!<W^Fh
k~HS_b*]d SWPb=[WEz 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
]q CCCI` 0>)F+QC 设计任务 't<hhjPqY t'im\_$F
Ft^+P* _W^{,*p 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
&NB"[Mm:@ ypV>* 扫描参数空间以获取初始解 !R@s+5P)U
v JPX`T|
#xBh62yIuP b?deZ2"L# 初始解#1的参数优化 r"\g6<RP
YCnKX<Wv
P2>Y0"bY atmTI`i 最终设计#1的性能分析 V/W{d[86G
4VrL@c
@
[2Ot=t6] :]+p#l 初始解#2的参数优化 OXIy0].b
3}25=%;[
Mv#\+|p 1x x!QA* M 最终设计#1的性能分析 Kb,#Ot 2"C,u V@F!
6V^KOG ,J ZM%f VirtualLab Fusion一瞥 'ghwc:Og|%
cNvh2JI
#)
bqn|0l l_z@.</8P@ VirtualLab Fusion中的工作流程 UgAG2 C:$pAE( 构建
光栅结构
^dCSk== )!jX$bK 分析光栅
衍射效率
#,PB( $G@^!( 使用参数运算寻找初始解
7R5!(g
#23m_w^L 使用参数优化确定最终解
f+W8Gszi tj;<EaM VirtualLab Fusion技术 <N}*|z7=b
11jDAA(|
]/y69ou