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]rmBM 内容简介 Y Y:BwW: Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 =8kmFXo 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 30Q
p^)K 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 vh9* >[i #x%'U}sF 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 P:qmg"i@3 目录 qfkHGW?1/j Preface 1 weitDr6 内容简介 2 z`y9<+ 目录 i {Z.6\G&q 1 引言 1 |m19fg3u 2 光学薄膜基础 2 g;IlS*Ld 2.1 一般规则 2 "q4tvcK. 2.2 正交入射规则 3 ,w
}Po 2.3 斜入射规则 6 adON&< 2.4 精确计算 7 ?mQ^"9^XS 2.5 相干性 8 I-7LT?r 2.6 参考文献 10 W+XWS,( 3 Essential Macleod的快速预览 10 0ju1>.p 4 Essential Macleod的特点 32 9N]Xa 4.1 容量和局限性 33 '[F:uA 4.2 程序在哪里? 33 .u`[|:K 4.3 数据文件 35 \/-c) 4.4 设计规则 35 ?I.9?cQXZ 4.5 材料数据库和资料库 37 ejRK-! 4.5.1材料损失 38 ^\)a[OWp 4.5.1材料数据库和导入材料 39 5:Qz 4.5.2 材料库 41 ."K>h3(&V 4.5.3导出材料数据 43 X@nBj;
4.6 常用单位 43 Vs>Pv$kW 4.7 插值和外推法 46 _MBa&XEM 4.8 材料数据的平滑 50 <J[le= 4.9 更多光学常数模型 54 8WP>u8& 4.10 文档的一般编辑规则 55 >&L|oq7$ 4.11 撤销和重做 56 yI w}n67 4.12 设计文档 57 > =>/~dIb 4.10.1 公式 58 a(Y'C`x 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 |J`EM7qMK 4.10.3 沉积密度 59 J=V 4.10.4 平行和楔形介质 60 lwnO 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 iP/v"g"g 4.10.4 性能 61 BEZ~<E&0H 4.10.5 保存设计和性能 64 !\]^c 4.10.6 默认设计 64 WlL(NrVA@@ 4.11 图表 64 `s}* 4.11.1 合并曲线图 67 NgNGq\! 4.11.2 自适应绘制 68 3f|}p{3 4.11.3 动态绘图 68 >nSsbhAe 4.11.4 3D绘图 69 6*8Wtq 4.12 导入和导出 73 LvG.ocCG 4.12.1 剪贴板 73 a+h$u 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 wNONh`b 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 }v1wpv/b( 4.13 背景 77 bT,:eA 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 P-m_], 4.15 生成Rugate 84 rK~-Wzwu 4.16 参考文献 91 {+N<
9(O 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 +vc +9E.?9 5.1 Jobs 92 ,|%KlHo^ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ~{x1/eH 5.3 输入材料 94 `CK~x= 5.4 设计数据文件夹 95 6)HmE[[F 5.5 默认设计 95 hW7u#PY 6 细化和合成 97 [%IOB/{N 6.1 优化介绍 97 !3Dq)ebBz 6.2 细化 (Refinement) 98 4^_6~ YP7 6.3 合成 (Synthesis) 100 Rq4;{a/j 6.4 目标和评价函数 101 MB}nn&u# 6.4.1 目标输入 102 :cpj{v;s 6.4.2 目标 103 J,a&"eOZ 6.4.3 特殊的评价函数 104 $0* sjXV 6.5 层锁定和连接 104 WR+j?Fcf 6.6 细化技术 104 u09Tlqh0 3 6.6.1 单纯形 105 6#w>6g4V~R 6.6.1.1 单纯形参数 106 uH_KOiF 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 0Q3U\cDr 6.6.2.1 Optimac参数 108 B`pBIUu 6.6.3 模拟退火算法 109 ; :e7Z^\/k 6.6.3.1 模拟退火参数 109 J_s`G 6.6.4 共轭梯度 111 UG1<Xfu| 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 z*3b2nV 6.6.5 拟牛顿法 112 bC&A@.g{ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 b[%@3 }E 6.6.6 针合成 113 T2{e1 =Z7 6.6.6.1 针合成参数 114 FT).$h~+4 6.6.7 差分进化 114 x07 = 6.6.8非局部细化 115 "+DA)K 6.6.8.1非局部细化参数 115 B=Hd:P| 6.7 我应该使用哪种技术? 116 *i#2>=) 6.7.1 细化 116 /08FV|tX) 6.7.2 合成 117 HOW<IZ^ 6.8 参考文献 117 O{ :{P5 7 导纳图及其他工具 118 j
