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7g 内容简介 E2X
K hW Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 NZ{kjAd3c 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 b1nw,(hLY 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 lH:TE=|4 zi-zg Lx 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 >^|\wy 目录 6}C4 SZ Preface 1 Eqp?cKrji 内容简介 2 e>nRJH8pK 目录 i 7Ar4:iNvX 1 引言 1 }=s@y"[" 2 光学薄膜基础 2 C([;JO
11[ 2.1 一般规则 2 .X_k[l 9 2.2 正交入射规则 3 3 c@Cb`w@ 2.3 斜入射规则 6 F=iz\O!6 2.4 精确计算 7 Y)c9]1qly 2.5 相干性 8 "uTzmm$ 2.6 参考文献 10 j[wGR_EE 3 Essential Macleod的快速预览 10 [p}J=1S 4 Essential Macleod的特点 32 8@6:UR.) 4.1 容量和局限性 33 zoC/Hm 4.2 程序在哪里? 33 DI!NP;E 4.3 数据文件 35 Va(R*38k 4.4 设计规则 35 F3H)B: 4.5 材料数据库和资料库 37 VG2TiR1 4.5.1材料损失 38 YXrTm[P 4.5.1材料数据库和导入材料 39 5{,/m"- 4.5.2 材料库 41 /Wg$.<!5} 4.5.3导出材料数据 43 H&mw!=FV0 4.6 常用单位 43 P~ffgzP 4.7 插值和外推法 46 ouVR[w>V 4.8 材料数据的平滑 50 KDRIy@[e 4.9 更多光学常数模型 54 >/1.VT\E 4.10 文档的一般编辑规则 55 -H Zvz[u 4.11 撤销和重做 56 9y.C])(2 4.12 设计文档 57
G!XizhE 4.10.1 公式 58 'V 1QuSd 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 6D{|! i|r4 4.10.3 沉积密度 59 jTSw 0\} 4.10.4 平行和楔形介质 60 /}#z/m@bN 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 @L{HT8utK3 4.10.4 性能 61 ^Bm9yR 4.10.5 保存设计和性能 64 B`"-~4YAf 4.10.6 默认设计 64 j,EE`g& 4.11 图表 64 [g&Q_+,j 4.11.1 合并曲线图 67 :V}8a!3h 4.11.2 自适应绘制 68 sw{EV0&>m 4.11.3 动态绘图 68 D~NH 4B 4.11.4 3D绘图 69 FT `y3~ 4.12 导入和导出 73 +r4US or 4.12.1 剪贴板 73 saU|.\l 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 .Pxb9mW 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 y'2K7\>E 4.13 背景 77 $qg5m,1? 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 1ww|km 4.15 生成Rugate 84 A){kitx-i) 4.16 参考文献 91 dE/Vl/ : 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 6M+~{9(S 5.1 Jobs 92 lG fO 5.2 创建一个新Job(工作) 93 5 xTm] 5.3 输入材料 94 gOgG23 x 5.4 设计数据文件夹 95 >hB]T%' 5.5 默认设计 95 P1Re7/ 6 细化和合成 97 L!mQP 6.1 优化介绍 97 2$qeNy 6.2 细化 (Refinement) 98 cO)GiWE 6.3 合成 (Synthesis) 100 HmbTV(lC 6.4 目标和评价函数 101 ?kE2S6j5 6.4.1 目标输入 102 cl:*Q{(Cjk 6.4.2 目标 103 uW Q` 6.4.3 特殊的评价函数 104 ?D57HCd`n 6.5 层锁定和连接 104 ]$0{PBndW 6.6 细化技术 104 ;)"r^M)): 6.6.1 单纯形 105 W%0-SR 6.6.1.1 单纯形参数 106 }! zjj\g^ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 1hi^ 6.6.2.1 Optimac参数 108 nHyWb6 6.6.3 模拟退火算法 109 U:_T9!fG 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ; bP7| 6.6.4 共轭梯度 111 KGP2,U6 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 $dorE~T 6.6.5 拟牛顿法 112 PJO;[:
.I 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 cpu+"/\ 6.6.6 针合成 113 *Vv ;NA/ 6.6.6.1 针合成参数 114 .N/4+[2p( 6.6.7 差分进化 114 PeTA:MW 6.6.8非局部细化 115 P4R.~J ;8 6.6.8.1非局部细化参数 115 !l.Rv_o<O 6.7 我应该使用哪种技术? 116 t
m5>J)C 6.7.1 细化 116 rUx%2O|qu 6.7.2 合成 117 8'`&f& 6.8 参考文献 117 _or$^.=' 7 导纳图及其他工具 118 ,A[HYc|uy 7.1 简介 118 =jg!@H=_i 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Wd~}O<" 7.2.1 四分之一波长规则 119 yMX4 f 7.2.2 导纳图 120 -cY/M~ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 FY#`]124* 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 bsqoR8 7.5 斜入射导纳图 141 aW w`v[v 7.6 对称周期 141 zx=A3I%7 A 7.7 参考文献 142 2R<1^ 8 典型的镀膜实例 143 iDHmS6_c 8.1 单层抗反射薄膜 145 [>C^ 0\Z~ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 HV>|f'45 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
