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{v<Ig{{V 内容简介
{.;MsE Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 *>zr'Tt,W 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 qvhTc6oH 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 !9OAMHa*9 H&`p9d*(e 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 Nl PP|=o 目录 xw]Zo<F Preface 1 `N
;!=7y7Y 内容简介 2 NTls64AS. 目录 i qEX59v 1 引言 1 _sJp"4? 2 光学薄膜基础 2 DJT)7l { 2.1 一般规则 2 C5 ^_R 2.2 正交入射规则 3 {Km|SG[-q 2.3 斜入射规则 6 @ U:WWTzf 2.4 精确计算 7 HO}aLp 2.5 相干性 8 q1`uS^3` 2.6 参考文献 10 +#,t 3 Essential Macleod的快速预览 10 XNd:x{ 4 Essential Macleod的特点 32 noGMfZ1 4.1 容量和局限性 33 W)$;T%u 4.2 程序在哪里? 33 ^FF{71; 4.3 数据文件 35 [}}oHm3& 4.4 设计规则 35 :G,GHU'/78 4.5 材料数据库和资料库 37 E+UOuf*( 4.5.1材料损失 38 WcbJ4Ore 4.5.1材料数据库和导入材料 39 9F ).i 4.5.2 材料库 41 OA&N WAm4 4.5.3导出材料数据 43 Cf2rRH 4.6 常用单位 43 Nbuaw[[iz 4.7 插值和外推法 46 5"]PwC 4.8 材料数据的平滑 50 : :e=6i 4.9 更多光学常数模型 54 _nOio ? 4.10 文档的一般编辑规则 55 $bD 3 4.11 撤销和重做 56 82efqzT 4.12 设计文档 57 M'R^?Jjb 4.10.1 公式 58 /Y|9!{. 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 )u'oI_ 4.10.3 沉积密度 59 C[_{ $j(J 4.10.4 平行和楔形介质 60 ^kt#[N 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 X}h{xl 4.10.4 性能 61 HC+(FymV 4.10.5 保存设计和性能 64 at
]Lz_\ 4.10.6 默认设计 64 /,$6`V 4.11 图表 64 ^5QSV\X 4.11.1 合并曲线图 67 ]'DtuT?Z 4.11.2 自适应绘制 68 pG:FDlR~ 4.11.3 动态绘图 68 I^0bEwqZ~ 4.11.4 3D绘图 69 rS{Rzs^@ 4.12 导入和导出 73 /p?h@6h@y 4.12.1 剪贴板 73 U_Emp[ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 -Y2h vC 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ,`S"nq 4.13 背景 77 dD@T}^j *| 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 M@
! {m 4.15 生成Rugate 84 akrEZ7A 4.16 参考文献 91 Z!^iPB0~D 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 }m\ 5.1 Jobs 92 OfbM]:}<3 5.2 创建一个新Job(工作) 93 4}LGE> 5.3 输入材料 94 QJvA 5.4 设计数据文件夹 95 `+k&]z$m 5.5 默认设计 95 %l5Uy??Z 6 细化和合成 97 ?N&"WL^| 6.1 优化介绍 97 H:a(&Zb 6.2 细化 (Refinement) 98 yrE|cH'f0 6.3 合成 (Synthesis) 100 p+#uPY1# 6.4 目标和评价函数 101 #eR*|W7o 6.4.1 目标输入 102 yngSD`b_P 6.4.2 目标 103 J:M^oA'N:> 6.4.3 特殊的评价函数 104 ^mkplp
a 6.5 层锁定和连接 104 d=Q0/sI& 6.6 细化技术 104 '~<D[](/F 6.6.1 单纯形 105 11%^K=dq 6.6.1.1 单纯形参数 106 i*nNu-g 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 'FO^VJ;ha 6.6.2.1 Optimac参数 108 V:2|l!l* 6.6.3 模拟退火算法 109 6*tI~ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 y~]>J^ 6.6.4 共轭梯度 111 pc:~_6S 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 C(xdiQJh 6.6.5 拟牛顿法 112 ^Me__Y 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Y[
