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oD_#oX5\ 内容简介 Vm%0436wOY Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 DHh30b$c 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 3`{[T17 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 j] ~}ba2dU8 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 e@L?jBj8m 目录 o_?A^u Preface 1 M~-jPY,+ 内容简介 2 ;xjw'%n, 目录 i *7K)J8kq 1 引言 1 gF&HJF 0x 2 光学薄膜基础 2 H~~>ut6` 2.1 一般规则 2 e`;U9Z 2.2 正交入射规则 3 U_AmRiy 2.3 斜入射规则 6 #RP7?yGM, 2.4 精确计算 7 !\|L(Paf 2.5 相干性 8 B8 R&Q8Q 2.6 参考文献 10 Jl{g"N{2u' 3 Essential Macleod的快速预览 10 fe7DS)U 4 Essential Macleod的特点 32 ]`\~(*;[W9 4.1 容量和局限性 33 N>',[4pJ| 4.2 程序在哪里? 33 v v]rXJu1 4.3 数据文件 35 [-w+ACV~ 4.4 设计规则 35 Fr]B]Hj 4.5 材料数据库和资料库 37 B/bS: 4.5.1材料损失 38 \-RVPa8k 4.5.1材料数据库和导入材料 39 5db9C}0 4.5.2 材料库 41 6" |+\ 4.5.3导出材料数据 43 z[De?8=) 4.6 常用单位 43 crRYgr 4.7 插值和外推法 46 fC!+"g55 4.8 材料数据的平滑 50 d1n*wVl 4.9 更多光学常数模型 54 wj|[a,(r 4.10 文档的一般编辑规则 55 |Whkq/Zg 4.11 撤销和重做 56 H05U{vR 4.12 设计文档 57 ( 2i{8 4.10.1 公式 58 Ui05o7xg~p 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ?V(h@T 4.10.3 沉积密度 59 S01Bc 4.10.4 平行和楔形介质 60 ZR@PqS+O/ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Dt]*M_ 4.10.4 性能 61 U-lN-/=l6 4.10.5 保存设计和性能 64 "[wP1n!G 4.10.6 默认设计 64 Gcd'- 1 4.11 图表 64 Ap9 %5:] 4.11.1 合并曲线图 67 "78BApjWT6 4.11.2 自适应绘制 68 Ib0@,y S[ 4.11.3 动态绘图 68 ^Mi&2AvS 4.11.4 3D绘图 69 DT>Giic 4.12 导入和导出 73
d/&~IR 4.12.1 剪贴板 73 ^fT?(y_=e 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 <hmRr 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 c_)lTI4 4.13 背景 77 W,p?}KiO
T 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 QOKE9R#Y 4.15 生成Rugate 84 OjBg$f~0F 4.16 参考文献 91 0j(/ N 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 {igVuZ(>en 5.1 Jobs 92 i")ucrf 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ("ulL5 5.3 输入材料 94 G|.5.FK^ 5.4 设计数据文件夹 95 Kf'oXCs 5.5 默认设计 95 A#8Dv&$Pr 6 细化和合成 97 ul[+vpH9 6.1 优化介绍 97 tU, >EbwO 6.2 细化 (Refinement) 98 U8icP+Y 6.3 合成 (Synthesis) 100 @/0-`Y@? 6.4 目标和评价函数 101 o%$'-N 6.4.1 目标输入 102 \KT}T 6.4.2 目标 103 */E5<DO 6.4.3 特殊的评价函数 104 I,wgu:}P# 6.5 层锁定和连接 104 18kzR6(W 6.6 细化技术 104 ieG%D
HN 6.6.1 单纯形 105 6A*k 6.6.1.1 单纯形参数 106 QzX|c&&>u2 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 L[cl$pYV 6.6.2.1 Optimac参数 108 O'~;|-Z< 6.6.3 模拟退火算法 109 Q
R<q[@)F 6.6.3.1 模拟退火参数 109 3F|#nq 6.6.4 共轭梯度 111 mQy!*0y 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 s'^"s_j 6.6.5 拟牛顿法 112 @"gWvs 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 B|(M xR6m 6.6.6 针合成 113 \oc* 6.6.6.1 针合成参数 114 C
lekB 6.6.7 差分进化 114 n*vzp?+Y 6.6.8非局部细化 115 mq*Efb)! 6.6.8.1非局部细化参数 115 c2d=dGP>~f 6.7 我应该使用哪种技术? 116 13KfI 6.7.1 细化 116 ";$rcg"%X 6.7.2 合成 117 J'no{3Ktz 6.8 参考文献 117 GI$7uR} 7 导纳图及其他工具 118 Zcg@]Sx(I 7.1 简介 118 j65qIw_Z 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 A6#5 z 7.2.1 四分之一波长规则 119 ^P
