白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
E.}Zmr#H f,1rmX1 ~EN@$N^h 1. 建模任务 (ZnA#% I/tzo(r 2. 干涉条纹的变化 Z-Uq89[HZ
Cfj*[i4 K!9=e7|P 3. VirtualLab Fusion概览 iqU}t2vFrj N
8OPeY Y/+ D4^L 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 p)oW'#@a 设置输入场
_)|!.r&)63 *0U(nCT&m 定义组件的位置和方向
O []+v ]X5*e' 正确设置通道以进行非顺序跟踪
rQWft r^ H)p{T@ 使用
参数运行检查影响/变化
#Kl;iY:n %:y-"m1\u$ eAqQ~)8^
i{8=; 9\xw}ph 5. VirtualLab Fusion 技术 d.
a> (G jIl-}/2