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=^Th[B 内容简介 SZ/(\kQ6 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 HcA[QBh 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 )S2iIi;Bq 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Wm(:P mbyih+amCr 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 y1iX!m~) 目录 *<r%aeG$em Preface 1 usy,V"{ 内容简介 2 M|k&TTV 目录 i ^#;RLSv
1 引言 1 _lP4}9p 2 光学薄膜基础 2 )A"jVQjI%w 2.1 一般规则 2 &mcR 2.2 正交入射规则 3 SiV*WxQe 2.3 斜入射规则 6 ailG./I+ 2.4 精确计算 7 ^7Lk-a7gp 2.5 相干性 8 #&V5H{ 2.6 参考文献 10 Y''6NGf 3 Essential Macleod的快速预览 10 .a,(pq Jg 4 Essential Macleod的特点 32 9<l-NU9 _ 4.1 容量和局限性 33 =U NT.] 4.2 程序在哪里? 33 T%kKVr 4.3 数据文件 35 frc{>u~t 4.4 设计规则 35 D"cKlp-I6| 4.5 材料数据库和资料库 37 zw]3Vg{T 4.5.1材料损失 38 0~]QIdu{AR 4.5.1材料数据库和导入材料 39 :G}DAUFN 4.5.2 材料库 41 +*C^:^jA 4.5.3导出材料数据 43 WNa3^K/W{ 4.6 常用单位 43 IcFK,y%1 4.7 插值和外推法 46 K6hfauWd[ 4.8 材料数据的平滑 50 :CTL)ad2 4.9 更多光学常数模型 54 f&c]LH_ 4.10 文档的一般编辑规则 55 ~M*gsW$ 4.11 撤销和重做 56 #W|!fILL 4.12 设计文档 57 vTd-x>n 4.10.1 公式 58 .E$q&7@/j 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 2:'lZQ 4.10.3 沉积密度 59 C2G |?= 4.10.4 平行和楔形介质 60 4%7s259% 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 YBvd
q1 4.10.4 性能 61 G#0,CLGN^ 4.10.5 保存设计和性能 64 =Z`0>R` 4.10.6 默认设计 64 )b92yP{ 4.11 图表 64 6e#wR/ 4.11.1 合并曲线图 67 r?^"65= 4.11.2 自适应绘制 68 Pbe7SRdr^ 4.11.3 动态绘图 68 ?E7=:h(@t 4.11.4 3D绘图 69 9|=nV|R'6 4.12 导入和导出 73 {y6C0A* 4.12.1 剪贴板 73 dE [Ol 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 h<Wg 3o 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 v459},!P 4.13 背景 77 k 4B_W 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 KO&:06V{ 4.15 生成Rugate 84 -~O/NX 4.16 参考文献 91 W-XpJ\_ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 oLS7`+b$ 5.1 Jobs 92 !M(:U,?B 5.2 创建一个新Job(工作) 93 r6t&E%b 5.3 输入材料 94 ~ziexZ=N 5.4 设计数据文件夹 95 SF< [FM%1 5.5 默认设计 95 \Y e%o}.{ 6 细化和合成 97 4SR(->@ 6.1 优化介绍 97 J3=BE2L 6.2 细化 (Refinement) 98 Dm%%e o 6.3 合成 (Synthesis) 100 GNU;jSh5 6.4 目标和评价函数 101 m7m
\`; 6.4.1 目标输入 102 e$wt&^W 6.4.2 目标 103 gS$A 6.4.3 特殊的评价函数 104 eYEc^nC,c) 6.5 层锁定和连接 104 C:GvP> 6.6 细化技术 104 ^ ulps**e 6.6.1 单纯形 105 85z;Zt0{ 6.6.1.1 单纯形参数 106
jBpVxv 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 5v9uHxy 6.6.2.1 Optimac参数 108 d#\W hRE 6.6.3 模拟退火算法 109 zfjw;sUX 6.6.3.1 模拟退火参数 109 f#P_xn&et 6.6.4 共轭梯度 111 _7@z_i_c 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 >nry0 ;z0, 6.6.5 拟牛顿法 112 ]XUSqai 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 |zpx)8Q 6.6.6 针合成 113 S$O,] @) 6.6.6.1 针合成参数 114 <xlm
K( 6.6.7 差分进化 114 :woa&(wN;1 6.6.8非局部细化 115 [H,u)8) 6.6.8.1非局部细化参数 115 =i6:puf 6.7 我应该使用哪种技术? 116 O<GF> 6.7.1 细化 116 f1Zt?= 6.7.2 合成 117 zZ,Yfd|W 6.8 参考文献 117 7Fl-(Nv` 7 导纳图及其他工具 118 l!IGc: 7.1 简介 118 [6RfS 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 'msmXX@q 7.2.1 四分之一波长规则 119 uvB1VV4 7.2.2 导纳图 120 `o
