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-&Cb^$.-x 内容简介 y*BS
%xTF Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 5Hli@:B2s 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 GQ@`qYLZ+ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 al<;*n{/ [eWZ^Eh"I 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 {CO]wqEj 目录 + Z7 L&BI Preface 1 O ;34~k
内容简介 2 /tG0"1{ 目录 i
JJHfg) 1 引言 1 _+OnH!G0 2 光学薄膜基础 2 M/O
Y
"eL 2.1 一般规则 2 4
Wb^$i! 2.2 正交入射规则 3 B$Z%_j& 2.3 斜入射规则 6 U9*uXD1\ 2.4 精确计算 7 .J0Tn,m 2.5 相干性 8 iFJ1}0<(x 2.6 参考文献 10 &}:]uC 3 Essential Macleod的快速预览 10 u6B,V 4 Essential Macleod的特点 32 /S9(rI<' 4.1 容量和局限性 33 T4M"s;::1 4.2 程序在哪里? 33 fj7\MTy 4.3 数据文件 35 =T?:b8yV 4.4 设计规则 35 \Nvu[P 4.5 材料数据库和资料库 37 >-%}'iz+ 4.5.1材料损失 38 !Lu noC>B 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ep$C
nBwE 4.5.2 材料库 41 LA837P 4.5.3导出材料数据 43 Az`c ?
W% 4.6 常用单位 43 ]T?Py) 4.7 插值和外推法 46 RZ6[+Ygn 4.8 材料数据的平滑 50 mSg{0_: 4.9 更多光学常数模型 54 MJzY| 4.10 文档的一般编辑规则 55 c SV`?[a 4.11 撤销和重做 56 BidTrO 4.12 设计文档 57 @MoBR. 4.10.1 公式 58 'o!{YLJ fM 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 MR?5p8S#g 4.10.3 沉积密度 59 AgBXB%). 4.10.4 平行和楔形介质 60 9tMaOm 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 H;~Lv;,g, 4.10.4 性能 61 |h7 d#V> 4.10.5 保存设计和性能 64 (/^s?`1{N? 4.10.6 默认设计 64 `hVi!Q]*P 4.11 图表 64 ]RvFn~E!s 4.11.1 合并曲线图 67 Q|6lp 4.11.2 自适应绘制 68 PX} ~ 4.11.3 动态绘图 68 k(]R;`f$W 4.11.4 3D绘图 69 2m*g,J?ql 4.12 导入和导出 73 \Fs+H,S< 4.12.1 剪贴板 73 Rs +), 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 *3Vic 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 UGb<&) 4.13 背景 77 <\fB+ AZ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 r=J+ 4.15 生成Rugate 84 F?Fs x)2k 4.16 参考文献 91 p9(|p Z 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,(@J Ntx 5.1 Jobs 92 +wHrS}I#g 5.2 创建一个新Job(工作) 93 J-k/#A4o 5.3 输入材料 94 $!ATj`}kb 5.4 设计数据文件夹 95 (*K=&e0O 5.5 默认设计 95 +NT8dd 6 细化和合成 97 2LTMt? 6.1 优化介绍 97 n|M~C\* 6.2 细化 (Refinement) 98 =-m"y~{>3 6.3 合成 (Synthesis) 100 M}S1Zz%Ii1 6.4 目标和评价函数 101 ,O'#7Dj 6.4.1 目标输入 102 gic!yhsS_ 6.4.2 目标 103 @CUYl*.PD 6.4.3 特殊的评价函数 104 h3`\L4b 6.5 层锁定和连接 104 ,pHQv(K/ 6.6 细化技术 104 J6C/`)+w 6.6.1 单纯形 105 _no;B_m~ 6.6.1.1 单纯形参数 106 Dga;GYx 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 <Crbc$!OeX 6.6.2.1 Optimac参数 108 Ifu[L&U 6.6.3 模拟退火算法 109 DmA~Vj!a^y 6.6.3.1 模拟退火参数 109 0|=,!sY 6.6.4 共轭梯度 111 _pN:p7l( 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 SmUj8?6" 6.6.5 拟牛顿法 112 GpZ}xY'|w, 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 u= =`]\_@ 6.6.6 针合成 113 49Q
tfk 6.6.6.1 针合成参数 114 Oj,v88= 6.6.7 差分进化 114 "|^-Yk\U 6.6.8非局部细化 115 Q|7$SS6$ 6.6.8.1非局部细化参数 115 >oGs0mej 6.7 我应该使用哪种技术? 116 _Oc(K
"v 6.7.1 细化 116 Pea2ENe3 6.7.2 合成 117 k
