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dDsjPM;2 i<B: 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
x:!C(Ep) i,mrMi
c# 设计任务 w> Tyk#7lw DZ%g^DRZX
!w @1!Xpn1 M(_^'3u 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
`Ev A\f I{`KKui<M 扫描参数空间以获取初始解 >{phyByI
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_fVh%_oH1 l81&[ 初始解#1的参数优化 V}vl2o
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3I'M6WA ,maAw}= 最终设计#1的性能分析 f}L>&^I)
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>P<k[vF v< 65(I> 初始解#2的参数优化 LFk5rv'sM0
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`ENlV9 2(+RIu0d 最终设计#1的性能分析 g`%ED0aR n/KI"qa]9
g_rA_~dh wQF&GGYR VirtualLab Fusion一瞥 Q\&AlV
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xTa4.ZXg NYSj^k;^(z VirtualLab Fusion中的工作流程 &LCUoTzj wc<2Uc 构建
光栅结构
DBj;P|L_ (hhdbf 分析光栅
衍射效率
|% M{kA- k7z(Gbzu 使用参数运算寻找初始解
"-0pz\a 0Zc*YdH 使用参数优化确定最终解
N}8HK^n* *eJhd w* VirtualLab Fusion技术 q3,P|&T
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