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T@uY6))>F 内容简介 LZV Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 w%)=`'s_ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 W~
XJ ']e 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 [ XjJsk, ~oh=QakW 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 JNRG[j 目录 R 28v5 Preface 1 \aQBzEX 内容简介 2 =9GL;z:R+ 目录 i J
(Yfup 1 引言 1 cOthq87: 2 光学薄膜基础 2 CE:TQzg 2.1 一般规则 2
!9DqW&8 2.2 正交入射规则 3 -kxNJ Gc? 2.3 斜入射规则 6 @kn0f` 2.4 精确计算 7 %p)6m2Sb 2.5 相干性 8 xxgS!J 2.6 参考文献 10 /pZLt)=P 3 Essential Macleod的快速预览 10 g= k}6"F~ 4 Essential Macleod的特点 32 dX: (%_Mn 4.1 容量和局限性 33 c%r?tKG6 4.2 程序在哪里? 33 @dV'v{:, 4.3 数据文件 35 0:R} 4.4 设计规则 35 UMuqdLaT9 4.5 材料数据库和资料库 37 /Ou`$2H87 4.5.1材料损失 38 E8u:Fgs 4.5.1材料数据库和导入材料 39 aR ao\Wp| 4.5.2 材料库 41 #.UooFk+Y 4.5.3导出材料数据 43 Xy:'f".M~\ 4.6 常用单位 43 _9wX8fh3D 4.7 插值和外推法 46 UP}Ys* 4.8 材料数据的平滑 50 ")"VQ|$y 4.9 更多光学常数模型 54 RxY
;'NY 4.10 文档的一般编辑规则 55 2ixg
ix 4.11 撤销和重做 56 b"t95qlL 4.12 设计文档 57 O E0w/{ 4.10.1 公式 58 c_<m8b{AEF 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 qP6]}Aj] 4.10.3 沉积密度 59 DcE)6z# 4.10.4 平行和楔形介质 60 |Xk'd@< 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ,J"6(nk 4.10.4 性能 61 O&Q_vY 4.10.5 保存设计和性能 64 S)of.Nq.; 4.10.6 默认设计 64 d76k1-m\o 4.11 图表 64 O7%<( 4.11.1 合并曲线图 67 >
$DMVtE0 4.11.2 自适应绘制 68 'Ar+k\.J 4.11.3 动态绘图 68 (wU<Kpt?J 4.11.4 3D绘图 69 <61T)7 4.12 导入和导出 73 G
<
Z)y# 4.12.1 剪贴板 73 y{+$B
Y$_ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 9&fS<Hk 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 0m7ANqE[Z 4.13 背景 77 &[$qA 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ~+}w>jIm{| 4.15 生成Rugate 84 k'E3{8<! 4.16 参考文献 91 :0x,%V74_! 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 <|[G=GA\S! 5.1 Jobs 92 x1</%y5ev 5.2 创建一个新Job(工作) 93 i"Hec9Ri 5.3 输入材料 94 D*BZp0x 5.4 设计数据文件夹 95 >=BH$4Ce 5.5 默认设计 95 t+7h(?8L 6 细化和合成 97 \fIGMoy! 6.1 优化介绍 97 _^;+_6&[ 6.2 细化 (Refinement) 98 {I0b%>r= 6.3 合成 (Synthesis) 100 JpqZVu"7 6.4 目标和评价函数 101 |VxEWU/ 6.4.1 目标输入 102 &NZl_7PL 6.4.2 目标 103 $mOVo'2 6.4.3 特殊的评价函数 104 ivDmPHj{ 6.5 层锁定和连接 104 IV*@}~BJ 6.6 细化技术 104 (T:OZmEO. 6.6.1 单纯形 105 CZ"~N` 6.6.1.1 单纯形参数 106 .'N:]G@! 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 @zo}#.g 6.6.2.1 Optimac参数 108 s\i:;`l:=5 6.6.3 模拟退火算法 109 i3#To}g5V 6.6.3.1 模拟退火参数 109 V}gP'f07zy 6.6.4 共轭梯度 111 Agt6G\n 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 VWDXEa9 6.6.5 拟牛顿法 112 4Gz5Ju 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 7R9.g6j 6.6.6 针合成 113 "!43,!< 6.6.6.1 针合成参数 114 C_xOk'091 6.6.7 差分进化 114 !lQGoXQ'4 6.6.8非局部细化 115 &c!d}pU} 6.6.8.1非局部细化参数 115 ZI.;7G@| 6.7 我应该使用哪种技术? 116 .>?h 6.7.1 细化 116 o zg%- 6.7.2 合成 117 b{Srd3 6.8 参考文献 117 xS.Rpx/8 7 导纳图及其他工具 118 vxuxfi8x 7.1 简介 118 XfY~q~f8 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 4C AV) 7.2.1 四分之一波长规则 119 \i1>/`F 7.2.2 导纳图 120 R-odc,P= 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Ip c2Qsa 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 +LBDn"5 7.5 斜入射导纳图 141 eyq\a'tyB 7.6 对称周期 141 !;Hi9,<#7g 7.7 参考文献 142 A8Z2o\+ 8 典型的镀膜实例 143 F>N3GPRl 8.1 单层抗反射薄膜 145 V.<$c1#=$ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 vn
