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Tz&h[+ 6` 7}pg7EF3z 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
"kjSg7m*: Y<_;8%S 设计任务 z:&/O&? q
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|w5,%#AeO$ Q!r` G 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
/0XmU@B !.499H3 扫描参数空间以获取初始解 MHA_b^7?
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?}(B8^ RNt9Qdr4y 初始解#1的参数优化 {HFx+<JG
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>Sb3]$$ pm[+xM9PB 最终设计#1的性能分析 \m=k~Cf:f
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e%IbME]x ` }B,w-,io 初始解#2的参数优化 IsDwa qd|
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.hnq>R\ 3$.#\*s_4 VirtualLab Fusion中的工作流程 QlS_{XV DWN9_*{ 构建
光栅结构
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q Zay%QNsb 分析光栅
衍射效率
gEw9<Y U2v;GIo$yU 使用参数运算寻找初始解
WpRM|"CF }F|B'[wn 使用参数优化确定最终解
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/Z VirtualLab Fusion技术 ^]Z@H/]H
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