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e,|gr"$/ 内容简介 [W3X$r~- Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 x=cucZ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 <|l}@\iRX 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 - VJx)g b-
- tl@H 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 opH!sa@U 目录 3RaW\cWzg Preface 1 U;W9`JT<.f 内容简介 2 pq`uB 目录 i F` 7v 1 引言 1 ^2-
<XD) 2 光学薄膜基础 2 -gvfz&Lz 2.1 一般规则 2 d3:GmB . 2.2 正交入射规则 3 K T0t4XPM 2.3 斜入射规则 6 '^TeV= 2.4 精确计算 7 /K|(O^nw 2.5 相干性 8 p{5m5x 2.6 参考文献 10 sQ`G'<! 3 Essential Macleod的快速预览 10 @dv8 F
"v 4 Essential Macleod的特点 32 0Agse) 4.1 容量和局限性 33 2]vTedSOl 4.2 程序在哪里? 33 6C2~0b 4.3 数据文件 35 d/R!x{$-f 4.4 设计规则 35 o6vnl 4.5 材料数据库和资料库 37 KhND
pwO" 4.5.1材料损失 38 y7hDMQ c' 4.5.1材料数据库和导入材料 39 aqEZhMy 4.5.2 材料库 41 F6}RPk\=i 4.5.3导出材料数据 43 &Pb:P?I 4.6 常用单位 43 p
XXf5adl< 4.7 插值和外推法 46 U5kKT.M 4.8 材料数据的平滑 50 nsI+04[F 4.9 更多光学常数模型 54 \'Ae,q|w 4.10 文档的一般编辑规则 55 T[$-])iK 4.11 撤销和重做 56 Ms|c"?se 4.12 设计文档 57 p?f\/ 4.10.1 公式 58 _CHzwNU 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 3q'AgiW 4.10.3 沉积密度 59 ;~<To9O 4.10.4 平行和楔形介质 60 [eD0L71[ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 fz^j3'!\ 4.10.4 性能 61 ^m%#1Zd 4.10.5 保存设计和性能 64 #B5,k|"/,M 4.10.6 默认设计 64
] :;x,$k 4.11 图表 64 RKP,w% 4.11.1 合并曲线图 67 kY$EK]s 4.11.2 自适应绘制 68 5csh8i'V 4.11.3 动态绘图 68 12lX-~[[" 4.11.4 3D绘图 69 jM\{*!7b 4.12 导入和导出 73 Sy VGm@ 4.12.1 剪贴板 73 :C>7HEh-2_ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 T`!R
ki%~ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1*=ev,Z 4.13 背景 77 Nhs!_-_I 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 0cycnOd 4.15 生成Rugate 84 ,*iA38d.! 4.16 参考文献 91 KzVi:Hm 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 5z_d$.CIc 5.1 Jobs 92 ~gpxK{ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 @N4~|`?U 5.3 输入材料 94 MOD&3>NI 5.4 设计数据文件夹 95 LH4A!a] 5.5 默认设计 95 n- 2X?<_Z 6 细化和合成 97 #`u}#( 6.1 优化介绍 97 ,Iyc0 6.2 细化 (Refinement) 98 8vVE 6.3 合成 (Synthesis) 100 &q>8D' 6.4 目标和评价函数 101 ]B3](TH" 6.4.1 目标输入 102 ?CAU+/ 6.4.2 目标 103 hty'L61\z 6.4.3 特殊的评价函数 104 Qx4)'n 6.5 层锁定和连接 104 ,m<YSMKX 6.6 细化技术 104 \!\:p/f 6.6.1 单纯形 105 fc+-/!v 6.6.1.1 单纯形参数 106 1w=.vj<d8 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Jb"FY:/Qv+ 6.6.2.1 Optimac参数 108 A5Hx$.Z 6.6.3 模拟退火算法 109 QH-CZ6M 6.6.3.1 模拟退火参数 109 i]c{(gd` 6.6.4 共轭梯度 111 tQ9%rb 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ;NA5G:eQ 6.6.5 拟牛顿法 112 G^Gs/-
f 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 .u)KP*_ 6.6.6 针合成 113 |3FI\F;^q 6.6.6.1 针合成参数 114 `Xos]L'w 6.6.7 差分进化 114 T!H(Y4A 6.6.8非局部细化 115 |<c9ZS+ 6.6.8.1非局部细化参数 115 0ZjT.Ep 6.7 我应该使用哪种技术? 116 DKS1Sm6d0 6.7.1 细化 116 yF)J7a:U 6.7.2 合成 117 lBfthLBa 6.8 参考文献 117 \>5sW8P]H` 7 导纳图及其他工具 118 iLnW5yy 7.1 简介 118 %AO6= 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 r4mh:T4i 7.2.1 四分之一波长规则 119 []A9j?_w 7.2.2 导纳图 120 U:*rlA@_. 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ?r !kKMZ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 kx(beaf 7.5 斜入射导纳图 141 FXr^ 4B} 7.6 对称周期 141 [k$GUU,jY 7.7 参考文献 142 %:~Ah6R1 8 典型的镀膜实例 143 6vK`J"d{~D 8.1 单层抗反射薄膜 145 c$ /.Xp 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Gt*<Awn8 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 'b.jKkW7 8.4 W-膜层 148 J6CSu7Voa 8.5 V-膜层 149 ?c?@j}=?yY 8.6 V-膜层高折射基底 150 d`=
