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]7W!f 2@ 内容简介 t7x<=rW7u Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 @XzfuuE] 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 J.4U;A5 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 aaY AS"/: lD[@D9 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Fovah4q%V 目录 zE$HHY2ovi Preface 1 ,v8e7T 内容简介 2 H<i!C|AF 目录 i zM&ro,W 1 引言 1 X0P +[.i 2 光学薄膜基础 2 FD
8Lk 2.1 一般规则 2 |*g#7YL 2.2 正交入射规则 3 O H2IO 2.3 斜入射规则 6 Lv%t*s2$/ 2.4 精确计算 7 ANw1P{9* 2.5 相干性 8 ^" ?a)KC 2.6 参考文献 10 ~s HdOMw 3 Essential Macleod的快速预览 10 L$OZ]
4 Essential Macleod的特点 32 N^[
F+y 4.1 容量和局限性 33 #1'q'f:7& 4.2 程序在哪里? 33 |U{~t<BF# 4.3 数据文件 35 zMP6hn 4.4 设计规则 35 '{
=F/q 4.5 材料数据库和资料库 37 T=42]h 4.5.1材料损失 38 =Vs?=|r 4.5.1材料数据库和导入材料 39 V>)/z|[ 4.5.2 材料库 41 #`|Nm3b 4.5.3导出材料数据 43 T]&?^QGAZ 4.6 常用单位 43 *'8q?R?7g 4.7 插值和外推法 46 w(ZZTVW- 4.8 材料数据的平滑 50 GZrN,M 4.9 更多光学常数模型 54 q`2dL)E 4.10 文档的一般编辑规则 55 X(BxC<!D. 4.11 撤销和重做 56 @PNgqjd 4.12 设计文档 57 )yig=nn 4.10.1 公式 58 |Sjy
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 9;7"S.7AV 4.10.3 沉积密度 59 :~8@fEKb{ 4.10.4 平行和楔形介质 60 06AgY0\ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 BE@(| U 4.10.4 性能 61 Ff/Ap&0+ 4.10.5 保存设计和性能 64 Posz|u<x 4.10.6 默认设计 64 >e6 OlIW 4.11 图表 64 de W1>yh^_ 4.11.1 合并曲线图 67 u,8)M'UU 4.11.2 自适应绘制 68 ;AOLbmb)H4 4.11.3 动态绘图 68 jnJ*e-AW 4.11.4 3D绘图 69 >fP;H}S6 4.12 导入和导出 73 +fboTsp% H 4.12.1 剪贴板 73 |-S!)iG1V 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 _w?!Mu 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 )HE{`yiLL 4.13 背景 77 qtAt=` s 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 GBBr[}y- 4.15 生成Rugate 84 i,;eW&
4.16 参考文献 91 ?C fQwY#N 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 zC)JOykI% 5.1 Jobs 92 >&+V[srfD 5.2 创建一个新Job(工作) 93 3;Yd" 5.3 输入材料 94 -n|>U: 5.4 设计数据文件夹 95 iLBORT!; 5.5 默认设计 95 FvVC 2Z 6 细化和合成 97 \f4rA?+f 6.1 优化介绍 97 F68eI%Y 6.2 细化 (Refinement) 98 b?`2LAgn 6.3 合成 (Synthesis) 100 g4,ldr"D 6.4 目标和评价函数 101 'q:7PkN!p 6.4.1 目标输入 102 &UnhYG{A 6.4.2 目标 103 80Hi v 6.4.3 特殊的评价函数 104 1K/ : 6.5 层锁定和连接 104 F%p DF\ 6.6 细化技术 104 3\P*"65 6.6.1 单纯形 105 !`Kg&t [&V 6.6.1.1 单纯形参数 106 8f~x\. 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 L%$-?O| 6.6.2.1 Optimac参数 108 iupkb 6.6.3 模拟退火算法 109 !Q~>)$Cf^ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 zT)cg$8%fY 6.6.4 共轭梯度 111 e{87n>+, 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 .+XK>jl+ 6.6.5 拟牛顿法 112 /hqn>t 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 =C,DR4xh 6.6.6 针合成 113 o[KZm17 6.6.6.1 针合成参数 114 y[l{
