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8@W/43K8- 内容简介 3@ F+ E\k Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 E2h;hr;W 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 aC8,Y$>?E` 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 #:vDBP05.m !Ir1qt8T 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 `\|3
~_v 目录 'q};L 6 Preface 1 t1:S!@ 内容简介 2 zsMw5C 目录 i ,F?~'-K 1 引言 1 ngkeJ)M0$ 2 光学薄膜基础 2 ;+ Co!L 2.1 一般规则 2 ,'1Olu{v[s 2.2 正交入射规则 3 lq\' 2.3 斜入射规则 6 W]!@Zlal 2.4 精确计算 7 1Oca@E\Z. 2.5 相干性 8 cdJ`Gk 2.6 参考文献 10 -M1~iOb 3 Essential Macleod的快速预览 10 5 <)gCHa 4 Essential Macleod的特点 32 <(bCz>o| 4.1 容量和局限性 33 PK2Rj% 4.2 程序在哪里? 33 @!&Jgg53G 4.3 数据文件 35 }[KDE{,V 4.4 设计规则 35 tJh3$K\ 4.5 材料数据库和资料库 37 94h_t@Q/1 4.5.1材料损失 38 ){Ciu[h 4.5.1材料数据库和导入材料 39 !rsa4t@t 4.5.2 材料库 41 (ifqwl62 4.5.3导出材料数据 43 TJyH/C 4.6 常用单位 43 ET,0ux9F 4.7 插值和外推法 46 \C+*loLs 4.8 材料数据的平滑 50 ~`~%(DA= 4.9 更多光学常数模型 54 ~E<PtDab 4.10 文档的一般编辑规则 55 s0\f9D 4.11 撤销和重做 56 \f /! 4.12 设计文档 57 :tjgg] 4.10.1 公式 58 S6Xb*6 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Fi?32e4KI5 4.10.3 沉积密度 59 un$ Z7W/ 4.10.4 平行和楔形介质 60 r sX$fU8 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Q3NPwM 4.10.4 性能 61 )]c]el@y 4.10.5 保存设计和性能 64 Nl$gU3kL 4.10.6 默认设计 64 ;T5,T 4.11 图表 64 J$6-c'8 4.11.1 合并曲线图 67 wVvqw/j*f 4.11.2 自适应绘制 68 RV0>-@/x 4.11.3 动态绘图 68 nJtEUVMt 4.11.4 3D绘图 69 9S:{ 4.12 导入和导出 73 []A"]p 4.12.1 剪贴板 73 /-!&k 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 DD12pL{QA 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 zp7V\W;
& 4.13 背景 77 XD$% 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 QMXD9H0{ 4.15 生成Rugate 84 e5qrQwU 4.16 参考文献 91 u%6Irdx 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 c N02roQl 5.1 Jobs 92 0`VD!_` 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Cec9#C 5.3 输入材料 94 zdxT35h 5.4 设计数据文件夹 95 ~")hE%Kl} 5.5 默认设计 95 dWsT Jyx~ 6 细化和合成 97 B`?N,N" 6.1 优化介绍 97 ZNzR`6} 6.2 细化 (Refinement) 98 X+]L-o6I2 6.3 合成 (Synthesis) 100 d] b~)!VW 6.4 目标和评价函数 101 P &;y]
,)E 6.4.1 目标输入 102 1fz*SIjG 6.4.2 目标 103 u-AWJc+F . 6.4.3 特殊的评价函数 104 G0_&gx` 6.5 层锁定和连接 104 ,N;))3 6.6 细化技术 104 5kGxhD 6.6.1 单纯形 105 B#HV20\?v 6.6.1.1 单纯形参数 106 k1ipvKxp:8 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 XIr{U5$<6 6.6.2.1 Optimac参数 108 nc3sty1` 6.6.3 模拟退火算法 109 |ZvNH ~! 6.6.3.1 模拟退火参数 109 1a7!4)\ 6.6.4 共轭梯度 111 mgi,b2 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 iBG`43; 6.6.5 拟牛顿法 112 5h_<R!jA 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 $7Jfb<y 6.6.6 针合成 113 |HrM_h<X 6.6.6.1 针合成参数 114 K^"w]ii= 6.6.7 差分进化 114 )>(L{y|uYX 6.6.8非局部细化 115 kP7a:(P_g 6.6.8.1非局部细化参数 115 |BwRlE2CFO 6.7 我应该使用哪种技术? 116 UppBnw 6.7.1 细化 116 l%rx#;=u 6.7.2 合成 117 z7-`Y9Ypd 6.8 参考文献 117 FhWmO 7 导纳图及其他工具 118 ?k
[%\jq{a 7.1 简介 118 ;*y|8od
B 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 X Y~;)<s_ 7.2.1 四分之一波长规则 119 S3SV.C:z> 7.2.2 导纳图 120 M6J/mOVx5 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 {*N^C@ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 'dkXYtKCB 7.5 斜入射导纳图 141 q.-y)C) ; 7.6 对称周期 141 }KK2WJp#M 7.7 参考文献 142 XR|"dbZW.0 8 典型的镀膜实例 143 }ppVR$7]0 8.1 单层抗反射薄膜 145
}c}
