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Kd-1EU MOD&3>NI 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
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}$!sNIm Y_CVDKdcY 设计任务 S[K5ofV +b-ON@9]J`
4SI~y;c) ?CAU+/ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
V8/d27\ wGti|7Tu* 扫描参数空间以获取初始解 ZK]qQrIwy
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<;Hb7p3N Y2DL%'K^ 初始解#1的参数优化 geR
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,4H? + |! ? uYO]!VC 最终设计#1的性能分析 'u<e<hU
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6RbDc* w80X~ 初始解#2的参数优化 LWM<[8wJ4
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\na$Sb+ sLA.bp.O VirtualLab Fusion一瞥 %AO6=
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zdwQpB,+^ Dd1k? VirtualLab Fusion中的工作流程 6>)fNCe` iTinZ!Ut 构建
光栅结构
iAH,f5T 9W=(D|,, 分析光栅
衍射效率
L~5f*LE$1 |X=p`iz1& 使用参数运算寻找初始解
{>hxmn
7SHllZ 使用参数优化确定最终解
9CS"s_ 0Ye/ VirtualLab Fusion技术 QT+kCN
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