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;7G_f 内容简介 UCqs}U8 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 =;c_} VY 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 9EF~l9`'U 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 rPq<Xb\ e-D4'lu 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 rcbP$tvz 目录 Na!za'qk[o Preface 1 J+<p+(^*v 内容简介 2 @Hr+/52B 目录 i |LYKc.xo 1 引言 1 wFlV=!>, 2 光学薄膜基础 2 P0\eBS 2.1 一般规则 2 M/jb}*xDR 2.2 正交入射规则 3 L{ ^4DznI 2.3 斜入射规则 6 ekzjF\!y 2.4 精确计算 7 VfSGCe 2.5 相干性 8 _GbE^ 2.6 参考文献 10 &y:CW>T$/X 3 Essential Macleod的快速预览 10 [wcA.g* F 4 Essential Macleod的特点 32 ~LE[,
I:q 4.1 容量和局限性 33 Z6=~1'<X 4.2 程序在哪里? 33 lg/sMF>z\f 4.3 数据文件 35 Rlc$;Z9K 4.4 设计规则 35 K=kH%ZK 4.5 材料数据库和资料库 37 {},;-%xE 4.5.1材料损失 38 shi
Hy*(v 4.5.1材料数据库和导入材料 39 h-'wV${b 4.5.2 材料库 41 ,8SWe 4.5.3导出材料数据 43 q6[}ydV 4.6 常用单位 43 By)3*<5a_ 4.7 插值和外推法 46 !7` [i 4.8 材料数据的平滑 50 I($,9|9F 4.9 更多光学常数模型 54 $N.`)S< 4.10 文档的一般编辑规则 55 ?f2G?Y 4.11 撤销和重做 56 cgNt_8qC 4.12 设计文档 57 x1DVD!0 ~{ 4.10.1 公式 58 anx&Xj|=.F 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 G\/IM 4.10.3 沉积密度 59 d/B* 4.10.4 平行和楔形介质 60 9.Ap~Ay. 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 DPPS?~Pq 4.10.4 性能 61 %aLCH\e 4.10.5 保存设计和性能 64 <:cpz* G4 4.10.6 默认设计 64 ;nf&c;D 4.11 图表 64 /VtlG+dLl 4.11.1 合并曲线图 67 i]M"Cu* 4.11.2 自适应绘制 68 -lp"#^ ; 4.11.3 动态绘图 68 5^|"_Q#: 4.11.4 3D绘图 69 U?6yke 4.12 导入和导出 73 g3a/;wl 4.12.1 剪贴板 73 !"(u_dFw 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 DNho%Xk 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 F^sw0 .b 4.13 背景 77 J8h7e}n? 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 1#!@[" 4.15 生成Rugate 84 *SGlqR['\e 4.16 参考文献 91 >x?2Fz. 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 0o;~~\fq. 5.1 Jobs 92 Hd*Fc=>"Y 5.2 创建一个新Job(工作) 93 j1F w
U 5.3 输入材料 94 fIEw(k<* 5.4 设计数据文件夹 95 r9;` 5.5 默认设计 95 _@|fva&s,; 6 细化和合成 97 T:n<db,Px 6.1 优化介绍 97 x)\V lR 6.2 细化 (Refinement) 98 g =x"cs/[ 6.3 合成 (Synthesis) 100 SEU\}Ni{ 6.4 目标和评价函数 101 Xv*}1PZH 6.4.1 目标输入 102 (.
H]| 6.4.2 目标 103 {tmKCG 6.4.3 特殊的评价函数 104 =f4<({9 6.5 层锁定和连接 104 |<2
*v-a 6.6 细化技术 104 |Pf(J;'[ 6.6.1 单纯形 105 2|s<[V3rP- 6.6.1.1 单纯形参数 106 zze z~bv7: 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ]F_r6 *< 6.6.2.1 Optimac参数 108 Q(blW 6.6.3 模拟退火算法 109 iRouLd 6.6.3.1 模拟退火参数 109 aYBTrOd z 6.6.4 共轭梯度 111 skK*OO2- 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 /THNP 8. 6.6.5 拟牛顿法 112 rkq)&l=ny 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 q'2`0MRa
6.6.6 针合成 113 [lOf|^9 6.6.6.1 针合成参数 114 yYB NH1 6.6.7 差分进化 114 Np)ho8zU 6.6.8非局部细化 115 @bY?$fj_u 6.6.8.1非局部细化参数 115 #hZQ>zcF 6.7 我应该使用哪种技术? 116 .5^a;`-+ 6.7.1 细化 116 3~:0?Zuq 6.7.2 合成 117 4y1> 6.8 参考文献 117 kI<WvgoL 7 导纳图及其他工具 118 (`F|nG=X 7.1 简介 118 ?Oqzd$- 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 1ThwvF%Qo 7.2.1 四分之一波长规则 119 E0T&GR@. 7.2.2 导纳图 120 Y.(v{l 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 >6k}HrS1V 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 s`r-v/3l 7.5 斜入射导纳图 141 8Kk3_ y 7.6 对称周期 141 SF"#\{cjj 7.7 参考文献 142 Jxn3$ 8 典型的镀膜实例 143 A1=_nt)5 8.1 单层抗反射薄膜 145 %`eJ66T 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 b h*^{ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 %mJ~F*Dy 8.4 W-膜层 148 uFC?_q?4\ 8.5 V-膜层 149 CJv>/#$/F 8.6 V-膜层高折射基底 150 IO*l vy 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Ma>:_0I5 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 T!1SMo^ 8.9 四层抗反射薄膜 153 "bPCOJ[v9 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 yAAG2c4( 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 &adY 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ,%[LwmET 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 )
