白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
&us8,x6yg :W1,s53 "L8V!M_e 1. 建模任务 Q|ik\ rM?D7a{q 2. 干涉条纹的变化 mlVv3mVyR<
Q%eBm_r; .vW~(ZuD 3. VirtualLab Fusion概览 "^XN"SUw 3LXpe8$lJ N"T8
Pt 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 eGTK^p 设置输入场
?ft_ p9s~WD/K 定义组件的位置和方向
%I.{umU 8^R>y 正确设置通道以进行非顺序跟踪
L}21[ N~ky #>- rKv.A 使用
参数运行检查影响/变化
^m+W f%|S>(
W^Rb~b^?
|E~X]_Y ;9I#>u 5. VirtualLab Fusion 技术 iit`'}+U 3?%kawO&