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xMU) 内容简介 }m?L/Y'} Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 n8Fi?/ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ?/~1z*XUW 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 2#^[`sFPO 5`J.
ic 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 >=bO@)[ 目录
WJ@,f%=<~ Preface 1 `i-&Z` 内容简介 2 In
r%4&!e 目录 i Y!H"LI 1 引言 1 |v+b?@ 2 光学薄膜基础 2 IlVi1`]w 2.1 一般规则 2 sXUM,h8$!+ 2.2 正交入射规则 3 dNR4h 2.3 斜入射规则 6 LQe<mZ< 2.4 精确计算 7 Yr!3mU-Uvt 2.5 相干性 8 9Y(<W_{/ 2.6 参考文献 10 !O\r[c 3 Essential Macleod的快速预览 10 *KMCU
m 4 Essential Macleod的特点 32 R ~b$7jpd 4.1 容量和局限性 33 "^\ 4xI 4.2 程序在哪里? 33 [|3
%~s|Sv 4.3 数据文件 35 ~_q\?pw<$L 4.4 设计规则 35 ,[x'S>N 4.5 材料数据库和资料库 37 B:l(`G 4.5.1材料损失 38 4-o$OI> 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Sb<=ROCg@ 4.5.2 材料库 41 opBvx>S 4.5.3导出材料数据 43 "371`!% 4.6 常用单位 43 r8qee$^M 4.7 插值和外推法 46 czj[U|eB}= 4.8 材料数据的平滑 50 Z?~7#F~Z` 4.9 更多光学常数模型 54 g+f{I'j 4.10 文档的一般编辑规则 55 sx9N8T3n 4.11 撤销和重做 56 UuN(+&oD- 4.12 设计文档 57 :%Bo)0a9 4.10.1 公式 58 T+\BX$w/4e 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Qtk'^Fc 4.10.3 沉积密度 59 Qr/?tMALc 4.10.4 平行和楔形介质 60 +}^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 &B)
F_E I 4.10.4 性能 61 Y$N|p{Z 4.10.5 保存设计和性能 64 1{A4_/R 4.10.6 默认设计 64 te1lUQ 4.11 图表 64 6A%Y/oU+2 4.11.1 合并曲线图 67 .EI/0"^ 4.11.2 自适应绘制 68 $T1c{T6n} 4.11.3 动态绘图 68 1$c*/Tc:E 4.11.4 3D绘图 69 .AKx8=f 4.12 导入和导出 73 0^;{b^!( 4.12.1 剪贴板 73 C?zC|0 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ioZ2J"s 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 -wY6da*.W 4.13 背景 77 '0[l'Dt' 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 __zsrIUJ 4.15 生成Rugate 84 R (6Jvub"I 4.16 参考文献 91 #0weN% 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 7UMsKE- 5.1 Jobs 92 p.zU9rID 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ieObo foD 5.3 输入材料 94 ~Su>^T(?- 5.4 设计数据文件夹 95 R(csJ4F 5.5 默认设计 95 Y*4\K%e( 6 细化和合成 97 1 }:k w 6.1 优化介绍 97 _I2AJn`# 6.2 细化 (Refinement) 98 %F03cI, 6.3 合成 (Synthesis) 100 }O_6wi 6.4 目标和评价函数 101 m(9E{; 6.4.1 目标输入 102 keX0br7u_ 6.4.2 目标 103 ak<?Eu9rV 6.4.3 特殊的评价函数 104 7^S &g.A 6.5 层锁定和连接 104 K~[/n<ks 6.6 细化技术 104 SMnbI.0 6.6.1 单纯形 105 (!;4Y82# 6.6.1.1 单纯形参数 106 I 5 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 x*(pr5k 6.6.2.1 Optimac参数 108 #B54p@.} 6.6.3 模拟退火算法 109 4/HyO\?z5 6.6.3.1 模拟退火参数 109 7n%QP 6.6.4 共轭梯度 111 $+$+;1[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 a
"8/y4Y 6.6.5 拟牛顿法 112 GK:*|jV 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 tk ~7>S 6.6.6 针合成 113 GX(p7ZgB2 6.6.6.1 针合成参数 114 c D7q;|+ 6.6.7 差分进化 114 ;IwC`!(# 6.6.8非局部细化 115 ^m?h . 6.6.8.1非局部细化参数 115 89~) nV) 6.7 我应该使用哪种技术? 116 cJL>,Z<|% 6.7.1 细化 116 b>G!K)MS3 6.7.2 合成 117 QRx'BY$5 6.8 参考文献 117 9Lv`3J^~ 7 导纳图及其他工具 118 AM,@BnEcuT 7.1 简介 118 OfIml. 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 /SSl$ 7.2.1 四分之一波长规则 119 Zb3E-'G+ 7.2.2 导纳图 120 9].!mpR 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 )J5(M` 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 $7,n8ddRy 7.5 斜入射导纳图 141 |7%M:7Q 7.6 对称周期 141 ix,5-j 7.7 参考文献 142 9CW .xX8 8 典型的镀膜实例 143 Au@U;a4UU 8.1 单层抗反射薄膜 145 R /iB 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Q_]O[Kx 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 *S`&
