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Ck/44Wfej 内容简介
}ktIG|GC Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 8&EJ.CQ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ]T)N{"&N/ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 y`oj\ uX-^9t 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 1{N+B#*<[X 目录 uB)q1QQsqp Preface 1 i8?oe%9l 内容简介 2 f&CQn.K" 目录 i (7qlp*8.s 1 引言 1 !H\;X`W|~D 2 光学薄膜基础 2 l>;hQ h 2.1 一般规则 2 v*V(hMy 2.2 正交入射规则 3 M0$MK> 2.3 斜入射规则 6 bll[E}E|3 2.4 精确计算 7 fnq 3ic"V 2.5 相干性 8 uzHMQp 2.6 参考文献 10 )h@PRDI_ 3 Essential Macleod的快速预览 10 Q\4tzb] 4 Essential Macleod的特点 32 K9zr]7;th 4.1 容量和局限性 33 zr!7*,
p 4.2 程序在哪里? 33 c!E{fS P 4.3 数据文件 35 ~Eg]Auk7 4.4 设计规则 35 bse`Xfg 4.5 材料数据库和资料库 37 P;.roD9 4.5.1材料损失 38
anSZWQ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 l,J>[Q`< 4.5.2 材料库 41 n#6{K6}k~ 4.5.3导出材料数据 43 GTLS0l) 4.6 常用单位 43 Movm1*&= 4.7 插值和外推法 46 ZbC$Fk,,I& 4.8 材料数据的平滑 50 ;j9%D`u< 4.9 更多光学常数模型 54 C`r:jA<LC, 4.10 文档的一般编辑规则 55 HrE, K\^ 4.11 撤销和重做 56 f+9eB 4.12 设计文档 57 v7pu 4.10.1 公式 58 ,a&,R*r@& 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 68j1svz9 4.10.3 沉积密度 59 n{N0S^h 4.10.4 平行和楔形介质 60 ry|a_3X(I 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 t*= nI $ 4.10.4 性能 61 C<=rnIf' 4.10.5 保存设计和性能 64 Stwg[K0< 4.10.6 默认设计 64 {>
,M 4.11 图表 64 WOn<JCh] 4.11.1 合并曲线图 67 =Fc]mcJ69 4.11.2 自适应绘制 68 rG?5z" 4.11.3 动态绘图 68 E"'u2jEG^ 4.11.4 3D绘图 69 =RHtugwy 4.12 导入和导出 73 ?lkB{-%rQ 4.12.1 剪贴板 73 EmaS/]X[ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ng/h6
S 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 B:X%k/{ 4.13 背景 77 6/ 5c| 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 y7/4u-_c 4.15 生成Rugate 84 Sj I,v+ 4.16 参考文献 91 2->Lz 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 CmXLD} L_x 5.1 Jobs 92 kxKb}>= 5.2 创建一个新Job(工作) 93 X'b3CS4 5.3 输入材料 94 NxF:s,a6 5.4 设计数据文件夹 95 >TglX t+ 5.5 默认设计 95 !D F~]& 6 细化和合成 97 3ibQbk 6.1 优化介绍 97 E
G+/2o+W 6.2 细化 (Refinement) 98 +@]k[9 6.3 合成 (Synthesis) 100 [;Ih I 6.4 目标和评价函数 101 5/Qu5/ 6.4.1 目标输入 102 K6-)l
isf 6.4.2 目标 103 tf6-DmMH 6.4.3 特殊的评价函数 104 \)5mO 8w 6.5 层锁定和连接 104 C)c*s C5N 6.6 细化技术 104 ' Z#_"s#L 6.6.1 单纯形 105 w2xD1oK~o 6.6.1.1 单纯形参数 106 ^~N:lW#= 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 cBqbbZyUk 6.6.2.1 Optimac参数 108 @?e~l:g})g 6.6.3 模拟退火算法 109 EC5= 2w< 6.6.3.1 模拟退火参数 109 OLIMgc(W 6.6.4 共轭梯度 111 -HGRrWS 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 mKu,7nMvF 6.6.5 拟牛顿法 112 t]0DT_iE 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ~ Rk.x
