白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
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goQ A&X(\ c M 1. 建模任务 8\HL8^6c5 VI7f} 2. 干涉条纹的变化 =(:{>tO_"
"<uaG?: "S)2<tV 3. VirtualLab Fusion概览 5S`_q& 6t/nM ~XGBE 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 ? 3
{&" 设置输入场
u U Xj e^2e[rp0 定义组件的位置和方向
Tlc3l}B*Z &<hDl<E 正确设置通道以进行非顺序跟踪
A2>rS Y|JC+Ee 使用
参数运行检查影响/变化
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5. VirtualLab Fusion 技术 ,p2BB"^_i ;^+#