UBue: 6.6.7 差分进化 114 &Cj~D$kDEu 6.6.8非局部细化 115 &'k(v(>n, 6.6.8.1非局部细化参数 115 #Swc>jYc 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ^cPVnl 6.7.1 细化 116 en{p<]H 6.7.2 合成 117 @ntwdv; 6.8 参考文献 117 R2~y<^.V`Y 7 导纳图及其他工具 118 4t =Kt 7.1 简介 118 c.LRS$o/j 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 6p)&}m9! 7.2.1 四分之一波长规则 119 N{g7 7.2.2 导纳图 120 hY{4_ie=8 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ;rT/gwg! 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ?K pDEH~\ 7.5 斜入射导纳图 141 d m"R0> 7.6 对称周期 141 \,/ozfJ7dT 7.7 参考文献 142 yc]_ ?S>9 8 典型的镀膜实例 143 `_)9eGQ 8.1 单层抗反射薄膜 145 Ih5Y7<8b~ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ejR$N!LL 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 T2]8w1l&K 8.4 W-膜层 148 w{T$3F`@9 8.5 V-膜层 149 J&'*N:d 8.6 V-膜层高折射基底 150 {ST8'hY 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 k0I$x:c 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 t*Ro2QZ 8.9 四层抗反射薄膜 153 Ji,;ri2i 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Xp<O 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ]7k:3"wH 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 P]^8Enp 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 BTr;F]W 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 uZ_?x~V/ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Q?j '4 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ,^mEi 8.17 1/4波长堆栈 162 ;8vB7|54. 8.18 陷波滤波器 163 "Y^Fn,c 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Rh6CV 8.20 褶皱 165 Q`J U[nY 8.21 消偏振分光器1 169 j^b&Q 8.22 消偏振分光器2 171 : I";&7C 8.23 消偏振立体分光器 172 @qcUxu 4 8.24 消偏振截止滤光片 173 AFsieJ 8.25 立体偏振分束器1 174 K'8?%&IQ 8.26 立方偏振分束器2 177 .yUD\ZGJu 8.27 相位延迟器 178
vxPr)"Vvz 8.28 红外截止器 179 -6_<] 8.29 21层长波带通滤波器 180 %jj-\Gz! 8.30 49层长波带通滤波器 181 xG
edY*[` 8.31 55层短波带通滤波器 182 fl4@5AVY 8.32 47 红外截止器 183 (L4C1h_]9 8.33 宽带通滤波器 184 3C=QWw? 8.34 诱导透射滤波器 186 pK{G2]OK{U 8.35 诱导透射滤波器2 188 0hkYexX73 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ?\4kV*/Cqz 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ]S?G]/k} 8.35 增益平坦滤波器 193 R3_;!/1 8.38 啁啾反射镜 1 196 [m< jM[w{ 8.39 啁啾反射镜2 198 1=+S'_j 8.40 啁啾反射镜3 199 ?6vGE~MuR 8.41 带保护层的铝膜层 200 l#ct;KZ 8.42 增加铝反射率膜 201 @fo(#i& 8.43 参考文献 202 JM0+-,dl[ 9 多层膜 204 bSI*`Dc"! 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 A`vRUl,c= 9.2 内部透过率 204 w(+L&IBC 9.3 内部透射率数据 205 SI6?b1;-:F 9.4 实例 206 2XBHo ( 9.5 实例2 210 dwvc;f- 9.6 圆锥和带宽计算 212 8KR17i1 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 9(=+OQ6 10 光学薄膜的颜色 216 lv.h?"Ml 10.1 导言 216 =Ldf#8J 10.2 色彩 216 %T<c8w}dP 10.3 主波长和纯度 220 3\ )bg
R: 10.4 色相和纯度 221 P&c O2 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 HWou&<EK 10.6 色差 226 P%[{ 'u 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ;/23CFYM 10.8 颜色渲染指数 234 _8`S&[E? 10.9 色差计算 235 Qd3ppJn 10.10 参考文献 236 7PfNPz<4+ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 .gRb' 11.1 短脉冲 238 ="@f~~ 11.2 群速度 239 fE|"g' 11.3 群速度色散 241 9ygNJX'~ 11.4 啁啾(chirped) 245 -ImO y| 11.5 光学薄膜—相变 245 i[33u p 11.6 群延迟和延迟色散 246 vsA/iH. 11.7 色度色散 246 ZZxt90YR'5 11.8 色散补偿 249 )WEOqaR] 11.9 空间光线偏移 256 0Iyb} 11.10 参考文献 258 = =KDr0|G 12 公差与误差 260
NQ '|M 12.1 蒙特卡罗模型 260 <Z1m9O "sy 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ms&5Bq+9 12.2.1 误差工具 267 - sq=| 12.2.2 灵敏度工具 271 @O6