E},>+W+ 6.8 参考文献 117 6g-Q 7 导纳图及其他工具 118 Rh :|ij>B 7.1 简介 118 b9Mp@I7Q- 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 >|1$Pv? 7.2.1 四分之一波长规则 119 _g2"D[I% 7.2.2 导纳图 120 [q!/YL3% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 t}wwRWo2?f 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 }Sr=|j 7.5 斜入射导纳图 141 n|N?[)^k 7.6 对称周期 141 bn#'o(Lp 7.7 参考文献 142 xiy=D5N.= 8 典型的镀膜实例 143 )jPIBzMys 8.1 单层抗反射薄膜 145 0Lx,qZ' 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 *w
OU=1+ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 kQw%Wpuq[/ 8.4 W-膜层 148 gjL+8Rk 8.5 V-膜层 149 )_a;xB`S( 8.6 V-膜层高折射基底 150 B(1WI_}~ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Xx+eGV";` 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Qv}TUX4 8.9 四层抗反射薄膜 153 )&s9QBo{b 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 \&MJ(F>vJ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ,.z?=]'en 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 E;rS"'D: 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 X#<+D1P 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ^e{]WH? 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ' +f(9/ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 AaLbJYuKd 8.17 1/4波长堆栈 162 _lBHZJ+ 8.18 陷波滤波器 163 "DC L
Z 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 M3VTzwuf^S 8.20 褶皱 165 <%N*IE"q 8.21 消偏振分光器1 169 Sfa;;7W@R 8.22 消偏振分光器2 171 hYbaVE 8.23 消偏振立体分光器 172 !Bv.@~ 8.24 消偏振截止滤光片 173 vyvb-oz;u 8.25 立体偏振分束器1 174 ?3y>K!D(A 8.26 立方偏振分束器2 177 c+upoM 8.27 相位延迟器 178 ]YrgkC35 8.28 红外截止器 179 ^6QzaC3 8.29 21层长波带通滤波器 180 OK(xG3T 8.30 49层长波带通滤波器 181 L0;XzZS 8.31 55层短波带通滤波器 182 0[f[6mm%m 8.32 47 红外截止器 183 tTbfyI 8.33 宽带通滤波器 184 K]&i9`>N 8.34 诱导透射滤波器 186 $/crb8-C 8.35 诱导透射滤波器2 188 8[H bg 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 [0!*<%BgK' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 :7?n)=Tx 8.35 增益平坦滤波器 193 ,B#*<_?E5 8.38 啁啾反射镜 1 196 'iU+mRLp 8.39 啁啾反射镜2 198 }ag;yf; 8.40 啁啾反射镜3 199 >mj WC) U 8.41 带保护层的铝膜层 200 i1 c[Gk.o 8.42 增加铝反射率膜 201 QIfP%,LT 8.43 参考文献 202 aA]wFZ 9 多层膜 204
s&iu+> 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 jdkqJ4&i 9.2 内部透过率 204 >avkiT2 9.3 内部透射率数据 205 <m,bP
c :R 9.4 实例 206 )4RSo&9p` 9.5 实例2 210 Y,?kS
dS 9.6 圆锥和带宽计算 212 =&^tfD 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 j8+>E?nm 10 光学薄膜的颜色 216 u%5 ,U- 10.1 导言 216 LRR)T: e}q 10.2 色彩 216 kZ= 2#. 10.3 主波长和纯度 220 <tW/9}@p9 10.4 色相和纯度 221 |S]T,`7u 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Ya}}a 10.6 色差 226 ]*D~>q"#\ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 4|UtE<<b 10.8 颜色渲染指数 234 }:S}jo7 10.9 色差计算 235 P?@o? 10.10 参考文献 236 h0C>z2iH 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ,/"0tP&_; 11.1 短脉冲 238 Mp(;PbVD 11.2 群速度 239 \hdil`{> 11.3 群速度色散 241 l=L(pS3 ~ 11.4 啁啾(chirped) 245 :jJ0 +Q 11.5 光学薄膜—相变 245 jW{bP_," 11.6 群延迟和延迟色散 246 xwj{4fzpk{ 11.7 色度色散 246 +UiJWO 11.8 色散补偿 249 </b_Rar 11.9 空间光线偏移 256 Rq`5ff3, 11.10 参考文献 258 TAq[g|N-; 12 公差与误差 260 PbfgWGr 12.1 蒙特卡罗模型 260 89{`GKWX 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 $&Z<4:Flc 12.2.1 误差工具 267 7d/I"?=|rA 12.2.2 灵敏度工具 271 R[rOzoNp0 12.2.2.1 独立灵敏度 271 gX|\O']6 12.2.2.2 灵敏度分布 275 \(}pm#O 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 q3`~uTzk 12.3 参考文献 276 4wWfaL5" 13 Runsheet 与Simulator 277 pb G5y7 13.1 原理介绍 277 Gz4LjMQ