}~?&yB 7.1 简介 118 {R$`YWk 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 (}#&HE< 7.2.1 四分之一波长规则 119 l;$F[/3a 7.2.2 导纳图 120 XY0kd&N8 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 gI:g/ R 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Q0*E&;| 7.5 斜入射导纳图 141 v gW(l2,@ 7.6 对称周期 141 hvt]VC]] 7.7 参考文献 142 \Y# 8 典型的镀膜实例 143 "|\hTRQ 8.1 单层抗反射薄膜 145 lL}6IZ5sb 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 _/[qBe 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 s>9I#_4] 8.4 W-膜层 148 :?f<tNU$ 8.5 V-膜层 149 Rtf<UhUn 8.6 V-膜层高折射基底 150 2%/F`_XbP 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 +\dVC,,=^g 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 lp*5;Ls'q 8.9 四层抗反射薄膜 153 /%YW[oY{V 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 l&& i` 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ^Ks1[xc* ` 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 A-x^JC= 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 at>_EiS 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ;QZG< 8.15十五层宽带抗反射膜 159 r*HSi.'21 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ,~L*N*ML
8.17 1/4波长堆栈 162 /fQcrd7h 8.18 陷波滤波器 163 -J]?M 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 }3
/io0"D 8.20 褶皱 165 ]H`wE_2tu 8.21 消偏振分光器1 169 t%@iF
U;} 8.22 消偏振分光器2 171 |dIR v 8.23 消偏振立体分光器 172 Y58H.P 8.24 消偏振截止滤光片 173 U<6)CW1; 8.25 立体偏振分束器1 174 LM<*VhX 8.26 立方偏振分束器2 177 '{`KYKLP+ 8.27 相位延迟器 178 9WHE4'Sa 8.28 红外截止器 179 %/eG{oh- 8.29 21层长波带通滤波器 180 dcKpsX 8.30 49层长波带通滤波器 181 +kI}O*s 8.31 55层短波带通滤波器 182 Q-) ( s 8.32 47 红外截止器 183 .)*&NY!nsl 8.33 宽带通滤波器 184 nS#F*) 8.34 诱导透射滤波器 186 \Y,P 8.35 诱导透射滤波器2 188 Jq1oQu|rs 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 df{?E): 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 IO7z}![V; 8.35 增益平坦滤波器 193 e{6wFN 8.38 啁啾反射镜 1 196 )~M@2;@L 8.39 啁啾反射镜2 198 zBm~ J% 8.40 啁啾反射镜3 199 CW;zviH5 8.41 带保护层的铝膜层 200 ( w4XqVT 8.42 增加铝反射率膜 201 <B%wq>4S 8.43 参考文献 202 c |%5SA 9 多层膜 204 kwi$% 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 MdX4Rp' 9.2 内部透过率 204 4#t'1tzu# 9.3 内部透射率数据 205 @Z0. }}Y 9.4 实例 206 `&I6=,YLp 9.5 实例2 210 2NFk#_9e~ 9.6 圆锥和带宽计算 212 b$w66q8 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 28JVW3&) 10 光学薄膜的颜色 216 9#H0|zL 10.1 导言 216 H:b"Vd"x9 10.2 色彩 216 &[`24Db 10.3 主波长和纯度 220 UXZ3~/L5 O 10.4 色相和纯度 221 YBY;$&9 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 9f['TG," 10.6 色差 226 t:dvgRJt* 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ?23J(;)s 10.8 颜色渲染指数 234 DN9x<%/- 10.9 色差计算 235 d%@0xsU1 10.10 参考文献 236 6rS
? FG= 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 W}F~vx. 11.1 短脉冲 238 [6@bsXiw 11.2 群速度 239 T7YJC,^m 11.3 群速度色散 241 6oKlr,. 11.4 啁啾(chirped) 245 .KYs5Qu 11.5 光学薄膜—相变 245 =}ZY`O*/ 11.6 群延迟和延迟色散 246 ;E}&{w/My 11.7 色度色散 246 4PC'7V=S 11.8 色散补偿 249 )YCH>Za 11.9 空间光线偏移 256 1`II%mf[ 11.10 参考文献 258 zt((TD2 12 公差与误差 260 C&q}&=3r 12.1 蒙特卡罗模型 260 M|y!,/' 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 w8>lWgN 12.2.1 误差工具 267 ;[zZI~wh 12.2.2 灵敏度工具 271 @#"K6 12.2.2.1 独立灵敏度 271 E.'6p \ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 yyPj!<.MGP 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 =M{&g
