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au- 内容简介 PM&NY8|Zy Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 p
)WRsJ8 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 {*<%6? 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 8u1?\SYnb <@0S]jy 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 pA_e{P/ 目录 z&jASL Preface 1 ob|^lAU 内容简介 2 O]61guxro 目录 i 6#a82_ 1 引言 1 Ua~8DdW 2 光学薄膜基础 2 I\IDt~ 2.1 一般规则 2 'rVB2
`z- 2.2 正交入射规则 3 D/,(xWaT 2.3 斜入射规则 6 ^}J,;Zhu5 2.4 精确计算 7 O2U}jHsd 2.5 相干性 8 ~Qf\DTM& 2.6 参考文献 10 d vo|9 > 3 Essential Macleod的快速预览 10 lc]cs D 4 Essential Macleod的特点 32 S5YEz
XG 4.1 容量和局限性 33 XdnpL$0 4.2 程序在哪里? 33 ~c*kS E2X 4.3 数据文件 35 TpdYU*z_Br 4.4 设计规则 35 +HgyM0LFg 4.5 材料数据库和资料库 37 NiRb:F- 4.5.1材料损失 38 c}H}fyu%n 4.5.1材料数据库和导入材料 39 +k/=L9#e 4.5.2 材料库 41 r>sXvzv 4.5.3导出材料数据 43 JEP9!y9y 4.6 常用单位 43 [lu+"V,<LJ 4.7 插值和外推法 46 {xICR ~,* 4.8 材料数据的平滑 50 aNwx~t]G 4.9 更多光学常数模型 54 - Nt8'- 4.10 文档的一般编辑规则 55 Zb'a+8[ 4.11 撤销和重做 56 _@g\.7@0G 4.12 设计文档 57 !JVv`YN 4.10.1 公式 58 }VHvC" 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 cyh;1Q 4.10.3 沉积密度 59 ][XCpJ)8 4.10.4 平行和楔形介质 60 I$XwM 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 j zwHb'4B3 4.10.4 性能 61 5'<a,,RKu 4.10.5 保存设计和性能 64 05
.EI)7 4.10.6 默认设计 64 JgV4-B0 4.11 图表 64 BA8!NR| 4.11.1 合并曲线图 67 i<q_d7-W' 4.11.2 自适应绘制 68 rX)_!mR 4.11.3 动态绘图 68 E!>MJlA:k6 4.11.4 3D绘图 69 kL<HG Qt 4.12 导入和导出 73 $4^h>x 4.12.1 剪贴板 73 ,D&-.`'E 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Ht@5@(W]I 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 -"XHN=H 4.13 背景 77 L=WKqRa>4 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 HYZp=*eb 4.15 生成Rugate 84 czB),vooz 4.16 参考文献 91 -KZ9TV # R 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 _BvGEM`o 5.1 Jobs 92 Qo*OC 9E` 5.2 创建一个新Job(工作) 93 l% qh^0 5.3 输入材料 94 EoS6t 5.4 设计数据文件夹 95 +6n\5+5 5.5 默认设计 95 Z4m+GFY 6 细化和合成 97 V >~\~H2Y 6.1 优化介绍 97 def\=WyK 6.2 细化 (Refinement) 98 o
WAy[ 6.3 合成 (Synthesis) 100 1O1MB&5% 6.4 目标和评价函数 101 G+\&8fi0 6.4.1 目标输入 102 |D[LU[<C 6.4.2 目标 103 _:Jma 6.4.3 特殊的评价函数 104 Sw>,Q-32 6.5 层锁定和连接 104 j%':M 6.6 细化技术 104 #T8PgmR 6.6.1 单纯形 105 M<SV H_ 6.6.1.1 单纯形参数 106 0W~1v 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 G'wyH[ d/ 6.6.2.1 Optimac参数 108 3-)R' 6.6.3 模拟退火算法 109 dl6Ju 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ;{0%Vp{ 6.6.4 共轭梯度 111 q2;CvoF 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 t Q.%f:| 6.6.5 拟牛顿法 112 9"}5jq4* 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 kPO+M~+n 6.6.6 针合成 113 AE Abny
q 6.6.6.1 针合成参数 114 *@WBaN+ 6.6.7 差分进化 114 hE'>8 { 6.6.8非局部细化 115 ]@CXUa,>a 6.6.8.1非局部细化参数 115 at\$
IK_ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 vtc%MG1 6.7.1 细化 116 *|gl1S 6.7.2 合成 117 fVi[mH0=+ 6.8 参考文献 117 n-1 7 导纳图及其他工具 118 ViUx^e\ 7.1 简介 118 c2]h.G83 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 M[e^Z}w.V 7.2.1 四分之一波长规则 119 W'e{2u 7.2.2 导纳图 120 hW\'EJ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 74hRG~ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 cb/$P!j7 7.5 斜入射导纳图 141 vorb? iVf> 7.6 对称周期 141 X<f4X"y 7.7 参考文献 142 sXY{g0% 8 典型的镀膜实例 143 OD?y 8.1 单层抗反射薄膜 145 V5 Gy|X 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 4Vd[cRh2 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 TeyFq0j@' 8.4 W-膜层 148 >A}ra ^gU 8.5 V-膜层 149 '"h}l` 8.6 V-膜层高折射基底 150 Gc;-zq 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 %2^V.`0T 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 BG6Lky/omz 8.9 四层抗反射薄膜 153 ;R3o$ZlY 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 kc2
