白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
4!,`|W1 '{I YANVT O>~ozW& 1. 建模任务 {Bd 0 Y{v\m(D 2. 干涉条纹的变化 +. ` I
>i:hdcxe q n2X._` 3. VirtualLab Fusion概览 =w#sCy sfuA
{c'v gb,X"ODq 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 omEnIfQSO 设置输入场
Qjl.O HO _w\A=6=q| 定义组件的位置和方向
m-h+UKt 'nR'o /! 正确设置通道以进行非顺序跟踪
N %K%0o- MNzWTn@ 使用
参数运行检查影响/变化
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'GJ'Vli 4#c-?mh_ 5. VirtualLab Fusion 技术 g/v"E+ S.$/uDwo