XPj 8.4 W-膜层 148 >|mmJ4T 8.5 V-膜层 149 J$@3,=L6V 8.6 V-膜层高折射基底 150 <{:$]3 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 XP~4jOL] 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 n`;=^^ B 8.9 四层抗反射薄膜 153 /zM 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 UjUDP>iz.> 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 `UGHk*DL) 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 NkA|T1w7 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 D<C ZhYJ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 (hs[B4nV 8.15十五层宽带抗反射膜 159 (?;Fnq 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 T ^%$ 8.17 1/4波长堆栈 162 9Iy>oV 8.18 陷波滤波器 163 _L<IxOZh+ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 -"#;U`.oh7 8.20 褶皱 165 cea%M3 8.21 消偏振分光器1 169 ['e8Xz0 8.22 消偏振分光器2 171 _T)dmhG 8.23 消偏振立体分光器 172 >ouHR* 8.24 消偏振截止滤光片 173 ]FL=E3U 8.25 立体偏振分束器1 174 7J.alV4`/ 8.26 立方偏振分束器2 177 _/ ]4:(" 8.27 相位延迟器 178 X70G@-w 8.28 红外截止器 179 d>VerZZU 8.29 21层长波带通滤波器 180 *C}vy`X 8.30 49层长波带通滤波器 181 R 6ca; 8.31 55层短波带通滤波器 182 XN'x`%!*3# 8.32 47 红外截止器 183 ix [aS 8.33 宽带通滤波器 184 [2WJ>2r}6 8.34 诱导透射滤波器 186 IhhB^E| 8.35 诱导透射滤波器2 188 @OV\raUO&V 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 +Gg6h=u 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 M\ B A+ 8.35 增益平坦滤波器 193 &>XIK8* 8.38 啁啾反射镜 1 196 [yJcM
[p\ 8.39 啁啾反射镜2 198 W4Tuc:X5 8.40 啁啾反射镜3 199 #"jEc*&= 8.41 带保护层的铝膜层 200 C{H:-"\J9 8.42 增加铝反射率膜 201 0L9z[2sj 8.43 参考文献 202 CuR.a 9 多层膜 204 }YfM< 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 -NGY+1 9.2 内部透过率 204 3){ /u$iH. 9.3 内部透射率数据 205 /\q1,}M 9.4 实例 206 ]X ,f 9.5 实例2 210 /4}{SE 9.6 圆锥和带宽计算 212 }lvD 5 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 /J")S?. [u 10 光学薄膜的颜色 216 z^;*&J
10.1 导言 216 :<=A1>&8 10.2 色彩 216 $<xa "aN! 10.3 主波长和纯度 220 IV]s! 10.4 色相和纯度 221 NifzZEX 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 HN9!~G 10.6 色差 226 FJ#:RC 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Lnc
_)RF 10.8 颜色渲染指数 234 n}Pz: 10.9 色差计算 235 R2|v[nh 10.10 参考文献 236 Ztu _UlGC 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 kC"lO' 11.1 短脉冲 238 -rb]<FrL^ 11.2 群速度 239 ky0Fm
W 11.3 群速度色散 241 Y]!8Ymuww@ 11.4 啁啾(chirped) 245 (qG |.a 11.5 光学薄膜—相变 245 {x$jGiag+8 11.6 群延迟和延迟色散 246 !#wd~: H 11.7 色度色散 246 cOkjeHs
5 11.8 色散补偿 249 )4q0(O)d 11.9 空间光线偏移 256 5Arx"=c 11.10 参考文献 258 vN'Y);$ 12 公差与误差 260
>G(M& 12.1 蒙特卡罗模型 260 c((^l& 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 BIovPvq;i 12.2.1 误差工具 267 f_y+B]?'M 12.2.2 灵敏度工具 271 kqxX! 12.2.2.1 独立灵敏度 271 4Qh\3UL~ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 p^S]O\;M7 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 mMo<C_~w& 12.3 参考文献 276 hYOUuC 13 Runsheet 与Simulator 277 s4h3mypw 13.1 原理介绍 277 %<8@NbF 13.2 截止滤光片设计 277 t
1gH9 14 光学常数提取 289 )xwWig. 14.1 介绍 289 l8rBp87Q 14.2 电介质薄膜 289 /|v:$iH,C 14.3 n 和k 的提取工具 295 WB~
^R<g 14.4 基底的参数提取 302 0].*eM 14.5 金属的参数提取 306 s"G;rcS}# 14.6 不正确的模型 306 =gL~E9\ 14.7 参考文献 311 =I.
b2e1z 15 反演工程 313 :wtr{,9rZ 15.1 随机性和系统性 313 'oNY4.[ 15.2 常见的系统性问题 314 q):Ph&'r 15.3 单层膜 314 )xtDiDB 15.4 多层膜 314 E{_$C!. 15.5 含义 319 0=]RG 15.6 反演工程实例 319 5R6@A?vr 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Q(Uj5 aX 15.6.2 反演工程提取折射率 327 e}e|??'(\ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ;`ZGiax 16.1 光学性质的热致偏移 329 p<%76H
A 16.2 应力工具 335 Ip_S8
;; 16.3 均匀性误差 339 B]jI^(P 16.3.1 圆锥工具 339 KFxy,Z$-4 16.3.2 波前问题 341 "7Qc:<ww 16.4 参考文献 343 ~bL^&o(W 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 GR&T
Z 17.1 引言 345 G+Vlaa/7 17.2 操作数 345 z=q 18 如何在Function中编写脚本 351 5\1C@d 18.1 简介 351 +Ja9p 18.2 什么是脚本? 351 w
s(9@ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 CYlZ< |