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L'Q<>{;Ig 内容简介 Um.qRZ? Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 @xAfZb2 E 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 o{WyQ&2N 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 3tAU?sV! pA}S5x 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 q(IQa@$SR 目录 rcN 9.1 Preface 1 z(13~38+ 内容简介 2 &
E}mX]t 目录 i ZH 6\><My 1 引言 1 1iBP,:>* 2 光学薄膜基础 2 h6D^G5i 2.1 一般规则 2 "TOa=Tt{, 2.2 正交入射规则 3 $E!J:Y= 2.3 斜入射规则 6 W!L+(!&H 2.4 精确计算 7 H17-/|-;0! 2.5 相干性 8 * ?Jz2[B 2.6 参考文献 10 +^|iZbZKx 3 Essential Macleod的快速预览 10 #UP~iHbt\ 4 Essential Macleod的特点 32 ;2xO`[# 4.1 容量和局限性 33 PoSpkJH 4.2 程序在哪里? 33 j+IrqPKC^ 4.3 数据文件 35 <wd]D@l7r 4.4 设计规则 35 ci9R.U) 4.5 材料数据库和资料库 37 2?q(cpsN 4.5.1材料损失 38 s>n(`?@L 4.5.1材料数据库和导入材料 39 F7*wQ{~ 4.5.2 材料库 41 Kg\R+i@#< 4.5.3导出材料数据 43 b;cMl' 4.6 常用单位 43 #FxPj-3(ix 4.7 插值和外推法 46 x.mrCJn) 4.8 材料数据的平滑 50 p
*w$:L 4.9 更多光学常数模型 54 LW)H"6v 4.10 文档的一般编辑规则 55 Vr.Y/3N&' 4.11 撤销和重做 56 G4 _, 4.12 设计文档 57 jNDx,7F- 4.10.1 公式 58 J @IS\9O 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 zbkMFD.{y 4.10.3 沉积密度 59 WYcA8X/ 4.10.4 平行和楔形介质 60 5VW|fI 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 #U
mF-c 4.10.4 性能 61 9LJZ-/Wq 4.10.5 保存设计和性能 64 \*t~==WB 4.10.6 默认设计 64 _HOIT 4.11 图表 64 f9$xk|2g 4.11.1 合并曲线图 67 NQHz<3S[ 4.11.2 自适应绘制 68 l `9t} 4.11.3 动态绘图 68 ~nLN`Hd 4.11.4 3D绘图 69 !U%T&?E l 4.12 导入和导出 73 KJn!Ap 4.12.1 剪贴板 73 O`1! 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ,MPB/j^o5! 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 (.Y/ 4.13 背景 77 26?W
nu60 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 I{'f|+1 4.15 生成Rugate 84 xgu `Q`~ 4.16 参考文献 91 >R,'5:Rw 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 QF2q^[>w6 5.1 Jobs 92 OWp%v_y] 5.2 创建一个新Job(工作) 93 HvwYm.$zE 5.3 输入材料 94 )j l8!O7 5.4 设计数据文件夹 95 0fXLcal 5.5 默认设计 95 [(kB
5 a 6 细化和合成 97 >r@.F% 6.1 优化介绍 97 =<@2#E) 6.2 细化 (Refinement) 98 X!hIwi A,t 6.3 合成 (Synthesis) 100 @oP_;G 6.4 目标和评价函数 101 D1
Z{W 6.4.1 目标输入 102 zdl%iop3e 6.4.2 目标 103 IA zZ1#/3 6.4.3 特殊的评价函数 104 2|iV,uJ& 6.5 层锁定和连接 104 {]*x*aa\ 6.6 细化技术 104 g6t"mkMY
L 6.6.1 单纯形 105 inb^$v 6.6.1.1 单纯形参数 106 POI.]1i 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Ox!U8g8c 6.6.2.1 Optimac参数 108 QS.>0i/7l 6.6.3 模拟退火算法 109 g1E~+@ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 +yob)% 6.6.4 共轭梯度 111 :# E*Y8- 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 <:>SGSE9 6.6.5 拟牛顿法 112 wFh8?Z3u_ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 n%^ LPD 6.6.6 针合成 113 >Hb^P)3 6.6.6.1 针合成参数 114 o{b=9-V 6.6.7 差分进化 114 !rDdd%Z 6.6.8非局部细化 115 rPNb\Ri 6.6.8.1非局部细化参数 115 f*{
YFg?*& 6.7 我应该使用哪种技术? 116 r~-.nb"P 6.7.1 细化 116 b+-f.!j 6.7.2 合成 117 WW2Ob* 6.8 参考文献 117 hVT~~n`Rj 7 导纳图及其他工具 118 jxaD&4Fs8 7.1 简介 118 yq-=],h 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 %=AxJp!a 7.2.1 四分之一波长规则 119 qW:)!z3\ 7.2.2 导纳图 120 %
