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f:.I0 ST 内容简介 'anG:= Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 e01epVR; 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 5RpjN: 3 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 !GEJIefx_ O|N{v"o 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 yN
s,Ll~ 目录 fLm*1S|%\ Preface 1 M>8A\;" 内容简介 2 H_<C!OgR 目录 i hzbw>g+ 1 引言 1 Ktm4 A O 2 光学薄膜基础 2 _8)*]- 2.1 一般规则 2 ?vHU# 2.2 正交入射规则 3 1&(V 2.3 斜入射规则 6
)sp4Ie 2.4 精确计算 7 fku<,SV$O4 2.5 相干性 8 X=8{$: 2.6 参考文献 10 x6ARzH\ 3 Essential Macleod的快速预览 10 cXOK)g# 4 Essential Macleod的特点 32 !V g` 4.1 容量和局限性 33 )$bS}. 4.2 程序在哪里? 33 tlp@?(u 4.3 数据文件 35 3+fp2 4.4 设计规则 35 "?I y (*^ 4.5 材料数据库和资料库 37 ce3YCflt 4.5.1材料损失 38 t; {F%9j{ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Ev(>z-{F 4.5.2 材料库 41 "s_lP&nq 4.5.3导出材料数据 43 zb<6
Ov 4.6 常用单位 43 YgV817OV 4.7 插值和外推法 46 GMl;7?RA 4.8 材料数据的平滑 50 .oUTqki 4.9 更多光学常数模型 54 z}ddqZ27G$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 i`$*Ty"x 4.11 撤销和重做 56 8- %TC\: 4.12 设计文档 57 `o8/(`a 4.10.1 公式 58 KOuCHqCfq 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 xJ)n4) 4.10.3 沉积密度 59 hL;(C)( 4.10.4 平行和楔形介质 60 b4ONh% 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 H_X [t* 2 4.10.4 性能 61 "#oHYz3D 4.10.5 保存设计和性能 64 ndz]cx 4.10.6 默认设计 64 |! E)GahM 4.11 图表 64 u=7J/!H7^ 4.11.1 合并曲线图 67 !~D}/Q;#}\ 4.11.2 自适应绘制 68 zvH8^1yzG 4.11.3 动态绘图 68 $ ,}E 4.11.4 3D绘图 69 DOJ N2{IP 4.12 导入和导出 73 \(Y\|zC'0$ 4.12.1 剪贴板 73 GV69eG3bX# 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 'd$P`Vw: 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ^y1j.M@q 4.13 背景 77 #(JNn'fzq 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 c+$*$|t=v` 4.15 生成Rugate 84 j; y#[| 4.16 参考文献 91 Vq?p|wy 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ?fjuh}Q5h 5.1 Jobs 92 5}]"OXQ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 jQ 5.3 输入材料 94 7 Vo$(kj 5.4 设计数据文件夹 95 ?D*/*Gk{ 5.5 默认设计 95 \2"I; 6 细化和合成 97 v`zJb00DT 6.1 优化介绍 97 o`P%& 6.2 细化 (Refinement) 98 i?g5_HI 6.3 合成 (Synthesis) 100 [8,yF
D_U 6.4 目标和评价函数 101 {~sDYRX 6.4.1 目标输入 102 -pGE]nwDL 6.4.2 目标 103 @u]rWVy;\[ 6.4.3 特殊的评价函数 104 P5nO78 6.5 层锁定和连接 104 72y0/FJ 6.6 细化技术 104 [@b&? b~K 6.6.1 单纯形 105 ve/<=IR
Zo 6.6.1.1 单纯形参数 106 tlqiXh< 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ^,_w$H 6.6.2.1 Optimac参数 108 ,\ k(x>oy 6.6.3 模拟退火算法 109 5^lxj~ F 6.6.3.1 模拟退火参数 109 E}p&2P+MR 6.6.4 共轭梯度 111 s<_)$} 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 W7\f1}]H 6.6.5 拟牛顿法 112 TbGn46!: 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 /ZPyN<@ 6.6.6 针合成 113 o.G!7 6.6.6.1 针合成参数 114 _:C9{aEZb 6.6.7 差分进化 114 27"%"P.1 6.6.8非局部细化 115 e<h~o!za 6.6.8.1非局部细化参数 115 -[!P!d= 6.7 我应该使用哪种技术? 116 O8u j`G 9 6.7.1 细化 116 PuT@}tw 6.7.2 合成 117 vbBc}G"w 6.8 参考文献 117 m~u5kbHOi= 7 导纳图及其他工具 118 !