~8` 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 us.[wp'Sh 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 p-"C^=l 8.9 四层抗反射薄膜 153 9\Gk)0 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 _9=87u0 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 (LK@w9)i; 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 (/uN+ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ;:=j{,&dl[ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 cI[i v 8.15十五层宽带抗反射膜 159 p1'q{E+o* 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 >c0leT 8.17 1/4波长堆栈 162 &n| <NF 8.18 陷波滤波器 163 j(y<oxh 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 s#5#WNzP 8.20 褶皱 165 rCa]T@= 8.21 消偏振分光器1 169 @2"uJ6o 8.22 消偏振分光器2 171 p|gVIsg[-e 8.23 消偏振立体分光器 172 :WWHEZK 8.24 消偏振截止滤光片 173 FZgf"XM> 8.25 立体偏振分束器1 174 _i ztQ78 8.26 立方偏振分束器2 177 `pfgx^qG 8.27 相位延迟器 178 M%:\ ry4: 8.28 红外截止器 179 Ly(iq 8.29 21层长波带通滤波器 180 L<dh\5#p9Y 8.30 49层长波带通滤波器 181 }uMu8)Q 8.31 55层短波带通滤波器 182 ED8{ 8.32 47 红外截止器 183 eY`z\I 8.33 宽带通滤波器 184 $|7"9W}m* 8.34 诱导透射滤波器 186 nP*DZC0kE& 8.35 诱导透射滤波器2 188 Lf9s'o}.R 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 d1#lC*.Sg 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Wg %] 8.35 增益平坦滤波器 193 Pm P&Qje7 8.38 啁啾反射镜 1 196 5dv|NLl 8.39 啁啾反射镜2 198 \
3E%6L 8.40 啁啾反射镜3 199 t~qSiHw 8.41 带保护层的铝膜层 200 ]foS.D, 8.42 增加铝反射率膜 201 Fdl0V:< 8.43 参考文献 202 \0lQ1FrY 9 多层膜 204 v3[ZPc;; 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 j(I(0Yyh 9.2 内部透过率 204 V?t*c [ 9.3 内部透射率数据 205 T=w0T-[f 9.4 实例 206 EQoK\.;
G~ 9.5 实例2 210 rk%pA-P2 9.6 圆锥和带宽计算 212 _H U>T 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 PM@_ZJ'x 10 光学薄膜的颜色 216 \gT({XU? 10.1 导言 216 _l)3pm6 10.2 色彩 216 Lwtp,.)pR 10.3 主波长和纯度 220 `!X8Cn
10.4 色相和纯度 221 @sa_/LH!K 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 y+^KVEw 10.6 色差 226 VSO(DCr"L 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Rex86!TO 10.8 颜色渲染指数 234 UH&1QV 10.9 色差计算 235 2 .Xx)(> 10.10 参考文献 236 ~Q^.7.-T 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 A~{vja0? 11.1 短脉冲 238 a-#$T)mmfj 11.2 群速度 239 Jl\U~i 11.3 群速度色散 241 I7h v'3u 11.4 啁啾(chirped) 245 L8E4|F} 11.5 光学薄膜—相变 245 "8)%XSb 11.6 群延迟和延迟色散 246 h+_:zWU 11.7 色度色散 246 f^}n# 11.8 色散补偿 249 LCXWpUj~ 11.9 空间光线偏移 256 H9;IA> 11.10 参考文献 258 Ta3* G 12 公差与误差 260 C5KUIOg 12.1 蒙特卡罗模型 260 \0i0#Dt9 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 z2R?GQ5 A 12.2.1 误差工具 267 %Ze7d& 12.2.2 灵敏度工具 271 D1ik*mDA= 12.2.2.1 独立灵敏度 271 n[;)( 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Q4Wz5n1yp7 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 F1}d@^K
7d 12.3 参考文献 276 .LM|@OeaD! 13 Runsheet 与Simulator 277 ijcF[bmE 13.1 原理介绍 277 oG hMO 13.2 截止滤光片设计 277 Qo]qs+ 14 光学常数提取 289 18j>x3tn 14.1 介绍 289 N3Q
.4?
