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q&M:17+:Q 内容简介 ./maY1>T Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 qMgfMhQ7DU 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 jW5iqU"{* 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 |1V2tx SfI*bJo>V 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 7u%a/ < 目录 _%IqjJO{=r Preface 1 Fn,k!q 内容简介 2 :4;S"p 目录 i wkT;a&_ 1 引言 1 ?R?Grw)`H 2 光学薄膜基础 2 {;RF 2.1 一般规则 2 D3?N<9g 2.2 正交入射规则 3 )*[
""& 2.3 斜入射规则 6 5-p.MGso 2.4 精确计算 7
&tBA^igXK 2.5 相干性 8 Dr'sIH^ 2.6 参考文献 10 qyv"Wb6+ 3 Essential Macleod的快速预览 10 O_CT+Ou 4 Essential Macleod的特点 32 oeNzHp_ 4.1 容量和局限性 33 XV2=8#R 4.2 程序在哪里? 33 yisLypM* 4.3 数据文件 35 Qq0O0U 4.4 设计规则 35 {,f[r*{Y 4.5 材料数据库和资料库 37 rbh[j@s@ 4.5.1材料损失 38 IxP^i{/1? 4.5.1材料数据库和导入材料 39 :VFTVmr 4.5.2 材料库 41 A70(W{6a9@ 4.5.3导出材料数据 43 ??I:H 4.6 常用单位 43 :`zV
[A:D 4.7 插值和外推法 46 ;f(n.i 4.8 材料数据的平滑 50 F!R2_89iy 4.9 更多光学常数模型 54 9r8D*PvS 4.10 文档的一般编辑规则 55 V Cf|`V~ G 4.11 撤销和重做 56 *:#Z+7x
] 4.12 设计文档 57 n!?r } n8 4.10.1 公式 58 Qtnv#9%Vi 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 "UpOY 4.10.3 沉积密度 59 6h@+?{F. 4.10.4 平行和楔形介质 60 $NCm;0\B| 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 QT_^M1% 4.10.4 性能 61 S>EDL 4.10.5 保存设计和性能 64 8bbVbP 4.10.6 默认设计 64 ^N{X " 4.11 图表 64 "3ug}k 4.11.1 合并曲线图 67 /#IH-2N 4.11.2 自适应绘制 68 paYz[Xq 4.11.3 动态绘图 68 EP0a1.C 4.11.4 3D绘图 69 [)iN)$Mv 4.12 导入和导出 73 ~ a>S#S 4.12.1 剪贴板 73 '8={ sMy 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 I9,8HtnA 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 9@etg4#] 4.13 背景 77 R25-/6_V> 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 l]u7.~b 4.15 生成Rugate 84 hOn 4.16 参考文献 91 4L$};L 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 [U']kt 5.1 Jobs 92 q06@SD$
5.2 创建一个新Job(工作) 93 D{3fhPNU<b 5.3 输入材料 94 *cQz[S@F 5.4 设计数据文件夹 95 `=v@i9cTZ 5.5 默认设计 95 iW-t}}Z>B 6 细化和合成 97 K]MzP|T, 6.1 优化介绍 97 th90O|; 6.2 细化 (Refinement) 98 )=Y-f?o! 6.3 合成 (Synthesis) 100 O E]~@eU 6.4 目标和评价函数 101 )Kr(Y.w 6.4.1 目标输入 102 g!\QIv1D 6.4.2 目标 103 3m~U(yho 6.4.3 特殊的评价函数 104 P8u"T!G 6.5 层锁定和连接 104 BMF3XcH~G 6.6 细化技术 104 r=|vad$ 6.6.1 单纯形 105 s1v{~xP 6.6.1.1 单纯形参数 106 G*=H;Upi 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ?Cc$] 6.6.2.1 Optimac参数 108 LsnXS9_ 6.6.3 模拟退火算法 109 Hj1k-Bs&'w 6.6.3.1 模拟退火参数 109 #W.bZ]&WA 6.6.4 共轭梯度 111 hOV_Oqe4? 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 r*>QT:sB 6.6.5 拟牛顿法 112 /T{mS7EpYc 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 '2j~WUEmg 6.6.6 针合成 113 cUYX1a)8 6.6.6.1 针合成参数 114 z^"?sd 6.6.7 差分进化 114 Km%8Yw0+ 6.6.8非局部细化 115 ayN*fiV] 6.6.8.1非局部细化参数 115 vDWr|M%``l 6.7 我应该使用哪种技术? 116 )~G8 L Z 6.7.1 细化 116 hg!x_Eq| 6.7.2 合成 117 PaA6Z": 6.8 参考文献 117 YqkA&qL]#; 7 导纳图及其他工具 118 ^1()W,B~w 7.1 简介 118 /^NJ)9IB 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 m2wp m_vV# 7.2.1 四分之一波长规则 119 w:n(pLc< 7.2.2 导纳图 120 $2;-q8+ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 t%
