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s?)6 内容简介 3H/4$XJB Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 <~!R|5sK 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 3HmJixy 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 k<NEauQ J{5&L &4 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 L[:b\O/p, 目录 =arrp: Preface 1 ]^CNC0
内容简介 2 @460r 目录 i 0N G<uZ 1 引言 1 8(A+"H( 2 光学薄膜基础 2 y]ZujfW7 2.1 一般规则 2 4m$Xjj`vE 2.2 正交入射规则 3 dD8f`*"*= 2.3 斜入射规则 6 <ekLL{/O' 2.4 精确计算 7 |d8x55dk 2.5 相干性 8 ;7Y4v`m 2.6 参考文献 10 R k).D6 3 Essential Macleod的快速预览 10 L2
tSKw~ 4 Essential Macleod的特点 32 P ".[=h 4.1 容量和局限性 33 ~<#!yRy>r 4.2 程序在哪里? 33 ]p2M!N,? 4.3 数据文件 35 GE[J`?E] 4.4 设计规则 35 m2"~.iM8 4.5 材料数据库和资料库 37 -F| C6m! 4.5.1材料损失 38 kMLWF 4.5.1材料数据库和导入材料 39 %7~~*_G 4.5.2 材料库 41 H|0GRjC 4.5.3导出材料数据 43 m0k~8^L@f 4.6 常用单位 43 &*#- %<=1 4.7 插值和外推法 46 -NyfW+T={ 4.8 材料数据的平滑 50 S @'fmjA' 4.9 更多光学常数模型 54 .-g++f(_i 4.10 文档的一般编辑规则 55 DVq5[ntG 4.11 撤销和重做 56 z!GLug*j` 4.12 设计文档 57 B@W`AD1^{ 4.10.1 公式 58 <X_I` 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 }XiV$[xHd 4.10.3 沉积密度 59 ,D`iV| ( 4.10.4 平行和楔形介质 60 IA XoEBlMs 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 zLxO\R!d 4.10.4 性能 61 8 3wa{m: 4.10.5 保存设计和性能 64
hVB^: 4.10.6 默认设计 64
5 5_#?vw 4.11 图表 64 !5P\5WF~Y 4.11.1 合并曲线图 67 M6P`~emX2 4.11.2 自适应绘制 68 v}$KlT 4.11.3 动态绘图 68 f|f9[h' 4.11.4 3D绘图 69 / b_C9'S 4.12 导入和导出 73 @sAT#[j 4.12.1 剪贴板 73 D^knN-nZ* 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 AVys`{*c 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ']hB_4v 4.13 背景 77 DhwFD8tT 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 B9RB/vHH 4.15 生成Rugate 84 *c+Kqz- 4.16 参考文献 91 yqm^4)Dp 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 2,Og(_0> 5.1 Jobs 92 Xk_xTzJ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ~EVD NnHEr 5.3 输入材料 94 f"j"ZM{~U 5.4 设计数据文件夹 95 y%21`y&Os 5.5 默认设计 95 xi.L?"^/! 6 细化和合成 97 .'q0*Pe 6.1 优化介绍 97 ]iyJ>fC 6.2 细化 (Refinement) 98 Q}N.DM@d3 6.3 合成 (Synthesis) 100 >+w(%;i; 6.4 目标和评价函数 101 PyD'lsV
6.4.1 目标输入 102 :1eJc2o 6.4.2 目标 103 s\6kXR 6.4.3 特殊的评价函数 104 4{h?!Z* 6.5 层锁定和连接 104 v:MJF*/ 6.6 细化技术 104 $Q[a^V~: 6.6.1 单纯形 105 ztNm,1pnQ 6.6.1.1 单纯形参数 106 1Y"[Qs]"mU 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 t UJ m}+=> 6.6.2.1 Optimac参数 108 )pS1yYLj 6.6.3 模拟退火算法 109 0pWF\<IZ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Z^w}: { 6.6.4 共轭梯度 111 P| o_/BS 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 b{C3r3B8 6.6.5 拟牛顿法 112 "(6]K}k@ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 >bia
FK>t 6.6.6 针合成 113 J
