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{ 1@4}R4 内容简介 c_G-R+ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 {|5$1v 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Wt+y-ES 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ui56<gI- LD~Jbq 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 E7yf[/it 目录 eY4`k Preface 1 B)DC,+@$ 内容简介 2 tT* W5 目录 i \Qi#'c$5+a 1 引言 1 V"7<[u]K| 2 光学薄膜基础 2 LN.Bd, 2.1 一般规则 2 }r~v,KDb 2.2 正交入射规则 3 /G)KkBC 2.3 斜入射规则 6
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7BF+*T 2.4 精确计算 7 X&9^&U=e 2.5 相干性 8 FU5LYXCs 2.6 参考文献 10 Lov.E3S6; 3 Essential Macleod的快速预览 10 {V%%^Zhwy 4 Essential Macleod的特点 32 V/(`Ek- 4.1 容量和局限性 33 \Z\IK 4.2 程序在哪里? 33 5y(t`Fmt
4.3 数据文件 35 1=/doo{^ 4.4 设计规则 35 =wIdC3Ph 4.5 材料数据库和资料库 37 . QQ?w 4.5.1材料损失 38 =M1a 0i|d 4.5.1材料数据库和导入材料 39 )e|$K=
D 4.5.2 材料库 41 8Fd1;G6 4.5.3导出材料数据 43 &h7smZO5j 4.6 常用单位 43 s`Yu"s
8}4 4.7 插值和外推法 46 o\@ A2r3 4.8 材料数据的平滑 50 %Ye)8+- 4.9 更多光学常数模型 54 *`+<x 4.10 文档的一般编辑规则 55 mh
A~eJ 4.11 撤销和重做 56 DMAf^.,S 4.12 设计文档 57 Ei{( 4.10.1 公式 58 <OR.q 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Sl. KLc@@ 4.10.3 沉积密度 59 |&elZ}8 4.10.4 平行和楔形介质 60 1N!Oslum 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ?qf:_G 4.10.4 性能 61 MtpU~c 4.10.5 保存设计和性能 64 VM-qVd- 4.10.6 默认设计 64 m4Phn~>Gg 4.11 图表 64 A~6%,q@^jh 4.11.1 合并曲线图 67 ,zAK3d&hj 4.11.2 自适应绘制 68 }b_R5U$@@ 4.11.3 动态绘图 68 >W`S(a Mn 4.11.4 3D绘图 69 CN\|_y 4.12 导入和导出 73 C2+{U 4.12.1 剪贴板 73 $i,6B9 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 jzl?e[qPA 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 pau*kMu^} 4.13 背景 77 a&$Zpf!! 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
E
fP>O 4.15 生成Rugate 84 3)6+1Yc 4.16 参考文献 91 uSABh^ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 B;xZ%M] 5.1 Jobs 92 cm@jt\D 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Np.no$_ 5.3 输入材料 94 /hm84La 5.4 设计数据文件夹 95 1YJ_1VJ 5.5 默认设计 95 ~A8qeaP 6 细化和合成 97 QuSV&>T\ 6.1 优化介绍 97 vC{h2A 6.2 细化 (Refinement) 98 0n4g$JK7 6.3 合成 (Synthesis) 100 FX%t 6.4 目标和评价函数 101 Pv< QjY 6.4.1 目标输入 102 Ef2Yl 6.4.2 目标 103 +<S9E'gT3V 6.4.3 特殊的评价函数 104 -Nsk}Rnk* 6.5 层锁定和连接 104 =LlLE<X"%x 6.6 细化技术 104 CTl(_g 6.6.1 单纯形 105 qq
OxTG] 6.6.1.1 单纯形参数 106 ooTc/QEYi 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 `+roQX.p 6.6.2.1 Optimac参数 108 /3J z3 6.6.3 模拟退火算法 109 Yuwc$Qp) 6.6.3.1 模拟退火参数 109 #$LH2?) 6.6.4 共轭梯度 111 ctp?y 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 )D:9R)m 6.6.5 拟牛顿法 112
z'7#"D 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 n4^~gT%b5] 6.6.6 针合成 113 Ee{ `Y0 6.6.6.1 针合成参数 114 Wu4ot0SZ 6.6.7 差分进化 114 tS?a){^:c 6.6.8非局部细化 115 j*tk(o}qG 6.6.8.1非局部细化参数 115 8V6=i'GK 6.7 我应该使用哪种技术? 116 A/!<kp{S 6.7.1 细化 116 inYM+o!Ub 6.7.2 合成 117 2Oyy`k
6.8 参考文献 117 #X#8ynt 7 导纳图及其他工具 118 qv