2}F 12.2.2.1 独立灵敏度 271 n%vmo
f 12.2.2.2 灵敏度分布 275 %&'[? LXD 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Xe
^NVF 12.3 参考文献 276 GIkVU6Q} 13 Runsheet 与Simulator 277 nGJ+.z 13.1 原理介绍 277 |D;I>O^"R 13.2 截止滤光片设计 277 FV OPC:}bj 14 光学常数提取 289 _lH:%E* 14.1 介绍 289 7/=r- 14.2 电介质薄膜 289 UY\E uA9 14.3 n 和k 的提取工具 295 @9]TjZd 14.4 基底的参数提取 302 4Dd]:2|D 14.5 金属的参数提取 306 &$pQ Jf 14.6 不正确的模型 306 /I`- 14.7 参考文献 311 >#;>6q9_ 15 反演工程 313 RbA.&=3 15.1 随机性和系统性 313 dHn,;Vv^6 15.2 常见的系统性问题 314 H7 {kl 15.3 单层膜 314 o8A(Cg} 15.4 多层膜 314 "GxQ9=Z 15.5 含义 319 </Dv? 15.6 反演工程实例 319 gHH[QLD=I 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ?O#"x{Pk 15.6.2 反演工程提取折射率 327 )Ee`11 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 F'@[b
16.1 光学性质的热致偏移 329 N71%l 16.2 应力工具 335 S;!7/z 16.3 均匀性误差 339 SmP&wNHQf 16.3.1 圆锥工具 339 2;SiH]HNS 16.3.2 波前问题 341 8(:O5# 16.4 参考文献 343 ]PH'G>x 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ge&!GO 17.1 引言 345 oHethk 17.2 操作数 345 ukee.:{ 18 如何在Function中编写脚本 351 V$MMK 18.1 简介 351 Bv}i#D 18.2 什么是脚本? 351 40;4= 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 <)oW 18.4 基础 352 N<HJ}geC" 18.4.1 Classes(类别) 352 H|d"45J_ 18.4.2 对象 352 {k<mN
Y 18.4.3 信息(Messages) 352 Y)C!N$=@Q 18.4.4 属性 352 k`0m|<$ 18.4.5 方法 353 jxgs!B> 18.4.6 变量声明 353 R6irL!akAd 18.5 创建对象 354 @w;&:J9m 18.5.1 创建对象函数 355 3gs7Xj%N 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 mx0EEU* 18.5.3 丢弃对象 356 c38ENf 18.5.4 总结 356 Vfr.Yoy 18.6 脚本中的表格 357 8SO(pw9 18.6.1 方法1 357 tNDv[IF 18.6.2 方法2 357 Sh U1RQk 18.7 2D Plots in Scripts 358 `+T"^{
Z 18.8 3D Plots in Scripts 359 ";w"dfC^ 18.9 注释 360 CGZ3-OW@E 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 |#O>DdKHT 18.11 一个更高级的脚本 362 Cfst)[j 18.12 <esc>键 364 ?wZ`U
Oi 18.13 包含文件 365 =D^R,Q 18.14 脚本被优化调用 366 v6'k`HnK 18.15 脚本中的对话框 368 *)qxrBc0 18.15.1 介绍 368 k4~2hD<| 18.15.2 消息框-MsgBox 368 89%#;C 18.15.3 输入框函数 370 /,^AG2]( f 18.15.4 自定义对话框 371 ~d=Y98'xS 18.15.5 对话框编辑器 371 FWQNO( 18.15.6 控制对话框 377 /G!M\teeF 18.15.7 更高级的对话框 380 "l-R|>6~ 18.16 Types语句 384 p']oy;t 18.17 打开文件 385 43BqNQ0 18.18 Bags 387 +(8Z8]Jf 18.13 进一步研究 388 t|}}#Z!I[f 19 vStack 389 6fw2;$x" 19.1 vStack基本原理 389 @`:z$52 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 JR4fJG 19.3 五棱镜 393 o#=O5@>ai 19.4 光束距离 396 6{?B`gm7g 19.5 误差 399 mW 'sdb 19.6 二向分色棱镜 399 LZ1)zoJ 19.7 偏振泄漏 404 e#|YROHf 19.8 波前误差—相位 405 HV8=b"D" 19.9 其它计算参数 405 8@d@T V!n& 20 报表生成器 406 /yTPb 20.1 入门 406 lw_PQ4Hp 20.2 指令(Instructions) 406 sH+ 90|? 20.3 页面布局指令 406 zIbrw9G 20.4 常见的参数图和三维图 407 d&t,^Hj 20.5 表格中的常见参数 408 %. W56 20.6 迭代指令 408 1R7w
20.7 报表模版 408 =r>u'wRQ 20.8 开始设计一个报表模版 409 Q-y`IPtA< 21 一个新的project 413 C?t!Uvs 21.1 创建一个新Job 414 FZ=xy[q]~ 21.2 默认设计 415 {Z^q?~zC[ 21.3 薄膜设计 416 \MB$ Cwc 21.4 误差的灵敏度计算 420 `]wk)50BVp 21.5 显色指数计算 422 UKp^TW1^ 21.6 电场分布 424 x^)W}p" 后记 426 >|g(/@IO 有兴趣扫码加微 ]q 3.^F V ^hR%*i'
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