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:?1r.n t__UqCq~h 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
!>$tRW?gH~ |7@[+ 设计任务 2-G he3 {XC1B
;6o p|O 4]c.mDo[T 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
DDdMWH^o7 dP8b\H 扫描参数空间以获取初始解 QR'yZ45n4
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:W'Yt9v) Z i-)PK^ 初始解#1的参数优化 aA Hx^X^
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==H{c1F 最终设计#1的性能分析 anwMG0
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Xg>nb1e KPGo*mY 初始解#2的参数优化 $[zy|Y(
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CXqU<a& R~40,$e{ 最终设计#1的性能分析 fIOI u&)+~X
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FHuA VirtualLab Fusion一瞥 l7G&[\~
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JA!O,4 x!CCSM;q VirtualLab Fusion中的工作流程 ElNKCj<M g_z%L?N 构建
光栅结构
NABwtx>. 8BUPvaP<[ 分析光栅
衍射效率
Q v/}WnBk G(7!3a+ 使用参数运算寻找初始解
zyNg?_SM _tE`W96J 使用参数优化确定最终解
#7S[Ch}O UEeD Nl$^u VirtualLab Fusion技术 O][R"5d
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