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r]*?:4y[ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
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设计任务 D#&9zR86F U 3a2wK
Xs052c|s dXh[Ea^ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
f-|?He4O] UF!qp 扫描参数空间以获取初始解 o(SPT?ao~
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]H !ru y<FC7 初始解#1的参数优化 &6vaLx
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!y b06Z\f -4Hb]#*2 最终设计#1的性能分析 ~6t!)QATnp
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-13}]Gls7Q %@vF% 初始解#2的参数优化 2]mV9B
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MTtx|L\4 ,<%uG6/",g 最终设计#1的性能分析 66pjWS
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]oV{JR] Q<V(#)* VirtualLab Fusion一瞥 v=@y7P1
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J]TqH`MA L=#NUNiXr VirtualLab Fusion中的工作流程 x9Z89Gwi ,N(Yjq"R 构建
光栅结构
J~5V7B L6_%SGY_iE 分析光栅
衍射效率
-SM_JR3< j$q5m 24L 使用参数运算寻找初始解
m:h6J''<Z* BFW b0;+ 使用参数优化确定最终解
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VirtualLab Fusion技术 PN 93.G(W
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