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GVu" 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
oc.H}Eb%Z db$wKvO1 设计任务 dx['7l;I #B7_5y^
sevaNs *m2{6N_ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
!DsKa6Zj A[20ic 扫描参数空间以获取初始解 j8/rd
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JU^{!u >C,=elM 初始解#1的参数优化 y9W6e"
b0W~*s [4
/C)mx#h] xXG-yh 最终设计#1的性能分析 S!!i
=TImx.D:
{m1=#* -*q:B[d 初始解#2的参数优化 bvHF;Qywg
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MbY?4i00%h E`vCYhf{ 最终设计#1的性能分析 vLQ!kB^\W ho*44=j
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14 VirtualLab Fusion一瞥 U~{fbS3,
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so[i"ZM) ]fc9m~0N,\ VirtualLab Fusion中的工作流程 ZJUTti D z?o16o-: 构建
光栅结构
a<AT;Tc TR2X' `:O 分析光栅
衍射效率
R7~H}>uaF Y=RdxCCx4 使用参数运算寻找初始解
&Xr@nt0H w74)kIi 使用参数优化确定最终解
n_G< /8 02g!mJW>}y VirtualLab Fusion技术 5Ym/'eT
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