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S .rT5A[ 内容简介 /%Bc*k=ox Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 KO(+%>^R 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 )t{oyBT 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 'v4#mf GZ\;M6{oh 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 m~~_iz_* 目录 (yE?)s Preface 1 F\+wM*:U 内容简介 2 ?eT^gWX 目录 i cb l@V 1 1 引言 1 0U]wEz*b 2 光学薄膜基础 2 ahkSEE{ 2.1 一般规则 2 )J8dm'wH92 2.2 正交入射规则 3 @L^2VVWk^ 2.3 斜入射规则 6 >#B%gxff 2.4 精确计算 7 @D8c-`LC"* 2.5 相干性 8 9i WDEk 2.6 参考文献 10 Zo`'xg 3 Essential Macleod的快速预览 10 i]*Wt8~! 4 Essential Macleod的特点 32 g o/]+vD 4.1 容量和局限性 33 I,vy__sZ 4.2 程序在哪里? 33 {zBf *x 4.3 数据文件 35 PygT_-3z{ 4.4 设计规则 35 oD_je~b) 4.5 材料数据库和资料库 37 7X.rGJZq 4.5.1材料损失 38 ;A~S){ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 _{&znXf>?6 4.5.2 材料库 41 b9[;qqq@' 4.5.3导出材料数据 43 $<2r;'?0D 4.6 常用单位 43 ~fB: >ceD 4.7 插值和外推法 46 6
k+FTDL 4.8 材料数据的平滑 50 ?"PUw3V3lB 4.9 更多光学常数模型 54 ," 4.10 文档的一般编辑规则 55 bT}P":*y 4.11 撤销和重做 56 bCg
{z b# 4.12 设计文档 57 Ae:(_UJz 4.10.1 公式 58 D61CO-E(D 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Rj9z'?a9 4.10.3 沉积密度 59 on $?c 4.10.4 平行和楔形介质 60 U?JZ23>bbw 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 lDO9GNz$ 4.10.4 性能 61 S*],18z? 4.10.5 保存设计和性能 64 %TdZ_ 4.10.6 默认设计 64 `w6\II)aB 4.11 图表 64 =v=a:e 4.11.1 合并曲线图 67 ;oVdkp 4.11.2 自适应绘制 68 Ojq>4=Z\ 4.11.3 动态绘图 68 mv%fX2. 4.11.4 3D绘图 69 Qn(e[
C6\ 4.12 导入和导出 73 ;rJR+wpNa 4.12.1 剪贴板 73 fLL_{o0T 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 cjsQm6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 jZS6f*$ 4.13 背景 77 ! lgsV..R 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 <~t38|Ff@
4.15 生成Rugate 84 Oga0CR_ 4.16 参考文献 91 oL>m}T 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 y7dnXO!g9- 5.1 Jobs 92 ibex:W^ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 iU{bPyz, 5.3 输入材料 94 {MU>5\ 5.4 设计数据文件夹 95 Ji4c8*&Jpc 5.5 默认设计 95 ge:UliHJ 6 细化和合成 97 }UZ$<81= 6.1 优化介绍 97 A:ls'MkZ4 6.2 细化 (Refinement) 98 &Eg>[gAIlp 6.3 合成 (Synthesis) 100 #o_`$'> 6.4 目标和评价函数 101 ~PP*k QZlJ 6.4.1 目标输入 102 g<{/mxv/ 6.4.2 目标 103 U|6 ME%xm 6.4.3 特殊的评价函数 104 FiJJe 6.5 层锁定和连接 104 |;ycEB1 6.6 细化技术 104 +r *f2\S 6.6.1 单纯形 105 ym:^Y-^iV 6.6.1.1 单纯形参数 106 c 6@!?8J 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ]R\k@a|G 6.6.2.1 Optimac参数 108 qyGVyi3 6.6.3 模拟退火算法 109 e4u$+ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 E.Xfb"] 6.6.4 共轭梯度 111 >3s9vdUp4h 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 {uh]b(}s) 6.6.5 拟牛顿法 112 (p26TN;*$5 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 +"6_rbeuO 6.6.6 针合成 113 /Z HuT=j1 6.6.6.1 针合成参数 114 e5maZ(.;F 6.6.7 差分进化 114 lidzs<W-fW 6.6.8非局部细化 115 oQI3Yz 6.6.8.1非局部细化参数 115 7g}4gX's 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ,Y=r]
