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d`M]>EDXp +vR$% 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
e~Hx+Qp.G SiBhf3
设计任务 Ujw J}j ?z
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k5= Ai99:J2k 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
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T76h 扫描参数空间以获取初始解 <M//zXa
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v\LcZt`} }PdHR00^ 初始解#1的参数优化 F.nJXZnJ
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oN0p$/La Ib$*w)4: 最终设计#1的性能分析 |(mr&7O
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,}9 G|$ W> ZL[BQ 初始解#2的参数优化 N{lj"C]L
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W6kDQ&q ]}K\&ho2 最终设计#1的性能分析 ^iWcuh_n < C{-ph
pI__< CA0SH{PdW& VirtualLab Fusion一瞥 c^N'g!on
8XwZJ\5
_.E y_K_1 dr25;L? B VirtualLab Fusion中的工作流程 @@!Mt~\ 95`Q=I|i 构建
光栅结构
a!`b`r-4 yQ^k%hHa 分析光栅
衍射效率
\,U#^Vr /zB;1%m- 使用参数运算寻找初始解
pHW
Qk z( Q}a, f75 使用参数优化确定最终解
|*~=w J_ 1x\Vz\ VirtualLab Fusion技术 t}Z*2=DO
OokBi 02b
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