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?|+e*{4k 内容简介 ;Q^>F6+_m Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 1[8^JVC>6 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 BQ)>}YHk 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 6lv@4R^u u~ipB*Zf 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 F8"J<VJ7 目录 v_Sa0}K9 Preface 1 Fa[^D~$l* 内容简介 2 h7^&: 目录 i E;{RNf| 1 引言 1 t(6]j#5 2 光学薄膜基础 2 kN
Ll|in@ 2.1 一般规则 2 j1%8r*Jj 2.2 正交入射规则 3 5WJ ~%"O 2.3 斜入射规则 6 _.Hj:nFHz 2.4 精确计算 7 Ux*xz|^ 2.5 相干性 8 }P0bNY5?% 2.6 参考文献 10 _<#92v!F 3 Essential Macleod的快速预览 10 vj%"x/TP 4 Essential Macleod的特点 32 _ia&|#n 4.1 容量和局限性 33 IDT\hTPIs 4.2 程序在哪里? 33 q
i yK 4.3 数据文件 35 L6PgWc;m 4.4 设计规则 35 v:QUwW 4.5 材料数据库和资料库 37 Nh }-6|M 4.5.1材料损失 38 ; _c&J&I 4.5.1材料数据库和导入材料 39 &)tiO>B^6 4.5.2 材料库 41 bE.<vF& 4.5.3导出材料数据 43 or3OLBf* Q 4.6 常用单位 43 5=I({=/> 4.7 插值和外推法 46 #p>&|I 4.8 材料数据的平滑 50 PL{lYexJ 4.9 更多光学常数模型 54 x-k-Pd 4.10 文档的一般编辑规则 55 x\8g ICf 4.11 撤销和重做 56 ?.Vuet 4.12 设计文档 57
*6` ^8Y\ 4.10.1 公式 58 %xCL&}bY 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 JCnHEH 4.10.3 沉积密度 59 ElUFne= 4.10.4 平行和楔形介质 60 i@nRZ$ K 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 F_'{:v1GW 4.10.4 性能 61 x5uz$g 4.10.5 保存设计和性能 64 #%k_V+o3 4.10.6 默认设计 64 2=fM\G 4.11 图表 64 DdI%TU K, 4.11.1 合并曲线图 67 f&4+-w.:V| 4.11.2 自适应绘制 68 DSqA}r 4.11.3 动态绘图 68 :XFQ}Cl 4.11.4 3D绘图 69 Ft11?D
B 4.12 导入和导出 73 =Pw{1m|k 4.12.1 剪贴板 73 >~Zj 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 jyW={%& 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 U<0Wa>3zj 4.13 背景 77 IF6$@Q 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 _ikKOU^8 4.15 生成Rugate 84 /B?wn=][ 4.16 参考文献 91 z0/+P 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
Yc]k<tQ 5.1 Jobs 92 36(qe"s 5.2 创建一个新Job(工作) 93 2~f*o^%l 5.3 输入材料 94 S1^/W-yoc~ 5.4 设计数据文件夹 95 NzyEsZ]$ 5.5 默认设计 95 N.q~\sF^ 6 细化和合成 97 Xydx87L/-e 6.1 优化介绍 97 KJoa^e;~ 6.2 细化 (Refinement) 98 `)y
;7%- 6.3 合成 (Synthesis) 100 RNw#sR 6.4 目标和评价函数 101 j[gqS% 6.4.1 目标输入 102 W vB]Rs 6.4.2 目标 103 L;")C,CwQ 6.4.3 特殊的评价函数 104 lhYJectJa 6.5 层锁定和连接 104 1$03:ve1 6.6 细化技术 104 2QbKh) 6.6.1 单纯形 105 9ns( F: 6.6.1.1 单纯形参数 106 ~3j+hN8< 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 6jc5B# 6.6.2.1 Optimac参数 108 elGBX
h 6.6.3 模拟退火算法 109 6O{QmB0KK 6.6.3.1 模拟退火参数 109 e_ epuki 6.6.4 共轭梯度 111 9)vU/fJ| 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 W)r|9G8T 6.6.5 拟牛顿法 112 seK;TQ3/7 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 c!6v-2ykv 6.6.6 针合成 113 oQ]FyV 6.6.6.1 针合成参数 114 D.{vuftu 6.6.7 差分进化 114 TDR|*Cs 6.6.8非局部细化 115 w,j!%N 6.6.8.1非局部细化参数 115 P{K\}+9F
6.7 我应该使用哪种技术? 116 1YMi4. 6.7.1 细化 116 OXM=@B<" 6.7.2 合成 117 Pzzzv^+ 6.8 参考文献 117 +1cr6a 7 导纳图及其他工具 118 oe^JDb# 7.1 简介 118 >Vq07R 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 |khFQ( 7.2.1 四分之一波长规则 119 81|[Y'f 7.2.2 导纳图 120 ]Whv% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 G2wSd'n*y 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 C<a&]dN/ 7.5 斜入射导纳图 141 H?r~% bh 7.6 对称周期 141 Pl'lmUR 7.7 参考文献 142 'j'6x'[>] 8 典型的镀膜实例 143 ,ov$`v 8.1 单层抗反射薄膜 145 bz nMD 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 {f4jE#a>v 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 P|ibUxSA~, 8.4 W-膜层 148 sqhIKw@ 8.5 V-膜层 149 a+v.(mCG 8.6 V-膜层高折射基底 150 [g"nu0sOK 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Dj=$Q44 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 r\fkx> 8.9 四层抗反射薄膜 153 `dX0F=Ag? 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 zp9l u B 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 5#f_1
