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Spossp`| 内容简介 o%E^41M7E Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 q'%-8t 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 !!4` #Z0+# 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 & A%*sD6 >Hq)1o 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 X>`e(1`_O 目录 tGcp48R-:+ Preface 1 l|c# 内容简介 2 P<@V 目录 i Lgh. 1foK
1 引言 1 -5~&A6+ILn 2 光学薄膜基础 2 D/1f>sl 2.1 一般规则 2 ,s*-2Sz 2.2 正交入射规则 3 s6|EvIVM 2.3 斜入射规则 6 GDgq
4vfj 2.4 精确计算 7 ySLa4DQf 2.5 相干性 8 1 U|IN= 2.6 参考文献 10 VuqJ&U.- 3 Essential Macleod的快速预览 10 l H@hV 4 Essential Macleod的特点 32 '<.@a"DnJ 4.1 容量和局限性 33 al9L+ruR 4.2 程序在哪里? 33 $s*\yam?| 4.3 数据文件 35 8R;)WlLu= 4.4 设计规则 35 U&uop$/Cq 4.5 材料数据库和资料库 37 J1Ay^*qRU 4.5.1材料损失 38 DRC2U%[ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ([y 2x.kd 4.5.2 材料库 41 $y\\?
4.5.3导出材料数据 43 Dl2`b">u 4.6 常用单位 43 9 -\.|5;: 4.7 插值和外推法 46 GS%ACk 4.8 材料数据的平滑 50 l
cHqg 4.9 更多光学常数模型 54 h#ogL-UU 4.10 文档的一般编辑规则 55 F aOfe] F 4.11 撤销和重做 56 Gy+/P6 4.12 设计文档 57 z3V[
Vi 4.10.1 公式 58 K/+Y9JP9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 %QW1?VVP 4.10.3 沉积密度 59 %z}{jqD&:X 4.10.4 平行和楔形介质 60 A.@S>H'P
4.10.5 渐变折射率和散射层 60 {=5Wi| 4.10.4 性能 61 w^e5" og] 4.10.5 保存设计和性能 64 lLq:(zMH 4.10.6 默认设计 64 ^gY^I`"e6 4.11 图表 64 sOegR5?; 4.11.1 合并曲线图 67 BB&7VSgc- 4.11.2 自适应绘制 68 /1F5khN 4.11.3 动态绘图 68 gr?[KDl~ 4.11.4 3D绘图 69 s}NE[Tw 4.12 导入和导出 73 T2Q`Ax7 4.12.1 剪贴板 73 }IM *Vsk 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 g]sc)4 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1$&(ei]*: 4.13 背景 77 [YbnpI 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 owz6j: 4.15 生成Rugate 84 Ifghyh<d 4.16 参考文献 91 S${n:e0\ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 'P1I-ue 5.1 Jobs 92 s<f<:BC 5.2 创建一个新Job(工作) 93 9~
[Sio~ 5.3 输入材料 94 i(hI\hD 5.4 设计数据文件夹 95 G4=R4'hC 5.5 默认设计 95 A2fc_A/a 6 细化和合成 97 I\%a< 6.1 优化介绍 97 `1AVw]k 6.2 细化 (Refinement) 98 ~J:cod 6.3 合成 (Synthesis) 100 I{e[Y_ 6.4 目标和评价函数 101 WInfn f+' 6.4.1 目标输入 102 &!|' EW 6.4.2 目标 103 qhFWQ1W 6.4.3 特殊的评价函数 104 cZ6Zx] 6.5 层锁定和连接 104 l[Hgh, 6.6 细化技术 104 4'Svio 6.6.1 单纯形 105 T1\LS*~! 6.6.1.1 单纯形参数 106 #le1
^
<w7 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 !'y9/ 6.6.2.1 Optimac参数 108 cym<uh-Wg^ 6.6.3 模拟退火算法 109 n};:*N!
