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Q$zlxn 7\ 内容简介 V9bLm,DtT Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 VsMN i#? 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ky%%H; 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ~VGK#'X: sI'HS+~pU 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 puyL(ohem 目录 lyeoSd1AN Preface 1 K;ML' 内容简介 2 lpM{@JC 目录 i _t[%@G>P 1 引言 1 )K6{_~Kc\ 2 光学薄膜基础 2 yLX#:
nm 2.1 一般规则 2 qs b4@jt+ 2.2 正交入射规则 3 _L72Ae(_ 2.3 斜入射规则 6 =w8 YZs8w 2.4 精确计算 7 OE"Bb 2.5 相干性 8 8UcT?Zp 2.6 参考文献 10 1GdgF?4 3 Essential Macleod的快速预览 10 7L6M#B[)e5 4 Essential Macleod的特点 32 1mV0AE538 4.1 容量和局限性 33 `ouzeu9} 4.2 程序在哪里? 33 5`DH\VD.j 4.3 数据文件 35 E;Hjw0M'k 4.4 设计规则 35 z~5'p(|@f 4.5 材料数据库和资料库 37 el%Qxak`" 4.5.1材料损失 38 )1,&YJM*6l 4.5.1材料数据库和导入材料 39 I$LO0avvH2 4.5.2 材料库 41 !;a<E: 4.5.3导出材料数据 43 5b'S~Qj#r$ 4.6 常用单位 43 m t^1[ 4.7 插值和外推法 46 Uf<vw3 4.8 材料数据的平滑 50 AVWrD[ wD2 4.9 更多光学常数模型 54 \nWpV7TSN 4.10 文档的一般编辑规则 55 >KFJ1}b|3 4.11 撤销和重做 56 Z#O3s:` 4.12 设计文档 57 GZt] 38V)g 4.10.1 公式 58 "U.=A7r 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 MO/N*4U2 4.10.3 沉积密度 59 9="sx 8? 4.10.4 平行和楔形介质 60 do,X{\ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 nSiNSLv 4.10.4 性能 61 %R>S" 4.10.5 保存设计和性能 64 -`UlntEdZ: 4.10.6 默认设计 64 5XHkRcESZ 4.11 图表 64 IycxRig 4.11.1 合并曲线图 67 U'G`Q0n 4.11.2 自适应绘制 68 ]IV;>94[ 4.11.3 动态绘图 68 HWBom8u0 4.11.4 3D绘图 69 oUSG`g^P(M 4.12 导入和导出 73 am3E7u/ 4.12.1 剪贴板 73 $ZO<8|bW 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 @k,(i=** 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 $H} Mn"G 4.13 背景 77 -pu\p-Z 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 9 a%@j
] 4.15 生成Rugate 84 E=NY{| > 4.16 参考文献 91 }0RFo96)v 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 &:*+p-!2< 5.1 Jobs 92 T7~v40jn| 5.2 创建一个新Job(工作) 93 QO/7p]$_ 5.3 输入材料 94 xk8p,>/ 5.4 设计数据文件夹 95 \k_3IP?o= 5.5 默认设计 95 *Mc\7D 6 细化和合成 97 T}[vfIJD 6.1 优化介绍 97 5I,X#}K[ 6.2 细化 (Refinement) 98 {;DZ@2| 6.3 合成 (Synthesis) 100 :,,y63-f4 6.4 目标和评价函数 101 A#:
c 6.4.1 目标输入 102 V2%wb\_z 6.4.2 目标 103 VAE?={- 6.4.3 特殊的评价函数 104 #UD 6.5 层锁定和连接 104 ?/MXcI( 6.6 细化技术 104 )du{ZWr 6.6.1 单纯形 105 );DIrA 6.6.1.1 单纯形参数 106 B31-<w 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 S(h*\we 6.6.2.1 Optimac参数 108 oZ:F3 GQ4Q 6.6.3 模拟退火算法 109 0 _}89:- 6.6.3.1 模拟退火参数 109 nV*sdSt 6.6.4 共轭梯度 111 s'Gy+h. 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 QvN
<uxm 6.6.5 拟牛顿法 112 5q`)jd !*) 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 2(//slP 6.6.6 针合成 113 0\nhg5]? 6.6.6.1 针合成参数 114 F$p*G][ 6.6.7 差分进化 114 >%dAqYi $ 6.6.8非局部细化 115 B1#>$"_0}= 6.6.8.1非局部细化参数 115 IFofFXv_ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 F)ld@Ydk= 6.7.1 细化 116 t~K!["g 6.7.2 合成 117 G%jJ>T4 6.8 参考文献 117 r~_ /Jj 7 导纳图及其他工具 118 +STzG/9# 7.1 简介 118 +/86w59 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 hg'! 