白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
b r^_'1 )d$glI+ i 4%xfN 1. 建模任务 hvuIxqv !y @1 U&UH 2. 干涉条纹的变化 .Y3pS/VI
YR>B_,Gl Sz^5b! 3. VirtualLab Fusion概览 _%B^9Yl3( v}tag#f5>? rSHpS`\ou 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 DVK)2La 设置输入场
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定义组件的位置和方向
<oWB0% NLr PSqz 正确设置通道以进行非顺序跟踪
VGceD$< '{J&M|<A 使用
参数运行检查影响/变化
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~<k,#^"}X 7G\\{ 5. VirtualLab Fusion 技术 mdq;R*` t: IN,Kl4