+ 6.6.6 针合成 113 %0 {_b68x 6.6.6.1 针合成参数 114 Z$INmo6 6.6.7 差分进化 114 w0;4O)H$O 6.6.8非局部细化 115 Io*H}$Gf 6.6.8.1非局部细化参数 115 J:"@S%gy% 6.7 我应该使用哪种技术? 116 .`~?w+ ~ 6.7.1 细化 116 Csy$1;"A 6.7.2 合成 117 zWU]4;," 6.8 参考文献 117 ;Q,t65+Am 7 导纳图及其他工具 118 C)R hld 7.1 简介 118 S'^ q 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 kJl^,q 7.2.1 四分之一波长规则 119 ML'y`S 7.2.2 导纳图 120 ,\iXZ5"R 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 &k,DAx`rN; 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 pTGGJ, 7.5 斜入射导纳图 141 ,9d]-CuP; 7.6 对称周期 141 ?o.d FKUe 7.7 参考文献 142 B-_b.4ND) 8 典型的镀膜实例 143 V*PL_|Q5 8.1 单层抗反射薄膜 145 xDU\mfeGj 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 uWKmINjv' 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 CR23$<FC 8.4 W-膜层 148 c*7|>7C$i 8.5 V-膜层 149 vu@.;-2E% 8.6 V-膜层高折射基底 150 -5 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 /0qbRk i 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 FS=yc.Q_ 8.9 四层抗反射薄膜 153 T5|kO:CbHq 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 sgi5dQ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 'ux!:b" 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 $.C-_L 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 al}J^MJ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 _p4]\LA 8.15十五层宽带抗反射膜 159
$adZ|Q\ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 czIAx1R9 8.17 1/4波长堆栈 162 &~+QPnI>Pm 8.18 陷波滤波器 163 ^CLQs;zXE 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 hsrf 2Xw[ 8.20 褶皱 165 mrRid}2 8.21 消偏振分光器1 169 g/f6N
z 8.22 消偏振分光器2 171 aOd#f:{y 8.23 消偏振立体分光器 172 ]w>o=<?b 8.24 消偏振截止滤光片 173 v[|W\y@H/3 8.25 立体偏振分束器1 174 ^wWbW&<Tg 8.26 立方偏振分束器2 177 /;(ji?wN 8.27 相位延迟器 178 C`t@tgT 8.28 红外截止器 179 (eU 4{X7 8.29 21层长波带通滤波器 180 'I/_vqp@ 8.30 49层长波带通滤波器 181 }NyQ<,+mq& 8.31 55层短波带通滤波器 182 h_#=f(.'j 8.32 47 红外截止器 183 WtZI1`\qe 8.33 宽带通滤波器 184 8>[g/%W 8.34 诱导透射滤波器 186 ,.0bE
9\o 8.35 诱导透射滤波器2 188 In_"iEo, 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 3%?tUt 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ou-UR5 8.35 增益平坦滤波器 193 ':;k<(<- 8.38 啁啾反射镜 1 196 MAkr9AKb, 8.39 啁啾反射镜2 198 R`c[?U 8.40 啁啾反射镜3 199 y(QFf*J 8.41 带保护层的铝膜层 200 Jf?6y~X>Y 8.42 增加铝反射率膜 201 e^\e;>Dh> 8.43 参考文献 202 hm73Zy 9 多层膜 204 ~5&4s 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ]87BP%G 9.2 内部透过率 204 xA(z/% 9.3 内部透射率数据 205 ~C%I'z' 9.4 实例 206 SC~k4&xy 9.5 实例2 210 an"~n`g 9.6 圆锥和带宽计算 212 O_1[KiZ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 3:nBl?G< 10 光学薄膜的颜色 216 dWQsC| 10.1 导言 216 :CE4<
{V 10.2 色彩 216 a)ry}E =f 10.3 主波长和纯度 220 I<940PZ 10.4 色相和纯度 221 TC/c5:)] 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 BJUj#s0$ 10.6 色差 226 DBHy%i 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 =^u;uS[IW 10.8 颜色渲染指数 234 "QdK
Md 10.9 色差计算 235 <v0`r2^S{- 10.10 参考文献 236 a,vS{434J 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 rT[qh+KWe 11.1 短脉冲 238 ffmtTJFC5 11.2 群速度 239 *
HKu%g 11.3 群速度色散 241 l{Df{1b. 11.4 啁啾(chirped) 245 b&F9<XLqq 11.5 光学薄膜—相变 245 RJ3oI+gI 11.6 群延迟和延迟色散 246 t>cGfA 11.7 色度色散 246 Ldjz- 11.8 色散补偿 249 QnVr)4" 11.9 空间光线偏移 256 ).5X 11.10 参考文献 258 3>1^$0iq 12 公差与误差 260 W\kli';jyC 12.1 蒙特卡罗模型 260 kh0cJE\_^ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 EB*sd S 12.2.1 误差工具 267 f zo'9 12.2.2 灵敏度工具 271 Os"('@jd> 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ^-Od*DTL 12.2.2.2 灵敏度分布 275 r+FEgSDa] 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 [HQ)4xG 12.3 参考文献 276 sWYnoRxu 13 Runsheet 与Simulator 277 ;yJ:W8U]+; 13.1 原理介绍 277 *vaYI3{qN 13.2 截止滤光片设计 277 {Uw
