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H;D5)eJ90 apy9B6%PJ+ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
xw2dNJL }Y9= 3X 设计任务 ! W2dMD/ meJ%mY
FglW|Hwy Es]:-TR 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
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{J~VB~(' pE4yx5r5 VirtualLab Fusion中的工作流程 7ILb&JQ!%{ u;G-46 构建
光栅结构
T;C0t9Yew eXA@J[-M: 分析光栅
衍射效率
WzhY4"p *G&3NSM- 使用参数运算寻找初始解
ssY5g !% j"5 $m@lgn 使用参数优化确定最终解
Gr&YzbSX N!lQ;o' VirtualLab Fusion技术 ;Z 6ngS
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