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9C$#A +~C 内容简介 :V)W?~Z7B Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 iz|mJUx 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 _ F0qqj 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 W@S'mxk#* 84PD`A 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 7Pt*V@DHS 目录 |=OO$z;q| Preface 1 hl4@Y#n 内容简介 2 , N:'Z 目录 i ]mU,y$IQ 1 引言 1 DNgQ.lV 2 光学薄膜基础 2 3YY<2< 2.1 一般规则 2 !U02>X 2.2 正交入射规则 3 |pIA9/~Z 2.3 斜入射规则 6
":,HY)z 2.4 精确计算 7 YK#
QH"} 2.5 相干性 8 `[+9n2j 2.6 参考文献 10 0m5Q;|mH 3 Essential Macleod的快速预览 10 q.(p.uD 4 Essential Macleod的特点 32 T;- Zl[H 4.1 容量和局限性 33 kndP?#>
p1 4.2 程序在哪里? 33 Y^)VHE] 4.3 数据文件 35 >K`.!!av,Y 4.4 设计规则 35 {HqwpB\@ 4.5 材料数据库和资料库 37 _ Ko0 4.5.1材料损失 38 ?Y"bt^4j 4.5.1材料数据库和导入材料 39 &`rV{%N" 4.5.2 材料库 41 y)3( 4.5.3导出材料数据 43 >Kl78w: 4.6 常用单位 43 Ow\9vf6H 4.7 插值和外推法 46 F"a^`E& 4.8 材料数据的平滑 50 0w >DU^+ 4.9 更多光学常数模型 54 (l22p
4.10 文档的一般编辑规则 55 oeXNb4; 4 4.11 撤销和重做 56 &%pB; dk 4.12 设计文档 57 @S~'m; 4.10.1 公式 58 =J8)Z'Jr 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 A>L(#lz#ek 4.10.3 沉积密度 59 =erA.u 4.10.4 平行和楔形介质 60 *8p\.za1 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 6RZ[X[R[} 4.10.4 性能 61 Q:+Y-&||" 4.10.5 保存设计和性能 64 $8&HpX#h$ 4.10.6 默认设计 64 Y51XpcXQ 4.11 图表 64 $52Te3n 4.11.1 合并曲线图 67 Zn3iLAPBX 4.11.2 自适应绘制 68 DT&[W<oN 4.11.3 动态绘图 68 a73b/_zZ= 4.11.4 3D绘图 69 yZ&By?.0 4.12 导入和导出 73 k;3P;@3,W 4.12.1 剪贴板 73 ZLvw]N&R 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 '$)Wp_ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 KGUpXMd^Z 4.13 背景 77 yh_s(>sh 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ~4}m'#! 4.15 生成Rugate 84 (Cp:NS 4.16 参考文献 91 pb%#`2" 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 `n-e.{O(( 5.1 Jobs 92 i/xPO 5.2 创建一个新Job(工作) 93 X_
>B7(k 5.3 输入材料 94 d$r JW m5H 5.4 设计数据文件夹 95 z@y*
jT 5.5 默认设计 95 ^F?H)[0 6 细化和合成 97
hZlajky 6.1 优化介绍 97 `Uk,5F5 6.2 细化 (Refinement) 98 B^Ql[m&5+ 6.3 合成 (Synthesis) 100 }VR&*UJE 6.4 目标和评价函数 101 "4"\tM( 6.4.1 目标输入 102 Z-4A`@p 6.4.2 目标 103 QBto$!}) 6.4.3 特殊的评价函数 104 =mqV&FgRo 6.5 层锁定和连接 104 5, Yk5?l<' 6.6 细化技术 104 |0f\>X I 6.6.1 单纯形 105 #`"' 6.6.1.1 单纯形参数 106 6X|KKsPzX 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 l^`!:BOtR 6.6.2.1 Optimac参数 108 Q,\lS 6.6.3 模拟退火算法 109 >\DXA)nc 6.6.3.1 模拟退火参数 109 |[34<tIN 6.6.4 共轭梯度 111 ZuS+p0H" 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 %n}.E304 6.6.5 拟牛顿法 112 +G/~v`Bv 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
=hl-c 6.6.6 针合成 113 ^ioTd 6.6.6.1 针合成参数 114 g8kw|BgnL 6.6.7 差分进化 114 !.t'3~dUf$ 6.6.8非局部细化 115 5!nZvv 6.6.8.1非局部细化参数 115 wuYo@DDU# 6.7 我应该使用哪种技术? 116 Wq{' ZN 6.7.1 细化 116
jMp{ 6.7.2 合成 117 X_!mZ\H7 6.8 参考文献 117 Jy|Mfl%d 7 导纳图及其他工具 118 ;
