白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
>vXS6`; :m36{# C=bQ2t=Z 1. 建模任务 eIOMW9Ivt X`fm5y 2. 干涉条纹的变化 g1 =>u
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v ]wS 3. VirtualLab Fusion概览 t^2$ent GiKhdy 4O:HT m 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 !}sF# 设置输入场
v5&W)F N36B*9m&p 定义组件的位置和方向
cM\BEhh Kw2]J)TO 正确设置通道以进行非顺序跟踪
{R/e1-; WO6+r?0M2 使用
参数运行检查影响/变化
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kh8 M= D={$l'y9p 5. VirtualLab Fusion 技术 *$3p3- ,c
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