白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
G|yX9C]R UcDJ%vI z_eP 1. 建模任务 4em7PmT =8j;!7p 2. 干涉条纹的变化 h%(dT/jPL)
S'HM|& +}X?+Epm 3. VirtualLab Fusion概览 Zbxd,|<| 7ju7QyR y>u+.z a| 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 |^Z1 D TAw 设置输入场
hZ.Sj~>7` R)t"`'6| 定义组件的位置和方向
rSB"0W7 {SW104nb 正确设置通道以进行非顺序跟踪
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参数运行检查影响/变化
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