wHuL\ 7.1 简介 118 WZO#(eO` 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 !;\-V}V 7.2.1 四分之一波长规则 119 Mx r# 7.2.2 导纳图 120 t1Jz?Ix6% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 J"83S*2(j 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 0>e>G (4(8 7.5 斜入射导纳图 141 d'3'{C|kk 7.6 对称周期 141 U'lmQrF! 7.7 参考文献 142 G,"$Erx 8 典型的镀膜实例 143 A`N;vq, 8.1 单层抗反射薄膜 145 ]`4QJ;# 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 gdG:
&{|x 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 r*p%e\ 3 8.4 W-膜层 148 3:;%@4f 8.5 V-膜层 149 gSe{S 8.6 V-膜层高折射基底 150 l%w7N9 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 F 1zc4l6 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 c//W#V2Q 8.9 四层抗反射薄膜 153 8c/Ii"1 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 8v6rS-iHP 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 57MoO 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 e5XikLu 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 1b!l+ 8! 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 WI~%n
8.15十五层宽带抗反射膜 159 Ol-'2l 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 &1u?W%(Px 8.17 1/4波长堆栈 162 9=}/t9k 8.18 陷波滤波器 163 =H?Nb:s 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 qnm9Lw# 8.20 褶皱 165 G7=8*@q>: 8.21 消偏振分光器1 169 %4-pw|': 8.22 消偏振分光器2 171 'Qfy+_0 8.23 消偏振立体分光器 172 v4.V%tg! 8.24 消偏振截止滤光片 173 QA 9vH' 8.25 立体偏振分束器1 174 ;yXnPAtJ 8.26 立方偏振分束器2 177 ^}[
N4 8.27 相位延迟器 178 He*L"VpWv 8.28 红外截止器 179 uJ y@ 8.29 21层长波带通滤波器 180 p}!pT/KmpH 8.30 49层长波带通滤波器 181 ?-Z:N`YP 8.31 55层短波带通滤波器 182 [}Iq-sz;0 8.32 47 红外截止器 183 |V7a26h 8.33 宽带通滤波器 184 ~VGK#'X: 8.34 诱导透射滤波器 186 sI'HS+~pU 8.35 诱导透射滤波器2 188 puyL(ohem 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 lyeoSd1AN 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 K;ML' 8.35 增益平坦滤波器 193 lpM{@JC 8.38 啁啾反射镜 1 196 _t[%@G>P 8.39 啁啾反射镜2 198 )K6{_~Kc\ 8.40 啁啾反射镜3 199 m{yON&y 8.41 带保护层的铝膜层 200 !58JK f 8.42 增加铝反射率膜 201 O:x%!-w 8.43 参考文献 202 -XyuA:pxx 9 多层膜 204 N{yZk"fq:6 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 $g^;*>yr 9.2 内部透过率 204 ou-;k
} 9.3 内部透射率数据 205 ]>,|v,i
= 9.4 实例 206 KAzRFX), 9.5 实例2 210 ZSSgc0u^? 9.6 圆锥和带宽计算 212 R}Y=!qjYE= 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ;v'Y'!-J 10 光学薄膜的颜色 216 ~e8n yB 10.1 导言 216 el%Qxak`" 10.2 色彩 216 )1,&YJM*6l 10.3 主波长和纯度 220 I$LO0avvH2 10.4 色相和纯度 221 !;a<E: 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ATHz~a 10.6 色差 226 O5?Eb 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 |{K:.x#^ 10.8 颜色渲染指数 234 *)1z-rH` 10.9 色差计算 235 iE`aGoA 10.10 参考文献 236 B" z5j
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 GZt] 38V)g 11.1 短脉冲 238 "U.=A7r 11.2 群速度 239 MO/N*4U2 11.3 群速度色散 241 tK
H!xit 11.4 啁啾(chirped) 245 y<b0z\ 11.5 光学薄膜—相变 245 -*2X YTe 11.6 群延迟和延迟色散 246 Hdx|k=-Q^ 11.7 色度色散 246 <hbbFL}|% 11.8 色散补偿 249 >>Di 11.9 空间光线偏移 256 Fm':sd)'X 11.10 参考文献 258 SI9hS4<j 12 公差与误差 260 L /> GYx 12.1 蒙特卡罗模型 260 #VE$C3< 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Se`N5hQ 12.2.1 误差工具 267 z-G (!]: 12.2.2 灵敏度工具 271 R.T-Pt ene 12.2.2.1 独立灵敏度 271 i#=X#_