si"o9 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 J#7y<
s 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 o:UXPAj 7.5 斜入射导纳图 141 &p"(- 7.6 对称周期 141 I7mG/ 7.7 参考文献 142 s'L?;:)dyB 8 典型的镀膜实例 143 irMd
jG 8.1 单层抗反射薄膜 145 2jA%[L9d^ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 XnXb&@Y 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ut5yf$% 8.4 W-膜层 148 HC7JMj 8.5 V-膜层 149 Z;b+>2oL 8.6 V-膜层高折射基底 150 iP "EA8 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 "s]y!BLk 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 jTSOnF}C~+ 8.9 四层抗反射薄膜 153 9$O@`P\ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 .wc
= ] 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 "l,UOv c 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 @ls.&BHUP 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 J_ J+cRwq 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 &U&%ka<* 8.15十五层宽带抗反射膜 159 cwynd=^nC 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 R]QpMj%o 8.17 1/4波长堆栈 162 nY^Nbh0 8.18 陷波滤波器 163 CBHc A'L 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 s[c^"@HT 8.20 褶皱 165 k'+}92
o 8.21 消偏振分光器1 169 4P kfUMX 8.22 消偏振分光器2 171 `="v>qN2\ 8.23 消偏振立体分光器 172 J70D+ 8.24 消偏振截止滤光片 173 zk=\lp2 8.25 立体偏振分束器1 174 3s(Ia^ 8.26 立方偏振分束器2 177 }*kJ-q&0 8.27 相位延迟器 178 ]d'^Xs 8.28 红外截止器 179 rt b* n~ 8.29 21层长波带通滤波器 180 cZQu *K^j 8.30 49层长波带通滤波器 181 9?`RR/w 8.31 55层短波带通滤波器 182 qm(1:iK,0 8.32 47 红外截止器 183 rsF:4G"% 8.33 宽带通滤波器 184 i_U}{|j 8.34 诱导透射滤波器 186 'b[0ci: 8.35 诱导透射滤波器2 188 I/p]DT 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 zvf3b!} 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 h&'=F)5 8.35 增益平坦滤波器 193 F2>%KuM 8.38 啁啾反射镜 1 196 {}\CL#~y 8.39 啁啾反射镜2 198 0kLEBoOh 8.40 啁啾反射镜3 199 <_:zI r, 8.41 带保护层的铝膜层 200 ' G#SLqZy 8.42 增加铝反射率膜 201 Lk.h.ST 8.43 参考文献 202 /iC_!n u 9 多层膜 204 ;^-:b(E 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 _t-7$d" 9.2 内部透过率 204 _ #'9kx|) 9.3 内部透射率数据 205 Do;#NLrWb 9.4 实例 206 Rd! 2\| 9.5 实例2 210 Tbh '_F6 9.6 圆锥和带宽计算 212 {ZqQ!!b 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 W_<4WG 10 光学薄膜的颜色 216 OM!=ViN(= 10.1 导言 216 F6dr 10.2 色彩 216 j Z'&0x"U 10.3 主波长和纯度 220 3N<&u 10.4 色相和纯度 221 _D-Riu>#J 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 a[C&e,)} 10.6 色差 226 J{~Rxa 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 r_2btpL^ 10.8 颜色渲染指数 234 !_^g8^>2( 10.9 色差计算 235 \4s;!R! 10.10 参考文献 236 ]Oso#GYD 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 T[2}p=<% 11.1 短脉冲 238 Lt>7hBe" 11.2 群速度 239 A3s57.Z]| 11.3 群速度色散 241 l)8sw= 11.4 啁啾(chirped) 245 knSuzq%* 11.5 光学薄膜—相变 245 }ND'0*# 11.6 群延迟和延迟色散 246 `-O=>U5nH 11.7 色度色散 246 4v qNule 11.8 色散补偿 249 {L9yhYw 11.9 空间光线偏移 256 (=JueF@J 11.10 参考文献 258 /DU*M, 12 公差与误差 260 =Ahw%`/&}] 12.1 蒙特卡罗模型 260 IVteF*8hU 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 treXOC9^B8 12.2.1 误差工具 267 &;v!oe 12.2.2 灵敏度工具 271 7a<_BJXx 12.2.2.1 独立灵敏度 271 Gah lS*W 12.2.2.2 灵敏度分布 275 k18$JyaG 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Y:pRcO.4g 12.3 参考文献 276 @ER1zKK? 13 Runsheet 与Simulator 277 Jz$>k$!UD 13.1 原理介绍 277 RWikJ 13.2 截止滤光片设计 277
