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TmX~vZ 内容简介 M?$-u Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 x6,S#p 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 `?=AgGg 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 {%S1x{U}W- 6tG9PG98q9 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Q1&: +7% 目录 #wM0p:< Preface 1 z^}T=
$& 内容简介 2 f^%vIB ~[ 目录 i J4lE7aFDA~ 1 引言 1 eIof{# 2 光学薄膜基础 2 tMyD^jVC 2.1 一般规则 2 7Zu!s]t 2.2 正交入射规则 3 ~01rc 2.3 斜入射规则 6 wM!QU{Lz 2.4 精确计算 7 4f"be 2.5 相干性 8 hH[JY(V 2.6 参考文献 10 gs'bv#4yd 3 Essential Macleod的快速预览 10 b> 2u>4 4 Essential Macleod的特点 32 %WCpn<) 4.1 容量和局限性 33 Z[({; WtF 4.2 程序在哪里? 33 =$BgIt 4.3 数据文件 35 _/E>38G] 4.4 设计规则 35 S$JM01 4.5 材料数据库和资料库 37 }doj4 4.5.1材料损失 38 wc__g8?' 4.5.1材料数据库和导入材料 39 _|tg#i|Om 4.5.2 材料库 41 7*`ldao~ 4.5.3导出材料数据 43 &I!2gf 4.6 常用单位 43 &LL81u6=S 4.7 插值和外推法 46 6f1;4Jfp 4.8 材料数据的平滑 50 ?;{A@icr 4.9 更多光学常数模型 54 @KS:d\l}U 4.10 文档的一般编辑规则 55 Y
=`3L 4.11 撤销和重做 56 89 fT?tT 4.12 设计文档 57 JHO9d:{- 4.10.1 公式 58 uN`ACc)ESi 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ,cC4d` 4.10.3 沉积密度 59 ojIh;e 4.10.4 平行和楔形介质 60 %eT/:I 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 UNY>Q7 4.10.4 性能 61 gWWy!H 4.10.5 保存设计和性能 64 Ip2JzE 4.10.6 默认设计 64 %0u7pk 4.11 图表 64 >eUAHmXQ| 4.11.1 合并曲线图 67 xc*ys-Nv 4.11.2 自适应绘制 68 o9eK7*D 4.11.3 动态绘图 68 ]e"NJkcm 4.11.4 3D绘图 69 R2~Rqlti 4.12 导入和导出 73 d!wd,Xj} 4.12.1 剪贴板 73 w[|!$J? 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 <#R7sco' 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 hF2
G{{8A 4.13 背景 77 6Jj)[ R\5= 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 np>*O }r* 4.15 生成Rugate 84 |
c8u 4.16 参考文献 91 E RMh% C 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 MPGQ4v i& 5.1 Jobs 92 r% B5@+{so 5.2 创建一个新Job(工作) 93 oFIs,[Go 5.3 输入材料 94 G&n_vwZ% 5.4 设计数据文件夹 95 pxY5S}@ 5.5 默认设计 95 -#Wc@\; 6 细化和合成 97 zzW^AvR 6.1 优化介绍 97 9X*q^u 6.2 细化 (Refinement) 98 75v*&- 6.3 合成 (Synthesis) 100 [R Ch7FE23 6.4 目标和评价函数 101 nwkhGQ 6.4.1 目标输入 102 .#Sd|C]R7 6.4.2 目标 103 { aB_t%`w 6.4.3 特殊的评价函数 104 ]
2b@mX 6.5 层锁定和连接 104 ]kKsGch 6.6 细化技术 104 ' Uc|[l]
6.6.1 单纯形 105 z&t6,0q`5 6.6.1.1 单纯形参数 106 d5],O48A 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 {9=U6m^R2 6.6.2.1 Optimac参数 108 8vP d~te 6.6.3 模拟退火算法 109 [%h^qJ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 j<gnh 6.6.4 共轭梯度 111 #pVk%5N 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 dm 2_Fj 6.6.5 拟牛顿法 112 k~hL8ZT[ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 )1i)I?m 6.6.6 针合成 113 %%3ugD5i! 6.6.6.1 针合成参数 114 eVlI:yqppj 6.6.7 差分进化 114 Cy2X>Tl"<E 6.6.8非局部细化 115 ~&qe"0 6.6.8.1非局部细化参数 115 [ z&y]~ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 N4}h_mh^' 6.7.1 细化 116 >l7
