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6SW|H"!! 内容简介 7`u A Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 )*^OPVt 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 N[+o[%A 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ~,1-$#R Q8}TNJsU 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 I&'S2=s 目录 %T&&x2p^=? Preface 1 ~WYE"( 内容简介 2 UZ4tq 目录 i F?RCaj 1 引言 1 k$$S!qi# 2 光学薄膜基础 2 E5Snl#Gl\0 2.1 一般规则 2 ~
X]"P4 u 2.2 正交入射规则 3 ;9!yh\\ 2.3 斜入射规则 6 y]E)2:B[d 2.4 精确计算 7 2#$}yP~ 2.5 相干性 8 H649J)v+m 2.6 参考文献 10 JL]k:i^`A 3 Essential Macleod的快速预览 10 dFI.`pB 4 Essential Macleod的特点 32 n7`.<*:
4.1 容量和局限性 33 Gpxb_}P 4.2 程序在哪里? 33 PoBukOv 4.3 数据文件 35 A3
Rm0 4.4 设计规则 35 W{$+mow7S 4.5 材料数据库和资料库 37
FM;;x(sg 4.5.1材料损失 38 ~Me&cT8 4.5.1材料数据库和导入材料 39 G
+nY}c 4.5.2 材料库 41 =CG!"&T 4.5.3导出材料数据 43 @
@3)D%h 4.6 常用单位 43 xyz\;3 4.7 插值和外推法 46 VxPTh\O*[ 4.8 材料数据的平滑 50 8eS@<[[F# 4.9 更多光学常数模型 54 fUL{c,7xda 4.10 文档的一般编辑规则 55 $:-= > 4.11 撤销和重做 56 ;K)?: 4.12 设计文档 57
4s1kZ`e 4.10.1 公式 58 @0/@p"j 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 6&OonYsP 4.10.3 沉积密度 59 mISuo 4.10.4 平行和楔形介质 60 COkLn)+0 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 VvMU) 4.10.4 性能 61 <4!&iU+; 4.10.5 保存设计和性能 64 vU\w3 4.10.6 默认设计 64 ('o; M: 4.11 图表 64 @|\s$L 4.11.1 合并曲线图 67 x9&tlKKxf 4.11.2 自适应绘制 68 9/X v&<Tn 4.11.3 动态绘图 68 !g8.8(/t) 4.11.4 3D绘图 69 PE;0
jgsiI 4.12 导入和导出 73
8tFyNl`c 4.12.1 剪贴板 73 EbwZZSds1 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 U*qK*"k 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 9^Vx*KVrU 4.13 背景 77 rfZj8R& 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 2Z IpzH/8 4.15 生成Rugate 84 um0}`Xq ^ 4.16 参考文献 91 @x-GbK? 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 .}hZ7>4- 5.1 Jobs 92 *V@MAt 5.2 创建一个新Job(工作) 93 <,]CVo 5.3 输入材料 94 1^H<+0 5.4 设计数据文件夹 95 -Bwu$$0 5.5 默认设计 95 ;u-< {2P 6 细化和合成 97 ~cg+BAfu 6.1 优化介绍 97 $qyM
X[ 6.2 细化 (Refinement) 98 - m x3^ 6.3 合成 (Synthesis) 100 ;~1/eF 6.4 目标和评价函数 101 S>ylA U;N 6.4.1 目标输入 102 [>]VN)_J5 6.4.2 目标 103 S,<.!v 57 6.4.3 特殊的评价函数 104 H R!>g 6.5 层锁定和连接 104 9:Z~}yX 6.6 细化技术 104 +KwF
U 6.6.1 单纯形 105 YDzF( ']o: 6.6.1.1 单纯形参数 106 . =foXN 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 HI?~t|[y 6.6.2.1 Optimac参数 108 X)R]a]1A 6.6.3 模拟退火算法 109 5tCq}]q#P 6.6.3.1 模拟退火参数 109 X9`C2fyVd 6.6.4 共轭梯度 111 Xi`U`7?D(= 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 FLnAN; 6.6.5 拟牛顿法 112 sFz4^Kn 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ^[\53\R~ 6.6.6 针合成 113 ?28GQyk4 6.6.6.1 针合成参数 114 [Oy2&C 6.6.7 差分进化 114 h}:5hi Jw 6.6.8非局部细化 115 ?yM/j7Xn 6.6.8.1非局部细化参数 115 "s6_lhu=E7 6.7 我应该使用哪种技术? 