( 5 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Ee&hG[sx 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 +AB6lv 8.4 W-膜层 148
\;-qdV_JB 8.5 V-膜层 149 w|=gSC-o 8.6 V-膜层高折射基底 150 BEln6zj 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 +W6Hva. 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 {] O`gG 8.9 四层抗反射薄膜 153 L{=l#vu 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 =K:(&6f<t 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 +L0J_.5%^ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 DMB"Y, 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 QjLji+L 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 (B&h;U$HAH 8.15十五层宽带抗反射膜 159 UV4u.7y 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 h}avX*Lx_ 8.17 1/4波长堆栈 162 [Gh"ojt]w 8.18 陷波滤波器 163 5^>n5u/ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 9SY(EL 8.20 褶皱 165 BjiYv}J 8.21 消偏振分光器1 169 mG_BM/$ 8.22 消偏振分光器2 171 hm3jpWi8 8.23 消偏振立体分光器 172 `|]e6Pb 8.24 消偏振截止滤光片 173 N0Gf0i> 8.25 立体偏振分束器1 174 fE^uF[-7? 8.26 立方偏振分束器2 177 &eIGF1ws 8.27 相位延迟器 178 co/7l sW
8.28 红外截止器 179 4b4QbJ$ 8.29 21层长波带通滤波器 180 CN/IH 8.30 49层长波带通滤波器 181 k^^:;OR 8.31 55层短波带通滤波器 182 AliRpxxd 8.32 47 红外截止器 183 ^/*KNnAWp 8.33 宽带通滤波器 184 =D].` 8.34 诱导透射滤波器 186 >dk9f}7- 8.35 诱导透射滤波器2 188 {]^2R>0Q 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 S8%n .<OB 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 =Ey`M#t; 8.35 增益平坦滤波器 193 rs:Q%V
^ 8.38 啁啾反射镜 1 196 azo0{`S? 8.39 啁啾反射镜2 198 OC_M4{9/ 8.40 啁啾反射镜3 199 v)):$s?WB 8.41 带保护层的铝膜层 200 kJk xx*:u 8.42 增加铝反射率膜 201 o 7G> y#Y 8.43 参考文献 202 (S oo<.9~ 9 多层膜 204 TFy7HX\Oq 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 4\p-TPM 9.2 内部透过率 204 'S?;J ,/ 9.3 内部透射率数据 205 &x0C4Kh 9.4 实例 206 4<.O+hS
9.5 实例2 210 6e .v&f7( 9.6 圆锥和带宽计算 212 Qw?+!-7TN 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Q.k
:\m*h 10 光学薄膜的颜色 216 )p8I@E 10.1 导言 216 cXN _*% 10.2 色彩 216 W&(f&{A 10.3 主波长和纯度 220 qzK("d 10.4 色相和纯度 221 /APcL5:= 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ~O:
U|& 10.6 色差 226 .0|=[| 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 %M&3VQ9w 10.8 颜色渲染指数 234 sS!w}o2X 10.9 色差计算 235 \dq!q=b\ 10.10 参考文献 236 u,7zFg)H 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 5+P@sD 11.1 短脉冲 238 :EZQ'3X 11.2 群速度 239 Ftv8@l 11.3 群速度色散 241 sG,+
11.4 啁啾(chirped) 245 H9`
f0(H 11.5 光学薄膜—相变 245 9s` /~ a@ 11.6 群延迟和延迟色散 246 alm-
r-Kb3 11.7 色度色散 246 *
OsU Y=; 11.8 色散补偿 249 dTGA5c 11.9 空间光线偏移 256 9`"DFFSMS 11.10 参考文献 258 4_LQ?U>$ 12 公差与误差 260 7>i2OBkAhB 12.1 蒙特卡罗模型 260 F9H~k"_ZJR 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 YQgNv` l} 12.2.1 误差工具 267 c8A`<-\MfB 12.2.2 灵敏度工具 271 N[Sb#w`[/ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 6)e5zKW!? 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Cd]/ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Y )b@0' 12.3 参考文献 276 ^0tw%6: 13 Runsheet 与Simulator 277 1H{jy^sP 7 13.1 原理介绍 277 ~rv})4h 13.2 截止滤光片设计 277 %f&< wC 14 光学常数提取 289 (~s|=Hxq|- 14.1 介绍 289 $h28(K% 14.2 电介质薄膜 289 PlCc8Zy 14.3 n 和k 的提取工具 295 _:J*Cm[q 14.4 基底的参数提取 302 vR>o}%` 14.5 金属的参数提取 306 v6uxxsI>Hm 14.6 不正确的模型 306 . L;@=Yg) 14.7 参考文献 311 ;sPzOS9 15 反演工程 313 x&=9P e( 15.1 随机性和系统性 313 4MW ]EQ- 15.2 常见的系统性问题 314 Zk?