o/*4 6.7.2 合成 117 WW_X:N~~e\ 6.8 参考文献 117 N CsUC 7 导纳图及其他工具 118 lA ,%'+- 7.1 简介 118 oC?b]tzj 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 1ii.nt1u 7.2.1 四分之一波长规则 119 xFvSQ`sp 7.2.2 导纳图 120 =kCpCpET 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 mee-Qq:} 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 n/8fv~zU 7.5 斜入射导纳图 141 [+%*s3`c# 7.6 对称周期 141 ~/.&Z`ls 7.7 参考文献 142 G.N3R 8 典型的镀膜实例 143
m$cM+ 8.1 单层抗反射薄膜 145 dy0!Zz 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 npe*A 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 CkflEmfe 8.4 W-膜层 148 )a6i8b3 8.5 V-膜层 149 8<G@s`* 8.6 V-膜层高折射基底 150 :,u+[0-S 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 SVpe^iQ]1\ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 <zUmcZ 8.9 四层抗反射薄膜 153 S
xg Yq 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 .Q#Eb %% 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 iVl"H@m/ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 IrVeP&KM+ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 C8jZcs#4 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 XR&*g1 8.15十五层宽带抗反射膜 159 t3WlVUtq3 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ruW6cvsvet 8.17 1/4波长堆栈 162 :G`_IB\ 8.18 陷波滤波器 163 Y#m0/1- 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 PNG'"7O 8.20 褶皱 165 #}gc6T~0 8.21 消偏振分光器1 169 msCAC*;, 8.22 消偏振分光器2 171 i a|F 8.23 消偏振立体分光器 172 IW46-;l7 8.24 消偏振截止滤光片 173 HC0puLt_ 8.25 立体偏振分束器1 174 ;F:(5GBi 8.26 立方偏振分束器2 177 N,O[pTwj 8.27 相位延迟器 178
r({(; 8.28 红外截止器 179 GphG/C ( 8.29 21层长波带通滤波器 180 +X&B' 8.30 49层长波带通滤波器 181 YnMph0\Y^ 8.31 55层短波带通滤波器 182 x=Ru@n K; 8.32 47 红外截止器 183 O{4m-; 8.33 宽带通滤波器 184 UFl*^j_)] 8.34 诱导透射滤波器 186 "K@os< 8.35 诱导透射滤波器2 188 q@\D5F%
> 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 U8c0C/ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 QO
k%Q$^G 8.35 增益平坦滤波器 193 Jk~T.p?tF 8.38 啁啾反射镜 1 196 8O7JuR 8.39 啁啾反射镜2 198 3Q#VD) 8.40 啁啾反射镜3 199 7~65 @&P> 8.41 带保护层的铝膜层 200 l(`w]=t& 8.42 增加铝反射率膜 201 a0n
F U 8.43 参考文献 202 0s8S`hCn> 9 多层膜 204 3)xV-Y9 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 q4Z\y 9.2 内部透过率 204 (u*]&yk 9.3 内部透射率数据 205 pUPb+:^R 9.4 实例 206 x88$#N>Q5 9.5 实例2 210 0Icyi#N 9.6 圆锥和带宽计算 212 + ]__zm/^ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 N7E[wOP 10 光学薄膜的颜色 216 mA4v 4z 10.1 导言 216 [W2p }4( 10.2 色彩 216 !At _^hSqz 10.3 主波长和纯度 220 Qj=l OhM 10.4 色相和纯度 221 *n*OVI8L 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 tQ)8HVKF 10.6 色差 226 kgQEg)A]!x 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 `KL`^UqR 10.8 颜色渲染指数 234
V`%m~#Me 10.9 色差计算 235 /Ly%-py-$ 10.10 参考文献 236 "qF&%r' 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 eL(T 11.1 短脉冲 238 [qy@g5` 11.2 群速度 239 '*T7tl 11.3 群速度色散 241 *s!8BwiE 11.4 啁啾(chirped) 245 Ri,UHI4 W 11.5 光学薄膜—相变 245 C*KRu`t 11.6 群延迟和延迟色散 246 lf Giw^ 11.7 色度色散 246 We9mkwK7C 11.8 色散补偿 249 2`lit@u&u 11.9 空间光线偏移 256 RJWlG'i 11.10 参考文献 258 o`#;[
