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zm9>"(H 内容简介 L/"XIMI*Xg Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Q~#udEajI 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ( m\PcF 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 n4Ry)O[. 41^+T<+ 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 g,7`emOX 目录 gsqlWfa Preface 1 8U*}D~%! 内容简介 2 O2q`2L~ 目录 i
7pMrYIP 1 引言 1 7d]}BLpjWz 2 光学薄膜基础 2 Im+<oZ 2.1 一般规则 2 vkOCyi?c 2.2 正交入射规则 3 OSK3X Qc 2.3 斜入射规则 6 sikG}p0mx< 2.4 精确计算 7 >pbO\=j]X 2.5 相干性 8 F>%~<or 2.6 参考文献 10 `-"2(Gp 3 Essential Macleod的快速预览 10 e]'ui<` 4 Essential Macleod的特点 32 200/ 4.1 容量和局限性 33 '0[D-jEr 4.2 程序在哪里? 33 #pErGz'{ 4.3 数据文件 35 Jv %,v? 4.4 设计规则 35 }Ry:}) 4.5 材料数据库和资料库 37 B<u6Z!Pp2 4.5.1材料损失 38 lRF04 4.5.1材料数据库和导入材料 39 k(pI5N}pJZ 4.5.2 材料库 41 szu!*wc9 4.5.3导出材料数据 43 Wl/oun~o 4.6 常用单位 43 2w>WS# 4.7 插值和外推法 46 J cL4q\g 4.8 材料数据的平滑 50 Z,^`R] 9 4.9 更多光学常数模型 54 }A\s`Hm 4.10 文档的一般编辑规则 55 ]B/Gz 4.11 撤销和重做 56 S}f3b N 4.12 设计文档 57 brx
7hI 4.10.1 公式 58 Hm!ffqO_ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ON.C%-T- 4.10.3 沉积密度 59 9fj3q>Un, 4.10.4 平行和楔形介质 60 gHpA@jdC* 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 2a|9D\ 4.10.4 性能 61 thy)J.<J 4.10.5 保存设计和性能 64 tgSl(. 4.10.6 默认设计 64 {}kE=L5 4.11 图表 64 d]{wZ#x 4.11.1 合并曲线图 67 j*+[=X/ 4.11.2 自适应绘制 68
YRa{6*M 4.11.3 动态绘图 68 0tyoH3o/d 4.11.4 3D绘图 69 _&)^a)Nu 4.12 导入和导出 73 KX D&FDkF 4.12.1 剪贴板 73 :,Z'/e0& 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ;rXkU9 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 %Hx8%G! 4.13 背景 77 z*n 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 h_#x@p 4.15 生成Rugate 84 v EppkS U1 4.16 参考文献 91 qWX%[i% 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 FcVQ_6 5.1 Jobs 92 ]^j:}#R 5.2 创建一个新Job(工作) 93 kZ7\zbN> 5.3 输入材料 94 {w:*t)@j 5.4 设计数据文件夹 95 J<hqF4z 5.5 默认设计 95 $/*19e~ 6 细化和合成 97 nb-]fa 6.1 优化介绍 97 B=14
hY@` 6.2 细化 (Refinement) 98 =h5&:?X 6.3 合成 (Synthesis) 100 S:2M9nC 6.4 目标和评价函数 101 z ntvKOIh 6.4.1 目标输入 102 }
DQ<YF+ 6.4.2 目标 103 qLC_p) 6.4.3 特殊的评价函数 104 %87D(h!.I4 6.5 层锁定和连接 104 mV!Ia-k 6.6 细化技术 104 LX f r 6.6.1 单纯形 105 h,-2+} 6.6.1.1 单纯形参数 106 :&Sv jJR 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 h0**[LDH 6.6.2.1 Optimac参数 108 Ao?y2 [sE 6.6.3 模拟退火算法 109 QAGR\~ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 g
Va;! 6.6.4 共轭梯度 111 P:D@5 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Rhi`4wo0$ 6.6.5 拟牛顿法 112 p>M8:, 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 gn82_ 6.6.6 针合成 113 @M( hyS&on 6.6.6.1 针合成参数 114 ul(pp+%S 6.6.7 差分进化 114 #/N;ScyUJT 6.6.8非局部细化 115 `r#]dT[g 6.6.8.1非局部细化参数 115 m[aBHA^g 6.7 我应该使用哪种技术? 116 PFR64HK2 6.7.1 细化 116 C2e.RTxc
