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5 `{|[J_[ 内容简介 !^>LOH>j Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 X%4uShM 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 e6{[o@aM{ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 in=k:j,U0 "W_jdE6v 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 &J6o$i 目录 dbMu6Bm\G Preface 1 [x$eF~Kp 内容简介 2 dPH!
V6r 目录 i <\}Y@g8 1 引言 1 e\d5SKY 2 光学薄膜基础 2 {0A[v}X ~ 2.1 一般规则 2 g9([3pV, 2.2 正交入射规则 3 e~t}z_>F 2.3 斜入射规则 6 x;ICV%g/ 2.4 精确计算 7 FfD
,cDs 2.5 相干性 8 AjL?Qh4 2.6 参考文献 10 r3c\;Ra7 3 Essential Macleod的快速预览 10 r'9=kx 4 Essential Macleod的特点 32 -KIVnV=&m 4.1 容量和局限性 33 7?Qt2tr 4.2 程序在哪里? 33 5|6z1{g8 4.3 数据文件 35 aV?}+Y{# 4.4 设计规则 35 2#n$x*CY 4.5 材料数据库和资料库 37 ld!6|~0U 4.5.1材料损失 38 VHgF#6' 4.5.1材料数据库和导入材料 39 r_g\_y7ua 4.5.2 材料库 41 JR a*;_ 4.5.3导出材料数据 43 <D;H}ef 4.6 常用单位 43 CYFas:rPLT 4.7 插值和外推法 46 Kc9mI>u H 4.8 材料数据的平滑 50 NqQ(X'W7 4.9 更多光学常数模型 54 *0&i'0> 4.10 文档的一般编辑规则 55 #)PGQ)( 4.11 撤销和重做 56 /SqFP
L] 4.12 设计文档 57 +}(B856+ 4.10.1 公式 58 2W"cTm
4.10.2 更多关于膜层厚度 59 q*RaX
4V 4.10.3 沉积密度 59 1(:=jOfk 4.10.4 平行和楔形介质 60 DETajf/<F 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 j6R{ 4.10.4 性能 61 St7D.| 4.10.5 保存设计和性能 64 H%NLL4&wu 4.10.6 默认设计 64 ZB^4 (F')H 4.11 图表 64
wWOT*R_ 4.11.1 合并曲线图 67 ]:E! i^C`Z 4.11.2 自适应绘制 68 #hE3~+i 4.11.3 动态绘图 68 uu@'02G8 4.11.4 3D绘图 69 ,],JI|Rl8c 4.12 导入和导出 73 u'~b<@wHB 4.12.1 剪贴板 73 @8<uAu% 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 e\
l,gQP 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 4na4Jsq{ 4.13 背景 77 /qkIoF2 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 zy/tQGTr@ 4.15 生成Rugate 84 L1Cn 4.16 参考文献 91 !{]v='
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 d"d)<f
5.1 Jobs 92 XM@-Y&c$A 5.2 创建一个新Job(工作) 93 yz2oS|0 ' 5.3 输入材料 94 li_pM!dWU_ 5.4 设计数据文件夹 95 $NGtxZp 5.5 默认设计 95 l LD)i J1 6 细化和合成 97 ?;KJ
(@Va 6.1 优化介绍 97 SVs~, 6.2 细化 (Refinement) 98 Ay"2W%([` 6.3 合成 (Synthesis) 100 <1g 1hqK3 6.4 目标和评价函数 101 #`#aSqGmc 6.4.1 目标输入 102 7Yw\%}UL 6.4.2 目标 103 9}qfdbI 6.4.3 特殊的评价函数 104 <j8&u/Za~' 6.5 层锁定和连接 104 R:IS4AaS 6.6 细化技术 104 G4exk5 6.6.1 单纯形 105 g*AD$": 6.6.1.1 单纯形参数 106 : {N3o: 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 lRATrp#T 6.6.2.1 Optimac参数 108 HH~
du 6.6.3 模拟退火算法 109 (+Kof 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ^a#&wW 6.6.4 共轭梯度 111
jQ\
MB 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]BQWA 6.6.5 拟牛顿法 112 ^1Zq0 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 p:Ld)U * 6.6.6 针合成 113 seV;f^-hR 6.6.6.1 针合成参数 114 C(|T/rQ- 6.6.7 差分进化 114 ^Lv^W 6.6.8非局部细化 115 4FHX#` 6.6.8.1非局部细化参数 115