116 NwuBe:"@ 6.7.1 细化 116 jvKaxB;e 6.7.2 合成 117 +5}T!r 6.8 参考文献 117 I;m@cSJ|j 7 导纳图及其他工具 118 y2% ^teXk 7.1 简介 118 ghO//?m 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 i.dAL)V 7.2.1 四分之一波长规则 119 e=Tc(Mwn 7.2.2 导纳图 120 ps;o[gB@5 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 AkQFb2|ir 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 .Fz6+m;Z 7.5 斜入射导纳图 141 v5bb|o[{K 7.6 对称周期 141 /ykxVCvAt 7.7 参考文献 142 AA%g^PWpR 8 典型的镀膜实例 143 Q+js2?7^ 8.1 单层抗反射薄膜 145 "N:]d*A\ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 7ofH@U 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ;A'17B8 8.4 W-膜层 148 TV>R(D3T/ 8.5 V-膜层 149 a|{<#<6n( 8.6 V-膜层高折射基底 150 eS%6hUb 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 w]YyU5rhS 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 CpdY)SMSL 8.9 四层抗反射薄膜 153 5+"8q#X$ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 _q4dgi z 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 {[y"]_B4 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 $zA[5}{ZtQ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 \yizIo.Y` 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 _~&vs< 8.15十五层宽带抗反射膜 159 1`JN 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 -ns a3P 8.17 1/4波长堆栈 162 ;j\$[4W.i 8.18 陷波滤波器 163 \bmboNe 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ^
/eSby 8.20 褶皱 165 3'uES4+r 8.21 消偏振分光器1 169 {YLJKu!M 8.22 消偏振分光器2 171
SL5DWZ 8.23 消偏振立体分光器 172 m64\@
[ 8.24 消偏振截止滤光片 173 WSccR 8.25 立体偏振分束器1 174 X
\ZUt
> 8.26 立方偏振分束器2 177 S5vMP
N 8.27 相位延迟器 178 I{UB!0H 8.28 红外截止器 179 (:k`wh& 8.29 21层长波带通滤波器 180 (&x\,19U$ 8.30 49层长波带通滤波器 181 0`zq*OQ 8.31 55层短波带通滤波器 182 |L-juT X9 8.32 47 红外截止器 183 j'b4Sbs-f 8.33 宽带通滤波器 184 6>7LFV1tvy 8.34 诱导透射滤波器 186 K4L#%KUPW 8.35 诱导透射滤波器2 188 R.$Y1=U6 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 9e*poG 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 PEhLzZX+ 8.35 增益平坦滤波器 193 j-\u_#kx% 8.38 啁啾反射镜 1 196 D)$k{v#~ 8.39 啁啾反射镜2 198 G2k71{jK 8.40 啁啾反射镜3 199 SvJ8Kl OV 8.41 带保护层的铝膜层 200 U .jMK{ 8.42 增加铝反射率膜 201 WuXRL}!\, 8.43 参考文献 202 OtqLigt&l 9 多层膜 204 vxZUtyJfe 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ;8kfgpM_ 9.2 内部透过率 204 <VsZ$ 9.3 内部透射率数据 205 FJ.
:*K[ 9.4 实例 206 #Jb$AA!z 9.5 实例2 210 -<.NEV 9.6 圆锥和带宽计算 212 ur5n{0# 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 [$+61n}.12 10 光学薄膜的颜色 216 .v8=zi:7Y 10.1 导言 216 ]&BFV%kw 10.2 色彩 216 l8li@K 10.3 主波长和纯度 220 Ghe=hhZ 10.4 色相和纯度 221 1 .k}gl0< 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 P3>2=qK"E( 10.6 色差 226 +}'K6x_ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 D]_\i[x 10.8 颜色渲染指数 234 %uMsXa 10.9 色差计算 235 ^jC0S[csw2 10.10 参考文献 236 |Q+v6r(<zZ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 w-/Tb~#E 11.1 短脉冲 238 J#nEGl|a 11.2 群速度 239 Fm{y.URo