Ae3,^ 14 光学常数提取 289 263*: Y 14.1 介绍 289 :6u~aT/ 14.2 电介质薄膜 289 UC|JAZL 14.3 n 和k 的提取工具 295 %F5 =n" 14.4 基底的参数提取 302 oT->^4WY 14.5 金属的参数提取 306 p
>aw 14.6 不正确的模型 306 Z#7U
"G-A 14.7 参考文献 311 vlQ0gsXK 15 反演工程 313 }n95< { 15.1 随机性和系统性 313 p&5S|![\ 15.2 常见的系统性问题 314 B01^oYM} 15.3 单层膜 314 3bts7<K= 15.4 多层膜 314 %6 ]\^ 15.5 含义 319 M(5D'4. 15.6 反演工程实例 319 Z| L2oce 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 uF<S 15.6.2 反演工程提取折射率 327 *<kD"m 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 o+^Eu}[. 16.1 光学性质的热致偏移 329 ('d{t:TsY 16.2 应力工具 335 PYieD}' 16.3 均匀性误差 339 if@,vc 16.3.1 圆锥工具 339 ]fC7%"nB 16.3.2 波前问题 341 ND*]gM 16.4 参考文献 343 ^&m?qKN8 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 \`gEu{ 17.1 引言 345 +H}e)1^I 17.2 操作数 345 u]*5Ex (? 18 如何在Function中编写脚本 351 M=+M8M`Iy 18.1 简介 351 1;`Fe":;vC 18.2 什么是脚本? 351 x@Vt[}e 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ~04[KG 18.4 基础 352 `[@VxGy_ 18.4.1 Classes(类别) 352 4NUNOv`[{ 18.4.2 对象 352 ITc`]K 18.4.3 信息(Messages) 352 bK7.St 18.4.4 属性 352 n?Z f/T 18.4.5 方法 353 ,Hh*3rR^ 18.4.6 变量声明 353 -<d(
18.5 创建对象 354 |."G ?* 18.5.1 创建对象函数 355 D1ZC&B_}- 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 k_O-5{ 18.5.3 丢弃对象 356 m&cvU>lC 18.5.4 总结 356 0BFz7 18.6 脚本中的表格 357 GBr,LN 18.6.1 方法1 357 >{F!ntEj 18.6.2 方法2 357 l
$w/Fz 18.7 2D Plots in Scripts 358 .q inR6= 18.8 3D Plots in Scripts 359 OQc{
V 18.9 注释 360 J{!'f|
J 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 cIZ[[(Db 18.11 一个更高级的脚本 362 HTN$ >QTI 18.12 <esc>键 364 tj0Qr-/ 18.13 包含文件 365 P'F~\**5 18.14 脚本被优化调用 366 J% AG` 18.15 脚本中的对话框 368 f?5A"-NS 18.15.1 介绍 368 e&ts\0 18.15.2 消息框-MsgBox 368 i*z0Jf[" 18.15.3 输入框函数 370 p}BGw:= 18.15.4 自定义对话框 371 %r P ! 18.15.5 对话框编辑器 371 _'lmCj8L 18.15.6 控制对话框 377 \*J.\f 18.15.7 更高级的对话框 380 9.]kOs_ 18.16 Types语句 384 ,P~QS 18.17 打开文件 385 22'vm~2E 18.18 Bags 387 ;L$,gn5H 18.13 进一步研究 388 + "zYn!0 19 vStack 389 ]*GnmG:D* 19.1 vStack基本原理 389 L5&K}F]r^ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 B6uRJcD4 19.3 五棱镜 393 Kk>DYHZ6y 19.4 光束距离 396 2$Wo&Q^_ 19.5 误差 399 vgN@~Xa 19.6 二向分色棱镜 399 ?#i|>MRR> 19.7 偏振泄漏 404 J7Sx!PQ 19.8 波前误差—相位 405 }Q;BQ2[ 19.9 其它计算参数 405 L^x5&CCwk 20 报表生成器 406 -`g J 20.1 入门 406 3wo'jOb 20.2 指令(Instructions) 406 S<9gyW 20.3 页面布局指令 406 pSXEJ 2k 20.4 常见的参数图和三维图 407 B/rzh? b 20.5 表格中的常见参数 408 G4O3h Y.` 20.6 迭代指令 408 n@_)fFD% 20.7 报表模版 408 Z) t{JHm: 20.8 开始设计一个报表模版 409 <a fO 6?` 21 一个新的project 413 <ipWMZae0F 21.1 创建一个新Job 414 k3#wLJ 21.2 默认设计 415 y%FYXwR{ 21.3 薄膜设计 416 eq{
[?/ 21.4 误差的灵敏度计算 420 w7r'SCVh3+ 21.5 显色指数计算 422 ,k\/]9 21.6 电场分布 424 1j+eD:d' 后记 426 nqrDT1b**
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