8Q2 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ; NO#/ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 -.-@|*5 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 L\"eE'A 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ;)ERxMun 8.15十五层宽带抗反射膜 159 FR\r/+n:t0 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 @[Wf!8_ 8.17 1/4波长堆栈 162 c57`mOe/b 8.18 陷波滤波器 163 %Siw> 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 <Rz[G+0S= 8.20 褶皱 165 X@7:FzU9 8.21 消偏振分光器1 169 nd5.Py$ 8.22 消偏振分光器2 171 ler$HA%F] 8.23 消偏振立体分光器 172 "Q{7X[$$^ 8.24 消偏振截止滤光片 173 bvT$/(7 8.25 立体偏振分束器1 174 8SCXA9} 8.26 立方偏振分束器2 177 T7 (d 8.27 相位延迟器 178 msOE#QL6a 8.28 红外截止器 179 J?jxD/9Yb 8.29 21层长波带通滤波器 180 eUD 5V 8.30 49层长波带通滤波器 181 P75@Yu( 8.31 55层短波带通滤波器 182 %-|$7?~ 8.32 47 红外截止器 183 `'pfBVBz 8.33 宽带通滤波器 184 #.LI`nYA 8.34 诱导透射滤波器 186 hzh3p[ 8.35 诱导透射滤波器2 188 Q{~;4+ZD 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 &0+Ba[Z ^ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 )H&ZHaO,_ 8.35 增益平坦滤波器 193 T6\d] 8.38 啁啾反射镜 1 196
semTAoqH 8.39 啁啾反射镜2 198 i\*
b<V 8.40 啁啾反射镜3 199 j3[kG# 8.41 带保护层的铝膜层 200 WGUd@lC~ 8.42 增加铝反射率膜 201 V)ITk\ 8.43 参考文献 202 &-Q_%eM^ 9 多层膜 204 <4I`|D3@ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 mw83 pU6 9.2 内部透过率 204 qI[AsM+ 9.3 内部透射率数据 205 (
;KTV*1 9.4 实例 206 XFi9qL^ 9.5 实例2 210 2TQ<XHA\ 9.6 圆锥和带宽计算 212 0Q]{r ) 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Krr51`hZH 10 光学薄膜的颜色 216 o%$R`; 10.1 导言 216 hKems3 10.2 色彩 216 A|m0.'/ 10.3 主波长和纯度 220 /5?tXH" 10.4 色相和纯度 221 u\f QaQV 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 `/(9#E 10.6 色差 226 HUel 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 j<h0`v 10.8 颜色渲染指数 234 v5W-f0Jo 10.9 色差计算 235 m4R:KjN* 10.10 参考文献 236 l4^MYwFR{O 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 pO2XQYhrY 11.1 短脉冲 238 g? C<@ 11.2 群速度 239 [] R8VC>Ah 11.3 群速度色散 241 BD mF+ 11.4 啁啾(chirped) 245 WKq{g+a 11.5 光学薄膜—相变 245 v\5`n@}4 11.6 群延迟和延迟色散 246 Kw`}hSE>o 11.7 色度色散 246 z/pxZB~" 11.8 色散补偿 249 ^fbzlu?G4- 11.9 空间光线偏移 256 MO|8A18B 11.10 参考文献 258 'Ojxzz*tT 12 公差与误差 260 <"7Wb"+ 12.1 蒙特卡罗模型 260 W}WDj: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 w1+
%+x 12.2.1 误差工具 267 xBE}/F$45 12.2.2 灵敏度工具 271 cfHtUv 12.2.2.1 独立灵敏度 271 +y 48.5 12.2.2.2 灵敏度分布 275 QPB^%8 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 0 l+Jq 12.3 参考文献 276 6N/6WrQEeg 13 Runsheet 与Simulator 277 y`pgJO 13.1 原理介绍 277 N\fj[?f[ 13.2 截止滤光片设计 277 tl=e! 14 光学常数提取 289 es\Fn#?O 14.1 介绍 289 zTw<9 Nf 14.2 电介质薄膜 289 xqv&^,ic 14.3 n 和k 的提取工具 295 %D`j3cEp@ 14.4 基底的参数提取 302 &HqBlRo 14.5 金属的参数提取 306 )1!0'j99. 14.6 不正确的模型 306 +rka5ts 14.7 参考文献 311 BfD C[(n` 15 反演工程 313 iz27yXHZ~ 15.1 随机性和系统性 313 V" KuwM 15.2 常见的系统性问题 314 {-hu""x> 15.3 单层膜 314 ~8)l/I=`); 15.4 多层膜 314 pzT`.#N:M 15.5 含义 319 L^Fb;sJYI 15.6 反演工程实例 319 k:z)Sw 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 }RUK?:lEA 15.6.2 反演工程提取折射率 327 r(g#3i4Q 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 9x#Tj/5% 16.1 光学性质的热致偏移 329 )~ ^`[` 16.2 应力工具 335 pwA~?$B1 16.3 均匀性误差 339 ]#W9l\ 16.3.1 圆锥工具 339 :,.HJ[Vg& 16.3.2 波前问题 341 $?DEO[p. 16.4 参考文献 343 sl)]yCD|5 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ?BU?c:"f 17.1 引言 345 )k81 17.2 操作数 345 r< |