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vI#NO< 内容简介 jBZlNEw Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ,I6jfXI4 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 POvxZU 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 -FQ! 'D`O4TsP> 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 2-!OflkoM0 目录 <7'`N\a Preface 1 mN^w?R41m 内容简介 2 p7et>;WRx 目录 i 0U|t@&q 1 引言 1 _gU:!:} 2 光学薄膜基础 2 qE B3Y54+ 2.1 一般规则 2 \WS2g"( 2.2 正交入射规则 3 ]Z\Z_t 2.3 斜入射规则 6 # &zM.O1Q 2.4 精确计算 7 3y^PKIIrt 2.5 相干性 8 F.{{gpI 2.6 参考文献 10 :rxS&5 3 Essential Macleod的快速预览 10 ` 9;0Y 4 Essential Macleod的特点 32 {1?94rz 4.1 容量和局限性 33 kN7JZ12 4.2 程序在哪里? 33 {
0\Ez} 4.3 数据文件 35 n/W@H Im# 4.4 设计规则 35 gu?e%]X3 4.5 材料数据库和资料库 37 7LEB,bU 4.5.1材料损失 38 g)?Ol 4.5.1材料数据库和导入材料 39 \Ui3=8( 4.5.2 材料库 41 jr/ 4.5.3导出材料数据 43 yyPQ^{zD 4.6 常用单位 43 f(M$m,d 4.7 插值和外推法 46 |Gp!#D0b 4.8 材料数据的平滑 50 ?^Gi;d5 4.9 更多光学常数模型 54 rU6F$I= 4.10 文档的一般编辑规则 55 Z9
z!YaOL 4.11 撤销和重做 56 r]q;>\T' 4.12 设计文档 57 d]A.=NAc 4.10.1 公式 58 rR Kbs@1M 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 7bV(eV 4.10.3 沉积密度 59 pbCj
^ 4.10.4 平行和楔形介质 60 ~7p!t%;$ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 26M:D&| ZB 4.10.4 性能 61 Wd`*<+t] 4.10.5 保存设计和性能 64 yq H 4.10.6 默认设计 64 TWzlF>4N 4.11 图表 64 yMG(FAyu 4.11.1 合并曲线图 67 [^Z)f<l 4.11.2 自适应绘制 68 &}'FC7} 4.11.3 动态绘图 68 9Lus,l\ 4.11.4 3D绘图 69 '/OcJVSR 4.12 导入和导出 73 q
~%'V 4.12.1 剪贴板 73 Ky0}phGRu 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 G2$<Q+UYs? 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 (rmOv\hG9V 4.13 背景 77 }Q2v~eD 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ai7R@~O:_k 4.15 生成Rugate 84 z`"*60b 4.16 参考文献 91 *S xDwN 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 v)p'0F#6A 5.1 Jobs 92 2jf73$F 5.2 创建一个新Job(工作) 93 RWg'W,v=! 5.3 输入材料 94 Z";&1cK 5.4 设计数据文件夹 95 QdIx@[+WOq 5.5 默认设计 95 K`=9"v'f+ 6 细化和合成 97 >&DC[)28 6.1 优化介绍 97 nND;
lVQSO 6.2 细化 (Refinement) 98 @m5c<(bkfp 6.3 合成 (Synthesis) 100 f+cN'jH
E 6.4 目标和评价函数 101 !>:SPt l 6.4.1 目标输入 102 u^O!5 'D% 6.4.2 目标 103 nt&"?