z9 14.2 电介质薄膜 289 r^E(GmW 14.3 n 和k 的提取工具 295 7#&Q-3\: 14.4 基底的参数提取 302 6 %` h2Z 14.5 金属的参数提取 306 FBrh!vQ< 14.6 不正确的模型 306 ;xFB
/, 14.7 参考文献 311 M`iE'x 15 反演工程 313 {a2Gb 15.1 随机性和系统性 313 4"nYxL"<4 15.2 常见的系统性问题 314 00-2u~D& 15.3 单层膜 314 pL*aU=FjQ 15.4 多层膜 314 Yp3 y%n 15.5 含义 319 >CcDG 15.6 反演工程实例 319 mU[ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 0XC3O 8q 15.6.2 反演工程提取折射率 327 benqm ~{\ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 @tRDKPh 16.1 光学性质的热致偏移 329 Ew;AYZX 16.2 应力工具 335 D2Q0p(#% 16.3 均匀性误差 339 -`X`Ff 16.3.1 圆锥工具 339 Ai:,cY5% 16.3.2 波前问题 341 ]R^xO;g' 16.4 参考文献 343 EIpz-"S 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 1(i%nX<U 17.1 引言 345 1'\s7P 17.2 操作数 345 7 > _vH] 18 如何在Function中编写脚本 351 <jaQ0S{| 18.1 简介 351 X-CoC
18.2 什么是脚本? 351 McbbEs=) 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 >~'z% 18.4 基础 352 w}97`.Kt!n 18.4.1 Classes(类别) 352 zlkW-rRkR 18.4.2 对象 352 &tiJ=;R1 18.4.3 信息(Messages) 352 p9MJa[}V 18.4.4 属性 352 s|[qq7 18.4.5 方法 353 ^FTS'/Q 18.4.6 变量声明 353 VTX6_&Hc1g 18.5 创建对象 354 *k?y+}E_f 18.5.1 创建对象函数 355 v@fy*T\3 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 |v#rSVx 18.5.3 丢弃对象 356 ra@CouR^c{ 18.5.4 总结 356 Uu Zjf9} 18.6 脚本中的表格 357 j]mnH`#BL 18.6.1 方法1 357 #B!M,TWf9s 18.6.2 方法2 357 B<G,{k 18.7 2D Plots in Scripts 358 p%#'`*<a_ 18.8 3D Plots in Scripts 359 UQP>yuSx 18.9 注释 360 xbCQ^W2YU| 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 YPKB4p# 18.11 一个更高级的脚本 362 rodqa 18.12 <esc>键 364 /z}b1m+ 18.13 包含文件 365 4`o<e)c3 18.14 脚本被优化调用 366 Le/}xST@ 18.15 脚本中的对话框 368 iMV=R2t 2 18.15.1 介绍 368 ?1LRR
;-x 18.15.2 消息框-MsgBox 368 00r7trZW^ 18.15.3 输入框函数 370 AW!A+?F6 18.15.4 自定义对话框 371 [e{W:7uFV 18.15.5 对话框编辑器 371 4#t-?5" 18.15.6 控制对话框 377 {lppv(U 18.15.7 更高级的对话框 380 <33,0."K 18.16 Types语句 384 Jm 0.\[J 18.17 打开文件 385 lO 0} 18.18 Bags 387 E},zB*5TH 18.13 进一步研究 388 f)r6F JLU 19 vStack 389 L7.SH#m 19.1 vStack基本原理 389 R.
vVl+ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 xm=$D6O: 19.3 五棱镜 393 f'M([gn^_ 19.4 光束距离 396 z'"Y+EWN 19.5 误差 399 =)w#?DGpj 19.6 二向分色棱镜 399 a#9pN?~ 19.7 偏振泄漏 404 {r5OtYmpR 19.8 波前误差—相位 405 Tv
5J 19.9 其它计算参数 405 q_9 tbZ; 20 报表生成器 406 nC!L<OMr 20.1 入门 406 |goK@< 20.2 指令(Instructions) 406 +NiCt S 20.3 页面布局指令 406 sN#ju5 20.4 常见的参数图和三维图 407 n@q-f-2 20.5 表格中的常见参数 408 N\rL ~4/ 20.6 迭代指令 408 *{\))Zmhd 20.7 报表模版 408 _qo\E=E 20.8 开始设计一个报表模版 409 v?%vB#A^ 21 一个新的project 413 1i)3!fH0:
21.1 创建一个新Job 414 ~sq@^<M)s 21.2 默认设计 415 f=S2O_Ee 21.3 薄膜设计 416 H4sc7- 21.4 误差的灵敏度计算 420 "I9 r>= 21.5 显色指数计算 422 [%~yY& 21.6 电场分布 424 @S>;t)\J 后记 426 }Fox
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