0zC 14 光学常数提取 289 Ax=HDW} 14.1 介绍 289 %rptI$^*X 14.2 电介质薄膜 289 0ae8Xm3J@R 14.3 n 和k 的提取工具 295 R7bG!1SHl 14.4 基底的参数提取 302 lDYgtUKG 14.5 金属的参数提取 306 ~(d
{j}M> 14.6 不正确的模型 306 _!',%+ 14.7 参考文献 311 -)}s{[]d6m 15 反演工程 313 nzflUR{`- 15.1 随机性和系统性 313 Z[. M>| 15.2 常见的系统性问题 314 EG>?>K_D 15.3 单层膜 314 )]1hN;Nz 15.4 多层膜 314 bT.q@oU 15.5 含义 319 y'_8b=* 15.6 反演工程实例 319 -@#w) 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 .hat!Tt9 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ]1!" q40)] 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 E^i]eK*" 16.1 光学性质的热致偏移 329 OH\^j1x9I 16.2 应力工具 335 AYbO~_a\N 16.3 均匀性误差 339 GDxv2^4 16.3.1 圆锥工具 339 >aVgI<
16.3.2 波前问题 341 sasurR|; 16.4 参考文献 343
lgOAc, 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 *|AQV: 17.1 引言 345 F_
F"3'[ 17.2 操作数 345 1)(>'pY 18 如何在Function中编写脚本 351 E8#
>k 18.1 简介 351 _M^.4H2 18.2 什么是脚本? 351 3$\k=q3`# 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Pv'Q3O2<I 18.4 基础 352 ntW@Fm:bw> 18.4.1 Classes(类别) 352 I_J&>}V' 18.4.2 对象 352 ote,`h 18.4.3 信息(Messages) 352 (GSP3KKo*G 18.4.4 属性 352 zK<af 18.4.5 方法 353 x)::^'74 18.4.6 变量声明 353 c$g@3gL 18.5 创建对象 354 x}] 56f 18.5.1 创建对象函数 355 3 t,_{9 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 E#k{<LYI 18.5.3 丢弃对象 356 8+F5n! 18.5.4 总结 356 [qYr~:` -[ 18.6 脚本中的表格 357 -R`{]7V 18.6.1 方法1 357 =gB5JB<}2 18.6.2 方法2 357 }|P3(*S 18.7 2D Plots in Scripts 358 hS]w
A"\87 18.8 3D Plots in Scripts 359 jm^.E\_ 18.9 注释 360 Ww7Ya]b.k 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 1 R5pf 18.11 一个更高级的脚本 362 " 9Gn/-V> 18.12 <esc>键 364 H71sxek3 18.13 包含文件 365 AcH-TIgM/ 18.14 脚本被优化调用 366 *T5;dh ( 18.15 脚本中的对话框 368 "j^i6RS 18.15.1 介绍 368 L|=5jn9 : 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Q.mJ7T~T 18.15.3 输入框函数 370 ZitM<Qi&y 18.15.4 自定义对话框 371 '/W$9jm 18.15.5 对话框编辑器 371 PMzPj, 18.15.6 控制对话框 377
yayhL
DL 18.15.7 更高级的对话框 380 lE:g A, 18.16 Types语句 384 I.<c{4K5 18.17 打开文件 385 Y=Vbs x 18.18 Bags 387 ~^mUu`@r 18.13 进一步研究 388 /)P}[Q4 19 vStack 389 #z `W ,^C 19.1 vStack基本原理 389 ag=d6q 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 FwCb$yE#M 19.3 五棱镜 393 [,zq 19.4 光束距离 396 lPTx] =G 19.5 误差 399 Jup)m/ 19.6 二向分色棱镜 399 4QL>LK 19.7 偏振泄漏 404 d1j9{ 19.8 波前误差—相位 405 f-b],YE 19.9 其它计算参数 405 !gsvF\XDM 20 报表生成器 406 xUo6~9s7 20.1 入门 406 +a1x; 20.2 指令(Instructions) 406 \/a6h 20.3 页面布局指令 406 .fA*WQ!lb 20.4 常见的参数图和三维图 407 W'lqNOX[v 20.5 表格中的常见参数 408 zzqJeIS 20.6 迭代指令 408 }Mcb\+[ 20.7 报表模版 408 }r:o8+4 20.8 开始设计一个报表模版 409 sibYJK Oy 21 一个新的project 413 \/A.j|by,> 21.1 创建一个新Job 414 S{@}ECla 21.2 默认设计 415 JAPr[O& 21.3 薄膜设计 416 yIMqQSt79z 21.4 误差的灵敏度计算 420 GIC1]y-' 21.5 显色指数计算 422 X#Bb?Pv 21.6 电场分布 424 MmuT~d/ 后记 426 wX$:NOO
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