/s 6.4.3 特殊的评价函数 104 ^B_SAZ&%% 6.5 层锁定和连接 104 +\doF 6.6 细化技术 104 jn
5v 6.6.1 单纯形 105
rp
'^]Zx 6.6.1.1 单纯形参数 106 .5" s[(S 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 8J#U=qYei 6.6.2.1 Optimac参数 108 oVTXn=cYDp 6.6.3 模拟退火算法 109 S$O5jX 0 6.6.3.1 模拟退火参数 109 yhkKakg,) 6.6.4 共轭梯度 111 nt]'>eX_} 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 "S]G+/I|iw 6.6.5 拟牛顿法 112 yV~TfTJ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 _1?nLx7n 6.6.6 针合成 113 Kv9$c(~# 6.6.6.1 针合成参数 114 Z0/$XS9|h; 6.6.7 差分进化 114 &cWC&Ws" 6.6.8非局部细化 115 y>#_LhTX- 6.6.8.1非局部细化参数 115 ^e]O-,UBk 6.7 我应该使用哪种技术? 116 *rgF[
: 6.7.1 细化 116 _l"=#i@L 6.7.2 合成 117 {Rdh4ZKh 6.8 参考文献 117 dWx@<(`OC 7 导纳图及其他工具 118 /-knqv 7.1 简介 118 4@+']vN4 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 )oALB vX 7.2.1 四分之一波长规则 119 P L7(0b% 7.2.2 导纳图 120 A<]
$[2qPj 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 abAw#XQ8 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 m-qu<4A/U| 7.5 斜入射导纳图 141 =9Vo [ 7.6 对称周期 141 'yosDT2{# 7.7 参考文献 142 <PFF\NE9 8 典型的镀膜实例 143 ~ulcLvm:i 8.1 单层抗反射薄膜 145 TI}a$I* 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 xk 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Gshy$'_e 8.4 W-膜层 148 Bq;GO 8.5 V-膜层 149 +1a3^A\ 8.6 V-膜层高折射基底 150 QH,Fw$1 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 1:iB1TclP 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 <-mhz`^ 8.9 四层抗反射薄膜 153 |ZM>UJ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ;"2VU" 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Lu~E5 , 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 )QWhzY 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 33SCHQ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 `M*jrkM]x 8.15十五层宽带抗反射膜 159 `T+w5ONn 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 jXVvVv 8.17 1/4波长堆栈 162 ]61Si~Z 8.18 陷波滤波器 163 F @<h:VVP 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 q9H\ $ 8.20 褶皱 165 j7^A%9 8.21 消偏振分光器1 169 [K@(,/$ 8.22 消偏振分光器2 171 S[gACEZ = 8.23 消偏振立体分光器 172 W':b6}? 8.24 消偏振截止滤光片 173 qDTdYf 8.25 立体偏振分束器1 174 v
k=|TE 8.26 立方偏振分束器2 177 d&+0JI< 8.27 相位延迟器 178 lu6iU 8.28 红外截止器 179 ::+;PRy_E 8.29 21层长波带通滤波器 180 Z^}[CQ&Am 8.30 49层长波带通滤波器 181 j/_&]6! 8.31 55层短波带通滤波器 182 D^2lb"3 8.32 47 红外截止器 183 \>>P%EU, 8.33 宽带通滤波器 184 S8B?uU 8.34 诱导透射滤波器 186 5]GgjQ 8.35 诱导透射滤波器2 188 /\_n5XI1 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 kxN
O9w 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 eM
5#L,Y{ 8.35 增益平坦滤波器 193 ZW9OPwV 8.38 啁啾反射镜 1 196 ?:M4GY"gV 8.39 啁啾反射镜2 198 AAs&P+;
8.40 啁啾反射镜3 199 |AacV 8.41 带保护层的铝膜层 200 p!~1~q6 8.42 增加铝反射率膜 201 @e& 0Wk 8.43 参考文献 202 0)cSm"s 9 多层膜 204 8MI8~ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 /D1Lh_,2 9.2 内部透过率 204 n*Dn{ 7v#z 9.3 内部透射率数据 205 @tPr\F 9.4 实例 206 ;BqCjS%`N 9.5 实例2 210 zfE8=d8U 9.6 圆锥和带宽计算 212 k0O5c[j 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 lz::6} 10 光学薄膜的颜色 216 -ycdg'v 10.1 导言 216 -Ci&h 10.2 色彩 216 W8$0y2 10.3 主波长和纯度 220 7H?xp_D 10.4 色相和纯度 221 jI0gf&v8 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ~".@;Q 10.6 色差 226 $|@vmv0 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 '<YBoU{e* 10.8 颜色渲染指数 234 2IE\O8b 10.9 色差计算 235 i7 21(1 10.10 参考文献 236 <xF]ca 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 uoOUgNwGg 11.1 短脉冲 238 ,Pcg+^A 11.2 群速度 239 .4 U*.Rf