s8_NN 6.7 我应该使用哪种技术? 116 l[\,*C 6.7.1 细化 116 @~U6=(+ 6.7.2 合成 117 >A(?P n{|a 6.8 参考文献 117 I'%H:53^0 7 导纳图及其他工具 118 >RqT7n8h 7.1 简介 118 2hA66ar{$ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 fJ"~XTN}T 7.2.1 四分之一波长规则 119 NF\^'W@N 7.2.2 导纳图 120 H"RF[bX( 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 xEZVsz 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 b;;Kxi:7$} 7.5 斜入射导纳图 141 k-DB~-L 7.6 对称周期 141 Ty4%du6?d 7.7 参考文献 142 Y./}zCT 8 典型的镀膜实例 143 JHh9> .1 8.1 单层抗反射薄膜 145 Rb}&c)4 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 "O1*uwm 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 dpn&)?f 8.4 W-膜层 148 f,
j(uP 8.5 V-膜层 149 H6CGc0NS+ 8.6 V-膜层高折射基底 150 7
} MJK) 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 U W)&Eky 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 b%jG?HSu 8.9 四层抗反射薄膜 153 >iWf7-: 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 % m5 ^p 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 +?txGHQq 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 /R$x-7t)^( 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 %TTL^@1!b 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 T0"0/{5-_ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 1;~ 1U9V 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 M*@aA
XM 8.17 1/4波长堆栈 162 u{nWjqrM*5 8.18 陷波滤波器 163 XoQk'7"f 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Vh9s.=*P@ 8.20 褶皱 165 /?-p^6U 8.21 消偏振分光器1 169 hRZS6" # 8.22 消偏振分光器2 171 FITaL@{c 8.23 消偏振立体分光器 172 o-<_X&"a|5 8.24 消偏振截止滤光片 173 M"l rwun^ 8.25 立体偏振分束器1 174 R^kv!x;h 8.26 立方偏振分束器2 177 IoHkcP[H 8.27 相位延迟器 178 4e\`zy 8.28 红外截止器 179 -/2$P 8.29 21层长波带通滤波器 180 X*yp=qI 8.30 49层长波带通滤波器 181 %oKqK>S) 8.31 55层短波带通滤波器 182 }
9s 8.32 47 红外截止器 183 [qMO7enu# 8.33 宽带通滤波器 184 B5r_+?=2e 8.34 诱导透射滤波器 186 ?CZD^>6 8.35 诱导透射滤波器2 188 -R
\@W q@ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ygY+2 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 q]%bd[zkz 8.35 增益平坦滤波器 193 j!o3g;j 8.38 啁啾反射镜 1 196 Q|z06_3i 8.39 啁啾反射镜2 198 N4DDH^h 8.40 啁啾反射镜3 199 s /q5o@b{ 8.41 带保护层的铝膜层 200 (U(x[Df) 8.42 增加铝反射率膜 201 GJ_)Cl+5E 8.43 参考文献 202 RGuHXf 9 多层膜 204 [ .uaO 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 "t&k{\$\ 9.2 内部透过率 204 K0H!Ds9 9.3 内部透射率数据 205 iT9Ex9RL 9.4 实例 206 EI+/%., 9.5 实例2 210 2965 7k8 9.6 圆锥和带宽计算 212 5@A=,