!}" 7.2.2 导纳图 120 N#"( 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 =w <;tb 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 3T7,Y(<V 7.5 斜入射导纳图 141 U" ;8zplU 7.6 对称周期 141 | Xv]s61 7.7 参考文献 142 wtpz ef= 8 典型的镀膜实例 143
>^q7:x\ 8.1 单层抗反射薄膜 145 |SfmQ; 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 eod-N}o 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 qH1&tW$ 8.4 W-膜层 148 8C(@a[V 8.5 V-膜层 149 pwG" _|h 8.6 V-膜层高折射基底 150 hxQx$ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 98x&2(N 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 m0zbG1OE 8.9 四层抗反射薄膜 153 9C2DW,? 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 1 /dy@' 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 #2\
0#HN 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 d"Aer 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 zv}3Sl@ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ? <"H Io 8.15十五层宽带抗反射膜 159 >GV= % 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 :$J4T;/{ 8.17 1/4波长堆栈 162 >^5UXQr 8.18 陷波滤波器 163 J;AwC>N 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 +#a_Y 8.20 褶皱 165 o+j~~P 8.21 消偏振分光器1 169 TCI%Ox|a 8.22 消偏振分光器2 171 RC>79e/u< 8.23 消偏振立体分光器 172 #2qDn^s 8.24 消偏振截止滤光片 173 ]
3UlF'{ 8.25 立体偏振分束器1 174 )ir*\<6Y= 8.26 立方偏振分束器2 177 N=[# "4I 8.27 相位延迟器 178 OPtFz6 8.28 红外截止器 179 :G\X 8.29 21层长波带通滤波器 180 GjD^\d/ 8.30 49层长波带通滤波器 181 #Z)8,N 8.31 55层短波带通滤波器 182 7)U08" 8.32 47 红外截止器 183 -mur`tC 8.33 宽带通滤波器 184 EFqYEDXW 8.34 诱导透射滤波器 186 2Sg^SZFH+o 8.35 诱导透射滤波器2 188 [zv@}@$ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 )EhRqX9 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Je1'0h9d 8.35 增益平坦滤波器 193 9nrmz>es|- 8.38 啁啾反射镜 1 196 %{*A@jQsg 8.39 啁啾反射镜2 198 aI'MVKwMk 8.40 啁啾反射镜3 199 4u.Fy<+@4M 8.41 带保护层的铝膜层 200 zOfMKrRG 8.42 增加铝反射率膜 201 v:7_ZD6kR
8.43 参考文献 202 e"@Ag:r@a 9 多层膜 204 Z;qgB7-M 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 a\@k5? 9.2 内部透过率 204 41Nm+$m 9.3 内部透射率数据 205 {dF_=`. 9.4 实例 206 lCAD $Ia~ 9.5 实例2 210 AwQ7O z|( 9.6 圆锥和带宽计算 212 yy( .| 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ^0fe:ac; 10 光学薄膜的颜色 216 (- QvlpZ 10.1 导言 216 9-(
\\$% 10.2 色彩 216 )' 3V4Z& 10.3 主波长和纯度 220 e_v_y$ 10.4 色相和纯度 221 alV{| Vf[6 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ObyF~j}j 10.6 色差 226 7q;wj~ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 $[1J[eY* 10.8 颜色渲染指数 234 FIEA'kUy 10.9 色差计算 235 S+*g 10.10 参考文献 236 6Ex16 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 r 1x2) 11.1 短脉冲 238 l =Is-N` 11.2 群速度 239 ~M?^T$5 11.3 群速度色散 241 /ho7O/aAa 11.4 啁啾(chirped) 245 'Xb?vOU 11.5 光学薄膜—相变 245 GJo`9 11.6 群延迟和延迟色散 246 1[k.apn 11.7 色度色散 246 4Y
`=`{Q 11.8 色散补偿 249 p1`")$ 11.9 空间光线偏移 256
*Q XUy