7.2.1 四分之一波长规则 119 6XK`=ss? 7.2.2 导纳图 120 HCkqh4 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 L)Ar{*xC 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 v^_]W3K 7.5 斜入射导纳图 141 !>Y\&zA 7.6 对称周期 141 %]$p ^m 7.7 参考文献 142 T)tHN#6I 8 典型的镀膜实例 143 Pt0} 9Q 8.1 单层抗反射薄膜 145 ^GaPpm 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 hcc-J)=m 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 |P0L,R 8.4 W-膜层 148 ]m#MwN$ 8.5 V-膜层 149 ^-*Tn 8.6 V-膜层高折射基底 150 xWe1F2nY 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 XfK.Fj~- 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 UA4d|^ev 8.9 四层抗反射薄膜 153 i3&B%JiLX 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Fd,+(i D 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 MGyB8( 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 &~A*(+S 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 T1!Gr!= 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 y{I[}$k 8.15十五层宽带抗反射膜 159 _JIUds5 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ^*ezj1 8.17 1/4波长堆栈 162 fy>And* 8.18 陷波滤波器 163 nEcd+7( 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 15T[J%7f 8.20 褶皱 165 v[DbhIXU 8.21 消偏振分光器1 169 p't:bR 8.22 消偏振分光器2 171 q;0&idYC 8.23 消偏振立体分光器 172 :`^3MMLO 8.24 消偏振截止滤光片 173 1
u_24 8.25 立体偏振分束器1 174 x`6^+>y^ 8.26 立方偏振分束器2 177 (yAvDyJOn 8.27 相位延迟器 178 {$1$]p~3o 8.28 红外截止器 179 X<}o>
6|d 8.29 21层长波带通滤波器 180 6?.pKFBZ 8.30 49层长波带通滤波器 181 CC(*zrOd- 8.31 55层短波带通滤波器 182 =>ztB w\ 8.32 47 红外截止器 183 >aC\_Mc 8.33 宽带通滤波器 184 !a&SB*%^I3 8.34 诱导透射滤波器 186 grxl{uIC8 8.35 诱导透射滤波器2 188 ie~fQ!rf 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 fDEu%fUYZ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 BS,5W]ervE 8.35 增益平坦滤波器 193 , 64t 8.38 啁啾反射镜 1 196 /b:t;0G 8.39 啁啾反射镜2 198 <RPoQ'.^ 8.40 啁啾反射镜3 199 FJ(B]n[> 8.41 带保护层的铝膜层 200 -0VA!3l 8.42 增加铝反射率膜 201 TFYT vUn 8.43 参考文献 202 LUDJPIk 9 多层膜 204 8u'O`j 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 'bI ~61{A 9.2 内部透过率 204 'uf\.F 9.3 内部透射率数据 205 1.95 ^8 9.4 实例 206 /sT
^lf= 9.5 实例2 210 ,WB_C\.#XN 9.6 圆锥和带宽计算 212 9kX=99kf[ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 D@\;@(
| 10 光学薄膜的颜色 216 1^f.5@tV 10.1 导言 216 oS#'u1k 10.2 色彩 216 @6
;oN 10.3 主波长和纯度 220 v]{uxlh 10.4 色相和纯度 221 \9(- /rE 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 b~r{J5x@ 10.6 色差 226 p;u 1{ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 xBRh!w 10.8 颜色渲染指数 234 'LbeL1ca 10.9 色差计算 235 A6NxM8ybn+ 10.10 参考文献 236 Gkv~e?Kc~^ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 pPyvR;NJ 11.1 短脉冲 238 4d e]?#= 11.2 群速度 239 hP1
l v7P 11.3 群速度色散 241 oO#xx)b 11.4 啁啾(chirped) 245 :K^gu%,&$ 11.5 光学薄膜—相变 245 % nmY:}um 11.6 群延迟和延迟色散 246 JpxbB)/ 11.7 色度色散 246 5`E`Kb+@ 11.8 色散补偿 249 h^A3 0f_x 11.9 空间光线偏移 256 V'"I9R'1 11.10 参考文献 258 EzIs@} 12 公差与误差 260 3xzkZ8]/ 12.1 蒙特卡罗模型 260 6
