 914
18.15.7 更高级的对话框 380 AeY$.b 18.16 Types语句 384 K*_{Rs0P 18.17 打开文件 385 Z}K.^\S9 18.18 Bags 387 RdvPsv}D 18.13 进一步研究 388 ycl>git] 19 vStack 389 "\zj][sL 19.1 vStack基本原理 389 nT@6g|! 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 6h:?u4 19.3 五棱镜 393 R%)2(\ 19.4 光束距离 396 J+cAS/MYX 19.5 误差 399 ~^%0V<*-} 19.6 二向分色棱镜 399 K[#v(<) 19.7 偏振泄漏 404 d#vSE.& 19.8 波前误差—相位 405 JhhUg 19.9 其它计算参数 405 *m| t=9E 20 报表生成器 406 Vyq#p9Q 20.1 入门 406 p'Y&Z?8 20.2 指令(Instructions) 406 Ukh$`q} 20.3 页面布局指令 406 Wlr&g
xZ 20.4 常见的参数图和三维图 407 qr'x0r|<> 20.5 表格中的常见参数 408 N
o_$!)J. 20.6 迭代指令 408 [V2omSZo 20.7 报表模版 408 C"U[ b% 20.8 开始设计一个报表模版 409 (DG@<K,6 21 一个新的project 413 DYT@BiW{ 21.1 创建一个新Job 414 o%/-5- 21.2 默认设计 415 S6Xb*6 21.3 薄膜设计 416 Fi?32e4KI5 21.4 误差的灵敏度计算 420 un$ Z7W/ 21.5 显色指数计算 422 2xL!PR- 21.6 电场分布 424 a+YR5*&[OO 后记 426 Q3NPwM
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