11.10 参考文献 258 P3op1/Np 12 公差与误差 260 EWNm }C9 12.1 蒙特卡罗模型 260 hvo7T@*' 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 r'E|6_0 12.2.1 误差工具 267 3Q\k!$zq 12.2.2 灵敏度工具 271 _p^&]eQ+k# 12.2.2.1 独立灵敏度 271 g3Z"ri~!G 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ,E3Ze*(U 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 57`*5X 12.3 参考文献 276 <#%kmYSL 13 Runsheet 与Simulator 277 JuM4Njz| 13.1 原理介绍 277 #-{^={p" 13.2 截止滤光片设计 277 qw35LyL 14 光学常数提取 289 1P6!E*z\ 14.1 介绍 289 -?Kd[Ma 14.2 电介质薄膜 289 ]rMHO 14.3 n 和k 的提取工具 295 3"HX':8x 14.4 基底的参数提取 302 ;9"6g=q 14.5 金属的参数提取 306 -*AUCns# 14.6 不正确的模型 306 =Eb4Iyz 14.7 参考文献 311 s_RUb 15 反演工程 313 \VAm4 15.1 随机性和系统性 313 qku}cWD9/_ 15.2 常见的系统性问题 314 -![>aqWmj1 15.3 单层膜 314 *h4x`luJ 15.4 多层膜 314 ''3b[< 15.5 含义 319 JthW"{E 15.6 反演工程实例 319 JK9 J;c#T 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 o%_Hmd;_' 15.6.2 反演工程提取折射率 327 gBd@4{y6C. 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ['JIMcD 16.1 光学性质的热致偏移 329 |Q*OA 16.2 应力工具 335 * G0I2 16.3 均匀性误差 339 I|/\ L|vo 16.3.1 圆锥工具 339 @0&KM|+ 16.3.2 波前问题 341 0*F<tg,+] 16.4 参考文献 343 /j$`Cq3I 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ujan2'YT 17.1 引言 345 \wM8I-f! 17.2 操作数 345 6u[
B}%l 18 如何在Function中编写脚本 351 Gm.2!F=R4A 18.1 简介 351 linvK.Lf 18.2 什么是脚本? 351 sMNhD/bb 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 1T/ 72+R0 18.4 基础 352 klxNGxWAX 18.4.1 Classes(类别) 352 #Zj3SfU~` 18.4.2 对象 352 -&QTy 18.4.3 信息(Messages) 352 Z>(K|3_ 18.4.4 属性 352 Xcw6mpLt 18.4.5 方法 353 mT&?DZ9< 18.4.6 变量声明 353 y$`@QRW 18.5 创建对象 354 ?my2dd,| 18.5.1 创建对象函数 355 C|-QU 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 `g^b Qx 18.5.3 丢弃对象 356 Dt glPo_( 18.5.4 总结 356 [I2vg<my 18.6 脚本中的表格 357 s]'EIw}mo 18.6.1 方法1 357 wHE1Jqpo 18.6.2 方法2 357 Qa@]
sWcM 18.7 2D Plots in Scripts 358 R>y/Y<5= 18.8 3D Plots in Scripts 359 3fd?xhWbN 18.9 注释 360 RZbiiMC> 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 "pTU&He 18.11 一个更高级的脚本 362 v!6IH 18.12 <esc>键 364
kAnK1W> 18.13 包含文件 365 B'8T+qvA 18.14 脚本被优化调用 366 e=sV>z> 18.15 脚本中的对话框 368 0+ 3{fD/ 18.15.1 介绍 368 ?G<.W[3 18.15.2 消息框-MsgBox 368 {vox
x&UX 18.15.3 输入框函数 370 ?4H>1Wkb 18.15.4 自定义对话框 371 "a=dx|
Z 18.15.5 对话框编辑器 371 LtVIvZie 18.15.6 控制对话框 377 3F?_{A 18.15.7 更高级的对话框 380 |"i"8~/@< 18.16 Types语句 384 xM2UwTpW 18.17 打开文件 385 QQ\\:]iM 18.18 Bags 387 UoOxGo 18.13 进一步研究 388 5KC
Zg'h 19 vStack 389 8[L]w^ 19.1 vStack基本原理 389 6L, "gF<n 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 Y[.f`Ei2 19.3 五棱镜 393 ]:}x 4O# 19.4 光束距离 396 bBgyLyg 19.5 误差 399 e {805^X} 19.6 二向分色棱镜 399 >gf,8flgj 19.7 偏振泄漏 404 DSL3+%KF# 19.8 波前误差—相位 405 Rgb&EnVW 19.9 其它计算参数 405 {ug* 20 报表生成器 406 }.N~jx0R 20.1 入门 406 (7w95xI 20.2 指令(Instructions) 406 7g-{<d 20.3 页面布局指令 406 <|1Kh ygv 20.4 常见的参数图和三维图 407 |u_fVQj 20.5 表格中的常见参数 408 EnP> 20.6 迭代指令 408 EqF>=5* 20.7 报表模版 408 EpB3s{B" 20.8 开始设计一个报表模版 409 _3zJ.% 21 一个新的project 413 9{CajtN 21.1 创建一个新Job 414 m;{(U Z 21.2 默认设计 415 Svt%*j 21.3 薄膜设计 416 W<T
Ui51Y 21.4 误差的灵敏度计算 420 rAh|r}R 21.5 显色指数计算 422 +c' n,O~3 21.6 电场分布 424 349BQ5ND 后记 426 P1dFoQz 详情请扫码咨询 IubzHf =+w/t9I[
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