6.7.2 合成 117 j(aok5:e 6.8 参考文献 117 QC\r|RXW 7 导纳图及其他工具 118 7QSrC/e 7.1 简介 118 I{nrOb1G( 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 .)(5F45Wg 7.2.1 四分之一波长规则 119 \d-H+t] 7.2.2 导纳图 120 MS5X#B 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ?uAq goCl 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 V2B@Lq"9` 7.5 斜入射导纳图 141 7a0T] 7.6 对称周期 141 0*J},#ba$ 7.7 参考文献 142 k2-+3zx 8 典型的镀膜实例 143 . E8Gj'yO 8.1 单层抗反射薄膜 145 fEJF3<UF& 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 N1D{ % 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 eP(|]Rk 8.4 W-膜层 148 #'y4UN 8.5 V-膜层 149 _ASyGmO{ 8.6 V-膜层高折射基底 150 }[;{@Zn 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 6Pp3*O`/V 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 $y$E1A6h+ 8.9 四层抗反射薄膜 153 O[Yc-4 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Q]1s*P 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 5M v<8P~ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 sgLw,WZ: 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 j{$2.W$ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 }'`iJb\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 R$m?aIN 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 r }S>t~p: 8.17 1/4波长堆栈 162 %/n#{;c# 8.18 陷波滤波器 163 XpH d"(* 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 OC6v%@xa 8.20 褶皱 165 50`=[l`V 8.21 消偏振分光器1 169 /1BqC3]tL 8.22 消偏振分光器2 171 \x=j 8.23 消偏振立体分光器 172 ]q`'l_O 8.24 消偏振截止滤光片 173 MA,7|s
8.25 立体偏振分束器1 174 ^ *1hz< 8.26 立方偏振分束器2 177 'O^<i`8U] 8.27 相位延迟器 178 Xmny(j)g 8.28 红外截止器 179 IkP; i_| 8.29 21层长波带通滤波器 180 +/>XOY|Ie 8.30 49层长波带通滤波器 181 {>Yna"p 8.31 55层短波带通滤波器 182 T9NTL\; 8.32 47 红外截止器 183 cI\&&<>SlG 8.33 宽带通滤波器 184 G,X> f? 8.34 诱导透射滤波器 186 ruU &.mZ 8.35 诱导透射滤波器2 188 $!goM~pZ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 5~FXy{ZIH 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 PfN[)s4F{R 8.35 增益平坦滤波器 193 q[TGEgG 8.38 啁啾反射镜 1 196
myOdf'= 8.39 啁啾反射镜2 198 E#n=aY~u- 8.40 啁啾反射镜3 199 OrY^ ?E 8.41 带保护层的铝膜层 200 (DQ ]58& 8.42 增加铝反射率膜 201 cU_:l.b 8.43 参考文献 202 aZ'(ar: 9 多层膜 204 *"d['V3 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Gp0yRT. 9.2 内部透过率 204 0bfJD'^9RP 9.3 内部透射率数据 205 'FM_5`& 9.4 实例 206 KY+BXGW* 9.5 实例2 210 \C kb: 9.6 圆锥和带宽计算 212 /_mU%fl 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Utj4f-M 10 光学薄膜的颜色 216 19;Pjo8 10.1 导言 216 6KE?@3;Om 10.2 色彩 216 -\&b&; _ 10.3 主波长和纯度 220 z7!@^!r 10.4 色相和纯度 221 UT%?3}*u" 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 T4Io+b8$ 10.6 色差 226 b *Ca*! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 M*Ri1 10.8 颜色渲染指数 234 avb'dx*q> 10.9 色差计算 235 #k
t+
)> 10.10 参考文献 236 ipD/dx. 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 x"~gulcz 11.1 短脉冲 238 a9!.e
rM 11.2 群速度 239 !bBx' 11.3 群速度色散 241 GhR%f xe 11.4 啁啾(chirped) 245 ,56objaE 11.5 光学薄膜—相变 245 AGV+Y6 11.6 群延迟和延迟色散 246 _F`RwBOjs 11.7 色度色散 246 xM_+vN*( 11.8 色散补偿 249 ,.i)(Or 11.9 空间光线偏移 256 AvcN, 11.10 参考文献 258 {ewo-dva 12 公差与误差 260 (/jZ&4T 12.1 蒙特卡罗模型 260 9+!"[ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Q\pI\]p: 12.2.1 误差工具 267 _ q^JjR 12.2.2 灵敏度工具 271 7e=s`j 12.2.2.1 独立灵敏度 271 %
