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Rs`Vr_?Hk 内容简介 "4J?JR Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 hnH)Jy;> 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 dOYlI`4 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 4Sd+"3M ABd153oW" 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 TG""eC!E 目录 _SU,f> Preface 1 FjK Ke7 内容简介 2 .N?|t$J 目录 i [YL sEo= 1 引言 1 7{?lEQ&UE 2 光学薄膜基础 2 Y}eZPG.h 2.1 一般规则 2 B3ohHxHu 2.2 正交入射规则 3 #g5't4zqx 2.3 斜入射规则 6 bEOOFs 2.4 精确计算 7 Fj[ dO& 2.5 相干性 8 #c8" 2.6 参考文献 10 iPRJA{$b_ 3 Essential Macleod的快速预览 10 LR
8e|H0 4 Essential Macleod的特点 32 roK4RYJ7) 4.1 容量和局限性 33 pO-)x:Wg 4.2 程序在哪里? 33 [ni-UNTv 4.3 数据文件 35 BxW||O|_N" 4.4 设计规则 35 0TuNA\Ug+ 4.5 材料数据库和资料库 37 8'
WLm 4.5.1材料损失 38 +btP]?04 4.5.1材料数据库和导入材料 39 {Tjtj@- 4.5.2 材料库 41 d#M?lS> 4.5.3导出材料数据 43 Qe'PAN=B 4.6 常用单位 43 uWM4O@Qn)d 4.7 插值和外推法 46 dUBVp 9PB 4.8 材料数据的平滑 50 ]G$!/vXP 4.9 更多光学常数模型 54 lcuH]z 4.10 文档的一般编辑规则 55 R[2[[M 4.11 撤销和重做 56 DU*Hnii 4.12 设计文档 57 tPMgZ 4.10.1 公式 58 r(`8A:#d 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 }K qw\]` 4.10.3 沉积密度 59 .1l[l5$ 4.10.4 平行和楔形介质 60 *o2_EqXL* 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 kG~ivB}x 4.10.4 性能 61 bN<O<x1j 4.10.5 保存设计和性能 64 n^I|}u\ 4.10.6 默认设计 64 ZFd{q)qe 4.11 图表 64 *1;L,*J"| 4.11.1 合并曲线图 67 $$)<(MP3 4.11.2 自适应绘制 68 PdE)m/ 4.11.3 动态绘图 68 ;9- 4J 4.11.4 3D绘图 69 a'L7y% 4.12 导入和导出 73 o 2$<>1^ 4.12.1 剪贴板 73 |x}&wFV 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 bx'B;rZr 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 _s=Pk[e 4.13 背景 77 & t @ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Hr_x~n=w 4.15 生成Rugate 84 $4fjSSB~ 4.16 参考文献 91 &nY2u-Q 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 r]K0
]h@B 5.1 Jobs 92 b~N|DKj 5.2 创建一个新Job(工作) 93 lj% ;d' 5.3 输入材料 94 pQ6t]DJ4 5.4 设计数据文件夹 95 V0wC@? 5.5 默认设计 95 fjzr8vU}C 6 细化和合成 97
4pOc` 6.1 优化介绍 97 1tK6lrhj 6.2 细化 (Refinement) 98 ;Ef)7GE@\[ 6.3 合成 (Synthesis) 100 TQyFF/K 6.4 目标和评价函数 101 WLA_YMlA 6.4.1 目标输入 102 Q'V,?# 6.4.2 目标 103 1OJD\wc 6.4.3 特殊的评价函数 104 1QdB`8in 6.5 层锁定和连接 104 OYCFx2{ 6.6 细化技术 104 }j5@\c48 6.6.1 单纯形 105 A 'P}mrY 6.6.1.1 单纯形参数 106 <\#
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 hgMnO J 6.6.2.1 Optimac参数 108 V3Rnr8 6.6.3 模拟退火算法 109 {:q9: 6.6.3.1 模拟退火参数 109 zz''FmedF 6.6.4 共轭梯度 111 P^W$qy| 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 eWt>^]H~ 6.6.5 拟牛顿法 112 s(DaPhL6Qm 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 H'(o}cn7~ 6.6.6 针合成 113 `J;/=tf09 6.6.6.1 针合成参数 114 XVK[p=cIL 6.6.7 差分进化 114 X+G*Q}5 6.6.8非局部细化 115 4pHPf<6 6.6.8.1非局部细化参数 115 KARQKFp!C> 6.7 我应该使用哪种技术? 116 3t}o0Ai9 6.7.1 细化 116 `oI/;& 6.7.2 合成 117 XdXS^QA.s 6.8 参考文献 117 b`%e{99\ 7 导纳图及其他工具 118 Q $,kB<M 7.1 简介 118 x#xO { 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 6P[O8 7.2.1 四分之一波长规则 119 '%/u103{e 7.2.2 导纳图 120 {?M*ZRO' 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 y8 u)Q 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 IF21T 7.5 斜入射导纳图 141 eEb1R}@ 7.6 对称周期 141 loVvr"&g 7.7 参考文献 142 m##z 8 典型的镀膜实例 143 $@!&ML 8.1 单层抗反射薄膜 145 \7?MUa.4 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 x@(f^P 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 rsj}hS$ 8.4 W-膜层 148 1OGv+b)
