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rT|wZz9$@ 内容简介 ^~1Z"kAnT Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 J# DN2y< 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 %<O0Yenu 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ~H c5M5m |s'5~+ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 KG=57=[ 目录 b5S4C2Ynq Preface 1 dw>1Ut{"3 内容简介 2 oCxy(q'y 目录 i yBRYEqS+ 1 引言 1 r3NdE~OAi 2 光学薄膜基础 2 {%oxzdPc 2.1 一般规则 2 t2(vtxrt 2.2 正交入射规则 3 !%'"l{R 2.3 斜入射规则 6 ny"z<N&}/ 2.4 精确计算 7 (nwp s 2.5 相干性 8 #O lPnP 2 2.6 参考文献 10 &Nw[J5-"k 3 Essential Macleod的快速预览 10 gtnu/Q 4 Essential Macleod的特点 32 J(:y-U 4.1 容量和局限性 33 U1W8f|u 4.2 程序在哪里? 33 Bm5\*Xd1( 4.3 数据文件 35 ^GS\(egt 4.4 设计规则 35
u]OYu 4.5 材料数据库和资料库 37 ||))gI`3a 4.5.1材料损失 38 aHdQi,=z 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Qd/x{a8 4.5.2 材料库 41 X4<Y5?&0 4.5.3导出材料数据 43 ,1B`Ve 4.6 常用单位 43 NM"5.
4.7 插值和外推法 46
nT%ko7~- 4.8 材料数据的平滑 50 Kk).KgR 4.9 更多光学常数模型 54 "r~/E|Da< 4.10 文档的一般编辑规则 55 8+ ]'2{ 4.11 撤销和重做 56 ^ib
=fLu 4.12 设计文档 57 Z7NR%u_|[ 4.10.1 公式 58 _3IRj=Cs 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 p^1~o/ 4.10.3 沉积密度 59 2;K2|G7 4.10.4 平行和楔形介质 60 @*roW{?! 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 {DapXx 4.10.4 性能 61 Us.k, 4.10.5 保存设计和性能 64 CFUn1^?0 4.10.6 默认设计 64 HQNpf1=D 4.11 图表 64 8#w%qij 4.11.1 合并曲线图 67 BV6B:=E0 4.11.2 自适应绘制 68 vY7@1_" 4.11.3 动态绘图 68 WXY-]ir. 4.11.4 3D绘图 69 uvAJJIae' 4.12 导入和导出 73 P;eXUF+jn 4.12.1 剪贴板 73 A&A{Thz 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ~)VI`36X 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 pqTaN=R8 4.13 背景 77 eM@xs<BR 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 gT(8.<h8 4.15 生成Rugate 84 /I((A/ks 4.16 参考文献 91 m@UrFPZ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 +`iJ+ 5.1 Jobs 92 (I#mo2 5.2 创建一个新Job(工作) 93 *I[tIO\ 5.3 输入材料 94 <'QI_mP* 5.4 设计数据文件夹 95 ROXa/ 5.5 默认设计 95 ^wD`sj<Qg 6 细化和合成 97 "lrQC`? 6.1 优化介绍 97 X:lStO#5 6.2 细化 (Refinement) 98 w:/3%- 6.3 合成 (Synthesis) 100
_Ie:!q 6.4 目标和评价函数 101 d0i|^ 6.4.1 目标输入 102 |+KwyHE`9 6.4.2 目标 103 '\GU(j 6.4.3 特殊的评价函数 104 $fBj}\o 6.5 层锁定和连接 104 2liJ^ ` 6.6 细化技术 104
2C1NDrS;} 6.6.1 单纯形 105 nEPTTp+B 6.6.1.1 单纯形参数 106 |?]doBm| 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 e0#t 6.6.2.1 Optimac参数 108 80`$F{xcX 6.6.3 模拟退火算法 109 N}1yDN 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ^KnK
\ 6.6.4 共轭梯度 111 d"n"A?nXh 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ef)zf+o 6.6.5 拟牛顿法 112 1*|/N}g) 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 t-5Y,}j 6.6.6 针合成 113 kv6nVlI)B 6.6.6.1 针合成参数 114 g~$UU(HX 6.6.7 差分进化 114 n @,. 6.6.8非局部细化 115 cRuN; 6.6.8.1非局部细化参数 115 w0+X;aId 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ( $>m]| 6.7.1 细化 116 O;5lF 6.7.2 合成 117 CUHT5J*sY 6.8 参考文献 117 "vT$?IoEV 7 导纳图及其他工具 118 ,<'>jaC 7.1 简介 118 aj,o<J 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 !A1~{G2VL_ 7.2.1 四分之一波长规则 119 FE]UqB 7.2.2 导纳图 120 ;TS%e[lFhQ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 mU~&oU 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 0AdxV?6z 7.5 斜入射导纳图 141 GKjtX?~1 7.6 对称周期 141 QQ_7Q^ 7.7 参考文献 142 vj344B 8 典型的镀膜实例 143 `R>z{-@= 8.1 单层抗反射薄膜 145 kN78j 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Ibu9AwPm 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 %q~q,=H$] 8.4 W-膜层 148 t=xEUOQAn 8.5 V-膜层 149 E4>}O;m0 8.6 V-膜层高折射基底 150 Aq*?Q/pV 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ,i??