白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
gN?0m4[$i zmI5"K"'F H"+wsM^@ 1. 建模任务 p1D()- xP{-19s1] 2. 干涉条纹的变化 1}!L][(
:.$"kXm^
ExCM<$, 3. VirtualLab Fusion概览 tMFsA`ng Seda } aG!
*WHt 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 R&#tSL 设置输入场
nUc;/ KCUU#t|8V\ 定义组件的位置和方向
BwxnDe G) 3OP.12^ 正确设置通道以进行非顺序跟踪
QR"bYQ B3mS] 使用
参数运行检查影响/变化
)TU<:V ;
0ko@ \Lq =&7@<vBpy
6tn+m54_ O*G1 QX 5. VirtualLab Fusion 技术 @2
=z}S3O SfW}"#L>5