8.5 V-膜层 149 %^BOYvPx 8.6 V-膜层高折射基底 150 )ejqE6'[ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 wOl-iN= 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
SCC/
<o 8.9 四层抗反射薄膜 153 PL2Q!i`[o 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 D,R2wNF 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ])";Z 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 RJm8K,3# 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 A>,fG9pR 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 N=q29JU 8.15十五层宽带抗反射膜 159 o sH,(\4_ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Ljs(<Gm)- 8.17 1/4波长堆栈 162 OehB"[;+ 8.18 陷波滤波器 163 @g5]w&o_ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 w%u[~T7OI 8.20 褶皱 165 M L_J<|,J 8.21 消偏振分光器1 169 t|XC4:/>T 8.22 消偏振分光器2 171 N.cRZm% 8.23 消偏振立体分光器 172 .VV!$;
FB 8.24 消偏振截止滤光片 173 ~./u0E 8.25 立体偏振分束器1 174 ZuV 8.26 立方偏振分束器2 177 K&oO+ G^f 8.27 相位延迟器 178 R^C;D2 8.28 红外截止器 179 D#AxgF_He 8.29 21层长波带通滤波器 180 ^]K)V 8.30 49层长波带通滤波器 181 87*[o 8.31 55层短波带通滤波器 182 ?(hQZR
0e 8.32 47 红外截止器 183 s8O+&^(U 8.33 宽带通滤波器 184 g9Qxf% } 8.34 诱导透射滤波器 186 O!yn
`<l 8.35 诱导透射滤波器2 188 p;01a 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 oW9rl]+ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ]8z6gDp 8.35 增益平坦滤波器 193 U9OF0=g 8.38 啁啾反射镜 1 196 r+yLK(<zp 8.39 啁啾反射镜2 198 `-\JjMSQ1 8.40 啁啾反射镜3 199 )y Y;% 8.41 带保护层的铝膜层 200 eW<hC( 8.42 增加铝反射率膜 201 OH~qJ< 8.43 参考文献 202 id9T[^h 9 多层膜 204 ,4$J|^T& 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ps
J 1J 9.2 内部透过率 204 T}On:*& 9.3 内部透射率数据 205 M57(,#g 9.4 实例 206 $dUN+9 9.5 实例2 210 .
2Q/D?a 9.6 圆锥和带宽计算 212 7dW&|U 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Y5pNKL 10 光学薄膜的颜色 216 t)+dW~g 10.1 导言 216 a}{! %5 10.2 色彩 216 'D{abm0 10.3 主波长和纯度 220 !(o2K!v0 10.4 色相和纯度 221 $SgD|
9 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 );LwWKa 10.6 色差 226 YiMecu 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 2J <Z4Ap 10.8 颜色渲染指数 234 6U]7V 10.9 色差计算 235 MQu6Tm H 10.10 参考文献 236 6Z=H>w 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ybkN^OEJ 11.1 短脉冲 238 tam/FzVw 11.2 群速度 239 0^^i=iE-u 11.3 群速度色散 241 &Gl&m@-j 11.4 啁啾(chirped) 245 XCoOs<O:@ 11.5 光学薄膜—相变 245 ay.IKBXc 11.6 群延迟和延迟色散 246 zvj\n9H 11.7 色度色散 246 fba3aId[ 11.8 色散补偿 249 'Mtu-\ 11.9 空间光线偏移 256 2e=Hjf
)
11.10 参考文献 258 \x}UjHYIc& 12 公差与误差 260 XjNu|H/ 12.1 蒙特卡罗模型 260 b.+\qaR 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 FT=>haN 12.2.1 误差工具 267 >Fh@:M7z 12.2.2 灵敏度工具 271 +J9lD`z 12.2.2.1 独立灵敏度 271 MIJ~j><L 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ~Otf