<pbZO 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 /Lj%A 7.5 斜入射导纳图 141 T$f:[ye]Z 7.6 对称周期 141 PZ~`O 7.7 参考文献 142 F1zT )wW 8 典型的镀膜实例 143 rUGZjLIGqz 8.1 单层抗反射薄膜 145 g52 1Wdtnn 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ]Pz|Oi+] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 e_tZja2s 8.4 W-膜层 148 &`-_)~5] 8.5 V-膜层 149 3{6ps : w 8.6 V-膜层高折射基底 150 /abmjV0 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 wbn^R' 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ZE{aS4c 8.9 四层抗反射薄膜 153 ccIDMJ=2 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 `4se7{'UK` 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 eUi> Mp 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 <aD'$(N5 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 EolE?g@l8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 S5zpUF= 8.15十五层宽带抗反射膜 159 hqdC9?\ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 721{Ga4~S 8.17 1/4波长堆栈 162 9<+;hH8J_r 8.18 陷波滤波器 163 7g {g} 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 y^5T/M 8.20 褶皱 165 3U :YA&K( 8.21 消偏振分光器1 169 v)wY 8.22 消偏振分光器2 171 ^Tb}]aHg 8.23 消偏振立体分光器 172 @2-Hj~ 8.24 消偏振截止滤光片 173 jAD+:@ 8.25 立体偏振分束器1 174 yaCd4KP 8.26 立方偏振分束器2 177 v4nvZ6 8.27 相位延迟器 178 WsG"x>1n 8.28 红外截止器 179 3tJ=d'U 8.29 21层长波带通滤波器 180 &<\4q 8.30 49层长波带通滤波器 181 9Ba%= 8.31 55层短波带通滤波器 182 ~N)( ^ 4 8.32 47 红外截止器 183 OqAh4qa,$ 8.33 宽带通滤波器 184 My'9S2Y8nv 8.34 诱导透射滤波器 186 FN{H\W1cf 8.35 诱导透射滤波器2 188 5i}CzA96 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 _stI?fz*4k 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 w!=_ 8.35 增益平坦滤波器 193 0:7v/S!: 8.38 啁啾反射镜 1 196 +xoyKP! 8.39 啁啾反射镜2 198 \}]=?}( 8.40 啁啾反射镜3 199 FF~on06! 8.41 带保护层的铝膜层 200 r_qncy,F 8.42 增加铝反射率膜 201 B;Q`vKY 8.43 参考文献 202 =!I8vQ> 9 多层膜 204 (1saof*p% 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
o>/uW8 9.2 内部透过率 204 r_!{!i3B 9.3 内部透射率数据 205 MbT
ONt?~v 9.4 实例 206 KNO*)\
9.5 实例2 210 +R{A'Yl[( 9.6 圆锥和带宽计算 212 :V5!C$QV 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 tS_xa 10 光学薄膜的颜色 216 d=xI 10.1 导言 216 2fHIk57jP 10.2 色彩 216 T6/$pJl 10.3 主波长和纯度 220 m M\!4Yi`7 10.4 色相和纯度 221 {y+v-v/# 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
t?Njw7 10.6 色差 226 S?,KgMVM 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 2ZTyo7P 10.8 颜色渲染指数 234 =Ov;'MC 10.9 色差计算 235 @4W\RwD 10.10 参考文献 236 V)WIfRs 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ;Wfv+]n9 11.1 短脉冲 238 luG023' 11.2 群速度 239 /:*R -VdF 11.3 群速度色散 241 W[jW;uk 11.4 啁啾(chirped) 245 ?-(w][MT\ 11.5 光学薄膜—相变 245 wt_?B_nR 11.6 群延迟和延迟色散 246 "R\\\I7u 11.7 色度色散 246 ^=-*L