*3A?uzr 7.1 简介 118 K'x4l,rq 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 St6aYK 7.2.1 四分之一波长规则 119 Iha[Gu 7.2.2 导纳图 120 *~cqr 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 BY3bpR 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ovo/!YJ2 7.5 斜入射导纳图 141 '0]r<O 7.6 对称周期 141 <O.Kqk*
nq 7.7 参考文献 142 '0Lov]L 8 典型的镀膜实例 143 2R~6<W+&:> 8.1 单层抗反射薄膜 145 %Ys$@dB 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 H#+\nT2m 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 (/&;jV2DD[ 8.4 W-膜层 148 Hk@r5<{ 8.5 V-膜层 149 uG;?vvg> 8.6 V-膜层高折射基底 150 .hKhrcQp 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 7!pLK&_ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 H#35@HF*o 8.9 四层抗反射薄膜 153 |8bE9qt.P 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 U2bzUxK 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 f27)v(EJ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 \^9pW 2v 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 dXl]Pe|v 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 T'.[F 8.15十五层宽带抗反射膜 159 _5b0wdB 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 '@bJlJB9> 8.17 1/4波长堆栈 162 dByjcTPA 8.18 陷波滤波器 163 :s"2Da3B 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 E tx`K5Tr] 8.20 褶皱 165 bG(x:Py& 8.21 消偏振分光器1 169 za T_d/?J 8.22 消偏振分光器2 171 &iNS?1a%f= 8.23 消偏振立体分光器 172 b0 & 8.24 消偏振截止滤光片 173 qz`rL#W] 8.25 立体偏振分束器1 174 Ad/($v5+ 8.26 立方偏振分束器2 177 .#0H{mk 8.27 相位延迟器 178 ?eV_ACpZ8 8.28 红外截止器 179 +%XnMl 8.29 21层长波带通滤波器 180 K\(6rS}N 8.30 49层长波带通滤波器 181 o&z!6"S< 8.31 55层短波带通滤波器 182 d`Oe_< 8.32 47 红外截止器 183 3rNc1\a; 8.33 宽带通滤波器 184 hU"F;4p 8.34 诱导透射滤波器 186 (9]6bd 8.35 诱导透射滤波器2 188 *g_w I%l 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 hsz^rZ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 <B) 8.35 增益平坦滤波器 193 89Z#|#uM5 8.38 啁啾反射镜 1 196 |gv{z" 8.39 啁啾反射镜2 198 DtI$9`~ 8.40 啁啾反射镜3 199 qfYG.~`5 8.41 带保护层的铝膜层 200 3+>OGwfQ 8.42 增加铝反射率膜 201 g*y/j] 8.43 参考文献 202 99u/fk L 9 多层膜 204 d2~l4IL)~ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 >3PMnI 9.2 内部透过率 204 @7W?8 9.3 内部透射率数据 205 6\n?48x} 9.4 实例 206 >b48>@~bY 9.5 实例2 210 j;\[pg MR/ 9.6 圆锥和带宽计算 212
$:EG%jl 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ^=+e?F`:{ 10 光学薄膜的颜色 216 g1{/ 5{XI 10.1 导言 216 "|t!7hC 10.2 色彩 216 GoIQ>n 10.3 主波长和纯度 220 [b/o$zR 10.4 色相和纯度 221 *5D3vB*S 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 f*m[|0qI<X 10.6 色差 226 _TUm$#@Y` 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Y:psZ 10.8 颜色渲染指数 234 ?pG/m%[ 10.9 色差计算 235 3vW4<:Lgy 10.10 参考文献 236 yMxTfR 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 {eQWO.C{ 11.1 短脉冲 238 %;|0 11.2 群速度 239 W~ruN4q. 11.3 群速度色散 241 YQd:M%$ 11.4 啁啾(chirped) 245 P:k+ y$ 11.5 光学薄膜—相变 245 SK
R1E];4 11.6 群延迟和延迟色散 246 LZ<[ll#C 11.7 色度色散 246 S6sq#kcH 11.8 色散补偿 249 opp!0:jS* 11.9 空间光线偏移 256 U~H?4Izl= 11.10 参考文献 258 (3;@^S4&w 12 公差与误差 260 BStk&b 12.1 蒙特卡罗模型 260 K_ke2{4Jm 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 |V|+lx'sc 12.2.1 误差工具 267 N3%*7{X