a$~n^:n 6.6.6 针合成 113 li$(oA2 6.6.6.1 针合成参数 114 CP["N(fF 6.6.7 差分进化 114 coyy T 6.6.8非局部细化 115 ^W3xw[{ 6.6.8.1非局部细化参数 115 eiJ $}\qJL 6.7 我应该使用哪种技术? 116 QVQe9{ "0 6.7.1 细化 116 L&. 9.Ll 6.7.2 合成 117 7o'kdYJzo 6.8 参考文献 117 ro|dB 7 导纳图及其他工具 118 `:R8~>p 7.1 简介 118 $
[0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 v>;6pcp[F 7.2.1 四分之一波长规则 119 ko=vK%E[ 7.2.2 导纳图 120 FJ}/g
? 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Jd7+~isu~ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 BQ2DQ7q 7.5 斜入射导纳图 141 q: ?6 7.6 对称周期 141 nH/V2>Lm 7.7 参考文献 142 zxT&K| 8 典型的镀膜实例 143 D-69/3 PvP 8.1 单层抗反射薄膜 145 [8l8m6 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ikw_t? 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 bX=A77 8.4 W-膜层 148
BJB'o 8.5 V-膜层 149 @'7'3+ c 8.6 V-膜层高折射基底 150 (wo.OH 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 3l-8TR 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 o/)]z 8.9 四层抗反射薄膜 153 z|<6y~5, 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 B24wn8< 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 j_j~BXhIS 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 (w6 024~ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 LS?3 >1g 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 )xoI H{ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 VNp[J'a>VZ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 r@%-S!$ 8.17 1/4波长堆栈 162 BwEO2a{ 8.18 陷波滤波器 163 ?WKFDL'_0j 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Gh>Rt=Qu% 8.20 褶皱 165 R]/3`X9!d> 8.21 消偏振分光器1 169 6H53FMqr 8.22 消偏振分光器2 171 -V%"i,t 8.23 消偏振立体分光器 172 kL*
DU` 8.24 消偏振截止滤光片 173 L(fOe3
v 8.25 立体偏振分束器1 174 &l/2[>D%4 8.26 立方偏振分束器2 177 pi7W8y
8.27 相位延迟器 178 L 1H!o!* 8.28 红外截止器 179 SRRqIQz 8.29 21层长波带通滤波器 180 |~Z.l 8.30 49层长波带通滤波器 181 @aAB#, 8.31 55层短波带通滤波器 182 }i ^]uW*h 8.32 47 红外截止器 183 F;kY5+a7~e 8.33 宽带通滤波器 184 &z+nNkr?yN 8.34 诱导透射滤波器 186 $^?Mip 8.35 诱导透射滤波器2 188 64fa0j~<*M 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 7;2j^qPr 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 b8r?Dd"T8 8.35 增益平坦滤波器 193 |D~mLs;& 8.38 啁啾反射镜 1 196 bC{}&a 8.39 啁啾反射镜2 198 "3(""0Q 8.40 啁啾反射镜3 199 iP]KV.e'/C 8.41 带保护层的铝膜层 200 ~k^rI jR 8.42 增加铝反射率膜 201 3X=9$xw_ 8.43 参考文献 202 lmi,P-Q 9 多层膜 204 LP-~; 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 T~8= =Z{[ 9.2 内部透过率 204 -GCC 9.3 内部透射率数据 205 MHeUh[%( 9.4 实例 206 w9<<|ZaU 9.5 实例2 210 ePv3M&\J 9.6 圆锥和带宽计算 212 |r>+\" X 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 _~/F- 10 光学薄膜的颜色 216 zo6|1xq 10.1 导言 216 * ?x$q/a 10.2 色彩 216 S81%iz.n 10.3 主波长和纯度 220 :tBIo7 10.4 色相和纯度 221 Q3[MzIk 4 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Y3=5J\d!a 10.6 色差 226 H=RzY-\a% 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 u1a0w 10.8 颜色渲染指数 234 /Jj7+? 10.9 色差计算 235 %A64AJZ 10.10 参考文献 236 <:/Lap#D^ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Ne#FBRu5 11.1 短脉冲 238 M(8dKj1+ 11.2 群速度 239 h;cl+c|B 11.3 群速度色散 241 Q]$gw,H"6 11.4 啁啾(chirped) 245 xY4g2Q
