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b`S9#` 内容简介 lV4TFt, Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 pxedj 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 Z+);}>-5 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 04v
~K O_th/hl 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 AT3HHQD 目录 {6qxg _{ Preface 1 aCQ[Uc<B: 内容简介 2 CW8YNJ' 目录 i e<`?$tZ3
1 引言 1 'w72i/ 2 光学薄膜基础 2 ZTfW_0
2.1 一般规则 2 KV&6v`K/N 2.2 正交入射规则 3 T8&sPt,f 2.3 斜入射规则 6 >Sk%78={R 2.4 精确计算 7 BOM0QskLf 2.5 相干性 8 Hi~)C \ 2.6 参考文献 10 u6l)s0Q 3 Essential Macleod的快速预览 10 P2s\f;Dwr 4 Essential Macleod的特点 32 _<c}iZv@ 4.1 容量和局限性 33 Bv3B|D&+ 4.2 程序在哪里? 33 <^KW7M}w*c 4.3 数据文件 35 RX?!MDO 4.4 设计规则 35 Rb:?%\= 4.5 材料数据库和资料库 37 &LB` 4.5.1材料损失 38 T9r6,yY 4.5.1材料数据库和导入材料 39
j^U"GprA 4.5.2 材料库 41 -:45Q{u/ 4.5.3导出材料数据 43 3&M0@/ 4.6 常用单位 43 $w-@Oa*h9U 4.7 插值和外推法 46 v<l]K$5J& 4.8 材料数据的平滑 50 '4~I%Z7L 4.9 更多光学常数模型 54 M($GZ~ b%A 4.10 文档的一般编辑规则 55 ?g@X+!RB 4.11 撤销和重做 56 /.A"HGAk 4.12 设计文档 57 &%/T4$'+Y+ 4.10.1 公式 58 e F}KOOfC 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 DXO'MZon3 4.10.3 沉积密度 59 UEYJd&n0CB 4.10.4 平行和楔形介质 60 z/QYy)_j 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 0/7.RpX,. 4.10.4 性能 61 f qWme:x 4.10.5 保存设计和性能 64 k_?OEkgUh 4.10.6 默认设计 64 e!w2_6?3 4.11 图表 64 I|;zGmg#k 4.11.1 合并曲线图 67 4JO16 4.11.2 自适应绘制 68 *u,&?fCl 4.11.3 动态绘图 68 ?GLCd7TP 4.11.4 3D绘图 69 KZ AF9 4.12 导入和导出 73 zO$r 4.12.1 剪贴板 73 y[S9b(:+ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 3X ',L*f 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 YG0b*QBY~ 4.13 背景 77 x6Gl|e[jv 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 `0q=Z], 4.15 生成Rugate 84 wr,+9uK 4.16 参考文献 91 G6x'Myg I 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 (./Iq#@S 5.1 Jobs 92 pSYEC,0B 5.2 创建一个新Job(工作) 93 9}fez)m:g0 5.3 输入材料 94 Q4]Od{[ 5.4 设计数据文件夹 95 fF9hL3h?) 5.5 默认设计 95 -G_3B(]` 6 细化和合成 97 ]EQ*! 6.1 优化介绍 97 F1M:"-bda 6.2 细化 (Refinement) 98 l4iklg3 6.3 合成 (Synthesis) 100 U^)`_\/;? 6.4 目标和评价函数 101 \ZE=WvnhZ 6.4.1 目标输入 102 ]\}MSo3 6.4.2 目标 103
/Q:mUd 6.4.3 特殊的评价函数 104 Vr%ef:uVV 6.5 层锁定和连接 104 Y!Io @{f 6.6 细化技术 104 pY\=f0] 6.6.1 单纯形 105 -2 8bJ, 6.6.1.1 单纯形参数 106 ,\RR@~u' 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ;/+U.I%z 6.6.2.1 Optimac参数 108 QX=x^(M$m 6.6.3 模拟退火算法 109 @*UV|$~(Q 6.6.3.1 模拟退火参数 109 # M!1W5# 6.6.4 共轭梯度 111 ,]n~j-X 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 gMPp'^g]_ 6.6.5 拟牛顿法 112 # Oq.}x?i 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 qFq$a9w|@ 6.6.6 针合成 113 HRu;*3+%>F 6.6.6.1 针合成参数 114 S9%,{y 6.6.7 差分进化 114 _bgv +/ 6.6.8非局部细化 115 J^<uo( 6.6.8.1非局部细化参数 115 <Kl$ek8 6.7 我应该使用哪种技术? 116 {5d 5Y%& 6.7.1 细化 116 [9MbNJt 8~ 6.7.2 合成 117 7~k=t!gTY 6.8 参考文献 117 ga S}>?qk 7 导纳图及其他工具 118 _.BT%4 7.1 简介 118 KU]o=\ak% 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Unb3