9 12.2.2 灵敏度工具 271 {(tHk_q 12.2.2.1 独立灵敏度 271 vFQ,5n;fF 12.2.2.2 灵敏度分布 275 )`+YCCa6F 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 |"]PCb)! 12.3 参考文献 276 >jTp6tu, 13 Runsheet 与Simulator 277 E[g*O5 13.1 原理介绍 277 FTf<c0 13.2 截止滤光片设计 277 0*F}o)n/m 14 光学常数提取 289 42+#<U7T 14.1 介绍 289 ?*u*de[, 14.2 电介质薄膜 289 s_Wyh
!@M 14.3 n 和k 的提取工具 295 :P+\p= 14.4 基底的参数提取 302 rv7{Ow_Y 14.5 金属的参数提取 306 uQ/h'v 14.6 不正确的模型 306 7%;_kFRV 14.7 参考文献 311 ?LP9iY${ 15 反演工程 313 1m@^E:w 15.1 随机性和系统性 313 ,}SCa'PB 15.2 常见的系统性问题 314 M.[rLJZ4 15.3 单层膜 314 T!|=El> 15.4 多层膜 314 ig!7BxM)<h 15.5 含义 319 L'Q<>{;Ig 15.6 反演工程实例 319 =L]Q2V} 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 GJA`l8`SQ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 I#rubAl 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ",Cr,;] 16.1 光学性质的热致偏移 329 n<7q`tM# 16.2 应力工具 335 ytAWOt}` 16.3 均匀性误差 339 7cTk@Gq 16.3.1 圆锥工具 339 H/fUM 16.3.2 波前问题 341 (u1m]WYL 16.4 参考文献 343 wvby?MhPY 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 z=Cr7- 17.1 引言 345 l.+yn91%> 17.2 操作数 345 jZ*WN|FK? 18 如何在Function中编写脚本 351 BS1Ap 18.1 简介 351 kg97S 18.2 什么是脚本? 351 j\&pej 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 I]`-|Q E 18.4 基础 352 .qv'6G 18.4.1 Classes(类别) 352 r@G#[.*A> 18.4.2 对象 352 gl%`qf6:O 18.4.3 信息(Messages) 352 8|^CK|m6* 18.4.4 属性 352 ]9 w76Z 18.4.5 方法 353 \cJa;WM> 18.4.6 变量声明 353 Rl~T$
Ey 18.5 创建对象 354 K9Hqq7"% 18.5.1 创建对象函数 355 *%5{' 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 |CFRJN-J" 18.5.3 丢弃对象 356 ~NcQ1. 18.5.4 总结 356 9&]M**X 18.6 脚本中的表格 357 {w6/[-^ 18.6.1 方法1 357 K%5"u' 18.6.2 方法2 357 4Y \wnwI 18.7 2D Plots in Scripts 358 #I*QX%(H# 18.8 3D Plots in Scripts 359 d^E [|w; 18.9 注释 360 GX{XdJD 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 iEyeX0nm 18.11 一个更高级的脚本 362 R:aa+MX(1 18.12 <esc>键 364 muON>^MbC 18.13 包含文件 365 D<$XyP 18.14 脚本被优化调用 366 WYcA8X/ 18.15 脚本中的对话框 368 5VW|fI 18.15.1 介绍 368 #U
mF-c 18.15.2 消息框-MsgBox 368 9LJZ-/Wq 18.15.3 输入框函数 370 ;]2s,za)qs 18.15.4 自定义对话框 371 ,M5}4E7L%s 18.15.5 对话框编辑器 371 `{v?6:G:Q 18.15.6 控制对话框 377 sBX-X$*N 18.15.7 更高级的对话框 380 _i0kc,*C\ 18.16 Types语句 384 +kK 18.17 打开文件 385 Ta=s:trP 18.18 Bags 387 *XOJnyC_H 18.13 进一步研究 388 &DG->$&| 19 vStack 389 $tqJ/:I 19.1 vStack基本原理 389 |OO in]5 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 DL^o_61 19.3 五棱镜 393 AM"jX"F9/ 19.4 光束距离 396 KL,/2( 19.5 误差 399 Y$K!7Kq 19.6 二向分色棱镜 399 OWp%v_y] 19.7 偏振泄漏 404 n"Veem[_4g 19.8 波前误差—相位 405 {y= W6uP 19.9 其它计算参数 405 J5Z%ImiT^O 20 报表生成器 406 zw<p74DH 20.1 入门 406 Z4K+ /<I 20.2 指令(Instructions) 406 +avMX&% 20.3 页面布局指令 406 2NGeC0= 20.4 常见的参数图和三维图 407 #FOqP!p.E 20.5 表格中的常见参数 408 38ES($ 20.6 迭代指令 408 CbBSFKM 20.7 报表模版 408 7R.Q
Ql 20.8 开始设计一个报表模版 409 N7r_77%m0 21 一个新的project 413 .0 )Y 21.1 创建一个新Job 414 _9H*agRe 21.2 默认设计 415 -/C)l)V} 21.3 薄膜设计 416 9I7\D8r 21.4 误差的灵敏度计算 420 :,12")N 21.5 显色指数计算 422 lH^^77"4Qo 21.6 电场分布 424 R:-JkV>e: 后记 426 A5:qKaAq
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