" < 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 zKr(Gt8 12.3 参考文献 276 l|{<!7a 13 Runsheet 与Simulator 277 cCs:z 13.1 原理介绍 277 B*7o\~5 13.2 截止滤光片设计 277 !NtY4O/ 14 光学常数提取 289 1F/&Y}X 14.1 介绍 289 ,5,4 Qf7 14.2 电介质薄膜 289 )2S\:&x 14.3 n 和k 的提取工具 295 "AVc^> 14.4 基底的参数提取 302 <}%*4mv 14.5 金属的参数提取 306 D?R z| 14.6 不正确的模型 306 C/=ZNl9"fn 14.7 参考文献 311 25r=Xv 15 反演工程 313 EQ -\tWY 15.1 随机性和系统性 313 *yx:nwmo 15.2 常见的系统性问题 314 QNY{pk 15.3 单层膜 314 V
Euv 15.4 多层膜 314 4(]k=c1< 15.5 含义 319 (XQG"G%U6W 15.6 反演工程实例 319 3 a`-_< 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 q6dq@ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 VTU-'q 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Wu(GC]lTG 16.1 光学性质的热致偏移 329 vbp)/I-h 16.2 应力工具 335 AyDK-8a 16.3 均匀性误差 339 #XZ?,neY 16.3.1 圆锥工具 339 U<x3=P 16.3.2 波前问题 341 DWG}}vN:& 16.4 参考文献 343 "d'@IN 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 pFh2@O 17.1 引言 345 I5mS!m/X 17.2 操作数 345 tx.sUu6 18 如何在Function中编写脚本 351 Ue7~rPdlR 18.1 简介 351 pH%K4bV)8 18.2 什么是脚本? 351 5ym
=2U 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 'JydaF~> 18.4 基础 352 (DU{o\= 18.4.1 Classes(类别) 352 VQyDd~Za 18.4.2 对象 352 J{Jxb1:c 18.4.3 信息(Messages) 352 WG,{:|!E 18.4.4 属性 352 %/7`G-a.B 18.4.5 方法 353 j,Y=GjfGM 18.4.6 变量声明 353 9ccEF6o0= 18.5 创建对象 354 SFHa(JOS 18.5.1 创建对象函数 355 b3ZPlLx6 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 01J.XfCd6 18.5.3 丢弃对象 356 <}ev Ow2 18.5.4 总结 356 ` WVQp"m 18.6 脚本中的表格 357 M1:m"#= 18.6.1 方法1 357 :Vg,[\I{ 18.6.2 方法2 357 +.=a
R<Q 18.7 2D Plots in Scripts 358 VH/_0 18.8 3D Plots in Scripts 359 "-9YvB# 18.9 注释 360 ?Gb
18m 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 #/aWGx_ 18.11 一个更高级的脚本 362 :mij%nQ>$ 18.12 <esc>键 364 M:A7=rO~ 18.13 包含文件 365 g#e"BBm=A 18.14 脚本被优化调用 366 p&7>G-. 18.15 脚本中的对话框 368 n%Fa;!S 18.15.1 介绍 368 X- zg 18.15.2 消息框-MsgBox 368 )vw3Y88 18.15.3 输入框函数 370 %!@Dop/< 18.15.4 自定义对话框 371 )gE:@3 18.15.5 对话框编辑器 371 !e?\>
' 18.15.6 控制对话框 377 SpkD 18.15.7 更高级的对话框 380 h
/on 18.16 Types语句 384 n[<Vj1n 18.17 打开文件 385 |
.PLfc; 18.18 Bags 387 b3Do{1BV 18.13 进一步研究 388 MSA*XDnN 19 vStack 389 Tsa&R:SE 19.1 vStack基本原理 389 "ey~w=B$M 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 IgVxWh# 19.3 五棱镜 393 #/n\C 19.4 光束距离 396 hHdC/mR
19.5 误差 399 E|No$QO) 19.6 二向分色棱镜 399 8g<3J-7Mm 19.7 偏振泄漏 404 sGV%O=9?2 19.8 波前误差—相位 405 b747 eR 7E 19.9 其它计算参数 405 hI"I#(*jA% 20 报表生成器 406 Ji=E 1R 20.1 入门 406 zU(U^ 20.2 指令(Instructions) 406 zITXEorF!J 20.3 页面布局指令 406 _c[t.\-`] 20.4 常见的参数图和三维图 407 `A#r6+ 20.5 表格中的常见参数 408 l?ofr*U&-x 20.6 迭代指令 408 L./UgeZ 20.7 报表模版 408 rK];2[U 20.8 开始设计一个报表模版 409 zdr?1= 21 一个新的project 413 ifuVV Fov 21.1 创建一个新Job 414 .*8.{n5 21.2 默认设计 415 -E.EI@" 21.3 薄膜设计 416 <.Pr+g 21.4 误差的灵敏度计算 420 1<lLE1fk 21.5 显色指数计算 422 J|s4c`= 21.6 电场分布 424 55Jk "V#8 后记 426 ^58'*13ZL 详情请扫码咨询 3dXyKi " 4s,a
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