& 13.2 截止滤光片设计 277 53?Ati\Y) 14 光学常数提取 289 LYiIJAZ. 14.1 介绍 289 Zy|u5J 14.2 电介质薄膜 289 30<_` 14.3 n 和k 的提取工具 295 _UY=y^ c0> 14.4 基底的参数提取 302 DQ&\k'"\ 14.5 金属的参数提取 306 DcG=u24Xy! 14.6 不正确的模型 306 E,fbIyX 14.7 参考文献 311 ce*?crOV 15 反演工程 313 $LG.rJ/* 15.1 随机性和系统性 313 t>x!CNb'C 15.2 常见的系统性问题 314 IJC]Al,df 15.3 单层膜 314 ["e;8H[K)% 15.4 多层膜 314 wr~Qy4 ny 15.5 含义 319 /B|"<`-H 15.6 反演工程实例 319 Asy2jw\V 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 q\<NW%KtX 15.6.2 反演工程提取折射率 327 A|GsbRuy 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 c:+UC 16.1 光学性质的热致偏移 329 z2Z}mktP 16.2 应力工具 335 %cJdVDW`L 16.3 均匀性误差 339 ,1]VY/ 16.3.1 圆锥工具 339 cQsSJBZ[v5 16.3.2 波前问题 341 0#ON}l)> 16.4 参考文献 343 vu&ny&=` 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 16Jjf|]j 17.1 引言 345 >U?#'e{qW 17.2 操作数 345 +{}p(9w@ 18 如何在Function中编写脚本 351 Sy<io@df 18.1 简介 351 c._!dqR 18.2 什么是脚本? 351 .- []po 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ?A~=.u@[d 18.4 基础 352 # %'%LY= 18.4.1 Classes(类别) 352 +n)bWB% 18.4.2 对象 352 Fq`@sM$ 18.4.3 信息(Messages) 352 y<#Hq1 18.4.4 属性 352 \Ym!5,^o 18.4.5 方法 353 vl?fCO 18.4.6 变量声明 353 2/Y e<.# 18.5 创建对象 354 44KWS~ 18.5.1 创建对象函数 355 t;:Yf 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 lE!.$L*k 18.5.3 丢弃对象 356 C4t~k 18.5.4 总结 356 }=.C~f]A 18.6 脚本中的表格 357 db}lN 18.6.1 方法1 357 L`fT;2 18.6.2 方法2 357 nA%8
bZ+ 18.7 2D Plots in Scripts 358 7M_GGjP 18.8 3D Plots in Scripts 359 t}MT<Jj 18.9 注释 360 B B^81{A 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 W)Y:2P<. 18.11 一个更高级的脚本 362 )bpdj, 18.12 <esc>键 364 J7~Kjl 18.13 包含文件 365 KXUJ*l-5 18.14 脚本被优化调用 366 #qJ6iA6{ 18.15 脚本中的对话框 368 ?%/*F<UVQ 18.15.1 介绍 368 75A60Uw 18.15.2 消息框-MsgBox 368 dEo r+5} 18.15.3 输入框函数 370 (C%qA<6 18.15.4 自定义对话框 371 6;Mv)|FJF 18.15.5 对话框编辑器 371 /b6j<]H 18.15.6 控制对话框 377 LmUR@
/VQ 18.15.7 更高级的对话框 380 wy:euKB~
18.16 Types语句 384 w( ic$ 18.17 打开文件 385 vkW;qt}yO 18.18 Bags 387 z5sKV7&\[n 18.13 进一步研究 388 f917F.1I 19 vStack 389 ?}jjBJ& 19.1 vStack基本原理 389 EJJ&`,q 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 `qZ@eGZ
z 19.3 五棱镜 393 W;U<,g
' 19.4 光束距离 396 g%D.sc)69 19.5 误差 399 XHY,;4 19.6 二向分色棱镜 399 JqEo~]E] 19.7 偏振泄漏 404 1J&hm[3[K 19.8 波前误差—相位 405 0,iG9D7 19.9 其它计算参数 405 :%U
lNk 20 报表生成器 406 Xj:\B] v] 20.1 入门 406 Ac/LNqIs 20.2 指令(Instructions) 406 ~$7YEs) 20.3 页面布局指令 406 Cio(Ptt: 20.4 常见的参数图和三维图 407 ~Q=^YZgn8 20.5 表格中的常见参数 408 yzX S{#\ 20.6 迭代指令 408 j3>&Su>H4 20.7 报表模版 408 g=Nde2d? 20.8 开始设计一个报表模版 409 uFOYyrESc 21 一个新的project 413 CZ(fP86e 21.1 创建一个新Job 414 5)gC< 21.2 默认设计 415 W@~a#~1O 21.3 薄膜设计 416 <S0gIg`) 21.4 误差的灵敏度计算 420 mH'om
SCz 21.5 显色指数计算 422 ,~NJ}4wP 21.6 电场分布 424 d2g7,axi 后记 426 }IKU^0M9<T
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