GPUn 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 LA %al @ 10 光学薄膜的颜色 216 CuO*>g^K[ 10.1 导言 216 9<c4y4#y 10.2 色彩 216 TZyQOjUu 10.3 主波长和纯度 220 3Wxtxk._E 10.4 色相和纯度 221 `e|Lw 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 @M?EgVmW 10.6 色差 226 m$qC
8z] 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 >683 4e 10.8 颜色渲染指数 234 )&!@O$RS8( 10.9 色差计算 235 Cj\+u\U# 10.10 参考文献 236 ,[1`'nN@g 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 !:[n3.vm 11.1 短脉冲 238 <FT\u{9$ 11.2 群速度 239 B^Mtj5Oc 11.3 群速度色散 241 wSF#;lqd 11.4 啁啾(chirped) 245 R+hS;F nh% 11.5 光学薄膜—相变 245 B2WX#/lgd 11.6 群延迟和延迟色散 246 oySM?ZE 11.7 色度色散 246 Z9~Wlt'? 11.8 色散补偿 249 )nxIxr0d- 11.9 空间光线偏移 256 )qXe`3d5 11.10 参考文献 258 tg3JU\ 12 公差与误差 260 EXzNehO~e 12.1 蒙特卡罗模型 260 A"VXs1>_^ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Cfb-:e$0 12.2.1 误差工具 267 gt (nZ 12.2.2 灵敏度工具 271 3Dv koV 12.2.2.1 独立灵敏度 271 =u"|qD 12.2.2.2 灵敏度分布 275 EZRZ)h 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 |o)
_=Fx 12.3 参考文献 276 'X<uG
x 13 Runsheet 与Simulator 277 ;FflEL<7Y 13.1 原理介绍 277 f_XCO=8'v 13.2 截止滤光片设计 277 ^V]DY!@k3_ 14 光学常数提取 289 oHnpw U 14.1 介绍 289 _'p;V[(+M 14.2 电介质薄膜 289 %k)I=| 14.3 n 和k 的提取工具 295 7/!C 14.4 基底的参数提取 302 G_4P)G3H 14.5 金属的参数提取 306 3h4"Rv=, 14.6 不正确的模型 306 &bu`\|V 14.7 参考文献 311 )pa|uH+N 15 反演工程 313 Utp\}0GZY 15.1 随机性和系统性 313 /loNOutw 15.2 常见的系统性问题 314 Vs"Q-? 15.3 单层膜 314 wVtBeZa 15.4 多层膜 314 q0Pu6"^ 15.5 含义 319 4jro4B` 15.6 反演工程实例 319 (5;xs 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 FuBRb(I 15.6.2 反演工程提取折射率 327 muY^Fx 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 .6#2i <oPW 16.1 光学性质的热致偏移 329 HbVm
O]#$D 16.2 应力工具 335 Q3Lqj2r 16.3 均匀性误差 339 YWFHiB7x 16.3.1 圆锥工具 339 Ve)
:I 16.3.2 波前问题 341 I!'(>VlP7 16.4 参考文献 343 SX;IUvVE5 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Ooy96M~_G 17.1 引言 345 x%&V!L 17.2 操作数 345 >i E
18 如何在Function中编写脚本 351 5L#M7E 18.1 简介 351 -. {7;6:(k 18.2 什么是脚本? 351 Z3{Qtysuv3 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 M!'tD!NWc 18.4 基础 352 SoIMf tX 18.4.1 Classes(类别) 352 D40VJ3TUc 18.4.2 对象 352 ;\.&FMi 18.4.3 信息(Messages) 352 j<?4N*S 18.4.4 属性 352 hp}8
3.oA 18.4.5 方法 353 sOmYQ{R 18.4.6 变量声明 353 8+F2
!IM 18.5 创建对象 354 | 'G$}]H 18.5.1 创建对象函数 355 XWV ~6" 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 omP7| 18.5.3 丢弃对象 356 H5)WxsZ R 18.5.4 总结 356 r; !us~ 18.6 脚本中的表格 357 4R6 .GO 18.6.1 方法1 357 5GP'cE 18.6.2 方法2 357 s]OXB {M 18.7 2D Plots in Scripts 358 +.St"f/1 18.8 3D Plots in Scripts 359 ,0xN#&?Ohh 18.9 注释 360 G>"[nXmcu 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 _`58G#z 18.11 一个更高级的脚本 362 ?'r[P03 18.12 <esc>键 364 '/?&Go |