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Ijs=4f 内容简介 :']O4v#^ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 avH3{V 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 BsN~Z!kd 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 K#plSD^f= F2["Ak NM 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ] Oe[;<I 目录 /M~rmIks Preface 1 /4u:5G 内容简介 2 ?[
vC?P
目录 i s&qr2'F+z 1 引言 1 P+;@?ofB 2 光学薄膜基础 2 WWWfQ_u2 2.1 一般规则 2 2v\-xg%1 2.2 正交入射规则 3 Q$DF3[NC 2.3 斜入射规则 6 QjwCY=PK! 2.4 精确计算 7 n0kkUc-`
2.5 相干性 8 Q*AgFF%wn 2.6 参考文献 10 f= l*+QY8f 3 Essential Macleod的快速预览 10 rzgzX 4 Essential Macleod的特点 32 We*c_;@< 4.1 容量和局限性 33 F`YxH*tO7 4.2 程序在哪里? 33 hk1jxnQh 4.3 数据文件 35 {p@uj_pS 4.4 设计规则 35 ^7~w yAr 4.5 材料数据库和资料库 37 YJ^TO\4WM 4.5.1材料损失 38 oJTsrc_- 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Nm/Fc 4.5.2 材料库 41 EaGS}=qY5 4.5.3导出材料数据 43 ;M Z@2CO 4.6 常用单位 43 r#[YBaCZJ 4.7 插值和外推法 46 h8_~ OX 4.8 材料数据的平滑 50 CVFsp>+ 4.9 更多光学常数模型 54 &vp0zYd+v 4.10 文档的一般编辑规则 55 <=,KP) 4.11 撤销和重做 56 ba 4.12 设计文档 57 oWUDTio#[ 4.10.1 公式 58 L"6@3 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ?k:i3$ 4.10.3 沉积密度 59 =`]yq;(C7j 4.10.4 平行和楔形介质 60 {L8(5 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 VSkx;P 4.10.4 性能 61 S&P5##.u` 4.10.5 保存设计和性能 64 prY9SQd 4.10.6 默认设计 64 ^MWfFpJV!] 4.11 图表 64 9bT,=b; 4.11.1 合并曲线图 67 :q4Mnr 4.11.2 自适应绘制 68 3:Sv8csT 4.11.3 动态绘图 68 KV0e^c; 4.11.4 3D绘图 69 C6eo n4Ut 4.12 导入和导出 73 ;.h5; `& 4.12.1 剪贴板 73 U<NpDjc" 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 pDlh^?cux 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 /=\__$l) 4.13 背景 77 [zR
raG\ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ? F fw'O 4.15 生成Rugate 84 [:!#F7O- 4.16 参考文献 91 \'"q6y 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,Ql3RO, 5.1 Jobs 92 (w% hz'] 5.2 创建一个新Job(工作) 93 fp4 d?3G 5.3 输入材料 94 Z[`J'}?| 5.4 设计数据文件夹 95 $YaL3n 5.5 默认设计 95 +.\JYH=yEr 6 细化和合成 97 OG 5n9sx 6.1 优化介绍 97 =OO_TPEZ 6.2 细化 (Refinement) 98 3g2t{% 6.3 合成 (Synthesis) 100 JEBo!9 6.4 目标和评价函数 101 h/(9AO}t 6.4.1 目标输入 102 &[\rnJ?D 6.4.2 目标 103 .#WF' 6.4.3 特殊的评价函数 104 :@b>,{*4zS 6.5 层锁定和连接 104 <)n
6.6 细化技术 104 bJB:]vs$ 6.6.1 单纯形 105 ocgbBE 6.6.1.1 单纯形参数 106 1<59)RiO> 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 JBUJc 6.6.2.1 Optimac参数 108 <O\z`aA'q 6.6.3 模拟退火算法 109 *%)L?* 6.6.3.1 模拟退火参数 109 4?yc/F=kI 6.6.4 共轭梯度 111 ={L:q8v) 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 [>_(q|A6+ 6.6.5 拟牛顿法 112 053W2Si 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 At bqj? 6.6.6 针合成 113 GF/p|I D 6.6.6.1 针合成参数 114 KP<J~+_ik 6.6.7 差分进化 114 ]B,S <*h 6.6.8非局部细化 115 m/ 6oQ 6.6.8.1非局部细化参数 115 [?IERE!xQ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 p6HZ2Q:a 6.7.1 细化 116 Z(}x7j zW 6.7.2 合成 117 }=GyBnXu 6.8 参考文献 117 @$nI\n?