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\tY"BC4. 内容简介 JPEIT Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 JIzY,%`\ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 O|QUNr9 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 2
P=[ bmu6@jT 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 8".2)W4*
目录 cJCU*(7& Preface 1 B`fH^N 内容简介 2 o\Uu?.-< 目录 i cFK @3a 1 引言 1 GcT;e5D 2 光学薄膜基础 2 F/>*Ifs 2.1 一般规则 2 lwc5S`" 2.2 正交入射规则 3 J!{Al 2.3 斜入射规则 6 ow$q7uf 2.4 精确计算 7 \R(R9cry 2.5 相干性 8 *m9{V8Yi2 2.6 参考文献 10 En(7(qP6} 3 Essential Macleod的快速预览 10 g+xw$A ou 4 Essential Macleod的特点 32 .wmnnvtl, 4.1 容量和局限性 33 K/txD20
O| 4.2 程序在哪里? 33 [ $pmPr2 4.3 数据文件 35 q*,Q5 4.4 设计规则 35 |~WYEh 4.5 材料数据库和资料库 37 t6+YXjXK 4.5.1材料损失 38 !^e =P%S 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Ytao"R/ 4.5.2 材料库 41 t V03+&jF 4.5.3导出材料数据 43 SR ZL\m} 4.6 常用单位 43 V|'1tB=;*1 4.7 插值和外推法 46 rAb&I"\ZY 4.8 材料数据的平滑 50 XM/vDdR 4.9 更多光学常数模型 54 w7FoL 4.10 文档的一般编辑规则 55 .Pe9_ZH$W 4.11 撤销和重做 56 5{K}?*3hJ 4.12 设计文档 57 EF#QH
_X 4.10.1 公式 58 9xFO]Y" 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 DVlJ*A 4.10.3 沉积密度 59 I9Eu', 4.10.4 平行和楔形介质 60 Ts9ktPlm 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 )55\4<ty 4.10.4 性能 61 1D F/6y 4.10.5 保存设计和性能 64 x({H{'9? 4.10.6 默认设计 64 rv>^TR*,! 4.11 图表 64 kkS~4?-* 4.11.1 合并曲线图 67 }^-<k0A4? 4.11.2 自适应绘制 68 2 rN ,D( 4.11.3 动态绘图 68 u,1}h L 4.11.4 3D绘图 69 bc I']WgB- 4.12 导入和导出 73 Qd
&"BEs 4.12.1 剪贴板 73 c+kU o$ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 H={&3poBz 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 hePPxKQ- 4.13 背景 77 jjzA .8?(7 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 6/Fzco#N 4.15 生成Rugate 84
X[](Kj^`< 4.16 参考文献 91 4/e60jA 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 B=Ym x2A9] 5.1 Jobs 92 8X$LC 5.2 创建一个新Job(工作) 93 rJJ[X4$ 5.3 输入材料 94 MFt*&%,JX 5.4 设计数据文件夹 95 71fk.16 5.5 默认设计 95 W_`A"WdT. 6 细化和合成 97 ]y@F8$D! 6.1 优化介绍 97 @+LfQY 6.2 细化 (Refinement) 98 )IL
#>2n? 6.3 合成 (Synthesis) 100 B@y(. 6.4 目标和评价函数 101 &a,OfSz 6.4.1 目标输入 102 A"v{~ 6.4.2 目标 103 1ocJ+ 6.4.3 特殊的评价函数 104 1f'Hif*r_X 6.5 层锁定和连接 104 crcA\lJf 6.6 细化技术 104 tV;`fV
6.6.1 单纯形 105 6w[}&pX"z 6.6.1.1 单纯形参数 106 q.#[TI ^ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 px;/8c- 6.6.2.1 Optimac参数 108 w
Y 6.6.3 模拟退火算法 109 ->^~KVh& 6.6.3.1 模拟退火参数 109 %dST6$Z 6.6.4 共轭梯度 111 #R0A= ! 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 a:TvWzX, 6.6.5 拟牛顿法 112 +pm[f["C. 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 uX/$CM 6.6.6 针合成 113 JAjmrX 6.6.6.1 针合成参数 114 4+;$7"fJ 6.6.7 差分进化 114 wC_l@7t 6.6.8非局部细化 115 #H?t!DU 6.6.8.1非局部细化参数 115 }A=y=+4j 6.7 我应该使用哪种技术? 116 /iC;%r1L 6.7.1 细化 116 ^ KK_qC 6.7.2 合成 117 &,\=3' 6.8 参考文献 117 }R[#?ty;] 7 导纳图及其他工具 118 mW2,1}Jv 7.1 简介 118 '_\;jFAM 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 "\W-f 7.2.1 四分之一波长规则 119 )4>2IQ 7.2.2 导纳图 120 K,'*Dz 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 &3F}6W6A 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ^9OUzTF 7.5 斜入射导纳图 141 1n5(S<T 7.6 对称周期 141 DZ7