+El 12.2.2.2 灵敏度分布 275 J.l%HU 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 %5gJ6>@6Z 12.3 参考文献 276 M(uB
;Te 13 Runsheet 与Simulator 277 sD+G+ 13.1 原理介绍 277 uyj*v]AE' 13.2 截止滤光片设计 277 ~S!kn1&O 14 光学常数提取 289 )}!'VIe^! 14.1 介绍 289 Uzn|)OfWP 14.2 电介质薄膜 289 _'U?! 14.3 n 和k 的提取工具 295 |GQ$UB 14.4 基底的参数提取 302 5.#9}] 14.5 金属的参数提取 306 uLljM{I 14.6 不正确的模型 306 M3 u8NRd5| 14.7 参考文献 311 9m4rNvb 15 反演工程 313 Dt.Wb&V_w 15.1 随机性和系统性 313 q?4uH;h:^G 15.2 常见的系统性问题 314 e~;)-Z 15.3 单层膜 314 n0pe7/Ai 15.4 多层膜 314 HPKyAcS\ 15.5 含义 319 e&4u^'+K 15.6 反演工程实例 319 Zr;=p"cXr 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ;@
X 15.6.2 反演工程提取折射率 327 1I_q3 { 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ]#.&f]6l 16.1 光学性质的热致偏移 329 t|QMS M?s 16.2 应力工具 335
(Nb1R"J` 16.3 均匀性误差 339 U&$]?3? 16.3.1 圆锥工具 339 MToQ8qKs 16.3.2 波前问题 341 [frD
L) 16.4 参考文献 343 9z/_`Xd_ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 5q`)jd !*) 17.1 引言 345 {Y%=/ba W 17.2 操作数 345 Bqlc+d: 18 如何在Function中编写脚本 351 2{I z 18.1 简介 351 /,Id_TTCO 18.2 什么是脚本? 351 %esZ}U 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 G%R`)Z]8& 18.4 基础 352 Bjj^!T/# 18.4.1 Classes(类别) 352 L6=RD<~C 18.4.2 对象 352 #@s~V<rW 18.4.3 信息(Messages) 352 r~_ /Jj 18.4.4 属性 352 +STzG/9# 18.4.5 方法 353 EoR6Rx@Z 18.4.6 变量声明 353 %E7.$Gj% 18.5 创建对象 354 ]u ~Fn2 18.5.1 创建对象函数 355 4$GRCq5N; 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 [<a%\:c m4 18.5.3 丢弃对象 356 0a6z"K} 18.5.4 总结 356 C,vc
aC? 18.6 脚本中的表格 357
Rha3 18.6.1 方法1 357 +u:OAsR 18.6.2 方法2 357 FXEfD" 18.7 2D Plots in Scripts 358 6 Ok=q:; 18.8 3D Plots in Scripts 359 "d>g)rvOc 18.9 注释 360 g]
C3lf- 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 /1#Q=T
18.11 一个更高级的脚本 362 9Sl|l.;! 18.12 <esc>键 364 zRE8299%z 18.13 包含文件 365 ":^
NLBm>5 18.14 脚本被优化调用 366 &|"I0|tJ 18.15 脚本中的对话框 368 u4M2Ec 18.15.1 介绍 368 -JhjTA 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Is6 _ 18.15.3 输入框函数 370
C|;Mhe'r= 18.15.4 自定义对话框 371 C*6)Ut ' 18.15.5 对话框编辑器 371 2$W,R/CLh 18.15.6 控制对话框 377 'Qq_Xn8 18.15.7 更高级的对话框 380 UMi`u6# 18.16 Types语句 384 iA{jKk= 18.17 打开文件 385 7RC096 ?} 18.18 Bags 387 9AddF*B 18.13 进一步研究 388 *[~o~e/YCb 19 vStack 389 4FE@s0M, 19.1 vStack基本原理 389 9f%y)[ \ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 bKJ7vXC05 19.3 五棱镜 393 .C;_4jE 19.4 光束距离 396 v;}`?@G 19.5 误差 399 C9Z\G 3 19.6 二向分色棱镜 399 pH l2!{z 19.7 偏振泄漏 404 KPd C9H 19.8 波前误差—相位 405 p vQK6r 19.9 其它计算参数 405 hd
;S>K/C 20 报表生成器 406 j484b2uj1 20.1 入门 406 X8SRQO^ 20.2 指令(Instructions) 406 fQy
C6C 20.3 页面布局指令 406 P:,
x?T?J^ 20.4 常见的参数图和三维图 407 h k!, 20.5 表格中的常见参数 408 }Wche/g` 20.6 迭代指令 408 9}jq`xSL 20.7 报表模版 408 dJ%Rk#?;A 20.8 开始设计一个报表模版 409 &<|-> *v 21 一个新的project 413 (p.3'j( 21.1 创建一个新Job 414 1H,tP|s 21.2 默认设计 415 b801OF 21.3 薄膜设计 416 mV*/zWh_ 21.4 误差的灵敏度计算 420 :{WrS 21.5 显色指数计算 422 LQ(5D_yG. 21.6 电场分布 424 -6~y$c&c 后记 426 'tu@`7*
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