00%,Ju_ 6.6.6.1 针合成参数 114 =rV*iLy 6.6.7 差分进化 114 xD}ha 6.6.8非局部细化 115 f -N: 6.6.8.1非局部细化参数 115 QfuKpcT& 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ?8g[0/ 6.7.1 细化 116 `c^ _5:euX 6.7.2 合成 117 )&"l3*x 6.8 参考文献 117 uUUj?% 7 导纳图及其他工具 118 xF'9`y^]!@ 7.1 简介 118 FnN@W^/z 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 N#-P}\Q9 7.2.1 四分之一波长规则 119 }LDH/#
u 7.2.2 导纳图 120 28u)q2s^W| 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 (Yz EsY 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 #%4-zNS 7.5 斜入射导纳图 141 f?wn;;z` 7.6 对称周期 141
c}a. 7.7 参考文献 142 >5{Z'UWxh 8 典型的镀膜实例 143 Y%v?ROql 8.1 单层抗反射薄膜 145 =@U~sl[ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 KLW#+vZ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 VC
"66\d& 8.4 W-膜层 148 b[<zT[.: 8.5 V-膜层 149 p/|]])2 8.6 V-膜层高折射基底 150 o+sb2:x 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 B w1ir 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ;iJ*.wVq 8.9 四层抗反射薄膜 153 ^YddVp 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 !/W[6'M#p 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 -4|\,=j 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 CzKU;~D=B 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 gVM9*3LH6 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 c"w}<8
8.15十五层宽带抗反射膜 159 eRkvNI 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ]iewukB4 8.17 1/4波长堆栈 162 c:0nOP 8.18 陷波滤波器 163 5;wA7@ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 +H5=zf2 8.20 褶皱 165 1b:3'E.#w 8.21 消偏振分光器1 169 MA\"JAP/ 8.22 消偏振分光器2 171 ~y.{WuUD 8.23 消偏振立体分光器 172 5mwtlC':l? 8.24 消偏振截止滤光片 173 p\]Mf#B 8.25 立体偏振分束器1 174 JivkY"= F 8.26 立方偏振分束器2 177 $Hcp.J[O 8.27 相位延迟器 178 C~PrIM? 8.28 红外截止器 179 ^z#'o 8.29 21层长波带通滤波器 180 pi)7R:i 8.30 49层长波带通滤波器 181 OOy]:t4 / 8.31 55层短波带通滤波器 182 :<ye:P1s 8.32 47 红外截止器 183 1Wd?AyTY, 8.33 宽带通滤波器 184 QiB^U^f 8.34 诱导透射滤波器 186 Az.(tJ X" 8.35 诱导透射滤波器2 188 (|DmYn! 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 0e1W& 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 q<mDs$^K 8.35 增益平坦滤波器 193 tsdkpt 8.38 啁啾反射镜 1 196 ]~g6#@l 8.39 啁啾反射镜2 198 !Z978Aub3& 8.40 啁啾反射镜3 199 p=m) lR9 8.41 带保护层的铝膜层 200 w5 nzS)B:u 8.42 增加铝反射率膜 201 gBQK 8.43 参考文献 202 %~ uMa 9 多层膜 204 XXsN)2 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 +]^6&MqO 9.2 内部透过率 204 KI~BjP\e 9.3 内部透射率数据 205 T =r7FU 9.4 实例 206 '=?IVm#C 9.5 实例2 210 lhsd39NM 9.6 圆锥和带宽计算 212 ,7:_M>-3g 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ?I{pv4G: 10 光学薄膜的颜色 216 hA1\+r 10.1 导言 216 (R)\ 10.2 色彩 216 Ag1* .t| 10.3 主波长和纯度 220 7'pCFeA>=T 10.4 色相和纯度 221 Hn"xn79nc 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 'EFSr!+ 10.6 色差 226 K7 >Z)21 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 <Z%iP{ 10.8 颜色渲染指数 234 fx@Hd!nO~" 10.9 色差计算 235 *sI`+4h[ 10.10 参考文献 236 C%8nr8po 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 J