fk 6.7.1 细化 116 OJ\IdUZ 6.7.2 合成 117 a{^[< 6.8 参考文献 117 T5.1qr L 7 导纳图及其他工具 118 _%w-y(Sqn 7.1 简介 118 HE(|x1C)j 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Y v }G"-= 7.2.1 四分之一波长规则 119 frbKi _1 7.2.2 导纳图 120 > xkl7D 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 g*F? 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 R<{bb' 7.5 斜入射导纳图 141 )Y}t~ Zfx 7.6 对称周期 141 bPEf2Z
G4 7.7 参考文献 142 )+RTA
y [k 8 典型的镀膜实例 143 qEPvV 8.1 单层抗反射薄膜 145 /1ooOq] 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 q]YPDdR# 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 hH[UIe 8.4 W-膜层 148 ^qs=fF 8.5 V-膜层 149 )Q9m,/F 8.6 V-膜层高折射基底 150 h2ewYe<87` 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 S-WD?BFC 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 TKj8a(R_ 8.9 四层抗反射薄膜 153 'Dv
`Gj 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 &1YqPk 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 nx`!BNL'V 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 m5Q,RwJ!xK 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 <8yzBp4gZ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 >[B}eS> 8.15十五层宽带抗反射膜 159 v Ic0V 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 T`7;Rl'Q 8.17 1/4波长堆栈 162 Ke '? 8.18 陷波滤波器 163 Pj>r(Cv 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Ls )y.u 8.20 褶皱 165 Q(
.d!CQ> 8.21 消偏振分光器1 169 7YsBwo 8.22 消偏振分光器2 171 [>QV^2'Z 8.23 消偏振立体分光器 172 h!ZEZ|{ 8.24 消偏振截止滤光片 173 Ks.m5R 8.25 立体偏振分束器1 174 =fG c?PQ 8.26 立方偏振分束器2 177 0"7xCx 8.27 相位延迟器 178 #XR<}OYcL 8.28 红外截止器 179 e}y oy+9 8.29 21层长波带通滤波器 180 IJ2 ]2FI 8.30 49层长波带通滤波器 181
(M5w:qbR 8.31 55层短波带通滤波器 182 h
92\1, 8.32 47 红外截止器 183 RX8$&z 8.33 宽带通滤波器 184 MEMD8:[' 8.34 诱导透射滤波器 186 U.is:&]E 8.35 诱导透射滤波器2 188 8rwkux > 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 @-nCK Yj 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ['ol]ZJ 8.35 增益平坦滤波器 193 B?9K! c 8.38 啁啾反射镜 1 196 x*&
OvI/o 8.39 啁啾反射镜2 198 =8O057y 8.40 啁啾反射镜3 199 &54fFyJF 8.41 带保护层的铝膜层 200 lMz5))Rr 8.42 增加铝反射率膜 201 i*B@#;;F 8.43 参考文献 202 ?nJ7lLQA 9 多层膜 204 Wc [@, 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 BV,P;T0"D 9.2 内部透过率 204 \PU3{_G] 9.3 内部透射率数据 205 R+k-mbvnt 9.4 实例 206 BoZ])Y6= 9.5 实例2 210 DqyJ]}| 9.6 圆锥和带宽计算 212 'b#RfF,7H} 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 s''?:
+ 10 光学薄膜的颜色 216 //cj$}Rn! 10.1 导言 216 .r[b!o^VR 10.2 色彩 216 e\x=4i 10.3 主波长和纯度 220 w6DK&@w`'/ 10.4 色相和纯度 221 fmZ5rmw! 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 wr{03mQHxp 10.6 色差 226 d!kiWmw, 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 #A<|hh 10.8 颜色渲染指数 234 \~!9T5/* 10.9 色差计算 235 RB<LZHZI 10.10 参考文献 236 T)wc{C9w 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 WGjT06a\ 11.1 短脉冲 238 H|_^T.n?E 11.2 群速度 239 oR (hL4Dc 11.3 群速度色散 241 'WK}T)o 11.4 啁啾(chirped) 245 ;@p2s'( 11.5 光学薄膜—相变 245 sPY*2B 11.6 群延迟和延迟色散 246 vWY}+# 11.7 色度色散 246 a$ a+3}\ 11.8 色散补偿 249 a7'.*H] 11.9 空间光线偏移 256 %^s;{aN*! 11.10 参考文献 258 It'hmwu# 12 公差与误差 260 c#sPM!! 12.1 蒙特卡罗模型 260 V_f}Y8>e 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 @s!9 T 12.2.1 误差工具 267 (+7gS_c 12.2.2 灵敏度工具 271 @w&VI6 12.2.2.1 独立灵敏度 271 !GI*R2<W 12.2.2.2 灵敏度分布 275 d%_v
eVIe 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 2|]$hjs 12.3 参考文献 276 *KNj5>6= 13 Runsheet 与Simulator 277 gX<"-,5jc 13.1 原理介绍 277 Z7RGOZQ}G 13.2 截止滤光片设计 277 fkE4[X7f 14 光学常数提取 289 ~qQSt% 14.1 介绍 289 edld(/wu~ 14.2 电介质薄膜 289 3 EH/6 14.3 n 和k 的提取工具 295 gQaBQq9 14.4 基底的参数提取 302 kbzzage6L 14.5 金属的参数提取 306 j<H`<S 14.6 不正确的模型 306 "?EoYF_ 14.7 参考文献 311 [tYly`F 15 反演工程 313 MMg"G6? 15.1 随机性和系统性 313 /Am,5X. 15.2 常见的系统性问题 314 0<*R 0 15.3 单层膜 314 -q1vB8gjj 15.4 多层膜 314 1gk{|keh 15.5 含义 319 O="#yE) 15.6 反演工程实例 319 j`jF{k b 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 V`xZ4 i%L 15.6.2 反演工程提取折射率 327 5&a4c"fU 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 T0BFit6 16.1 光学性质的热致偏移 329 3YT>3f!\
16.2 应力工具 335 0S8v41i6 16.3 均匀性误差 339 _mVq9nBEf 16.3.1 圆锥工具 339 =9$hZ c 16.3.2 波前问题 341 ; (I(TG 16.4 参考文献 343 $YuVM 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 r0kJx$f 17.1 引言 345 =" Q5Z6W 17.2 操作数 345 tDj~+lmdN 18 如何在Function中编写脚本 351 _kUf[& 18.1 简介 351 ozN#LIM>P 18.2 什么是脚本? 351 >DX\^86x 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 u1K;{>4lx 18.4 基础 352 BeP]M1\?> 18.4.1 Classes(类别) 352 pvCn+y/U; 18.4.2 对象 352 .OFwGOL% 18.4.3 信息(Messages) 352 iaXpe]w$n 18.4.4 属性 352 yZ?|u57 18.4.5 方法 353 q]Y [W1 18.4.6 变量声明 353 N&g9z{m7 18.5 创建对象 354 df@I C@`pB 18.5.1 创建对象函数 355 W,&z:z> 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 dx['7l;I 18.5.3 丢弃对象 356 #B7_5y^ 18.5.4 总结 356 vg@kPuOiO 18.6 脚本中的表格 357 ;Zfglid 18.6.1 方法1 357 7"}<J7"}) 18.6.2 方法2 357 }^r=( 18.7 2D Plots in Scripts 358 mqL&b |