= 15.3 单层膜 314 XnUO*v^] 15.4 多层膜 314 o6}n8U}bk 15.5 含义 319 )`HA:: 15.6 反演工程实例 319 uDayBaR 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Kt/)pc 15.6.2 反演工程提取折射率 327 :&VcB$ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 nr2r8u9r 16.1 光学性质的热致偏移 329 `UzVS>]l[+ 16.2 应力工具 335 =AOWeLk*G 16.3 均匀性误差 339 NZXjE$<Vr 16.3.1 圆锥工具 339 Mkv|TyC 16.3.2 波前问题 341 <@,$hso7: 16.4 参考文献 343 Hs0pW5oZ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 &ak6zM 17.1 引言 345 S>_27r{ 17.2 操作数 345 / 8gL.i$ 18 如何在Function中编写脚本 351 6C-YyI#s# 18.1 简介 351 >a>fb|r 18.2 什么是脚本? 351 3071:W 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 X
K>&$<5{ 18.4 基础 352 $v27]"] 18.4.1 Classes(类别) 352 +,flE=5]s 18.4.2 对象 352 ;+Yi.Q/\ 18.4.3 信息(Messages) 352 8 i0 18.4.4 属性 352 J7&DR^.Sw 18.4.5 方法 353 U/w. M_S 18.4.6 变量声明 353 <GIwRVCU 18.5 创建对象 354 s&
yk 18.5.1 创建对象函数 355 fCUT[d +H 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 2x}6\t 18.5.3 丢弃对象 356 ,M6ZZ* ,e 18.5.4 总结 356 ($!KzxF3 18.6 脚本中的表格 357 ]/dVRkZeAE 18.6.1 方法1 357 kE)!<1yy2 18.6.2 方法2 357 sbsu(Sz+ 18.7 2D Plots in Scripts 358 .BZVX=x 18.8 3D Plots in Scripts 359 "{BqtU*. 18.9 注释 360 Ax<\jW< 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 mLwY]2T" 18.11 一个更高级的脚本 362 d'HOpJE 18.12 <esc>键 364 (Mt5 P 18.13 包含文件 365 wNQqfqZ 18.14 脚本被优化调用 366 LAs7>hM 18.15 脚本中的对话框 368 Dpqt;8"2L 18.15.1 介绍 368 x8[MP?Wz 18.15.2 消息框-MsgBox 368 YUkud2,j 18.15.3 输入框函数 370 @LX6hm*} 18.15.4 自定义对话框 371 UuJjO^t 18.15.5 对话框编辑器 371 RA1yr+) 18.15.6 控制对话框 377 >-cfZ9 {! 18.15.7 更高级的对话框 380 %w"nDu2Gcv 18.16 Types语句 384 TT}]wZ 18.17 打开文件 385 \M+L3*W 18.18 Bags 387 1;r69e 18.13 进一步研究 388 ;#anZC; 19 vStack 389 lF4u{B9DM 19.1 vStack基本原理 389 ;+_8&wbqW 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 3fkk
[U 19.3 五棱镜 393 j$@tK0P 19.4 光束距离 396 _a'A~JY 19.5 误差 399 2VgP 19.6 二向分色棱镜 399 =,/D/v$m'2 19.7 偏振泄漏 404 ^gR+S 19.8 波前误差—相位 405 tJD]
(F 19.9 其它计算参数 405 Wk7WK` >i 20 报表生成器 406 :d'
5O8 20.1 入门 406 9K"JYJ
q2 20.2 指令(Instructions) 406 n9UKcN- 20.3 页面布局指令 406 v.g"{us 20.4 常见的参数图和三维图 407 X"*^l_9-v 20.5 表格中的常见参数 408 X;GfPw.m 20.6 迭代指令 408 x0+glQrNN 20.7 报表模版 408 sa#.l% # 20.8 开始设计一个报表模版 409 Faac]5u:* 21 一个新的project 413 ]H[8Z|i"" 21.1 创建一个新Job 414 *Xr$/N 21.2 默认设计 415 rY}B-6qJn 21.3 薄膜设计 416 P:!)9/.2 21.4 误差的灵敏度计算 420 hu@7?f_"L/ 21.5 显色指数计算 422 W|UtY`1 21.6 电场分布 424 ;=;JfNnbm 后记 426 :L$4*8@`+ 有兴趣扫码加微 =!0I_L/ f(:1yl\a
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