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re}_+svU 内容简介 [9N>*dKB Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 F{,<6/ayRz 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 :]]#X
~J 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 `hpX 97v uUmkk 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 }KFf 目录 *BdKQ/Dk Preface 1 K3g<NC 内容简介 2 naOCa 目录 i MuI>ZoNF 1 引言 1 ZhvZe/ 2 光学薄膜基础 2 '\g-z 2.1 一般规则 2 4zo^ b0v 2.2 正交入射规则 3 Pk{eGG<F$ 2.3 斜入射规则 6 ECW=865jL 2.4 精确计算 7 P6G&3yPt 2.5 相干性 8 L'A9TW2 2.6 参考文献 10 WlJ=X$ 3 Essential Macleod的快速预览 10 `|rF^~6(dR 4 Essential Macleod的特点 32 VAD9mS^~ 4.1 容量和局限性 33 yq7gBkS 4.2 程序在哪里? 33 Q3h_4{w 4.3 数据文件 35 `PoFKtVXM 4.4 设计规则 35 =5l20
Um 4.5 材料数据库和资料库 37 Qvc$D{z 4.5.1材料损失 38 'GyO 4.5.1材料数据库和导入材料 39 3:]c> GPQ 4.5.2 材料库 41 _dQg5CmlG 4.5.3导出材料数据 43 ~6nY5 4.6 常用单位 43 arWP]%E0W 4.7 插值和外推法 46 WWBm*?U 4.8 材料数据的平滑 50 Acix`-< 4.9 更多光学常数模型 54 Vf*Z }' 4.10 文档的一般编辑规则 55 iY[+BI: 4.11 撤销和重做 56 ahoXQ8c:\} 4.12 设计文档 57 'r0kX|| 4.10.1 公式 58 U\'HB.P\ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 |&49YQ 4.10.3 沉积密度 59 on^m2pQ
*p 4.10.4 平行和楔形介质 60 ; <NK 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 <6rc8jYz 4.10.4 性能 61 -xVp}RLT 4.10.5 保存设计和性能 64 KHO@"+ 4.10.6 默认设计 64 C0`Bi:Ze 4.11 图表 64 :HiAjaA1pg 4.11.1 合并曲线图 67 ;07>ZH% 4.11.2 自适应绘制 68 % S vfY { 4.11.3 动态绘图 68 iZ( U] 4.11.4 3D绘图 69 E3vYVuw 4.12 导入和导出 73 fHV%.25 4.12.1 剪贴板 73 sF4+(9 = 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 je#OV,uHM 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 GZt L- 4.13 背景 77 c>b!{e@* 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 }mdk+IEt 4.15 生成Rugate 84 +x(~!33[G 4.16 参考文献 91 ASU.VY 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ]. E/s(p 5.1 Jobs 92 g15~+;33N 5.2 创建一个新Job(工作) 93 QWQJSz5 5.3 输入材料 94 Q94Lq~?YF 5.4 设计数据文件夹 95 cF V[k'F 5.5 默认设计 95 [C^&iLX/F* 6 细化和合成 97 ks|c'XQb 6.1 优化介绍 97 Rp0`%}2
o 6.2 细化 (Refinement) 98 E#zLm 6.3 合成 (Synthesis) 100 pNnZ-R|u 6.4 目标和评价函数 101 VV+gPC 6.4.1 目标输入 102 p6c&vEsNj 6.4.2 目标 103 [X"pOz 6.4.3 特殊的评价函数 104 AW<"3 !@ 6.5 层锁定和连接 104 dTrz7ayH 6.6 细化技术 104 259R5X<V 6.6.1 单纯形 105 2
r';)8: 6.6.1.1 单纯形参数 106 oAprM Z7Y 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 nh'TyUd! 6.6.2.1 Optimac参数 108 "$krK7Z 6.6.3 模拟退火算法 109 UFzC8 6.6.3.1 模拟退火参数 109 /6{P
?)]pE 6.6.4 共轭梯度 111 : *8t,f~s^ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 <ebC]2j8cK 6.6.5 拟牛顿法 112 ,CxIA^ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 @#QaaR;4 6.6.6 针合成 113 fNk0&M 6.6.6.1 针合成参数 114 f2iA5 rCV] 6.6.7 差分进化 114 :*I='M9B 6.6.8非局部细化 115 ~?JNI8 6.6.8.1非局部细化参数 115 snicVzvA 6.7 我应该使用哪种技术? 116 OK" fFv 6.7.1 细化 116 Whl^~$+f 6.7.2 合成 117 I} .9 6.8 参考文献 117 92(P~Sdv 7 导纳图及其他工具 118 f\vMdY 7.1 简介 118 (yK@(euG 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 )#l&BV5 7.2.1 四分之一波长规则 119 %?X6TAtH 7.2.2 导纳图 120 g#%Egb1 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ;DgQ8"f 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 po@Agyg5 7.5 斜入射导纳图 141 Y !%2vOt 7.6 对称周期 141 e'|IRhr 7.7 参考文献 142 'm^]X3y* 8 典型的镀膜实例 143 %Y-5L;MI 8.1 单层抗反射薄膜 145 L\zyBfK} 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 1| dXbyUd 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 M2Jb<y] 8.4 W-膜层 148 9]%2Yb8SC 8.5 V-膜层 149 ^{Fo,7 8.6 V-膜层高折射基底 150 Aa+<4
