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对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
*asv^aFpS Sc/l.]k+ 设计任务 \
a,}1FS C\;l)h_{
h x&"f e cM3B5Lp 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
%4),P(4N J@2wPKh?Yp 扫描参数空间以获取初始解 `BK b60
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`MCiybl,&P Yj1|]i5b 初始解#1的参数优化 Vj 9X6u}{
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N|$9v{ j_ ]t~.?)Ad+2 最终设计#1的性能分析 S'8+jY
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wR@>U.XT@ Q&xH VirtualLab Fusion一瞥 &H%/.4la
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#i@f%Bq- 'z5jnI VirtualLab Fusion中的工作流程 Lm~<BBp. 4h@,hY1# 构建
光栅结构
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aF 分析光栅
衍射效率
'*mZ/O- sFz0:SqhE 使用参数运算寻找初始解
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C&IR* u6Gqg(7hw 使用参数优化确定最终解
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' VirtualLab Fusion技术 k3qQU)
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