白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
zM\IKo_" }M?|,N6 D2Vv\f 1. 建模任务 a>?p.!BM >F~ITk5`Oo 2. 干涉条纹的变化 ;9vIa7L&
Vp\80D& 3Cd<p[%3#, 3. VirtualLab Fusion概览 q>P[n z% !^]q0x /t$*W\PL@ 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 q$|0)} 设置输入场
>^;(c4C r:.6"VQu} 定义组件的位置和方向
"B~WcC yW{mK 正确设置通道以进行非顺序跟踪
NQg'|Pt(% +*: }p 使用
参数运行检查影响/变化
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TmK 5. VirtualLab Fusion 技术 A0UV+ -PP cB_pyX9Z