* 7 导纳图及其他工具 118 U<6k!Y9ny 7.1 简介 118 $Jr`4s 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 KT g$^"\ 7.2.1 四分之一波长规则 119 l[fNftT- 7.2.2 导纳图 120 2Qy!Aa 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 MW4dPoa 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 mJsYY,b8 7.5 斜入射导纳图 141 ynDx'Q* N' 7.6 对称周期 141 (%P* rl 7.7 参考文献 142 !gk\h 8 典型的镀膜实例 143 ~.@fk}'R 8.1 单层抗反射薄膜 145 Z956S$gS 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 n7MS{` 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 cUm9s>^)/ 8.4 W-膜层 148 K4F!?# 8.5 V-膜层 149 @"/}Al 8.6 V-膜层高折射基底 150 8uGPyH 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 52["+1g\ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 xBZ9|2Y s 8.9 四层抗反射薄膜 153 V?O%k d 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 XOeh![eMX 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 NSgHO`gU8 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 TcP1"wc 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 4bxkp3~h; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ,|#>X>^FQQ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 kR6 t
. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 z8j(SI;3 8.17 1/4波长堆栈 162 `;_tt_ 8.18 陷波滤波器 163 9V],X=y~ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 O9|'8"AF
8.20 褶皱 165 Fkz 8.21 消偏振分光器1 169 }]~}DHYr 8.22 消偏振分光器2 171 ).]m@g:ew 8.23 消偏振立体分光器 172 y\_S11{v 8.24 消偏振截止滤光片 173 |tg?b&QR 8.25 立体偏振分束器1 174 #8z,'~\ 8.26 立方偏振分束器2 177 [Kj:~~`T 8.27 相位延迟器 178 N-rmk 8.28 红外截止器 179 }K>HS\e 8.29 21层长波带通滤波器 180 )KqR8UO 8.30 49层长波带通滤波器 181 vaj66nV 8.31 55层短波带通滤波器 182 ys/mv'#> 8.32 47 红外截止器 183 x
ctU.)p 8.33 宽带通滤波器 184 MA+-2pMc|7 8.34 诱导透射滤波器 186 vs1Sh?O 8.35 诱导透射滤波器2 188 O^}v/}d 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ,8IAhQa 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 j/9QV 8.35 增益平坦滤波器 193 ]VWfdG 8.38 啁啾反射镜 1 196 z`/.v&<>V 8.39 啁啾反射镜2 198 #tZf>zrs 8.40 啁啾反射镜3 199 =YGP%}_.p{ 8.41 带保护层的铝膜层 200 |2@en=EYk 8.42 增加铝反射率膜 201 2 1~7{# 8.43 参考文献 202 *kQCW#y0 9 多层膜 204 [tqO}D 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 f9,EWuQNS 9.2 内部透过率 204 QP%kL*=8 9.3 内部透射率数据 205 `OP>(bU0 9.4 实例 206 ]1?=jlUl 9.5 实例2 210 oM<!I0"gC+ 9.6 圆锥和带宽计算 212 irsfJUr[V 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 WE[m@K[CR 10 光学薄膜的颜色 216 `x}
Dk<HF 10.1 导言 216 iS"8X#[]N 10.2 色彩 216 ISS\uj63M 10.3 主波长和纯度 220 *J_iXu| 10.4 色相和纯度 221 0zbLc% 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 7%9)C[6NSs 10.6 色差 226 +~d1;0l| 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 9k:W1wgH1 10.8 颜色渲染指数 234 #%^\\|'z 10.9 色差计算 235 ALd]1a& 10.10 参考文献 236 uuSR%KK]| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 tqf&N0*
11.1 短脉冲 238 EqnpMHF 11.2 群速度 239 5g``30:o 11.3 群速度色散 241 !:"-:O}>=, 11.4 啁啾(chirped) 245 CE#\Roi x) 11.5 光学薄膜—相变 245 u#+RUtM 11.6 群延迟和延迟色散 246 S
Pn8\2Cj 11.7 色度色散 246 H`m:X,6} 11.8 色散补偿 249 f.oP 11.9 空间光线偏移 256 j z~[5m}J 11.10 参考文献 258 ja[OcR-tX 12 公差与误差 260 7DtIVMiK 12.1 蒙特卡罗模型 260 Di*]ab 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 74K)aA 12.2.1 误差工具 267 BeK2;[5C 12.2.2 灵敏度工具 271 .^i<xY 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Y@Y`gF6F 12.2.2.2 灵敏度分布 275 g nt45]@{ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 pOm@b`S% 12.3 参考文献 276 <cYp~e%xIw 13 Runsheet 与Simulator 277 (ZV;$N-t 13.1 原理介绍 277 P5xI 13.2 截止滤光片设计 277 FV
