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~<3qsA.. f8)D| 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
8f% @ TdP_L/>|J 设计任务 phUno2fH _tL*sA>[~)
-@G|i$! _n2PoE:5@P 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
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t#f 3Qe:d_ 扫描参数空间以获取初始解 VY@uQ#&A
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,qpn4`zE~ mUzNrkG(G 初始解#1的参数优化 0X -u'=Bs
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[bJ/$A *8U+2zgfC 最终设计#1的性能分析 tOwwgf
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UKQ,]VC cg<10KT 初始解#2的参数优化 ";9cYoKRY
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QR'"Zw&q5/ U}6'_ PRQ 最终设计#1的性能分析 B @UaaWh FgNO# %
R*E/E 4>{q("r, VirtualLab Fusion一瞥 PX[taDN
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Et%s,zeA{2 N6$pOQ VirtualLab Fusion中的工作流程 6CLrP}
u d37l/I 构建
光栅结构
]~87v !~m)_Q5?~ 分析光栅
衍射效率
+XJj:%yt e\ k=T} 使用参数运算寻找初始解
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Yc9Ij 使用参数优化确定最终解
DL|,:2` u1ggLH!U VirtualLab Fusion技术 [U]*OQH`e
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