oI.;H, 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 : (IPrQ 8.4 W-膜层 148 "mT95x\NA\ 8.5 V-膜层 149 F:$Dz?F0v 8.6 V-膜层高折射基底 150 X3nt*G1dL 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 /P_1vQq 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 V[E7mhqy 8.9 四层抗反射薄膜 153 yWS#{|o( 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 H<tk/\C 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 _`RzPIS^ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 }m '= _u 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 g~q+a- 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 /JP]5M) 8.15十五层宽带抗反射膜 159 e<_yr>9g" 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 \Xy]z 8.17 1/4波长堆栈 162 1|K>V;C 8.18 陷波滤波器 163 nq'vq]] 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 PqOy"HO 8.20 褶皱 165 "v.]s;g 8.21 消偏振分光器1 169 t<`h(RczHI 8.22 消偏振分光器2 171 q\ihye 8.23 消偏振立体分光器 172 X`,4pSQ; 8.24 消偏振截止滤光片 173 iC U[X& 8.25 立体偏振分束器1 174 JGmW>mH 8.26 立方偏振分束器2 177 R<r"jOd] 8.27 相位延迟器 178 [w iI 8.28 红外截止器 179 q;I`&JK 8.29 21层长波带通滤波器 180 8 I'1~d%$ 8.30 49层长波带通滤波器 181 o;#{N~4[$ 8.31 55层短波带通滤波器 182 e"jA#Y # 8.32 47 红外截止器 183 qF9rY)ifm 8.33 宽带通滤波器 184 K?l1Gj 8.34 诱导透射滤波器 186 WA);Z= 8.35 诱导透射滤波器2 188 tykA69X\W 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 to0tH^pD 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 !*46@sb: 8.35 增益平坦滤波器 193 Q:iW k6 8.38 啁啾反射镜 1 196 ?nm:e.S+? 8.39 啁啾反射镜2 198 id^U%4J 8.40 啁啾反射镜3 199 ?$O5w* 8.41 带保护层的铝膜层 200 X^3 0a*sj 8.42 增加铝反射率膜 201 wf7<#jIq 8.43 参考文献 202 IBwquw+ 9 多层膜 204 5io7!% 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 0Sz&Oguv 9.2 内部透过率 204 lYd#pNN 9.3 内部透射率数据 205 //--r5Q 9.4 实例 206 Q*TxjE7K
9.5 实例2 210 #vO3*-hs 9.6 圆锥和带宽计算 212 Q9K+k*?{N 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Z2chv,SqCJ 10 光学薄膜的颜色 216 )k&pp^q\ 10.1 导言 216 1B3,lYBM 10.2 色彩 216 c%.f|/.k
10.3 主波长和纯度 220 UQ|zSalv, 10.4 色相和纯度 221 $XS0:C0 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 m RCgKW< 10.6 色差 226 -X@;"0v 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 QN(f8t( 10.8 颜色渲染指数 234 XEqg%f 10.9 色差计算 235 `
n{rzenPX 10.10 参考文献 236 dE5DH~ldV 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 !2x"'o 11.1 短脉冲 238 Vvx(7p-GQ 11.2 群速度 239 M3Kpp_d_! 11.3 群速度色散 241 v)JQb-< 11.4 啁啾(chirped) 245 K*J8(/WkD 11.5 光学薄膜—相变 245 rL URP2~ 11.6 群延迟和延迟色散 246 PiB)pUYj 11.7 色度色散 246 *f8,R"]-g 11.8 色散补偿 249 .Jdw: 11.9 空间光线偏移 256 MW9B