~&R"2/ 7.1 简介 118 +W\f(/ q0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &[/w_|b 7.2.1 四分之一波长规则 119 "a"]o 7.2.2 导纳图 120 WKIoS"?-F 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 T}P".kpbS 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 V=V:SlS9| 7.5 斜入射导纳图 141 Nkl_Ho, 7.6 对称周期 141 ;YX4:OBqr 7.7 参考文献 142 ); dT_ 8 典型的镀膜实例 143 %S nd\ 8.1 单层抗反射薄膜 145 mkF" 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 \":m!K;Z 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 f[~L?B;_L 8.4 W-膜层 148 ,7NZu0 8.5 V-膜层 149 V8-oYwOR 8.6 V-膜层高折射基底 150 5HO9+i 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 \lC 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 %r6y
;vAf 8.9 四层抗反射薄膜 153 g(J&m<I 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 @reeO= 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 I_rO! 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 yi%-7[*]= 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 >ByXB!Wi+ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 uVDa^+= 8.15十五层宽带抗反射膜 159 @u%_1 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 GBFtr 8.17 1/4波长堆栈 162 /_Z652@ 8.18 陷波滤波器 163 W.0L:3<" 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 o1Q7Th 8.20 褶皱 165 a|=x5`h04~ 8.21 消偏振分光器1 169 fUQ6Z,9 8.22 消偏振分光器2 171 `zXO_@C 8.23 消偏振立体分光器 172 EEZw_ 1 8.24 消偏振截止滤光片 173 ,|plWIl~ 8.25 立体偏振分束器1 174 )!:Lzi 8.26 立方偏振分束器2 177 MFm"G 8.27 相位延迟器 178 )Ocl=H|= 8.28 红外截止器 179 /BV03B 8.29 21层长波带通滤波器 180 mAW,?h 8.30 49层长波带通滤波器 181 H0SQ"? 8.31 55层短波带通滤波器 182 MxcFvo*LCp 8.32 47 红外截止器 183 Y +\% 8.33 宽带通滤波器 184 sx51X^d 8.34 诱导透射滤波器 186 u(t#Ze~Y1 8.35 诱导透射滤波器2 188 >Ll$p0W 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ZMLg;-T.&4 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 i?:_:"^x 8.35 增益平坦滤波器 193 s)2fG\1 8.38 啁啾反射镜 1 196 9n5<]Q( 8.39 啁啾反射镜2 198 z7Eg5rm|QZ 8.40 啁啾反射镜3 199 &0( 8.41 带保护层的铝膜层 200 9>rPe1iv 8.42 增加铝反射率膜 201 T%n2$ 8.43 参考文献 202 A7`1-# 9 多层膜 204 ${nX:!) 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 #\ n8M 9.2 内部透过率 204 'fNKlPMv4D 9.3 内部透射率数据 205 0,Y5KE{ 9.4 实例 206 {$^DMANDx 9.5 实例2 210 Mz;[ +p 9.6 圆锥和带宽计算 212 ?9=9C"&s 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 2'<[7! 10 光学薄膜的颜色 216 ,SiY;(b=\ 10.1 导言 216 ~~,rp) ) 10.2 色彩 216 ]a3iEA2 ( 10.3 主波长和纯度 220 mA@Me7m} 10.4 色相和纯度 221 (q7
Ry4- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ;/*6U 10.6 色差 226 I1>N4R-j 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 D.6,VY H 10.8 颜色渲染指数 234 FSbHn{@ 10.9 色差计算 235 t/PlcV_M" 10.10 参考文献 236 \VFHHi:I 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 i^!ez5z 11.1 短脉冲 238 V$rlA'+1v 11.2 群速度 239 )&<=.q 11.3 群速度色散 241 iTg; 7~1pY 11.4 啁啾(chirped) 245 z>06hBv(?Y 11.5 光学薄膜—相变 245 D\YE^8/ 11.6 群延迟和延迟色散 246 Wt9Q;hK 11.7 色度色散 246 T!}[yW 11.8 色散补偿 249 @hImk`&[N 11.9 空间光线偏移 256 R?EASc!b 11.10 参考文献 258 79yd&5#e? 12 公差与误差 260 =FT98H2*| 12.1 蒙特卡罗模型 260 .+([ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 3TZ*RPmFRm 12.2.1 误差工具 267 |fY/i]
