白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
BG_m}3j tSV}BM, 6Xb\a^q 1. 建模任务 ]:(>r&' FY)v rM*yh 2. 干涉条纹的变化 C'4u+raq
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} 3. VirtualLab Fusion概览 *[*LtyCQt4 BQ{Gp 2N O+%Y1=S[WQ 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 gV1&b
(h 设置输入场
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nNsq(4 定义组件的位置和方向
vmK<_xbwd $IX>o&S@| 正确设置通道以进行非顺序跟踪
r5%K2q{ -%*>z'|{ 使用
参数运行检查影响/变化
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O Ul+es 1dh_"/ 5. VirtualLab Fusion 技术 x tg3~/H '31pb9@fH