v 6.6.3.1 模拟退火参数 109 MLbmz\8a 6.6.4 共轭梯度 111 ?pE)K<+Zkf 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 |ia#Elavo 6.6.5 拟牛顿法 112 P2U^%_~ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 U`G 6.6.6 针合成 113 #@rvoi 6.6.6.1 针合成参数 114 >S<`ri'5_ 6.6.7 差分进化 114 }0Q_yuzx0m 6.6.8非局部细化 115 36
&ghx 6.6.8.1非局部细化参数 115 C;mcb$@ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Pdq}~um3{ 6.7.1 细化 116 ,~z*V;y) 6.7.2 合成 117 )=~OP>7B 6.8 参考文献 117 O)bc8DyI 7 导纳图及其他工具 118 IE^xk@ 7.1 简介 118 v[++"=<
o8 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 }Kt`du= 7.2.1 四分之一波长规则 119 V8Lp%*(3 7.2.2 导纳图 120 M<nKk#!+h 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 0Yzm\"Ggv 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 -2o_ L? 7.5 斜入射导纳图 141 *H2@lrc 7.6 对称周期 141 Fv| )[>z0 7.7 参考文献 142 tsYBZaH 8 典型的镀膜实例 143
Gx&o3^ t 8.1 单层抗反射薄膜 145 r]sNI[ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 -~Ll;}nZC 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 xtWwz}^8] 8.4 W-膜层 148 bS1?I@ 8.5 V-膜层 149 -o+<m4he 8.6 V-膜层高折射基底 150 4p}?QR>tZ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 W@bZ~Q9 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 [w1 4hHnq 8.9 四层抗反射薄膜 153 })V^t3 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 IqA'Vz,lL 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ?:sk [f6 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 SS)9+0$ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 eYpK!9 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 rpB0?h!$ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 o)V@|i0Js 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 MWl2;qi 8.17 1/4波长堆栈 162 4X}.aZO&b 8.18 陷波滤波器 163 ~K7$ZM 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 V_x8
Q+~? 8.20 褶皱 165 HQy:,_f@ 8.21 消偏振分光器1 169 a3f-9LN 8.22 消偏振分光器2 171 io[>`@= 8.23 消偏振立体分光器 172 !l(O$T9T 8.24 消偏振截止滤光片 173 ;h7W(NO~z 8.25 立体偏振分束器1 174 l_2B 8.26 立方偏振分束器2 177 #CV;Np 8.27 相位延迟器 178 ?LwBF;Y 8.28 红外截止器 179 Sc.@u3 8.29 21层长波带通滤波器 180 >z"\l
8.30 49层长波带通滤波器 181 k#oe:u`< 8.31 55层短波带通滤波器 182 ;%ng])w=; 8.32 47 红外截止器 183 B-1Kfc 8.33 宽带通滤波器 184 _{
Np_(g 8.34 诱导透射滤波器 186 2]UwIxzR 8.35 诱导透射滤波器2 188 _k|k$qxE 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 t+l{D#?a
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 )wM881_! 8.35 增益平坦滤波器 193 O{<uW- 8.38 啁啾反射镜 1 196 RSTA!?K/. 8.39 啁啾反射镜2 198 KHTR oXt 8.40 啁啾反射镜3 199 K_Q-9j 8.41 带保护层的铝膜层 200 y0R9[;b07 8.42 增加铝反射率膜 201 ~_]i'ii8 8.43 参考文献 202 !r#36kO 9 多层膜 204 kM;}$*? 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 sqv!,@*q 9.2 内部透过率 204 6N#0D2~^ 9.3 内部透射率数据 205 4;|@eN 9.4 实例 206 g9.y`o}c 9.5 实例2 210 Oj F]K,$ 9.6 圆锥和带宽计算 212 Y(<(!TJ- 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 =j!nt8]8 10 光学薄膜的颜色 216 s}93nv*ez 10.1 导言 216 TB%NHq-! 10.2 色彩 216 84g8$~M 10.3 主波长和纯度 220 X