}|cb7l 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 nMfFH[I4 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 -4rDbDsr 7.5 斜入射导纳图 141 9//+Bh 7.6 对称周期 141 `!:q;i]} 7.7 参考文献 142 3nZ9m 8 典型的镀膜实例 143 /iNa'W5\ 8.1 单层抗反射薄膜 145 Qp"y?S 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 w@-PqsF 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 B_U{ s\VY 8.4 W-膜层 148 .#u_#=g? 8.5 V-膜层 149 L9Z;:``p 8.6 V-膜层高折射基底 150 |{*}| 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 OH^N" L 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 jN-vY<?h] 8.9 四层抗反射薄膜 153 {qW~"z*
8.10 Reichert抗反射薄膜 154 :WI.LKlo~ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 > oA?6x 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Om'+]BBN 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 [ xOzzp4 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 bPD`+:A_ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 cfox7FmW 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 tkQH\5 8.17 1/4波长堆栈 162 IEjP<pLe 8.18 陷波滤波器 163 jV#ahNq; 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 8zLY6@ 8.20 褶皱 165 <Llp\XcZ 8.21 消偏振分光器1 169 \T]EZ'+O 8.22 消偏振分光器2 171 50TA:7 8.23 消偏振立体分光器 172 ]q-g[e' 8.24 消偏振截止滤光片 173 *#%9Rp2| 8.25 立体偏振分束器1 174 uPYmHA}_/ 8.26 立方偏振分束器2 177 cYx4~ V^ 8.27 相位延迟器 178 wiaX&-c]8 8.28 红外截止器 179 lZ8CY 8.29 21层长波带通滤波器 180
rhpPCt 8.30 49层长波带通滤波器 181 g~7Ri-" 8.31 55层短波带通滤波器 182 n9pN6,o+ 8.32 47 红外截止器 183 *19ax&|*S 8.33 宽带通滤波器 184 6Ao%>;e* 8.34 诱导透射滤波器 186 -U<Upn)2 8.35 诱导透射滤波器2 188 `r5$LaD 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 +,:du*C 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Y+4o B 8.35 增益平坦滤波器 193 5Zmw} M 8.38 啁啾反射镜 1 196 N=:5eAza 8.39 啁啾反射镜2 198 KbL V'%D 8.40 啁啾反射镜3 199 cJM: 8.41 带保护层的铝膜层 200 G*S|KH 8.42 增加铝反射率膜 201 #-3=o6DCK 8.43 参考文献 202 mcz+P | 9 多层膜 204 ,+qVu, 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 *Nyev]8 9.2 内部透过率 204 7'wS\/e4a 9.3 内部透射率数据 205 w;Q;[:y 9.4 实例 206 wU#F_De)R: 9.5 实例2 210 <<D$+@wxm 9.6 圆锥和带宽计算 212 ZcuA6#3B 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 th6+2&B6 10 光学薄膜的颜色 216 ?u4INZ0W 10.1 导言 216 7nbB^2 10.2 色彩 216 9Rek4<5 10.3 主波长和纯度 220 $?,a[79 10.4 色相和纯度 221 Ngb(F84H? 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 2tROT][J% 10.6 色差 226 Rwr 2gMt7 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 f84:hXo6 10.8 颜色渲染指数 234 )}TLC 2% 10.9 色差计算 235 h._nK\ 10.10 参考文献 236 |F.)zC5{ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 T&86A\D\z 11.1 短脉冲 238 Z~A@o""F 11.2 群速度 239 gPAX4' 11.3 群速度色散 241 9]t[J_YM 11.4 啁啾(chirped) 245 A2}Rl%+X]6 11.5 光学薄膜—相变 245 "NRDNqj( 11.6 群延迟和延迟色散 246 <foCb%$(? 11.7 色度色散 246 0!z@2[Pe66 11.8 色散补偿 249 Bl9jkq