tc:A5mK 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 B+Y5b5+wOQ 12.2.1 误差工具 267 9:%n=U Rd 12.2.2 灵敏度工具 271 zRV!(Y 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ] dHB} 12.2.2.2 灵敏度分布 275 N~):c2Kp<9 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 k6O.H 12.3 参考文献 276 \6lh `U 13 Runsheet 与Simulator 277 kYxl1nv 13.1 原理介绍 277 #`La|a.- 13.2 截止滤光片设计 277 -Aa]aDAz68 14 光学常数提取 289 ;NH~9# t: 14.1 介绍 289 h@~:(:zU$ 14.2 电介质薄膜 289 \9] I#Ih}M 14.3 n 和k 的提取工具 295 Z6Nj<2u2 14.4 基底的参数提取 302 iUI y,Y 14.5 金属的参数提取 306 hhpv\1h# 14.6 不正确的模型 306 ':\fl.b 14.7 参考文献 311 gwSN>oj
& 15 反演工程 313 .!(,$'(@= 15.1 随机性和系统性 313 jow7t\wk 15.2 常见的系统性问题 314 IV{FH&t^T" 15.3 单层膜 314 P3iA(3I24< 15.4 多层膜 314 2yln7[a 15.5 含义 319 |e*Gz D 15.6 反演工程实例 319 M%$DT 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 LY-lTr@A^
15.6.2 反演工程提取折射率 327 M[aT2A 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 2wx!Lpr<i_ 16.1 光学性质的热致偏移 329 xfq]9< 16.2 应力工具 335 FXx.$W 16.3 均匀性误差 339 {ITv&5?> 16.3.1 圆锥工具 339 8RdP:*HY 16.3.2 波前问题 341 l80bHp= 16.4 参考文献 343 [J0*+C9P* 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 6hkkNXqkf 17.1 引言 345 -IBO5;2_ 17.2 操作数 345 +w"_$Tj@; 18 如何在Function中编写脚本 351 aSOU#Csx 18.1 简介 351 [E>R.Oe 18.2 什么是脚本? 351 ;rd6ko 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 F`!TV(,bY 18.4 基础 352 F:%^&%\ 18.4.1 Classes(类别) 352 3p=vz' 18.4.2 对象 352 Dp*:Q){>E 18.4.3 信息(Messages) 352 Bvz62? 18.4.4 属性 352 ngP7'1I 18.4.5 方法 353 v&xKi>Ail 18.4.6 变量声明 353 JE0?@PI$ 18.5 创建对象 354 I-xwJi9?, 18.5.1 创建对象函数 355 cDCJ]iDs 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ]}Pl%. 18.5.3 丢弃对象 356 $`|5/,M%QN 18.5.4 总结 356 z@zD . 18.6 脚本中的表格 357 ~}BJ0P(VMc 18.6.1 方法1 357 }wG,BB %N 18.6.2 方法2 357 2Ok?@ZdjA{ 18.7 2D Plots in Scripts 358 q"S(7xWS 18.8 3D Plots in Scripts 359 y-'" > 18.9 注释 360
LI[ ?~P2\ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 z^r|3; 18.11 一个更高级的脚本 362 AzZJG v]H 18.12 <esc>键 364 sf`PV}a1 18.13 包含文件 365 o]A XT8 18.14 脚本被优化调用 366 Nz~(+pVWg5 18.15 脚本中的对话框 368 [*Q-nZ/L 18.15.1 介绍 368 kl"
]Nw'C 18.15.2 消息框-MsgBox 368 LZ{YmD&6] 18.15.3 输入框函数 370 {VR`; 18.15.4 自定义对话框 371 yz?q(] 18.15.5 对话框编辑器 371 5.wiTy 18.15.6 控制对话框 377 *vYn_wE 18.15.7 更高级的对话框 380 8Jr1_a 18.16 Types语句 384 ~;[&K%n 18.17 打开文件 385 8x9Rm 18.18 Bags 387 /|?F)%v\ 18.13 进一步研究 388 *8PN!^ 19 vStack 389 gQy~kctQ# 19.1 vStack基本原理 389 cf)J ) 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 n12UBvc}% 19.3 五棱镜 393 4.8nY\_WF 19.4 光束距离 396 4d0#86l~J/ 19.5 误差 399 B| tzF0;c 19.6 二向分色棱镜 399 ?4 qkDtm 19.7 偏振泄漏 404 bp#fyG" 19.8 波前误差—相位 405 ~AQ>g#|% 19.9 其它计算参数 405 3qtr9NI 20 报表生成器 406 \^& 20.1 入门 406 ACb/ITu 20.2 指令(Instructions) 406 7:TO\0]2n 20.3 页面布局指令 406 FI8k;4|V 20.4 常见的参数图和三维图 407 g`n;R 20.5 表格中的常见参数 408 Y9u;H^^G 20.6 迭代指令 408 77*qkKr 20.7 报表模版 408 rnO0-h-; 20.8 开始设计一个报表模版 409 x`2| }AP( 21 一个新的project 413 X D) 8? 21.1 创建一个新Job 414 |g<* Rk0
21.2 默认设计 415 yxwW j>c 21.3 薄膜设计 416 pj!:[d 21.4 误差的灵敏度计算 420 z1vw'VT> 21.5 显色指数计算 422 (bv,02 21.6 电场分布 424 NG" yPn 后记 426 \gItZ}+c4}
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