R 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 7g>|e 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 l T#WM] 8.9 四层抗反射薄膜 153 i`}!<{k 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 zJ30ZY: 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Hxx]q+DAS 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 4^Og9}bm 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 &!F"3bD0 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 @|:yK|6O 8.15十五层宽带抗反射膜 159 "&C>=
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 dUL*~%2I 8.17 1/4波长堆栈 162 Vg(FF" 8.18 陷波滤波器 163 n0QHrIf{ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 #T=e p0 8.20 褶皱 165 q 7-ZPX 8.21 消偏振分光器1 169 ;}H*|"z;! 8.22 消偏振分光器2 171 VG_xNM 8.23 消偏振立体分光器 172 4_-L1WH 8.24 消偏振截止滤光片 173 op($+Q 8.25 立体偏振分束器1 174 /@64xrvIl= 8.26 立方偏振分束器2 177 c_T+T/O 8.27 相位延迟器 178 9-Z? 8.28 红外截止器 179 Vn65:" O 8.29 21层长波带通滤波器 180 NJCSo(O 8.30 49层长波带通滤波器 181 v7/k0D . 8.31 55层短波带通滤波器 182 ;+1ooeU 8.32 47 红外截止器 183 wf_ $#.;m 8.33 宽带通滤波器 184 A=sz8?K+` 8.34 诱导透射滤波器 186 NiYT%K% 8.35 诱导透射滤波器2 188 PJT$9f~3;. 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 mNlbiB 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 RI<&cgWn+< 8.35 增益平坦滤波器 193 &b'{3o_KN 8.38 啁啾反射镜 1 196 N;a' `l 8.39 啁啾反射镜2 198 `!xI!Y\ 8.40 啁啾反射镜3 199 mQ9y{}t=4 8.41 带保护层的铝膜层 200 EE*|# 8.42 增加铝反射率膜 201 Qxfds`4V9i 8.43 参考文献 202 1vYa&! 9 多层膜 204 ,$Cr9R&/ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 y@SI )&D
9.2 内部透过率 204 D`fIw`
_ 9.3 内部透射率数据 205 XQ2YUe]DJ 9.4 实例 206 X]D:vuB 9.5 实例2 210 BMtk/r/ 9.6 圆锥和带宽计算 212 ~iPXn1 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 m/q`k 10 光学薄膜的颜色 216 U02 10.1 导言 216 +,Or^pO= 10.2 色彩 216 3:)_oHq 10.3 主波长和纯度 220 0+k..l 10.4 色相和纯度 221 /A+5q\8G 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 !DUOi4I 10.6 色差 226 |h\A5_0_ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 pgs<Mo$\%B 10.8 颜色渲染指数 234 1p$ *N 10.9 色差计算 235 R?y_tho4A 10.10 参考文献 236 p(cnSvg 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 At'M? Q@v 11.1 短脉冲 238 q VavP6I 11.2 群速度 239 D< kf/hj 11.3 群速度色散 241 jxZf,]>T 11.4 啁啾(chirped) 245 ,J=l Hj 11.5 光学薄膜—相变 245 qDqy9u:g 11.6 群延迟和延迟色散 246 %<r}V<OeR 11.7 色度色散 246 1<cx!=w' 11.8 色散补偿 249 I
