~k34#j:J65
g/C 7wc JM;bNW8 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
j#f/M3 3.YH7rN
设计任务 wwl,F=| Y )FwOg;=3M"
ftY&Q#[ R"OT&:0/ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
`:lcN0n Mg\588cI 扫描参数空间以获取初始解 lB27Z}
Qb@j8Xa4[
),{3LIr #N`'hPD} 初始解#1的参数优化 p+P@I7V
r^"o!,H9q
6Y [&1c8 k?h{6Qd 最终设计#1的性能分析 VQ!4(
<XD
)[hs#nKTh
.U(6])%;@ xd3mAf 初始解#2的参数优化 )%jS9e{d
w8D8\`i!"
pW ~;B*hF IRM jL.q 最终设计#1的性能分析 26~rEOgJ q"Bd-?9
UP-2{zb |? >
X
AB# VirtualLab Fusion一瞥 hak#Iz0[C
|g7)A?2J~
1%M^MT%& Yaq0mef0 VirtualLab Fusion中的工作流程 Z2{$FN 2h5T$[fV 构建
光栅结构
~@@t-QY w+rw<,u% 分析光栅
衍射效率
HV`u#hZ7C e77s?WxbK 使用参数运算寻找初始解
?Zv5iI yzpa\[^ 使用参数优化确定最终解
L,_U co a:|]F| VirtualLab Fusion技术 [9?]|4
qjfv9sU
9^SrOW6~