J 11.5 光学薄膜—相变 245 IJa6W`} 11.6 群延迟和延迟色散 246 fIe';a 11.7 色度色散 246 >M~1{ 11.8 色散补偿 249 J=7.-R|t 11.9 空间光线偏移 256 <` [o|>A Z 11.10 参考文献 258 !ij
R 12 公差与误差 260 -w' 12.1 蒙特卡罗模型 260 5|O~ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 J>Pc@,y 12.2.1 误差工具 267 ,2oF t\`.r 12.2.2 灵敏度工具 271 6<1
2j7 12.2.2.1 独立灵敏度 271 m';j#j)w 12.2.2.2 灵敏度分布 275 bpP-wA^Hd 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
IR JN 12.3 参考文献 276 -&q@|h' 13 Runsheet 与Simulator 277 ;>hRj! 13.1 原理介绍 277 @=_4i&]$ 13.2 截止滤光片设计 277 rebnV&- 14 光学常数提取 289 3bYPi^ 14.1 介绍 289 pPL)!=o! 14.2 电介质薄膜 289 m.F}9HI%hN 14.3 n 和k 的提取工具 295 jkAWRpOc) 14.4 基底的参数提取 302 '3<T~t 14.5 金属的参数提取 306 dCA| ) 14.6 不正确的模型 306 I]GGmN 14.7 参考文献 311 (A(j.[4a 15 反演工程 313 s>J\h 15.1 随机性和系统性 313 D/[;Y<X#V 15.2 常见的系统性问题 314 \-Vja{J] 15.3 单层膜 314 M(
w'TE@ 15.4 多层膜 314 5
w-Pq&q 15.5 含义 319 ^?M# |> 15.6 反演工程实例 319 (aC~0
#4 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 =/5^/vwgY 15.6.2 反演工程提取折射率 327 GFGW'}w- 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 i+q tL3 16.1 光学性质的热致偏移 329 &u`EYxT 16.2 应力工具 335 TWSqn'<E 16.3 均匀性误差 339 E)3Ah! 16.3.1 圆锥工具 339 :$6mS[@| 16.3.2 波前问题 341 c,CcKy;+ 16.4 参考文献 343 o|G'vMph 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 p=!12t 17.1 引言 345 -kF8ZF 17.2 操作数 345 bv^wE,+?o 18 如何在Function中编写脚本 351 Mz7qC3Z 18.1 简介 351 :6gRoMb] 18.2 什么是脚本? 351 6Y`rQ/F 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 *{:Zdg'~E 18.4 基础 352 tm1#Lh0 18.4.1 Classes(类别) 352 (H^)wDb 18.4.2 对象 352 HPMj+xH 18.4.3 信息(Messages) 352 C'~Eq3 18.4.4 属性 352 <
]"Uy p 18.4.5 方法 353 o 9rZ&Q< 18.4.6 变量声明 353 oRo[WQla 18.5 创建对象 354 hbdB67, 18.5.1 创建对象函数 355 R ;k1(p 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 2c*w{\X 18.5.3 丢弃对象 356 6E@TcN~,! 18.5.4 总结 356 R
X N0v@V 18.6 脚本中的表格 357 buldA5*!o 18.6.1 方法1 357 `+h+X9 18.6.2 方法2 357 3xk-D &" 18.7 2D Plots in Scripts 358 4wKQs&: 18.8 3D Plots in Scripts 359 !J&UO/q. 18.9 注释 360 8-_atL 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 H Y~[/H+: 18.11 一个更高级的脚本 362 2T?8{yO7 18.12 <esc>键 364 `@xnpA]l 18.13 包含文件 365 cG"wj$'w 18.14 脚本被优化调用 366 L\hid/NL 18.15 脚本中的对话框 368 {SF'YbY 18.15.1 介绍 368 *ESi~7;# 18.15.2 消息框-MsgBox 368 MQe|\SMd 18.15.3 输入框函数 370 \3& |