Gv#O 7.2.1 四分之一波长规则 119 p7r/`_'| 7.2.2 导纳图 120 '4Qsl~[Eh 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 o?a3hD 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 5nsoWqnE8 7.5 斜入射导纳图 141 L*vKIP<EMM 7.6 对称周期 141 Qj(ppep\U" 7.7 参考文献 142 T"gk^. 8 典型的镀膜实例 143 r=54@`O! 8.1 单层抗反射薄膜 145 U)aftH
*Pk 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 B_b5&M@ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 &CN(PZv 8.4 W-膜层 148 +"k?G 8.5 V-膜层 149 Y|
ch ; 8.6 V-膜层高折射基底 150 8gt&*;'}*D 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 %yk_(3a 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 R-1MD 8.9 四层抗反射薄膜 153 Z{yH:{Vk
8.10 Reichert抗反射薄膜 154 lNWP9?X 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 HSAr6h 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 8VO];+N 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 |(PS
bu 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 x',6VTz^ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Np r u 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 X|ZAC!J5> 8.17 1/4波长堆栈 162 ;ny 9q 8.18 陷波滤波器 163 J1~E*t^ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 #Q*V9kvU/H 8.20 褶皱 165 BfVh\lkH 8.21 消偏振分光器1 169 Qh-:P`CN 8.22 消偏振分光器2 171 ('Uj|m}9 8.23 消偏振立体分光器 172 ._`rh 8.24 消偏振截止滤光片 173 4i^WE;|s 8.25 立体偏振分束器1 174 PB8g4-?p6 8.26 立方偏振分束器2 177 }N$f=:iI 8.27 相位延迟器 178 c/v|e&q 8.28 红外截止器 179 *)6\V}` 8.29 21层长波带通滤波器 180 X;l/D},. 8.30 49层长波带通滤波器 181 PiCGZybCA 8.31 55层短波带通滤波器 182 uLPBl~Y
8.32 47 红外截止器 183 Fkq^2o
] 8.33 宽带通滤波器 184 cF8 X 8.34 诱导透射滤波器 186 |5X[/Q*K`W 8.35 诱导透射滤波器2 188 $AE5n>ZD$ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 1+XM1(|c` 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 0_MtmmL. 8.35 增益平坦滤波器 193 5$cjCjY 8.38 啁啾反射镜 1 196 '\xE56v)F 8.39 啁啾反射镜2 198 RwOOe7mv 8.40 啁啾反射镜3 199 \x]\W#C 8.41 带保护层的铝膜层 200 5s`r&2 w 8.42 增加铝反射率膜 201 =+ >>l0=_v 8.43 参考文献 202 c%gL3kOT 9 多层膜 204 ;+6><O!G 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Z[ (d7 9.2 内部透过率 204 eNVuw: Q+ 9.3 内部透射率数据 205 !U1
vW}H 9.4 实例 206 pi/0~ke4" 9.5 实例2 210 G
:k'm^k 9.6 圆锥和带宽计算 212 AovBKB
$ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ugE!EEy[^ 10 光学薄膜的颜色 216 NX.5u8Pf 10.1 导言 216 `& |