}Wm5G 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 q5L^>" 8.9 四层抗反射薄膜 153 f$6N 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 cJv/)hRaz 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 "bDj00nwh 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 fISK3t/=C 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 G}^=(,jl 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 <nN.$4~X 8.15十五层宽带抗反射膜 159 1Y J?Y 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 `}KxzD 8.17 1/4波长堆栈 162 Z/:F)c,x 8.18 陷波滤波器 163 9Li*L&B) 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
7s#8-i 8.20 褶皱 165 N%xCyZ 8.21 消偏振分光器1 169 mO]>] 8.22 消偏振分光器2 171 j6Sg~nRh 8.23 消偏振立体分光器 172 R y#C#0 8.24 消偏振截止滤光片 173 iB"ji4[z 8.25 立体偏振分束器1 174 Btm_S\1 8.26 立方偏振分束器2 177
-{ 1P`&G 8.27 相位延迟器 178 @ci..::5 8.28 红外截止器 179 VOZxLyj^9 8.29 21层长波带通滤波器 180 Mmu#hb|W 8.30 49层长波带通滤波器 181 BZHoRd{EH 8.31 55层短波带通滤波器 182 !5C"`@}q> 8.32 47 红外截止器 183 }O>1tauI 8.33 宽带通滤波器 184 <j>;5!4!} 8.34 诱导透射滤波器 186 X,_K
)f 8.35 诱导透射滤波器2 188 =CRptk6tS 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 3MFTP5~ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 =g!Pw] 8.35 增益平坦滤波器 193 ThgJ
' 8.38 啁啾反射镜 1 196 rMi\#[oB 8.39 啁啾反射镜2 198 Ycspdl+(S$ 8.40 啁啾反射镜3 199 E
V)H>kM 8.41 带保护层的铝膜层 200 `dG;SM$T, 8.42 增加铝反射率膜 201 D@gC(&U/6 8.43 参考文献 202 tEvDAI} 5 9 多层膜 204 i79$D:PcLa 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 *oz#YGNm 9.2 内部透过率 204
-43>?m/a 9.3 内部透射率数据 205 <
$e#o H 9.4 实例 206 ]!"w?-h Si 9.5 实例2 210 ufIvvZ* 9.6 圆锥和带宽计算 212 4n6AK`E 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ,++HiYOG}e 10 光学薄膜的颜色 216 t^"8M6BqC; 10.1 导言 216 k}H7bZug 10.2 色彩 216 Cm)TFh6 10.3 主波长和纯度 220 ,^8':X"A{! 10.4 色相和纯度 221 T=tW'tlT\v 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 .=J- !{z 10.6 色差 226 ]zaTX?F: 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 )MF@'zRK 10.8 颜色渲染指数 234 I V#8W 10.9 色差计算 235 sV,Yz3E<u$ 10.10 参考文献 236 $Y_S`#c@i 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 `x/i1^/_@ 11.1 短脉冲 238 p03I&d@w> 11.2 群速度 239 = NZgbl 11.3 群速度色散 241 PHqg~q;* 11.4 啁啾(chirped) 245 qS@3:R 11.5 光学薄膜—相变 245 heou\;GI" 11.6 群延迟和延迟色散 246 .ZF%$H 11.7 色度色散 246 (~N?kh: 11.8 色散补偿 249 RVttk )Ny 11.9 空间光线偏移 256 v{t
pRL0 11.10 参考文献 258 2I_ yUt- 12 公差与误差 260 d;Y Kw1 12.1 蒙特卡罗模型 260 BYEZ[cM 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 -o%? ]S 12.2.1 误差工具 267 /Tm+&Jd 12.2.2 灵敏度工具 271 c86KDEF 12.2.2.1 独立灵敏度 271 [(x*!,= 12.2.2.2 灵敏度分布 275 {:!>Y1w> 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 k-=lt\? 12.3 参考文献 276 =bC' >qw} 13 Runsheet 与Simulator 277 9gw;MFP)D 13.1 原理介绍 277 ~:7y!=8# 13.2 截止滤光片设计 277 "NLuAB.P 14 光学常数提取 289 %6uZb sa
14.1 介绍 289 z~vcwiYAP 14.2 电介质薄膜 289 IxCesh 14.3 n 和k 的提取工具 295 jOzXy Dq 14.4 基底的参数提取 302 m8{8r>6* 14.5 金属的参数提取 306 I*.nwV< 14.6 不正确的模型 306 _|I8+(~) 14.7 参考文献 311 4%~*} 15 反演工程 313 TYGI
f4z 15.1 随机性和系统性 313 B;(U?gC 15.2 常见的系统性问题 314 C_Q3^mLx 15.3 单层膜 314 U&BCd$ 15.4 多层膜 314 PY7H0\S) 15.5 含义 319 bl
a`B=r 15.6 反演工程实例 319 x6R M)rr 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 %50)?J=zB 15.6.2 反演工程提取折射率 327 AE~a=e\x 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 qH4|k2Lm 16.1 光学性质的热致偏移 329 stajTN*J 16.2 应力工具 335 Pz0MafF|T 16.3 均匀性误差 339 v(yJGEf0 16.3.1 圆锥工具 339 9zqo!& 16.3.2 波前问题 341 UU>+ b: 16.4 参考文献 343 v; i4ZSV^A 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 .