U|4%P 12.2.2.2 灵敏度分布 275 \<%?=C'w~ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 -'uz%2 { 12.3 参考文献 276 lNx:_g:SrZ 13 Runsheet 与Simulator 277 .$zo_~ mR 13.1 原理介绍 277 n{=N f|= 13.2 截止滤光片设计 277 evlz R/ 14 光学常数提取 289 }3=^Ik;x 14.1 介绍 289 >dfk2.6e 14.2 电介质薄膜 289 R]"
jr 14.3 n 和k 的提取工具 295 aA=7x&z@ 14.4 基底的参数提取 302 Qsg([K 14.5 金属的参数提取 306 o{OY1 ;=6 14.6 不正确的模型 306 DS^`:^hv 14.7 参考文献 311 z+]YB5zK% 15 反演工程 313 B qcFbY 15.1 随机性和系统性 313 QBLha']'% 15.2 常见的系统性问题 314 'a=' (,% 15.3 单层膜 314 PDhoCAh
! 15.4 多层膜 314 '7UIzk| 15.5 含义 319 6XI$ o,{ 15.6 反演工程实例 319 Lz=GA?lk[\ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 G$E+qk
nJL 15.6.2 反演工程提取折射率 327 1Wb_>`; 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ;`
!j~ 16.1 光学性质的热致偏移 329 L)3JTNiB 16.2 应力工具 335 WoWmmZ 16.3 均匀性误差 339 J'@`+veE 16.3.1 圆锥工具 339 Qn`Fq,uvL 16.3.2 波前问题 341 O_^;wey0}? 16.4 参考文献 343 !T~C =,; 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 oNp(GQ@0 17.1 引言 345 JQH>{OB 17.2 操作数 345 =v7%IRP5 18 如何在Function中编写脚本 351 18o5Gs;yx 18.1 简介 351 9K4Jg]? 18.2 什么是脚本? 351 vu`,:/|h 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 2)(ynrCe 18.4 基础 352 9;tY'32/ 18.4.1 Classes(类别) 352 q1,jDJglZ 18.4.2 对象 352 D0LoT?$N 18.4.3 信息(Messages) 352 !EB[Lutm 18.4.4 属性 352 >M^4p 18.4.5 方法 353 */y (~O6 18.4.6 变量声明 353 1Y{pf]5Wx 18.5 创建对象 354 |6GDIoZ 18.5.1 创建对象函数 355 x#}{z1op9 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 rixt_}aE 18.5.3 丢弃对象 356 um*!+Q 18.5.4 总结 356 ?k+>~k{}a 18.6 脚本中的表格 357 pN#RTb8o 18.6.1 方法1 357 M&^Iun 18.6.2 方法2 357 6Ej.X)~'K 18.7 2D Plots in Scripts 358 Z^O_7I<5E 18.8 3D Plots in Scripts 359 cCO2w2A[* 18.9 注释 360 lC'U3Q& 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 vY2^*3\<D 18.11 一个更高级的脚本 362 \&b1%Asyz 18.12 <esc>键 364 UQ}#=[)2e 18.13 包含文件 365 cA{7*=G? 18.14 脚本被优化调用 366 a}[ 1*_G 18.15 脚本中的对话框 368 4N8(WI"4S 18.15.1 介绍 368 uO5y{O2W 18.15.2 消息框-MsgBox 368 u_jhmKr~ 18.15.3 输入框函数 370 ~ ^*;#[< 18.15.4 自定义对话框 371 +{au$v} 18.15.5 对话框编辑器 371 DLd1Cl:"~: 18.15.6 控制对话框 377 tFu"h1 18.15.7 更高级的对话框 380 $$e"[g 18.16 Types语句 384 B3'-: 18.17 打开文件 385 Cnv?0to2l 18.18 Bags 387 T':} p2}w+ 18.13 进一步研究 388 D2]i*gs 19 vStack 389 |H
,-V; 19.1 vStack基本原理 389 }fh<L CwTi 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ,dXJCX8so 19.3 五棱镜 393 L&hv:+3N 19.4 光束距离 396 GGez!?E% 19.5 误差 399 pYz\GSd 19.6 二向分色棱镜 399 )6*)u/x: 19.7 偏振泄漏 404 1h#e-Oyff 19.8 波前误差—相位 405 a~&euT2 19.9 其它计算参数 405 !![HR6"Q 20 报表生成器 406 R3hyz~\x& 20.1 入门 406 ^=[b]*V 20.2 指令(Instructions) 406 ;}}k*<
Z 20.3 页面布局指令 406 ,vB~9^~ 20.4 常见的参数图和三维图 407 vJ{aBx`VS 20.5 表格中的常见参数 408 %gEgpJd 20.6 迭代指令 408 Sy"!Q%+| 20.7 报表模版 408 @G^m+- 20.8 开始设计一个报表模版 409 N~tq] 21 一个新的project 413 Td5yRN! ? 21.1 创建一个新Job 414 hw2Sb,bY 21.2 默认设计 415 =XFyEt 21.3 薄膜设计 416 `oOVR6{K9 21.4 误差的灵敏度计算 420 nd~O*-uYg 21.5 显色指数计算 422 7f>~P_ 21.6 电场分布 424 *AJYSa,z 后记 426 "P a y2
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