Bko"|e@ 11.9 空间光线偏移 256 3dJiu 11.10 参考文献 258 ArScJ\/Nwv 12 公差与误差 260 ^Nu j/ 12.1 蒙特卡罗模型 260 omznSL 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 `sA xk 12.2.1 误差工具 267 AAqfp/DC 12.2.2 灵敏度工具 271 TRJTJM_k 12.2.2.1 独立灵敏度 271 [e_<UF@A* 12.2.2.2 灵敏度分布 275 #K*p1}rf 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 zl|+YjR 12.3 参考文献 276 Z78i7k } 13 Runsheet 与Simulator 277 IwOL1\'T4 13.1 原理介绍 277 /q8B | (U 13.2 截止滤光片设计 277 tc{l?7P 14 光学常数提取 289 e&E7_ 14.1 介绍 289 4>2\{0r 14.2 电介质薄膜 289 l8:!{I?s= 14.3 n 和k 的提取工具 295 _
nz^+ 14.4 基底的参数提取 302 m%UF{I, 14.5 金属的参数提取 306 I8 [
* 14.6 不正确的模型 306 }gFa9M< 14.7 参考文献 311 nE?:nJ|%E 15 反演工程 313 TtnJ
u* 15.1 随机性和系统性 313 ;#+I"Ow 15.2 常见的系统性问题 314 )T? BO 15.3 单层膜 314 (D6ks5Uui 15.4 多层膜 314 >DbG
)0| 15.5 含义 319 W7(5z 15.6 反演工程实例 319 $at\aJ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 &
P%# 15.6.2 反演工程提取折射率 327 }D`ZWTjDay 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 `Y+R9bd 16.1 光学性质的热致偏移 329 \gK'g-)} 16.2 应力工具 335 V|F/ynJfA 16.3 均匀性误差 339 P)XR9&o': 16.3.1 圆锥工具 339 K>5bb 16.3.2 波前问题 341 .gNziDO
16.4 参考文献 343 L@jpid95 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
_|4QrZ$n( 17.1 引言 345 .:4*HB 17.2 操作数 345 MmU`i ,z 18 如何在Function中编写脚本 351 |'u BkL0q 18.1 简介 351 }}u`*&,g 18.2 什么是脚本? 351 mkPqxzxbrL 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 >e(@!\ x 18.4 基础 352 kGC*\?<LmR 18.4.1 Classes(类别) 352
m5a'Vs 18.4.2 对象 352 L]Xx-S 18.4.3 信息(Messages) 352 ZsCwNZR 18.4.4 属性 352 wDSwcNS 18.4.5 方法 353 b6H7>x 18.4.6 变量声明 353 nr8#;D 18.5 创建对象 354 8e
?9:VM] 18.5.1 创建对象函数 355 ;CoD5F! 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 pHye8v4fvi 18.5.3 丢弃对象 356 5\O&pz@D 18.5.4 总结 356 ;Jb%2?+=! 18.6 脚本中的表格 357 m(dW["8D 18.6.1 方法1 357 p&0 G 18.6.2 方法2 357
/J Y6S 18.7 2D Plots in Scripts 358 >WJQxL4 18.8 3D Plots in Scripts 359 Sn
7h$ 18.9 注释 360 44w
"U%+ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 @3 + 18.11 一个更高级的脚本 362 aqI m W 18.12 <esc>键 364 <lU(9)
L;& 18.13 包含文件 365 d_f*'M2Gv 18.14 脚本被优化调用 366 <Wj/A/ 18.15 脚本中的对话框 368 #6mw CA| 18.15.1 介绍 368 =Lb(N61 18.15.2 消息框-MsgBox 368 bE=[P}E
18.15.3 输入框函数 370 [#SO}'1n 18.15.4 自定义对话框 371 0S
}\ML 18.15.5 对话框编辑器 371 SOMAs'= 18.15.6 控制对话框 377 m;IKV, 18.15.7 更高级的对话框 380 #N'9F&:V$ 18.16 Types语句 384 F9(jx#J~t 18.17 打开文件 385 [H9<JdUZ 18.18 Bags 387 JDp=w,7LF 18.13 进一步研究 388 |5q,%9_ 19 vStack 389 /qq*"R 19.1 vStack基本原理 389 - K"L6m| 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 _5p]Arg?}& 19.3 五棱镜 393 V`i (vC( 19.4 光束距离 396 5p-vSWr! 19.5 误差 399 jROh3kq 19.6 二向分色棱镜 399 L$ ^ew0C 19.7 偏振泄漏 404 %kH,Rl\g 19.8 波前误差—相位 405 jaVx9FR+ 19.9 其它计算参数 405 {A%&D^o) 20 报表生成器 406 0C"2?etMx 20.1 入门 406 P!)F1U]!
20.2 指令(Instructions) 406 n$>_2v 20.3 页面布局指令 406 ADP3Nic 20.4 常见的参数图和三维图 407 }s#4m 20.5 表格中的常见参数 408 zxd<Cq>d 20.6 迭代指令 408 Tc/<b2\g 20.7 报表模版 408 4{ZVw/VP,- 20.8 开始设计一个报表模版 409 V1,~GpNx 21 一个新的project 413 xa
!/. 21.1 创建一个新Job 414 =+<DNW@% 21.2 默认设计 415 ,?%o ~ 21.3 薄膜设计 416 >>;He7 21.4 误差的灵敏度计算 420 .#K\u![@N 21.5 显色指数计算 422 N
;n55N 21.6 电场分布 424 .Rb1%1bdc 后记 426 D.a\O9q"&{
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