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Do?P<x o 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
^GN8V-X4y R)!`JKeO/ 设计任务 ,1Qd\8N9 '%v#v 3'
Np)3+!^1" X7UBopm& 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
O`FqD{@V $#o1MX 扫描参数空间以获取初始解 ps1YQ3Ep&
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3l!NG=R D-9\~gvh 初始解#1的参数优化 `=tyN@VC
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Hv#q:R8 D)='8jV7 最终设计#1的性能分析 dAx96Og:X"
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'p)Q68;& QhGXBM 初始解#2的参数优化 jyW[m,#(go
(J:dK=O@Z
eN0P9.eqM Mjpo1dw 最终设计#1的性能分析 jStmS2n ']51jabm
pLoy /<)-q-W; VirtualLab Fusion一瞥 .I?@o8'x
A,i()R'I
^.X [)U !MZw#=D` VirtualLab Fusion中的工作流程 O]u",J5 \Z5+$Ij 构建
光栅结构
7u11&(Lz ^kj=<+ v# 分析光栅
衍射效率
K6\` __mLf jy$@a%FD 使用参数运算寻找初始解
O@U?IF$ [p;*r)f2} 使用参数优化确定最终解
f|0lj 3VCqp13 VirtualLab Fusion技术 /MMtTB
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