Ax 12.2.2 灵敏度工具 271 c$QX)V 12.2.2.1 独立灵敏度 271 !;!~n` 12.2.2.2 灵敏度分布 275 =?(~aV 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 !HJ$UG/\ 12.3 参考文献 276 cbu@*NzY, 13 Runsheet 与Simulator 277 'XUKN/. 13.1 原理介绍 277 q(5+xSg"gK 13.2 截止滤光片设计 277 kzS=g|_ 14 光学常数提取 289 #s%-INcR 14.1 介绍 289 ow' lRHZ 14.2 电介质薄膜 289 56Z\-=KAU 14.3 n 和k 的提取工具 295 (?b@b[D~4 14.4 基底的参数提取 302 Wi}FY }f 14.5 金属的参数提取 306 `ZaT}#Y 14.6 不正确的模型 306 xT)psM'CL 14.7 参考文献 311 1lnU77; 15 反演工程 313 DBs*Fx[ 15.1 随机性和系统性 313 [!VOw@uz 15.2 常见的系统性问题 314 n!E2_ 15.3 单层膜 314 Fv)7c4 15.4 多层膜 314 j` /&r*zNq 15.5 含义 319 Ij'NC C 15.6 反演工程实例 319 JkA|Qdj~Mr 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 zK+52jhi 15.6.2 反演工程提取折射率 327 pNE(n4v 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Z2bcCIq4 16.1 光学性质的热致偏移 329 +"g~"< 16.2 应力工具 335 rB%$;<`/ 16.3 均匀性误差 339 ^ 2u/n 16.3.1 圆锥工具 339 2_t=P|Uo 16.3.2 波前问题 341 \ U-vI:J_ 16.4 参考文献 343 VRW]a 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 jRpdft 17.1 引言 345 ,A5) <} 17.2 操作数 345 <39!G7ny 18 如何在Function中编写脚本 351 1[;@AE2Y 18.1 简介 351 oT|m1aGE 18.2 什么是脚本? 351 bO/*2oau 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 2PSTGG8JV 18.4 基础 352 xqHL+W 18.4.1 Classes(类别) 352 s-VSH 18.4.2 对象 352 !1uzX
Kb 18.4.3 信息(Messages) 352 ~-F?Mc 18.4.4 属性 352 ~L+]n0* 18.4.5 方法 353 e^$j5jV 18.4.6 变量声明 353 IGAzE( 18.5 创建对象 354 em]xtya 18.5.1 创建对象函数 355 DjW$?> 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 qU[O1bN 18.5.3 丢弃对象 356
c~dM`2J, 18.5.4 总结 356 '?Iif#Z1 18.6 脚本中的表格 357 1:= `Y@.S 18.6.1 方法1 357 $X+u={] 18.6.2 方法2 357 5`E))?*"Pe 18.7 2D Plots in Scripts 358 aN^IP 18.8 3D Plots in Scripts 359 |[cdri^?D 18.9 注释 360 /CT(k1> 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 chAan~r[* 18.11 一个更高级的脚本 362 |Zq\GA 18.12 <esc>键 364 O(OmGu4% 18.13 包含文件 365 }G1&]Wt_ 18.14 脚本被优化调用 366 77:'I 18.15 脚本中的对话框 368 8t.dPy< 18.15.1 介绍 368 Ws49ImCB 18.15.2 消息框-MsgBox 368 DPJh5d 18.15.3 输入框函数 370 xKJ>gr"w# 18.15.4 自定义对话框 371 \-.
Tg!Q6 18.15.5 对话框编辑器 371 g<[rH%\6fg 18.15.6 控制对话框 377 (clU$m+oXX 18.15.7 更高级的对话框 380 Y~"9L|`f/ 18.16 Types语句 384 Ud3""C5B 18.17 打开文件 385 S>ugRasZ$ 18.18 Bags 387 {(vOt ' 18.13 进一步研究 388 IF?xnu 19 vStack 389 h}=M^SL 19.1 vStack基本原理 389 SQKt}kDbM 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ,sb1"^Wc 19.3 五棱镜 393 S]yvMj_? 19.4 光束距离 396 DA
LQ<iF 19.5 误差 399 d]M[C[TOX 19.6 二向分色棱镜 399 FWTx&Ip 19.7 偏振泄漏 404 M@^U0
? 19.8 波前误差—相位 405 '>^Xqn 19.9 其它计算参数 405 d~[UXQC 20 报表生成器 406 _9h.Gt 20.1 入门 406 : z~!p~ 20.2 指令(Instructions) 406 gEKO128 20.3 页面布局指令 406 6D9o08 20.4 常见的参数图和三维图 407 v>WB FvyD 20.5 表格中的常见参数 408 +?e}<#vd'? 20.6 迭代指令 408 ,z66bnjO 20.7 报表模版 408 5a$$95oL 20.8 开始设计一个报表模版 409 IH3FK!>6 21 一个新的project 413 V< |