KLEx]f. 17.1 引言 345 |3e+ K. 17.2 操作数 345 ?{"r( 18 如何在Function中编写脚本 351 f4P({V 18.1 简介 351 (+(@P*c1 18.2 什么是脚本? 351 #tu>h 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 bVU4H$k 18.4 基础 352 ph5{i2U0 18.4.1 Classes(类别) 352 b_nE4> 18.4.2 对象 352 J1I,;WGf 18.4.3 信息(Messages) 352 1qNO$M 18.4.4 属性 352 a r8iuwfZ 18.4.5 方法 353 H5Eso*v@ 18.4.6 变量声明 353 !Ea >tQ| 18.5 创建对象 354 4t(/F` 18.5.1 创建对象函数 355 *`"+J_ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 :po6%}hn 18.5.3 丢弃对象 356 _*e_?]G- 18.5.4 总结 356 -V{"Lzrfug 18.6 脚本中的表格 357 >Vt2@Ee 18.6.1 方法1 357 [A =0fg5 18.6.2 方法2 357 1}la)lC 18.7 2D Plots in Scripts 358 IXtG
36O 18.8 3D Plots in Scripts 359 !i-t6f 18.9 注释 360 8&8!(\xv 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ~)_Nh 18.11 一个更高级的脚本 362 Hh;lT 18.12 <esc>键 364 M]6+s`?r 18.13 包含文件 365 ;dUKFdKH} 18.14 脚本被优化调用 366 j36YIz$a 18.15 脚本中的对话框 368 .5a>!B.I 18.15.1 介绍 368 A{q%sp:3~ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ;GG,Z#\m 18.15.3 输入框函数 370 >D!R)W` 18.15.4 自定义对话框 371 7P3pjgh 18.15.5 对话框编辑器 371 l,h`YIy 18.15.6 控制对话框 377 R&(OWF;~, 18.15.7 更高级的对话框 380 ZH\t0YhrVe 18.16 Types语句 384 j
H2)8~P 18.17 打开文件 385 &Iy5@8 18.18 Bags 387 xk~gGT& 18.13 进一步研究 388 qzNb\y9G 19 vStack 389 |#o' =whTl 19.1 vStack基本原理 389 a~jb%i_ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 fB9,#
F 19.3 五棱镜 393 nE8z1hBUq 19.4 光束距离 396 @Nsn0-B?ne 19.5 误差 399 QnOgF 3t 19.6 二向分色棱镜 399 X<8|uP4 19.7 偏振泄漏 404 4!{lySW 19.8 波前误差—相位 405 <e BmCrJ 19.9 其它计算参数 405 dQ{qA(m 20 报表生成器 406 hOk9 y= 20.1 入门 406 HL"c yxe 20.2 指令(Instructions) 406 18NnXqe-m 20.3 页面布局指令 406 9k71h`5 20.4 常见的参数图和三维图 407 I"czo9Yspd 20.5 表格中的常见参数 408 0=HB!{@ 20.6 迭代指令 408 y%%VJ}'X! 20.7 报表模版 408 3@x[M?$ 20.8 开始设计一个报表模版 409 q]: 72+ 21 一个新的project 413 5r
4~vK 21.1 创建一个新Job 414 H6`k%O* 21.2 默认设计 415 #Q7:Mu+ 21.3 薄膜设计 416 w~Q\:<x&~Z 21.4 误差的灵敏度计算 420 6w &<j&V 21.5 显色指数计算 422 rT4Q^t" 21.6 电场分布 424 heIys.p 后记 426 :a)RMp+^0
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