2Zp@q( 10.4 色相和纯度 221 n|'}W+ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 }nK=~Wcu\ 10.6 色差 226 3-T"[tCe 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 GTocN1,Z~a 10.8 颜色渲染指数 234 qCI0[U@ 10.9 色差计算 235 >h9T/J8 10.10 参考文献 236 ~5;2 ni8n 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 2~y<l 11.1 短脉冲 238 "+Kp8n6 11.2 群速度 239 [NU@A >H 11.3 群速度色散 241 sHPK8Wsg 11.4 啁啾(chirped) 245 ~j36(`t 11.5 光学薄膜—相变 245 68()2v4X 11.6 群延迟和延迟色散 246 cR6Rb[9 N 11.7 色度色散 246 k fY0u 11.8 色散补偿 249 Yc-gJI*1 11.9 空间光线偏移 256 QR\2%}9b 11.10 参考文献 258 ] ]lN[J 12 公差与误差 260 J93@\b 12.1 蒙特卡罗模型 260 +ZJ1> n 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 [l*;+N+ 12.2.1 误差工具 267 iTVepYv4m 12.2.2 灵敏度工具 271 y(yBRR 12.2.2.1 独立灵敏度 271 _X~xfmU 12.2.2.2 灵敏度分布 275 c{{RP6o/j= 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Y?4N%c_; 12.3 参考文献 276 M=sGPPj 13 Runsheet 与Simulator 277 KN:V:8:J 13.1 原理介绍 277 4vMjVbr 13.2 截止滤光片设计 277 jyFKO[s\X 14 光学常数提取 289 *XkgwJq 14.1 介绍 289 5gZ* 14.2 电介质薄膜 289 ja%IGaH;s 14.3 n 和k 的提取工具 295 3Lm7{s?=Z- 14.4 基底的参数提取 302 V5!mV_EoR@ 14.5 金属的参数提取 306 (L,>P`CR6 14.6 不正确的模型 306 a\xf\$Ym 14.7 参考文献 311 yaK4% k 15 反演工程 313 {S"! c. 15.1 随机性和系统性 313 t $u. 15.2 常见的系统性问题 314 `##^@N<P 15.3 单层膜 314 uX8G<7O^ 15.4 多层膜 314 nyx(0 15.5 含义 319 jP )VTk_ 15.6 反演工程实例 319 r}|a*dh'R 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 rds0EZ4 W 15.6.2 反演工程提取折射率 327 4Ep6vm X 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 LYMb)=u] 16.1 光学性质的热致偏移 329 [g@.dr3t 16.2 应力工具 335 _YA;Nd#%k 16.3 均匀性误差 339 !4}Wp. 16.3.1 圆锥工具 339 K j6@= 16.3.2 波前问题 341 "64D.c(r$ 16.4 参考文献 343 g)=-%n'RoE 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 iz:O]kI 17.1 引言 345 S<Uv/pn 17.2 操作数 345 tREC)+*\ 18 如何在Function中编写脚本 351 r~; TId} # 18.1 简介 351 uE&2M>2 18.2 什么是脚本? 351 RsnFjfb' 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Vee;& 18.4 基础 352 `m\l#r2C 18.4.1 Classes(类别) 352 tybM3VA 18.4.2 对象 352 dRXdV7-! 18.4.3 信息(Messages) 352 S!R:a>\ 18.4.4 属性 352 Rqun}v} 18.4.5 方法 353 ke5_lr( 18.4.6 变量声明 353 l/6(V: 18.5 创建对象 354 {AO`[ 18.5.1 创建对象函数 355 2-DJ3OL]k 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Vv.q{fRvYB 18.5.3 丢弃对象 356 j)lgF: 18.5.4 总结 356 Kc{~Q 18.6 脚本中的表格 357 nm
!H< 18.6.1 方法1 357 7=@MnF` 18.6.2 方法2 357 9I*i/fa 18.7 2D Plots in Scripts 358 #yR@.&P 18.8 3D Plots in Scripts 359 )Zit6I 18.9 注释 360 8@BN6 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Q) Y&h'.( 18.11 一个更高级的脚本 362 Y[`%j\= 18.12 <esc>键 364 \j~LxV 18.13 包含文件 365 [p 8fg!| 18.14 脚本被优化调用 366 $6yr:2Xvt 18.15 脚本中的对话框 368 hG>3y\!# 18.15.1 介绍 368 Q=.j>aM+_ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 o,DI7sb 18.15.3 输入框函数 370 KGsW*G4U= 18.15.4 自定义对话框 371 tzSg`7H! 18.15.5 对话框编辑器 371 O<`\9 18.15.6 控制对话框 377 |p
@,]cz 18.15.7 更高级的对话框 380 .>|]Lo(=l 18.16 Types语句 384 vV /fTO 18.17 打开文件 385 a3(q;^v 18.18 Bags 387 @P
xX]e 18.13 进一步研究 388 >Wr 19 vStack 389 Mf.:y 19.1 vStack基本原理 389 P] 9-+ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 U\`H0' 19.3 五棱镜 393 X?Z#k~JR 19.4 光束距离 396 [iT#Pu5 19.5 误差 399 6>;dJV 19.6 二向分色棱镜 399 N!#TK9 19.7 偏振泄漏 404 /b~|(g31" 19.8 波前误差—相位 405 9lCZi? 19.9 其它计算参数 405 1F58 2 l 20 报表生成器 406 eXsFPM 20.1 入门 406 *<T,Fyc| 20.2 指令(Instructions) 406 F/zbb 20.3 页面布局指令 406 <aEY=IF4 20.4 常见的参数图和三维图 407 S!wY6z 20.5 表格中的常见参数 408 *kWrF* )J 20.6 迭代指令 408 4e 55 20.7 报表模版 408 w`F4.e 20.8 开始设计一个报表模版 409 RB `<Zw 21 一个新的project 413 d!]fou 21.1 创建一个新Job 414 K/+w6d 21.2 默认设计 415 F3V_rE< 21.3 薄膜设计 416 =#ls<Zo: 21.4 误差的灵敏度计算 420 4'ymPPY 21.5 显色指数计算 422 iPoDesp 21.6 电场分布 424 jM DG 后记 426 ;\N${YIn
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