"thfd"- 8.4 W-膜层 148 Z;WqKIM# 8.5 V-膜层 149 1(On.Y= 8.6 V-膜层高折射基底 150 ;qG a|`#j 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 {Z-5 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 !X[lNtO 8.9 四层抗反射薄膜 153 9&rn3hmP 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Lc<Gny^ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 r8Gq\ ^ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 &,NHk9.aq 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 hrEKmRmF- 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 W%vh7>. 8.15十五层宽带抗反射膜 159 "uZ'oN 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 xu&
v(C9 8.17 1/4波长堆栈 162 0qR;Z{k 8.18 陷波滤波器 163 l9P~,Ec4'' 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 !aLByMA 8.20 褶皱 165 zg8m(=k' 8.21 消偏振分光器1 169 3 5|5|ma 8.22 消偏振分光器2 171 xo^_;(; 8.23 消偏振立体分光器 172 [gQ~B1O 8.24 消偏振截止滤光片 173
n-H0cm 8.25 立体偏振分束器1 174 ;9u6]%hQTX 8.26 立方偏振分束器2 177 n6|}^O7 8.27 相位延迟器 178 mRQ F5W6 8.28 红外截止器 179 y6:=2(]w<p 8.29 21层长波带通滤波器 180 %9Ulgs8 = 8.30 49层长波带通滤波器 181 BMFpkK9| 8.31 55层短波带通滤波器 182 7(gQ6?KsZ 8.32 47 红外截止器 183 BT`/OD@ 8.33 宽带通滤波器 184 (CuaBHR
8.34 诱导透射滤波器 186 6pr}A 8.35 诱导透射滤波器2 188 {d^&$~ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 9D8el}uHf 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 J5|Dduv
8.35 增益平坦滤波器 193 d/R:-{J)c 8.38 啁啾反射镜 1 196 eDTEy;^o 8.39 啁啾反射镜2 198 !t;$n!7< 8.40 啁啾反射镜3 199 v,p/r)E 8.41 带保护层的铝膜层 200 (sr_&7A 8.42 增加铝反射率膜 201 Q
v{q:=k 8.43 参考文献 202 <=19KSGFt 9 多层膜 204 gI\J sN 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 w ="I*7c@ 9.2 内部透过率 204 ;=UrIA@y;= 9.3 内部透射率数据 205 of{wZU\J+9 9.4 实例 206 Q&n 9.5 实例2 210 /i^b;?/1 9.6 圆锥和带宽计算 212 ??1V__w 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 #kma)_X 10 光学薄膜的颜色 216 ;[dcbyu@ 10.1 导言 216 4fpz;2% 10.2 色彩 216 qx`*]lX 10.3 主波长和纯度 220 o{zo-:>Jp 10.4 色相和纯度 221 lza'l 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 .&}}ro48 10.6 色差 226 %) q5hB 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ChmPO|2F 10.8 颜色渲染指数 234 $C^94$W 10.9 色差计算 235 ]u2!)vZh' 10.10 参考文献 236 R<k4LHDy 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 i]F,Y;&| 11.1 短脉冲 238 ^>k [T. 11.2 群速度 239 T4\,b 11.3 群速度色散 241 Lxd*W2$3_ 11.4 啁啾(chirped) 245 oN)K2&M0 11.5 光学薄膜—相变 245 jQsucs5$h 11.6 群延迟和延迟色散 246 W@pVP4F0xM 11.7 色度色散 246 Y
Xn)? 11.8 色散补偿 249 A")B<BK 11.9 空间光线偏移 256 {\lu; b! 11.10 参考文献 258 &?YQVwsN 12 公差与误差 260 y4M<L. RO 12.1 蒙特卡罗模型 260 X$%RJ3t e 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 =b !f 12.2.1 误差工具 267 #l:qht 12.2.2 灵敏度工具 271 W13$-hf9 12.2.2.1 独立灵敏度 271 KvktC|~? 12.2.2.2 灵敏度分布 275 /r}t 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 pBmacFP 12.3 参考文献 276 BnAia3z 13 Runsheet 与Simulator 277 |!rD2T\Ef 13.1 原理介绍 277 xN2{Vi{ad 13.2 截止滤光片设计 277 yfuvU2nVH 14 光学常数提取 289 bO^%#<7 14.1 介绍 289 #7gOtP#{ 14.2 电介质薄膜 289 ~u}[VP 14.3 n 和k 的提取工具 295 rj<%_d'Z` 14.4 基底的参数提取 302 QGLfZvTT 14.5 金属的参数提取 306 M,cI0i 14.6 不正确的模型 306 yUEUIPL 14.7 参考文献 311 n;O
3.2 15 反演工程 313 (AR-8 15.1 随机性和系统性 313 G^ n|9)CVW 15.2 常见的系统性问题 314 AO/J:` 15.3 单层膜 314 #M{}Grg 15.4 多层膜 314 f+L )x 15.5 含义 319 jd(=? !_ 15.6 反演工程实例 319 G7zfyw}W 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 )"j_NlO 15.6.2 反演工程提取折射率 327 1a#wUd3
16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Hhfqb"2on 16.1 光学性质的热致偏移 329 3tOnALv 16.2 应力工具 335 c#Ux{^ZE 16.3 均匀性误差 339 .}a@OLJd 16.3.1 圆锥工具 339 J+Y& |