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NUh%\{ %l%2 hvGZ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
Az?^4 1r8 @,G\`;Ma 设计任务 Nd;pkssd jQfnc:'
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&8" ) 0}:Wh&g 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
ka`}lR r0\C2g_X 扫描参数空间以获取初始解 7#N= GN
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(II#9n) egWfKL&iy 初始解#1的参数优化 4z OFu/l6R
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v(uNqX.BC ;<F^&/a|yQ 最终设计#1的性能分析 ),%@X
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e?GzvM'2 ! bX VirtualLab Fusion一瞥 #,"[sag
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~JtKSq% ?|Wxqo VirtualLab Fusion中的工作流程 6jov8GIAt ZxCXru1 构建
光栅结构
vNm4xa% 3]&le[. 分析光栅
衍射效率
IFt aoK zvv/|z2(r 使用参数运算寻找初始解
k~QmDq VAdUd { 使用参数优化确定最终解
iQiXwEAi[ w[^lxq VirtualLab Fusion技术 2UBAk')O}
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