gcC 7.7 参考文献 142 C?ib_K* 8 典型的镀膜实例 143 =<r8fXWZ 8.1 单层抗反射薄膜 145 mR\`DltoV 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 {Gq*e/ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 3A:q7#m 8.4 W-膜层 148 s>k Uh 8.5 V-膜层 149 &6 s) X 8.6 V-膜层高折射基底 150 ml0.$z 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 QxuhGA 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 znJhP}( 8.9 四层抗反射薄膜 153 Q|Y0,1eVp| 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 @E( 7V(m/ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 }G o$
\Bk 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 fkSO( C) 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 !Cgx. 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 <!-sZ_qq 8.15十五层宽带抗反射膜 159 KrVcwAcq|1 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ih,%i4<}6m 8.17 1/4波长堆栈 162 ^;,M}|<h 8.18 陷波滤波器 163 SG}V[Glk 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 G22NQ~w8 8.20 褶皱 165 iovfo2!hD 8.21 消偏振分光器1 169 0]QRsVz+ 8.22 消偏振分光器2 171 %75xr9yOP 8.23 消偏振立体分光器 172 dzK{
Z 8.24 消偏振截止滤光片 173 p4IZ
8.25 立体偏振分束器1 174 $aHAv/&(5 8.26 立方偏振分束器2 177 4'$g(+z 8.27 相位延迟器 178 mk7&<M 8.28 红外截止器 179 } VJfJ/ 8.29 21层长波带通滤波器 180 .=m,hu~ 8.30 49层长波带通滤波器 181 /bj
<Ft\ 8.31 55层短波带通滤波器 182 Go,N>HN 8.32 47 红外截止器 183 8+]hpa,q 8.33 宽带通滤波器 184 ikWtC]y 8.34 诱导透射滤波器 186 Hf'G8vW 8.35 诱导透射滤波器2 188 *Av"JAX 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 @(P=Eh 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 x21dku<6K[ 8.35 增益平坦滤波器 193 Kvsh 8.38 啁啾反射镜 1 196 s9dO,FMs0t 8.39 啁啾反射镜2 198 J=.`wZQkS 8.40 啁啾反射镜3 199 dz~co Z9 8.41 带保护层的铝膜层 200 iAT)VQ& 8.42 增加铝反射率膜 201 2G$SpfeIu 8.43 参考文献 202 7+x? "4 9 多层膜 204 rc+C?)S 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 8/)qTUx: 9.2 内部透过率 204 y_xnai 9.3 内部透射率数据 205 "V{yi!D{< 9.4 实例 206 qV5DW0. 9.5 实例2 210 E\gim<] 9.6 圆锥和带宽计算 212 Z3[S]jC 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ~Lc066bLeq 10 光学薄膜的颜色 216 +[SgO}sF 10.1 导言 216 V]*b4nX7 10.2 色彩 216 -hC,e/+ 10.3 主波长和纯度 220 uKgZ$-' 10.4 色相和纯度 221 RwS@I/ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 NrP0Ep%V 10.6 色差 226 d #jK=:eK 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 3\T2?w9u( 10.8 颜色渲染指数 234 7d92Pe 10.9 色差计算 235 ''\;z<v 10.10 参考文献 236 Ltjbxw"Qd 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 NEa>\K<\ 11.1 短脉冲 238 9&RFO$WH 11.2 群速度 239 FI"`DMb} 11.3 群速度色散 241 ~ %B<
11.4 啁啾(chirped) 245 `9k0Gd 11.5 光学薄膜—相变 245 "UwH\T4I 11.6 群延迟和延迟色散 246 Mi~(aah 11.7 色度色散 246 sgE-`# 11.8 色散补偿 249 5Sk W-+$ 11.9 空间光线偏移 256 ;gC| 11.10 参考文献 258 eAPXWWAZJ1 12 公差与误差 260 )Ud-}* g 12.1 蒙特卡罗模型 260 $%VuSrZ& 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 |W<+U 12.2.1 误差工具 267 3>