3f 11.8 色散补偿 249 >ji}j~cH 11.9 空间光线偏移 256 Q9 x` Uy 11.10 参考文献 258 dH2j*G Ij 12 公差与误差 260 Z7KB?1{G 12.1 蒙特卡罗模型 260 V;[__w 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 gs`27Gih 12.2.1 误差工具 267 3LmBV\[" 12.2.2 灵敏度工具 271 (Ay4B*|! 12.2.2.1 独立灵敏度 271 g[D,\ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 c!(~BH3p 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ]ukj]m/@ 12.3 参考文献 276 ~NxoF 13 Runsheet 与Simulator 277 fO^EMy\ 13.1 原理介绍 277 t<EX#_i, 13.2 截止滤光片设计 277 7Da^Jv k 14 光学常数提取 289 gl(6m`a> 14.1 介绍 289 8YJqM,t5) 14.2 电介质薄膜 289 kHo;9j-U 14.3 n 和k 的提取工具 295 [w#x5Xsn 14.4 基底的参数提取 302 zYgK$u^H 14.5 金属的参数提取 306 *fuGVA 14.6 不正确的模型 306 46.q anh 14.7 参考文献 311 Do[ F+Y 15 反演工程 313 y!{/'{?P 15.1 随机性和系统性 313 Lu#@~ 15.2 常见的系统性问题 314 m?kIa!GM= 15.3 单层膜 314 lG[
)8!:+ 15.4 多层膜 314 Um0<I) 15.5 含义 319 7K5o"
" 15.6 反演工程实例 319 pFv[z':&Q 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 |0vHy7CE 15.6.2 反演工程提取折射率 327 'k(~XA}X: 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 {]/Jk07 16.1 光学性质的热致偏移 329 v,x%^gv 0 16.2 应力工具 335 ;Cp/2A}Xx 16.3 均匀性误差 339 \ /X!tlwxh 16.3.1 圆锥工具 339 U~zN*2- 16.3.2 波前问题 341 xx`8>2T#e 16.4 参考文献 343 7gR; 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 o._#=7|( 17.1 引言 345 ,ex(pmZ; 17.2 操作数 345 <J_,9&\J 18 如何在Function中编写脚本 351 h+'eFAZ 18.1 简介 351 ?D$b%G{ 18.2 什么是脚本? 351 XtH_+W+O 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ?\p%Mx? 18.4 基础 352 0.+Z;j 18.4.1 Classes(类别) 352 K&a]pL6D 18.4.2 对象 352 RxDxLU2kt 18.4.3 信息(Messages) 352 (Ss77~W7 18.4.4 属性 352 .]P;fCQmM 18.4.5 方法 353 %RD7=Z-z 18.4.6 变量声明 353 H|Fqc=qp 18.5 创建对象 354 YvP"W/5 18.5.1 创建对象函数 355 <T2~xn 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 R;-FZ@u/ 18.5.3 丢弃对象 356 m=y,_Pz>U 18.5.4 总结 356 0 c'2rx 18.6 脚本中的表格 357 OXCml(>{ 18.6.1 方法1 357 v.^
'x 18.6.2 方法2 357 q!h*3mNm 18.7 2D Plots in Scripts 358 (LvOsr~ 18.8 3D Plots in Scripts 359 'hHX"\|RA 18.9 注释 360 ",
Rw%_ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 >zx50e) 18.11 一个更高级的脚本 362 [F-u'h< *l 18.12 <esc>键 364 g}og@UY7# 18.13 包含文件 365 =`.5b:e 18.14 脚本被优化调用 366 tS/APSY 18.15 脚本中的对话框 368 &T/9yW[L 18.15.1 介绍 368 9qO:K79| 18.15.2 消息框-MsgBox 368 K}*p(1$u 18.15.3 输入框函数 370 1X_!%Z 18.15.4 自定义对话框 371 U!UX"r 18.15.5 对话框编辑器 371 H=SMDj)s+ 18.15.6 控制对话框 377 VS@W.0/ 18.15.7 更高级的对话框 380 ZYt"=\_ 18.16 Types语句 384 .+~kJ0~Y 18.17 打开文件 385 @_:?N(%( 18.18 Bags 387 :bF2b..XOu 18.13 进一步研究 388 B46H@]d#7K 19 vStack 389 y42T.oK8c 19.1 vStack基本原理 389 g:6}zHK 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Ty`=U>K| 19.3 五棱镜 393 !rmo*-=^= 19.4 光束距离 396 27i<6PAC[A 19.5 误差 399 f7AJSHe 19.6 二向分色棱镜 399 `0vy+T5 19.7 偏振泄漏 404 O
NzdCgY 19.8 波前误差—相位 405 yT9RNo/w 19.9 其它计算参数 405 u2m{Yx| 20 报表生成器 406 -+2xdLa63 20.1 入门 406 {.8)gVBmA 20.2 指令(Instructions) 406 uC ;PP=z 20.3 页面布局指令 406 8i$`oMv[y 20.4 常见的参数图和三维图 407 b0CaoSWo 20.5 表格中的常见参数 408 [B;Ek\ 5W 20.6 迭代指令 408 I8wVvs;k 20.7 报表模版 408 !_z>w6uR
20.8 开始设计一个报表模版 409 {'bkU9+ 21 一个新的project 413 b6M)qt9R 21.1 创建一个新Job 414 Q6<Uuiw 21.2 默认设计 415 =@/^1.` 21.3 薄膜设计 416 JWjp<{Q;1 21.4 误差的灵敏度计算 420 BQmafpp` 21.5 显色指数计算 422 DMpd(ws 21.6 电场分布 424 BJ2W}R 后记 426 l]=$< 有兴趣扫码加微 `D4'`Or-U on&=%tCAL
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