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;mO,3dV *kaJ*Ti-/ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
j$eCe<.3 Ugi5OKdj7) 设计任务 7;HUE!5,^l _1JmjIH)M
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YSh D Mr6E/7g% 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
$P?{O3:V fkW(Dt, 扫描参数空间以获取初始解 'TEyP56
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I=YCQ VvA .]Ybp2`"U 初始解#1的参数优化 ,L-C(j
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",Wf uz b~!om 最终设计#1的性能分析 k.Zll,s
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P`sN&Y~m g)M#{"H 初始解#2的参数优化 * NMQ
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}'jV/ -]&<Sr- 最终设计#1的性能分析 DN|vz}s SY6r 8RK
r"]Oe$[# \|!gPc%s VirtualLab Fusion一瞥 /:6Q.onmLn
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wU0K3qZL s1@@o#r VirtualLab Fusion中的工作流程 A}eOR=E >PH< N 构建
光栅结构
|Y4q+sDW J_/05(48 分析光栅
衍射效率
j@g!R!7) NlFo$Y 使用参数运算寻找初始解
0(vdkC4\A 7+S44)w}~ 使用参数优化确定最终解
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"Y?*{ VirtualLab Fusion技术 akrCs&Kka5
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