/K0N|$ 12.2.2 灵敏度工具 271 $=?@*p 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Vf(6!iRP@ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 C"IKt 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 nC{%quwh{ 12.3 参考文献 276 0a"igq9t 13 Runsheet 与Simulator 277 02BuX]_0g 13.1 原理介绍 277 wf1lyS 13.2 截止滤光片设计 277 b,8{ X< 14 光学常数提取 289 Q]p(u\* 14.1 介绍 289 4Vq%N 14.2 电介质薄膜 289 vFEQ7qI 14.3 n 和k 的提取工具 295 .jMq 14.4 基底的参数提取 302 v9T_& 14.5 金属的参数提取 306 JI vo_7{ 14.6 不正确的模型 306 .5 14.7 参考文献 311 s`>[F@N7.o 15 反演工程 313 Y2'cs~~$Ce 15.1 随机性和系统性 313 0Ia($.1mY 15.2 常见的系统性问题 314 u+{a8= 15.3 单层膜 314 7 I>G{ 15.4 多层膜 314 h;3cd0 15.5 含义 319 ^_lzZOhG 15.6 反演工程实例 319 :T9<der, 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 }`+B=h-dW 15.6.2 反演工程提取折射率 327 D-N8<:cA 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 U4G`ZKv(! 16.1 光学性质的热致偏移 329 .KdyJ6o 16.2 应力工具 335 %\i9p]= 16.3 均匀性误差 339 10H)^p%3+ 16.3.1 圆锥工具 339 H:"maS\I 16.3.2 波前问题 341 Z(!00^ 16.4 参考文献 343 .CFa9"< 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 @O[5M2|r 17.1 引言 345 *}8t{ F@k 17.2 操作数 345 [LRLJ_~g5 18 如何在Function中编写脚本 351 %Z*sU/^ 18.1 简介 351 \(%Y%?dy 18.2 什么是脚本? 351 ^n+ !4(@= 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 FN[{s 18.4 基础 352 9Vf1Xz 18.4.1 Classes(类别) 352 t:fFU1x 18.4.2 对象 352 ~RWktv 18.4.3 信息(Messages) 352 'MY/*k7: 18.4.4 属性 352 xpOg8u5 18.4.5 方法 353 i E CrI3s 18.4.6 变量声明 353 R"K#7{p9 18.5 创建对象 354 +o9":dl 18.5.1 创建对象函数 355 ]Zmj4vK J 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 MQ"xOcD*F 18.5.3 丢弃对象 356 H9CS*|q6r 18.5.4 总结 356 <ZB1Vi9}8 18.6 脚本中的表格 357 7k8 pZ 18.6.1 方法1 357 "Y\_TtY 18.6.2 方法2 357 Q~T$N 18.7 2D Plots in Scripts 358 H#ncM~y* 18.8 3D Plots in Scripts 359 :kGU,>BN 18.9 注释 360 Qf@ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 o*J3C> 18.11 一个更高级的脚本 362 Xn{1 FJX/ 18.12 <esc>键 364 o^
XtU5SVq 18.13 包含文件 365 %HJK; 18.14 脚本被优化调用 366 oJfr +3I 18.15 脚本中的对话框 368 sM9+dh 18.15.1 介绍 368 1/"WD?a 18.15.2 消息框-MsgBox 368 4t)/ 18.15.3 输入框函数 370 p|]\P%,\ 18.15.4 自定义对话框 371 &%-73nYw 18.15.5 对话框编辑器 371 y99mC$"Ee` 18.15.6 控制对话框 377 6R^^ .tCs 18.15.7 更高级的对话框 380 C9t4#" 18.16 Types语句 384 4]E3cAJ 18.17 打开文件 385 KY~-;0x 18.18 Bags 387 k5T,990 18.13 进一步研究 388 zE_i*c"` 19 vStack 389 Ih"XV 19.1 vStack基本原理 389 CvD"sHVq% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ~sXcnxLz 19.3 五棱镜 393 /Sh#_\x 19.4 光束距离 396 1@-Ns 19.5 误差 399 k`N^Vdr 19.6 二向分色棱镜 399 ?5{>;#0Z 19.7 偏振泄漏 404 G
nG>7f[v 19.8 波前误差—相位 405 )>Yu!8i 19.9 其它计算参数 405 b1($R[ 20 报表生成器 406 ,KFapz! 20.1 入门 406 hyFyP\u] 20.2 指令(Instructions) 406 c??mL4$'N 20.3 页面布局指令 406 %ALwz[~] 20.4 常见的参数图和三维图 407 RVQh2'w 20.5 表格中的常见参数 408 r!
MWbFw|X 20.6 迭代指令 408 \QCJ4}\CS 20.7 报表模版 408 ruld B,n 20.8 开始设计一个报表模版 409 @qYp>|AF 21 一个新的project 413 i ,/0/?)*_ 21.1 创建一个新Job 414 B]l)++~ 21.2 默认设计 415 HKUn`ng 21.3 薄膜设计 416 ?)ONf#4Y 21.4 误差的灵敏度计算 420 <Pi|J-Y 21.5 显色指数计算 422 Nb'''W-iu 21.6 电场分布 424 9'X7wG 后记 426 =UfsL%
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