白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
G(#t,}S}@ msfE; b- t 1. 建模任务 /R=MX>JA; ,
%z HykP 2. 干涉条纹的变化 ztSQrDbbb4
~,1Sw7rE !a F~5P7% 3. VirtualLab Fusion概览 |R@T`dW ~KMah +@3+WD 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 xLoQ0rt
6 设置输入场
0,ryy,2 iUR ij@ 定义组件的位置和方向
jD9u(qAlH lNg){3 正确设置通道以进行非顺序跟踪
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2 使用
参数运行检查影响/变化
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_(h=@cv 04|ZwX$>+ 5. VirtualLab Fusion 技术 8ex;g^e PZ8,E{V