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2:~cJk{ 25&nwz 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
*#GDi'0 3FY_A(+ 设计任务 #'iPDRYy c.-cpFk^L&
`$f2eB& iP,v=pS6 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
PS/W
h S|) J{~QH 扫描参数空间以获取初始解 )O -cw7 >
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BDp:9yau R9q0,yQW 初始解#1的参数优化 -[<vYxX:h:
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-O /T?H bkkSIl+Q 最终设计#1的性能分析 pd7O`.3
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15JsmA*Q ]*a@*0= 初始解#2的参数优化 cp|:8 [
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mDlCt_h IY03" 最终设计#1的性能分析 F/xCG nP- )kF2HF
7\f{'KL *afejjW[ VirtualLab Fusion一瞥 rI *!"PL
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X;(oz]tr$ Fdr*xHx$P VirtualLab Fusion中的工作流程 gU u&Vy\ l$=Gvb 构建
光栅结构
gh'kUZG
a ~ t"n%SgY 分析光栅
衍射效率
VZt;P%1;h T0s35z9 使用参数运算寻找初始解
"wC0eDf An/>05| 使用参数优化确定最终解
Imke/ =h XNKtL]U}$ VirtualLab Fusion技术 *&h6*zP?
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