11.3 群速度色散 241 [>r0
(x&. 11.4 啁啾(chirped) 245 0ug&HEl_w 11.5 光学薄膜—相变 245 JKfJ%yy | 11.6 群延迟和延迟色散 246 "g #%d 11.7 色度色散 246 5O d]rE 11.8 色散补偿 249 b}ya9tCl; 11.9 空间光线偏移 256 (xN1?qXB. 11.10 参考文献 258 .gmS1ju 12 公差与误差 260 R3U|{vgl 12.1 蒙特卡罗模型 260 NN=^4Xpc: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 nD XEm6|e 12.2.1 误差工具 267 TwI s_r: 12.2.2 灵敏度工具 271 Y I;iG[T,& 12.2.2.1 独立灵敏度 271 TEY~E*=}$ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 _K!.TM+9 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
U-4F 12.3 参考文献 276 (YYg-@IO 13 Runsheet 与Simulator 277 fglfnx0{ 13.1 原理介绍 277 LtX53c 13.2 截止滤光片设计 277 H\a"=&M 14 光学常数提取 289 Wh| T3& 14.1 介绍 289 $C5*@`GM$ 14.2 电介质薄膜 289 CX{6 14.3 n 和k 的提取工具 295 ;h+~xxu=X 14.4 基底的参数提取 302 sH;_U)ssH 14.5 金属的参数提取 306 viUJ4Pn 14.6 不正确的模型 306 abT,"a\h 14.7 参考文献 311 [SC6{| 15 反演工程 313 u "jV#,, 15.1 随机性和系统性 313 Jj+Q2D: 15.2 常见的系统性问题 314 OVDuF&0 15.3 单层膜 314 +llb{~ZN 15.4 多层膜 314 ls:oC},p* 15.5 含义 319 } v:YSG 15.6 反演工程实例 319 m<-!~ ew 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 $8UW^#Bpq 15.6.2 反演工程提取折射率 327 iaEQF]*cC 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 f+uyO7 16.1 光学性质的热致偏移 329 MkoK(m{7 16.2 应力工具 335 "4H@&:-(p 16.3 均匀性误差 339 jK]1X8 16.3.1 圆锥工具 339 )V2W:M 16.3.2 波前问题 341 Rh|9F yN 16.4 参考文献 343 :tU^ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 lMGO4U[z 17.1 引言 345 Fy Ih\ 17.2 操作数 345 Dk^AnMx%_ 18 如何在Function中编写脚本 351 {<gv1Yht 18.1 简介 351 v{ >3)$1 18.2 什么是脚本? 351 mLZ1u\7W 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 $$NWN?H~ 18.4 基础 352 *}lLV.+A 18.4.1 Classes(类别) 352 rx2']. 18.4.2 对象 352 IUv#nB3 18.4.3 信息(Messages) 352 oC>J{z 18.4.4 属性 352 O;<wDh)Yt 18.4.5 方法 353 !P=Cv= 18.4.6 变量声明 353 KoNu{TJ 18.5 创建对象 354 s{' Sl{-Eu 18.5.1 创建对象函数 355 {sC Ni 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 }^Q:Q\ 18.5.3 丢弃对象 356 >jAFt_ 18.5.4 总结 356 MmjZq 18.6 脚本中的表格 357 ^BA%]pe$I 18.6.1 方法1 357 FefroaJ:u 18.6.2 方法2 357 )&j`5sSXcr 18.7 2D Plots in Scripts 358 fF0i^E< 18.8 3D Plots in Scripts 359 mYgfGPF` 18.9 注释 360 0<\|D^m=&h 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 OLb s~
>VA 18.11 一个更高级的脚本 362 ~?ezd0 18.12 <esc>键 364 6(`N!]e*L 18.13 包含文件 365 FHr)xqo=~ 18.14 脚本被优化调用 366 `w:kY9
18.15 脚本中的对话框 368 vw2E$ya 18.15.1 介绍 368 G9Uc
}z 18.15.2 消息框-MsgBox 368 xjo`u:BH 18.15.3 输入框函数 370 `-pwP 18.15.4 自定义对话框 371 S"h;u=5it 18.15.5 对话框编辑器 371 80@\e 18.15.6 控制对话框 377 34u[#O{2 18.15.7 更高级的对话框 380 V'XEz;Ze 18.16 Types语句 384 QLO;D)fC 18.17 打开文件 385 R<&Euph 18.18 Bags 387 gE2(E0H 18.13 进一步研究 388 5 qfvHQ ~M 19 vStack 389 Z?'CS|ud 19.1 vStack基本原理 389 Ol }5ry 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 k=mQG~ 19.3 五棱镜 393 J.1c,@ 19.4 光束距离 396 8{G!OBxc\. 19.5 误差 399 %`&n ;K.c 19.6 二向分色棱镜 399 !+PrgIp> 19.7 偏振泄漏 404 Jj
\nye+ 19.8 波前误差—相位 405 \
=hg^j 19.9 其它计算参数 405 _C/|<Ot: 20 报表生成器 406 .A< HM} 20.1 入门 406 3k)xzv%r` 20.2 指令(Instructions) 406 fg)*TR 20.3 页面布局指令 406 kzZgNv#G; 20.4 常见的参数图和三维图 407 PK:Lv15"r 20.5 表格中的常见参数 408 '0+I' _( 20.6 迭代指令 408 F6q=W#~ 20.7 报表模版 408 J=3{<Xl 20.8 开始设计一个报表模版 409 @n)?=[p 21 一个新的project 413 L}*o8l` 21.1 创建一个新Job 414 uy<3B>3~. 21.2 默认设计 415 5qnei\~ 21.3 薄膜设计 416 >`x|E-X" 21.4 误差的灵敏度计算 420 1 7~Pc 21.5 显色指数计算 422 \|Af26 21.6 电场分布 424 lm4A%4-db 后记 426 8?nn4]P
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