白光
干涉测量法是一种非接触式技术,用于精确测量,例如表面轮廓和微小位移。使用迈克尔逊
干涉仪设置和氙灯
光源,在
VirtualLab Fusion中演示了白光干涉测量。考虑到光源的
光谱特性,即有限的相干长度,结果显示仅当两个臂的路径长度几乎相同时才出现干涉图案。
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?A:0a tE(_Cg 2. 干涉条纹的变化 3vC"Q!J&
@ i*It Hk F[5sFkM7 3. VirtualLab Fusion概览 'Z}3XVZEN J-U5_>S !l|fzS8g 4. VirtualLab Fusion中的工作流程 {W11+L{8 设置输入场
A8T75?lL( '?O_(%3F0 定义组件的位置和方向
Y=$PsDh! 1@<PcQBp 正确设置通道以进行非顺序跟踪
CY</v,\:# ;k fl5 使用
参数运行检查影响/变化
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5@~ 5. VirtualLab Fusion 技术 Q^ }Ib[ g/(3D