b/n)%6 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 mF}c-
D 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Z@}sCZ=#A 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 WN$R[N 8.17 1/4波长堆栈 162 6zv;lx0<D& 8.18 陷波滤波器 163 3IGCl w( 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 (=`Z0)= 8.20 褶皱 165 Z(KmS( 8.21 消偏振分光器1 169 c%ZeX%p 8.22 消偏振分光器2 171 VccM=w%* 8.23 消偏振立体分光器 172 0r0c|*[+4z 8.24 消偏振截止滤光片 173 hHCzj*5 8.25 立体偏振分束器1 174 \Bt=bu>Z 8.26 立方偏振分束器2 177 R!@|6=]iG 8.27 相位延迟器 178 .N/GfR`0/< 8.28 红外截止器 179 ax4*xxU 8.29 21层长波带通滤波器 180 sfyBw 8.30 49层长波带通滤波器 181 3R'.}^RN 8.31 55层短波带通滤波器 182 l6V%"Lo/) 8.32 47 红外截止器 183 ] xb]8] 8.33 宽带通滤波器 184 vc )9Re$ 8.34 诱导透射滤波器 186 K*HCFqrU" 8.35 诱导透射滤波器2 188 iD.0J/ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 /%62X{=>; 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 {%=S+89l 8.35 增益平坦滤波器 193 oDz*~{BHg 8.38 啁啾反射镜 1 196 =E&2 4 8.39 啁啾反射镜2 198 Z"-ntx# 8.40 啁啾反射镜3 199 O;UiYrXU 8.41 带保护层的铝膜层 200 tp#Z@5= 8.42 增加铝反射率膜 201 RV(
w%g 8.43 参考文献 202 ]Mn&76fu 9 多层膜 204 y*}AX%8`e~ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 cT_uJbP+ 9.2 内部透过率 204 $<
A8gTJ 9.3 内部透射率数据 205 xR*5q1j 9.4 实例 206 {An8/"bv} 9.5 实例2 210 &1*4%N@' 9.6 圆锥和带宽计算 212 7X(rLd
6# 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Rl y jOf{0 10 光学薄膜的颜色 216 )!N2'Ld 10.1 导言 216 y=-{Q 10.2 色彩 216 tceIA8d6
10.3 主波长和纯度 220 W"W@WG9X0 10.4 色相和纯度 221 ^Vl^,@ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 N{ : [/ 10.6 色差 226 9@(O\ xr 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 's =Q.s 10.8 颜色渲染指数 234 C]yvK} 10.9 色差计算 235 2~#ZO?jE6 10.10 参考文献 236 nsZDZ/jx 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ^:qpa5^" 11.1 短脉冲 238 T {hyt 11.2 群速度 239 Lv 11.3 群速度色散 241 JCM)N8~i 11.4 啁啾(chirped) 245 \#uqD\DE 11.5 光学薄膜—相变 245 -$AjD?; 11.6 群延迟和延迟色散 246 QV`X?m
11.7 色度色散 246 g@$0FY{Q 11.8 色散补偿 249 g ^D)x[ 11.9 空间光线偏移 256 ;[?J5X, 11.10 参考文献 258 ^ze@#Cp 12 公差与误差 260 NFdJb\ 12.1 蒙特卡罗模型 260 29R_n)ne 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 9QX&7cs&[ 12.2.1 误差工具 267 6$W -? 12.2.2 灵敏度工具 271 2Som0T<2 12.2.2.1 独立灵敏度 271 zb@L)% 12.2.2.2 灵敏度分布 275 =@bXGMsV! 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 O{;M6U8C\ 12.3 参考文献 276 JA}S{ 13 Runsheet 与Simulator 277 F@>w&A~K 13.1 原理介绍 277 3c1o,2 13.2 截止滤光片设计 277 ODM>Z8@W/ 14 光学常数提取 289 )v*v 14.1 介绍 289 gg lNpzj 14.2 电介质薄膜 289 P Xyyyir{ 14.3 n 和k 的提取工具 295 `l
HKQwu 14.4 基底的参数提取 302 OU0xZ=G 14.5 金属的参数提取 306 vG'vgUo 14.6 不正确的模型 306 0!3!?E < 14.7 参考文献 311 wo,""=l 15 反演工程 313 ;n yB 15.1 随机性和系统性 313 B|$\/xO 15.2 常见的系统性问题 314 V/QTYy1 15.3 单层膜 314 ,gAr|x7_ 15.4 多层膜 314 OGSEvfW 15.5 含义 319 eLHa9R{)B 15.6 反演工程实例 319 o`<h=+a\ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 o'x_g^ Y 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Wh#_9); 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 d&GK |