A
UR 14 光学常数提取 289 ~r<p@k=.#0 14.1 介绍 289 p*|ah%F6N 14.2 电介质薄膜 289 -vV'Lw( 14.3 n 和k 的提取工具 295 uPkb, :6~Z 14.4 基底的参数提取 302 Q',m{;; 14.5 金属的参数提取 306 )1f+ld%R 14.6 不正确的模型 306 zmI5"K"'F 14.7 参考文献 311 {"m0)G,G 15 反演工程 313 "9@,l! 15.1 随机性和系统性 313 vU!8`x) 15.2 常见的系统性问题 314 vX+.e1m 15.3 单层膜 314 [ ?iqqG. 15.4 多层膜 314 WmNYO,> 15.5 含义 319 'T7 x@a`b) 15.6 反演工程实例 319 KCUU#t|8V\ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ne4c%?>t 15.6.2 反演工程提取折射率 327 }c%
pH{HI 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 )TU<:V 16.1 光学性质的热致偏移 329 &>(gt<C$ 16.2 应力工具 335 :p>hW!~ 16.3 均匀性误差 339 -U-P}6^ 16.3.1 圆锥工具 339 ^e%}[q[>| 16.3.2 波前问题 341 d(7NO;S8 16.4 参考文献 343 b,@aqu 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 b5pMq$UVL 17.1 引言 345 ,l HLH 17.2 操作数 345 gnLn7? 18 如何在Function中编写脚本 351 51 b y 18.1 简介 351 oNM?y:O 18.2 什么是脚本? 351 nt ,7u( 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 %8mm Hh 18.4 基础 352 m"d/b~q 18.4.1 Classes(类别) 352 t-7og;^8k 18.4.2 对象 352 DlTR|(AL 18.4.3 信息(Messages) 352 /ty?<24ko 18.4.4 属性 352 0$HmY2
Men 18.4.5 方法 353 >t <pFh 18.4.6 变量声明 353 PJLR<9 18.5 创建对象 354 E(^0B(JF 18.5.1 创建对象函数 355 SVWIEH0? 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 |<qs 18.5.3 丢弃对象 356 jQh^WmN 18.5.4 总结 356 h<6UC%'ac 18.6 脚本中的表格 357 |/`%3'4H 18.6.1 方法1 357 :c.JhE3D 18.6.2 方法2 357 4Ysb5m)u 18.7 2D Plots in Scripts 358 w?y6nTg< 18.8 3D Plots in Scripts 359 TNwKda+ 18.9 注释 360 oPQtGl p 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 jO~:<y3
= 18.11 一个更高级的脚本 362 Pm{*.AW1 18.12 <esc>键 364 Vb|#MNf) 18.13 包含文件 365 %O[N}_XHEh 18.14 脚本被优化调用 366 ~I=Y{iM 18.15 脚本中的对话框 368 'LE"#2Hu 18.15.1 介绍 368 mpw~hW0- 18.15.2 消息框-MsgBox 368 9N8I
ip]w 18.15.3 输入框函数 370 tY|8s]{2 18.15.4 自定义对话框 371 Orn0Zpp<z 18.15.5 对话框编辑器 371 'jg3 18.15.6 控制对话框 377 *Zk>2<^R 18.15.7 更高级的对话框 380 .Ajzr8P 18.16 Types语句 384 cre;P5^E 18.17 打开文件 385 ,:2'YB 18.18 Bags 387 .Pndx%X9s 18.13 进一步研究 388 (N-RIk73/O 19 vStack 389 bUwn}_7b 19.1 vStack基本原理 389 =T?}Nt 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 D/y bFk 19.3 五棱镜 393 d*8 $>GA 19.4 光束距离 396 G3P&{.v 19.5 误差 399 '@|_OmcY 19.6 二向分色棱镜 399 3g'S\G@ 19.7 偏振泄漏 404 Rd
\.:u 19.8 波前误差—相位 405 fEf_F
r 19.9 其它计算参数 405 {PP9$>4`l 20 报表生成器 406 q%n6K 20.1 入门 406 B(a-k? 20.2 指令(Instructions) 406 MB^~%uZ2K 20.3 页面布局指令 406 aimarU 20.4 常见的参数图和三维图 407 Xaz o9J 20.5 表格中的常见参数 408 v,-{Z1N%m 20.6 迭代指令 408 :NHH
Dl 20.7 报表模版 408 `pf4X/Py 20.8 开始设计一个报表模版 409 omO
S=d!o 21 一个新的project 413 }VS3L_
;}/ 21.1 创建一个新Job 414 qf@q]wtar 21.2 默认设计 415 Hgeg@RP
Q 21.3 薄膜设计 416 4%4avEa"w 21.4 误差的灵敏度计算 420 OaJB=J% 21.5 显色指数计算 422 X'. qYsS 21.6 电场分布 424 {2/LRPT 后记 426 6:GTD$Uz.
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