[}8&sn 11.1 短脉冲 238 .a._WZF 11.2 群速度 239 X]6Hgz66 11.3 群速度色散 241 EU?)AxH^ 11.4 啁啾(chirped) 245 b~?FV>gl 11.5 光学薄膜—相变 245 '"C$E922 11.6 群延迟和延迟色散 246 5 _X|U*+5 11.7 色度色散 246 |0 #J=am 11.8 色散补偿 249 LX{[9 11.9 空间光线偏移 256 lWj{pyZ 11.10 参考文献 258 1 FTxbw@ 12 公差与误差 260 dKyJ.p 12.1 蒙特卡罗模型 260 t}LV[bj1u 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 s'\PU1{ 12.2.1 误差工具 267 *B"p:F7J| 12.2.2 灵敏度工具 271 v;.7-9c* 12.2.2.1 独立灵敏度 271 s)Bl1\Q 12.2.2.2 灵敏度分布 275 jt|e?1:vF 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 AF5.)Y@. 12.3 参考文献 276
9?c0cwP? 13 Runsheet 与Simulator 277 m89-rR:Kc 13.1 原理介绍 277 1U[8OM{$ 13.2 截止滤光片设计 277 {KJ !rT 14 光学常数提取 289 f\+MnZ4[Qj 14.1 介绍 289 E!.>*`)?. 14.2 电介质薄膜 289 rUjK1A{V 14.3 n 和k 的提取工具 295 SP][xdN7 14.4 基底的参数提取 302 f\CJ |tKX 14.5 金属的参数提取 306 ER0nrTlB< 14.6 不正确的模型 306 M\5aJ:cQ+ 14.7 参考文献 311 L&3Ak}sh 15 反演工程 313 _l$V| 15.1 随机性和系统性 313 Y;3DU1MG0 15.2 常见的系统性问题 314 H8d%_jCr 15.3 单层膜 314 3|4jS"t{f 15.4 多层膜 314 PveY8[i 15.5 含义 319 G+Ft2/+\ 15.6 反演工程实例 319 6gz
!K"S 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 6Yw;@w\ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 wc7gOrPpm 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 nX(2&< 16.1 光学性质的热致偏移 329 }Z5f5q 16.2 应力工具 335 nNNs3h(Ss 16.3 均匀性误差 339 B"rV-,n{ 16.3.1 圆锥工具 339 G gmv(! 16.3.2 波前问题 341 k}T#-Gb 16.4 参考文献 343 0k"n;:KM8 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 KF^5 C 17.1 引言 345 >-EJLa 17.2 操作数 345 &NbhQY`k 18 如何在Function中编写脚本 351 A$gP: 1&m 18.1 简介 351 }F3}-5![ 18.2 什么是脚本? 351 0XV8B 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 yVQ0;h 18.4 基础 352 ZmSe>}B= 18.4.1 Classes(类别) 352 *x[ZN\$`Y 18.4.2 对象 352 y[M<x5 18.4.3 信息(Messages) 352 ^IgxzGD 18.4.4 属性 352 S<Z]gY @c 18.4.5 方法 353 ;hP43Bi 18.4.6 变量声明 353 )C^ZzmB 18.5 创建对象 354 ]PWK^-4P 18.5.1 创建对象函数 355 F+yu[Dh: 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 bgD4;)?5b 18.5.3 丢弃对象 356 %j3XoRex>< 18.5.4 总结 356 tkT:5O6 18.6 脚本中的表格 357 .Jk[thyU 18.6.1 方法1 357 !S6zC > 18.6.2 方法2 357 t>nx#ErS 18.7 2D Plots in Scripts 358 >bQ'*! 18.8 3D Plots in Scripts 359 X@l>mAk 18.9 注释 360 xgsE JE 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 fmqHWu*wG 18.11 一个更高级的脚本 362 ZDHm@,d 18.12 <esc>键 364 #.1+-^TQk 18.13 包含文件 365 }HdibCAOf 18.14 脚本被优化调用 366 }>`rf{T 18.15 脚本中的对话框 368 u-v/`F2wN 18.15.1 介绍 368 'ii5pxeNI 18.15.2 消息框-MsgBox 368 {D6lSj 18.15.3 输入框函数 370 y8oqCe) 18.15.4 自定义对话框 371 alr'If@7 18.15.5 对话框编辑器 371 05o +VF;z 18.15.6 控制对话框 377 &y\7pAT\ 18.15.7 更高级的对话框 380 0\W6X;? 18.16 Types语句 384 BO5\rRa0 18.17 打开文件 385 7$"{& |