白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
8i$quHd&x \tR](, / W^dk: 1. 建模任务 _yx~t iM
\3~3' 2. 干涉条纹的变化 V9KI?}q:W
RHO| g0 1M@OBfB8 3. VirtualLab Fusion概览 M9[52D!{ YA+jLy6ZL 8w4-Ud*$i 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 .+ezcG4q 设置输入场
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JOD3>U 定义组件的位置和方向
&~4;HjS 2Xw=kw u 正确设置通道以进行非顺序跟踪
Q)]C~Q (U_`Q1Jo 使用
参数运行检查影响/变化
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C}4 5. VirtualLab Fusion 技术 Tumv0=q4wd "aL.`^.