] 11.9 空间光线偏移 256 qO`)F8 11.10 参考文献 258 +0),xu 12 公差与误差 260 :V2bS 12.1 蒙特卡罗模型 260 Ro2d,' 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 AxxJk"v'y 12.2.1 误差工具 267 &V>fYgui 12.2.2 灵敏度工具 271 T[=S$n-' 12.2.2.1 独立灵敏度 271 "O8gJ0e 12.2.2.2 灵敏度分布 275 >NB?&| 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 lTU$0CG 12.3 参考文献 276 =8gHS[ 13 Runsheet 与Simulator 277 i{D=l7j|w 13.1 原理介绍 277 RE.r4uOJg 13.2 截止滤光片设计 277 c9R5w.t: 14 光学常数提取 289 " P)*FT 14.1 介绍 289 \c[IbL07 14.2 电介质薄膜 289 ]|_\xO( 14.3 n 和k 的提取工具 295 CF|]e: 14.4 基底的参数提取 302 tNVV)C 14.5 金属的参数提取 306 zrVC8Wb 14.6 不正确的模型 306 ,G#.BLH
cX 14.7 参考文献 311 ?PTk1sB 15 反演工程 313 qyHZ M}/ 15.1 随机性和系统性 313 ?Qb<-~~
j1 15.2 常见的系统性问题 314 p;?*}xa 15.3 单层膜 314 3:%QB9qc]' 15.4 多层膜 314 LQnkcV 15.5 含义 319 IlX$YOf4 15.6 反演工程实例 319 = 07Gy, =i 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Av0y?oGH 15.6.2 反演工程提取折射率 327 >:=|L%]s;\ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 :b[`
v 16.1 光学性质的热致偏移 329 Wlh~) 16.2 应力工具 335 XPB9~:: 16.3 均匀性误差 339 oJKa"H-jL 16.3.1 圆锥工具 339 ;Ut+yuy 16.3.2 波前问题 341 P,ua<B}L 16.4 参考文献 343 v){ .Z^_C 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 H'
T 17.1 引言 345 g<*BLF 17.2 操作数 345 J8y0d1SG 18 如何在Function中编写脚本 351 Iqs+r? 18.1 简介 351 mj?16\|] 18.2 什么是脚本? 351 e6=]m#O9 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 %AF5= 18.4 基础 352 6.t',LTB 18.4.1 Classes(类别) 352 */ G<!W 18.4.2 对象 352 BQ^H? jo 18.4.3 信息(Messages) 352 Khh0*S8.K 18.4.4 属性 352 |%~+2m 18.4.5 方法 353 EL3|u64GO 18.4.6 变量声明 353 K.gEj*@ 18.5 创建对象 354 .^)UO 18.5.1 创建对象函数 355 lCW8<g^ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 R~bC,`Bh 18.5.3 丢弃对象 356 Oo?,fw 18.5.4 总结 356 5q@LxDy,b 18.6 脚本中的表格 357 p8wyEHB 18.6.1 方法1 357 jQU"Ved 18.6.2 方法2 357 4Ij-Ilg)% 18.7 2D Plots in Scripts 358 B*!WrB:s 18.8 3D Plots in Scripts 359 ~_9"3,~o5 18.9 注释 360 93[DAs 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 #6Xs.*b5C 18.11 一个更高级的脚本 362 PLM _#+R> 18.12 <esc>键 364 HxK$ 4I` 18.13 包含文件 365 R`F,aIJ] 18.14 脚本被优化调用 366 ]E3U
J!! 18.15 脚本中的对话框 368 TEUY3z[g 18.15.1 介绍 368 1Xy]D 18.15.2 消息框-MsgBox 368 f[gqT
yiP 18.15.3 输入框函数 370 -{h 18.15.4 自定义对话框 371 Bs`$ i ;& 18.15.5 对话框编辑器 371 g%[n4 18.15.6 控制对话框 377
4eVI}, 18.15.7 更高级的对话框 380 _Fp>F 18.16 Types语句 384 +b;hBb]R 18.17 打开文件 385 66snC{gU 18.18 Bags 387 s!/TU{8J 18.13 进一步研究 388 7iuQ9q^& 19 vStack 389 T~sTBGcv 19.1 vStack基本原理 389 P`U<7xF~ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ryO$6L 19.3 五棱镜 393 C@o%J.9"# 19.4 光束距离 396 4VN aq<8 19.5 误差 399 3`9{T> 19.6 二向分色棱镜 399 Do?P<x o 19.7 偏振泄漏 404 xChI,~i 19.8 波前误差—相位 405 QbYc[8-[ 19.9 其它计算参数 405 F{k+7Ftc 20 报表生成器 406 h%d^Gq~ 20.1 入门 406 Z.Rb~n& 20.2 指令(Instructions) 406 fYebB7Pv 20.3 页面布局指令 406 ~
aZedQc 20.4 常见的参数图和三维图 407 <<MjC5 20.5 表格中的常见参数 408 UVf\2\ Y 20.6 迭代指令 408 {u7##Vrgt8 20.7 报表模版 408 JU0]Wq <^[ 20.8 开始设计一个报表模版 409 !- C' } 21 一个新的project 413 $awi>#[ 21.1 创建一个新Job 414 ,KW;2t*IQ@ 21.2 默认设计 415 t$^l<ppQ 21.3 薄膜设计 416 Q/_[--0 21.4 误差的灵敏度计算 420 (k-YI{D3 21.5 显色指数计算 422 kL@Wb/K JP 21.6 电场分布 424 cu#e38M&eE 后记 426 Z\X'd_1!
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