-x 11.10 参考文献 258 ej,MmLu~^ 12 公差与误差 260 [ hj|8) 12.1 蒙特卡罗模型 260 \3q{E",\>@ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 4x'^?0H@ 12.2.1 误差工具 267 |xzqYu?o 12.2.2 灵敏度工具 271 c: *wev 12.2.2.1 独立灵敏度 271 PqcuSb6 12.2.2.2 灵敏度分布 275 [[D}vL8d 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 HZQ I | 12.3 参考文献 276 #)R;6" 13 Runsheet 与Simulator 277 We#*.nr{3Z 13.1 原理介绍 277 &3{:h 13.2 截止滤光片设计 277 P7\(D` 14 光学常数提取 289 p)ZlQ.d#Y 14.1 介绍 289 G%YD2<V 14.2 电介质薄膜 289 =Ak>2 14.3 n 和k 的提取工具 295 JXj` 14.4 基底的参数提取 302 !w
f N~.Y 14.5 金属的参数提取 306 MC#bo{Bq3- 14.6 不正确的模型 306 1,PFz 14.7 参考文献 311 mQ%kGqs 15 反演工程 313
(I.uQP~H 15.1 随机性和系统性 313 svpWABO 15.2 常见的系统性问题 314 H@IX$+;z 15.3 单层膜 314 nE-=7S L 15.4 多层膜 314 @=wAk5[IN 15.5 含义 319 B_cn[?M 15.6 反演工程实例 319 ^e>v{AE% 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 =< CH( 4! 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ?5mVC]W?] 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 =|3L'cDC 16.1 光学性质的热致偏移 329 QHs=Zh;" 16.2 应力工具 335 N83RsL "}_ 16.3 均匀性误差 339 ]VJcV.7` 16.3.1 圆锥工具 339 '%RMpyK~ 16.3.2 波前问题 341 s*9tWSd 16.4 参考文献 343 mA^>Y_: 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 \((>i7C 17.1 引言 345 66L*6O4 17.2 操作数 345 >Dtw^1i 18 如何在Function中编写脚本 351 ,A6*EJ\w 18.1 简介 351 cJ8*[H<NV 18.2 什么是脚本? 351 6C]!>i}U 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 &I(|aZx?J 18.4 基础 352 Kg](kP 18.4.1 Classes(类别) 352 ]Vwky]d 18.4.2 对象 352 s?Q`#qD 18.4.3 信息(Messages) 352 7DYD+N+T 18.4.4 属性 352 V$v;lvt^Uq 18.4.5 方法 353 iBUf1v 18.4.6 变量声明 353 aRG[F*BY 18.5 创建对象 354 W)4xO>ck*3 18.5.1 创建对象函数 355 |e< U %v 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 3F.O0Vz 18.5.3 丢弃对象 356 0)2lBfHQ& 18.5.4 总结 356 !-MG"\#Wq 18.6 脚本中的表格 357 Rkm7"dO0 18.6.1 方法1 357 k6Tpaf^ 18.6.2 方法2 357 [\.>BK 18.7 2D Plots in Scripts 358 %ANPv = 18.8 3D Plots in Scripts 359 SiBbz4 18.9 注释 360 JnsXEkM) 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 15eHdd d 18.11 一个更高级的脚本 362 /Cg/Rwl 18.12 <esc>键 364 HdnSs0/ 18.13 包含文件 365 d?{2A84S 18.14 脚本被优化调用 366 &0C!P=-p 18.15 脚本中的对话框 368 / 9;Pbxn 18.15.1 介绍 368 50R+D0^mh 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ^#t<ILUa 18.15.3 输入框函数 370 J2cNwhZ 18.15.4 自定义对话框 371 11-uJVO~* 18.15.5 对话框编辑器 371 vCmh3TQ 18.15.6 控制对话框 377 eD(a
+El} 18.15.7 更高级的对话框 380 +_}2zc4 18.16 Types语句 384 R;.WOies4 18.17 打开文件 385 (@#Lk"B 18.18 Bags 387 w6yeX<!ll 18.13 进一步研究 388 PQ(%5c1e 19 vStack 389 CKR9APkv 19.1 vStack基本原理 389 AdYQhF## 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 :|A db\b 19.3 五棱镜 393 )I$Mh@F 19.4 光束距离 396 =~S
19.5 误差 399 P4AdfHk 19.6 二向分色棱镜 399 W2B=%`sC 19.7 偏振泄漏 404 #FQVhgc 19.8 波前误差—相位 405
CFA> 19.9 其它计算参数 405 j,-7J*A~ 20 报表生成器 406 YOoP]0'L 20.1 入门 406 X5yh S 20.2 指令(Instructions) 406 |S}*M<0 20.3 页面布局指令 406 OlJj|?z$ 20.4 常见的参数图和三维图 407 >k#aB.6 20.5 表格中的常见参数 408 c,fedH; 20.6 迭代指令 408 ujh4cp 20.7 报表模版 408 ~zX5}U<R 20.8 开始设计一个报表模版 409 l85"C 21 一个新的project 413
'ng/A4 21.1 创建一个新Job 414 od fu7P_ 21.2 默认设计 415 _L72Ae(_ 21.3 薄膜设计 416 igL^k`&5^" 21.4 误差的灵敏度计算 420 CUG<v3\ 21.5 显色指数计算 422 U,S286 21.6 电场分布 424 u^uG_^^,/ 后记 426 K!~](_W!
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