12 公差与误差 260 "16==tLFE 12.1 蒙特卡罗模型 260 +zlaYHj 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 8IX6MfR}C 12.2.1 误差工具 267 U,]z)1#X| 12.2.2 灵敏度工具 271 sFGXW 12.2.2.1 独立灵敏度 271 :;JJvYIs 12.2.2.2 灵敏度分布 275 qH-dT,`"{ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 )kkO:j 12.3 参考文献 276 y /PEm)=Tt 13 Runsheet 与Simulator 277 K=~h1qV: 13.1 原理介绍 277 lP@9%L 13.2 截止滤光片设计 277 >g F 14 光学常数提取 289 4];NX 14.1 介绍 289 :n>h[{o% 14.2 电介质薄膜 289 Qn<<&i~ 14.3 n 和k 的提取工具 295 `R; ct4- 14.4 基底的参数提取 302 =}V`O> 14.5 金属的参数提取 306 ?d_Cy\G 14.6 不正确的模型 306 EatpORq 14.7 参考文献 311 YZoH{p9f 15 反演工程 313 }R
J2\CP 15.1 随机性和系统性 313 OixQlAb{ 15.2 常见的系统性问题 314 31_5k./ 15.3 单层膜 314 XjX<?W 15.4 多层膜 314 <H 3}N! 15.5 含义 319 un\"1RdO 15.6 反演工程实例 319 |d Soq~Vz 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 H\ NO4= 15.6.2 反演工程提取折射率 327
PL
VF 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 SQliF[- 16.1 光学性质的热致偏移 329 )`U T#5 16.2 应力工具 335 mB!81%f%| 16.3 均匀性误差 339 ;z[yNW8 16.3.1 圆锥工具 339 is`a_{5e= 16.3.2 波前问题 341 K|s+5>]W/[ 16.4 参考文献 343 i=SX_#b^ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 2 1;n0E 17.1 引言 345 PCFm@S@Q 17.2 操作数 345 fCTjTlh 18 如何在Function中编写脚本 351 (57x5qP
X 18.1 简介 351 BgE]xm 18.2 什么是脚本? 351 u{\`*dNx 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 TM"i9a? ; 18.4 基础 352 EKDv3aFQZ# 18.4.1 Classes(类别) 352 xxedezNko 18.4.2 对象 352 L=VuEF 18.4.3 信息(Messages) 352 9t)t-t#P; 18.4.4 属性 352 $y`|zK|G- 18.4.5 方法 353 ~fS#)X3 D 18.4.6 变量声明 353 t=U[ ;? 18.5 创建对象 354 2/h Mx- 18.5.1 创建对象函数 355 '9b<r7\@ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 b^%4_[uRu 18.5.3 丢弃对象 356 )"q2DjfX* 18.5.4 总结 356 ,;{mH]"s 18.6 脚本中的表格 357 v|`)~"~ 18.6.1 方法1 357 z? cRsqf 18.6.2 方法2 357 HM<V$
R 18.7 2D Plots in Scripts 358 $YW z~^f 18.8 3D Plots in Scripts 359 lQ)8zI 18.9 注释 360 WLizgVM 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 dLo%+V#/A 18.11 一个更高级的脚本 362 jIEK[vJ` 18.12 <esc>键 364 ; xs?^N| 18.13 包含文件 365 VGe/;&1h 18.14 脚本被优化调用 366 b@,w/Uw[* 18.15 脚本中的对话框 368 (D))?jnC 18.15.1 介绍 368 ^&.F! 18.15.2 消息框-MsgBox 368
kH{axMNc 18.15.3 输入框函数 370 LtCkDnXk 18.15.4 自定义对话框 371 6g<JPc 18.15.5 对话框编辑器 371 ;}:"[B3$ 18.15.6 控制对话框 377 ku\_M 18.15.7 更高级的对话框 380 E|Z Y2&J`4 18.16 Types语句 384 *BSL=8G{ 18.17 打开文件 385 9}5Q5OZ 18.18 Bags 387 n /rQ*hr 18.13 进一步研究 388 #opFUX- 19 vStack 389 8)sqj= 19.1 vStack基本原理 389 JSO>rpO 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 kkqrlJO| 19.3 五棱镜 393 uD<*g(R 19.4 光束距离 396 R`/nsou 19.5 误差 399 8 v&5)0u 19.6 二向分色棱镜 399 zQ7SiRt7* 19.7 偏振泄漏 404 -V<i4X<|,+ 19.8 波前误差—相位 405 \alRBH qE 19.9 其它计算参数 405 9B<y w. 20 报表生成器 406 D<nTo&m_ 20.1 入门 406 U4Qc$&j> 20.2 指令(Instructions) 406 X8Gw8^t 20.3 页面布局指令 406 Ei}B9 &O 20.4 常见的参数图和三维图 407 @8Co5`CVl 20.5 表格中的常见参数 408 `yc.A%5 20.6 迭代指令 408 .w&{2,a3 20.7 报表模版 408 3A'd7FJ0G 20.8 开始设计一个报表模版 409 K\o! 21 一个新的project 413 jLcW;7OAC 21.1 创建一个新Job 414 I:='LH, 21.2 默认设计 415 G!%1<SLi. 21.3 薄膜设计 416 E7y<iaA{~ 21.4 误差的灵敏度计算 420 ?EKYKLwr 21.5 显色指数计算 422 p2tBF98 21.6 电场分布 424 ]%G[<zD,1 后记 426 eK`n5Z&Y\
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