11.3 群速度色散 241 L j\<qF~n 11.4 啁啾(chirped) 245 pgi7 JQ 11.5 光学薄膜—相变 245 }e w?{ 11.6 群延迟和延迟色散 246 rbWFq|(_ 11.7 色度色散 246 b6VAyTa 11.8 色散补偿 249 jlZNANR3 11.9 空间光线偏移 256 O;tn5 11.10 参考文献 258 Ric$Xmu 12 公差与误差 260 ]sE^=;Pv? 12.1 蒙特卡罗模型 260 '?4[w]0J< 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 o!&*4>tF 12.2.1 误差工具 267 Rh^$0Q*2 12.2.2 灵敏度工具 271 {QJ`.6Kt 12.2.2.1 独立灵敏度 271 XoOe=V?I ) 12.2.2.2 灵敏度分布 275 %vzpp\t 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Su~`jRN$ 12.3 参考文献 276 eSf:[^ 13 Runsheet 与Simulator 277 PVQ%y 13.1 原理介绍 277 \:S8mDI^s 13.2 截止滤光片设计 277 MDt4KD+bZ 14 光学常数提取 289 Po[zzj>m 14.1 介绍 289 X*&r/= 14.2 电介质薄膜 289 B7C6Mau 14.3 n 和k 的提取工具 295 XO>Y*7rO 14.4 基底的参数提取 302 y uq E 14.5 金属的参数提取 306 Nq8A vBwo4 14.6 不正确的模型 306 HC$cK+,ZU} 14.7 参考文献 311 ;!b(b% 15 反演工程 313 R7>@-EG 15.1 随机性和系统性 313 \/%mabLK 15.2 常见的系统性问题 314 VB%xV
15.3 单层膜 314 vJ s/ett 15.4 多层膜 314 G})mw 15.5 含义 319 M~4!gKs 15.6 反演工程实例 319 7dRU7p> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 'AU!xG6OQ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 8h=XQf6k0 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 BH1To&ol 16.1 光学性质的热致偏移 329 SQ[}]Tm;n 16.2 应力工具 335 &-9D.'WzP 16.3 均匀性误差 339 t<=L&:<N 16.3.1 圆锥工具 339 V^D#i(5 16.3.2 波前问题 341 'S\H% - 16.4 参考文献 343 '_%Jw:4k 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 8,Z0J 17.1 引言 345 )/Vr 5b@ 17.2 操作数 345 *Bj G3Jc5 18 如何在Function中编写脚本 351 R:E:Y|&# 18.1 简介 351 ~kga+H 18.2 什么是脚本? 351
~a}pYLxl 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 _nt%&f 18.4 基础 352 \`^jl 18.4.1 Classes(类别) 352 JqO( ]*"Hi 18.4.2 对象 352 2t'&7>Ys{ 18.4.3 信息(Messages) 352 ?bEYvHAzg 18.4.4 属性 352 0#ph1a< 18.4.5 方法 353 POf \l 18.4.6 变量声明 353 k dqH36&< 18.5 创建对象 354 dK-G%5)r 18.5.1 创建对象函数 355 aVlHY E 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 pfG:PrZ 18.5.3 丢弃对象 356 Ptg73Gm&R 18.5.4 总结 356 .T7ciD 18.6 脚本中的表格 357 *w;f\zW 18.6.1 方法1 357 K{c^.&6D 18.6.2 方法2 357 oj/tim 18.7 2D Plots in Scripts 358 #KwFrlZ 18.8 3D Plots in Scripts 359 z)0F k 18.9 注释 360 2+'&||h 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 9D@Ez"xv 18.11 一个更高级的脚本 362 9D
bp`%j 18.12 <esc>键 364 m-:k]9I 18.13 包含文件 365 otOl7XF 18.14 脚本被优化调用 366 LTF%bAQ, 18.15 脚本中的对话框 368 !(]|!F[m 18.15.1 介绍 368 -%A6eRShk 18.15.2 消息框-MsgBox 368 @1pdyKK 18.15.3 输入框函数 370 ^ZsME, 18.15.4 自定义对话框 371 P_;oSN|> 18.15.5 对话框编辑器 371 nL$tXm-x 18.15.6 控制对话框 377 v-kH7H"z 18.15.7 更高级的对话框 380 1yo@CaW[\ 18.16 Types语句 384 `>V.}K^4 18.17 打开文件 385 w NPZ[V: 18.18 Bags 387 ecb[m2z 18.13 进一步研究 388 m=R4A4Y7 19 vStack 389 9}4L8?2 19.1 vStack基本原理 389 a8N!jQc_m 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ]Kf HuYjM 19.3 五棱镜 393 ?;$g, 2n 19.4 光束距离 396 lfhB2^^ 19.5 误差 399 bx@CzXre; 19.6 二向分色棱镜 399 6x{B 19.7 偏振泄漏 404 {kC]x2 U 19.8 波前误差—相位 405 m'S-h'a 19.9 其它计算参数 405 HdGy$m` 20 报表生成器 406 \+,jM6l}- 20.1 入门 406 NzEuiI} 20.2 指令(Instructions) 406 Nb$ )YMbA 20.3 页面布局指令 406 rnW i<Se 20.4 常见的参数图和三维图 407 7S Qu 20.5 表格中的常见参数 408 {\%x{ 20.6 迭代指令 408 p%?R;W`u2 20.7 报表模版 408 'HC4Q{b` 20.8 开始设计一个报表模版 409 xGA%/dy,; 21 一个新的project 413 !,\]> c 21.1 创建一个新Job 414 Jlzhn#5c- 21.2 默认设计 415 { d/k0H 21.3 薄膜设计 416 V'9 k;SF 21.4 误差的灵敏度计算 420 GUK/Xiu 21.5 显色指数计算 422 q[+]; 21.6 电场分布 424 al5?w{us 后记 426 ak'RV*>mT
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