12.3 参考文献 276 1>_$O|dE 13 Runsheet 与Simulator 277 xR'd}>` 13.1 原理介绍 277 ABEEJQ 13.2 截止滤光片设计 277 823y; 14 光学常数提取 289 }zo-%# 14.1 介绍 289 q9zeN:>< 14.2 电介质薄膜 289 uPFbKSJj 14.3 n 和k 的提取工具 295 cB;DB)0P 14.4 基底的参数提取 302 ^wIP`dn 14.5 金属的参数提取 306 Q1h v2*/U 14.6 不正确的模型 306 VuBi_v6 14.7 参考文献 311 N}|1oQkjf 15 反演工程 313 b9f5 15.1 随机性和系统性 313 Z\-Gr
2k 15.2 常见的系统性问题 314 TDtHRhq7 15.3 单层膜 314 qyIy xJ 15.4 多层膜 314 I
tn?''~; 15.5 含义 319 ht:L
L#b*( 15.6 反演工程实例 319 esTK4z] 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 F7p`zf@O] 15.6.2 反演工程提取折射率 327 8W.-Y|[5? 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 g2lv4Tiq- 16.1 光学性质的热致偏移 329 0Oq5;5 16.2 应力工具 335
*!EHs04 16.3 均匀性误差 339 +c'I7bBr 16.3.1 圆锥工具 339 Tq6@
1j6p 16.3.2 波前问题 341 F,5}3$ 16.4 参考文献 343 51%<N\>/4 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 .|ZnU]~T 17.1 引言 345 ,"5p=JX` 17.2 操作数 345 Z}O0DfT; 18 如何在Function中编写脚本 351 Io;26F"" 18.1 简介 351 &kOb#\11u 18.2 什么是脚本? 351 FLlL0Gu 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 qmpU{fs 18.4 基础 352 a'@?c_y;$ 18.4.1 Classes(类别) 352 H~qY7t 18.4.2 对象 352 ,wra f#UdP 18.4.3 信息(Messages) 352 6? (8KsaN 18.4.4 属性 352 `^E(P1oJ3 18.4.5 方法 353 *Oe;JqQkK 18.4.6 变量声明 353 ?@_,_gTQ 18.5 创建对象 354 iQaF R@ 18.5.1 创建对象函数 355 qo;F]v*pkK 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 E?f*Z{~, 18.5.3 丢弃对象 356 A7:W0Gg 18.5.4 总结 356 |}roR{gc| 18.6 脚本中的表格 357
)2,\Y 18.6.1 方法1 357 t#J
#DyY5 18.6.2 方法2 357 Y) 4D$9: 18.7 2D Plots in Scripts 358 <Gu dx>I 18.8 3D Plots in Scripts 359 2|^bDg;W+u 18.9 注释 360 ~Urj:l 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 jZY9Lx8o 18.11 一个更高级的脚本 362 (3G]- 18.12 <esc>键 364 7~q'3 N 18.13 包含文件 365 \E<)B# 18.14 脚本被优化调用 366 w4+bzdZ 18.15 脚本中的对话框 368 6{I5 23g 18.15.1 介绍 368 0ID
8L
[ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 pKSVT 18.15.3 输入框函数 370 Vi>kK|\b 18.15.4 自定义对话框 371 {z%%(,I 18.15.5 对话框编辑器 371 cYTX)]^u 18.15.6 控制对话框 377 dTP$7nfe 18.15.7 更高级的对话框 380 dkf?lmC+M 18.16 Types语句 384 )Nq$~aAm 18.17 打开文件 385 QSy #k~ 18.18 Bags 387 Om2
)$( 18.13 进一步研究 388 STB=#z 19 vStack 389 4d3PF`,H` 19.1 vStack基本原理 389 yz2NB?) 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 dDk<J;~jGJ 19.3 五棱镜 393
/m*vY` 19.4 光束距离 396 [w)6OT 19.5 误差 399 7[V'3 19.6 二向分色棱镜 399 `}u~nu< 19.7 偏振泄漏 404 >b/0i$8 19.8 波前误差—相位 405 #H1yjJQ /x 19.9 其它计算参数 405 .,x08M 20 报表生成器 406 nyPA`)5F0 20.1 入门 406 NLF{W|X 20.2 指令(Instructions) 406 *$_<|
g)9 20.3 页面布局指令 406 G";yqG 20.4 常见的参数图和三维图 407 U=%S6uL\bx 20.5 表格中的常见参数 408 GL1!Z3 20.6 迭代指令 408
n/UyMO3= 20.7 报表模版 408 5,qfr!hN, 20.8 开始设计一个报表模版 409 Fk
1M5Dm 21 一个新的project 413 NzRL(A6V 21.1 创建一个新Job 414 s 4}}MV3X 21.2 默认设计 415 t9x.O 21.3 薄膜设计 416 (F7!&] 8% 21.4 误差的灵敏度计算 420 Rm *"SG 21.5 显色指数计算 422 +;z4.C{gM 21.6 电场分布 424 '89D62\89 后记 426 Oy[t}*Ik
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