V 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Ew.6y=Ba 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 cCiDe`T\F 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 = =pQ
V[ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 .u&X:jOE 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 VgbT/v 8.17 1/4波长堆栈 162 wGs'qL"z 8.18 陷波滤波器 163 PyI"B96gz 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 5.\|*+E~ 8.20 褶皱 165 )xU+M{p-os 8.21 消偏振分光器1 169 B)DuikV.D 8.22 消偏振分光器2 171 p<D@l2vt 8.23 消偏振立体分光器 172 |ul{d| 8.24 消偏振截止滤光片 173 fA1{-JzV<4 8.25 立体偏振分束器1 174 fS'` 9 8.26 立方偏振分束器2 177 W+GBSl 8.27 相位延迟器 178 X<Xiva85 8.28 红外截止器 179 2H8\P+ 8.29 21层长波带通滤波器 180 } @3q;u ) 8.30 49层长波带通滤波器 181 G,WLca[ 8.31 55层短波带通滤波器 182 *@@dO_%6 8.32 47 红外截止器 183 `N}Vi6FG 8.33 宽带通滤波器 184 H^o_B1 8.34 诱导透射滤波器 186 #t Pc<p6m 8.35 诱导透射滤波器2 188 LrdED[Z 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 1)97AkN(O 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 e+#k\x 8.35 增益平坦滤波器 193 By[M|4a 8.38 啁啾反射镜 1 196 _'y`hKeI[ 8.39 啁啾反射镜2 198 -e"kJd&V 8.40 啁啾反射镜3 199 Fku<|1}&y 8.41 带保护层的铝膜层 200 NyC&j`d 8.42 增加铝反射率膜 201 fY=:geB 8.43 参考文献 202 <7Yh<(R e^ 9 多层膜 204 XLYGhM 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 /Trbr]lWy 9.2 内部透过率 204 @!ja/Y^ 9.3 内部透射率数据 205 V4Qy^nn1 9.4 实例 206 x<w-j[{k_K 9.5 实例2 210 }=|{"C 9.6 圆锥和带宽计算 212 8ZjRMr} 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 hfc~HKLC 10 光学薄膜的颜色 216 }[c.OJ:
10.1 导言 216 b,jo94.G 10.2 色彩 216 XCyb[(4 10.3 主波长和纯度 220 k
MV1$ 10.4 色相和纯度 221
(t@!0_5 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 vaVV1 10.6 色差 226 L|b[6[XTHL 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 hhU\$'0B- 10.8 颜色渲染指数 234 j-i>Jd7 10.9 色差计算 235 S5H} 10.10 参考文献 236 C(>g4.-p8 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 T~XKV`LQ 11.1 短脉冲 238 hVFZQJ?cv 11.2 群速度 239 ZcHIk{| 11.3 群速度色散 241 (6}7z+ 11.4 啁啾(chirped) 245 9G7Br s: 11.5 光学薄膜—相变 245 @x[A^ 11.6 群延迟和延迟色散 246 b>#dMRK 11.7 色度色散 246 ^rY18?XC+: 11.8 色散补偿 249 y^Q);siSy 11.9 空间光线偏移 256 TB<$9FCHK 11.10 参考文献 258 d mTZEO 12 公差与误差 260 '4M; ;sKW 12.1 蒙特卡罗模型 260 y>T> 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 #Lk~{ 12.2.1 误差工具 267 {C8IYBm 12.2.2 灵敏度工具 271 ,@M<O!%Cs 12.2.2.1 独立灵敏度 271 qMA";Frt3N 12.2.2.2 灵敏度分布 275 -M T1q qi 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 T>hm\ ! 12.3 参考文献 276 Q_0_6,Opb 13 Runsheet 与Simulator 277 =jxy4`oF 13.1 原理介绍 277 +RiI5.$=Z 13.2 截止滤光片设计 277 f4f)9n 14 光学常数提取 289 ru1^.(W2 14.1 介绍 289 u35"oLV6}# 14.2 电介质薄膜 289 2o1WXE %$ 14.3 n 和k 的提取工具 295 VT~%);.# 14.4 基底的参数提取 302 `6# s+JA[ 14.5 金属的参数提取 306 rmWsob 14.6 不正确的模型 306 ])?h~
14.7 参考文献 311 3U!=R- 15 反演工程 313 _sL;E<)y( 15.1 随机性和系统性 313 O OABn* 15.2 常见的系统性问题 314 79o=HiOF99 15.3 单层膜 314 7>0/$i#'Vl 15.4 多层膜 314 /Ah'KN|EN 15.5 含义 319 wQ9@
l 15.6 反演工程实例 319 0$=U\[og 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 6V6Mo}QF
s 15.6.2 反演工程提取折射率 327 X1[zkb 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 TnKOr~ @* 16.1 光学性质的热致偏移 329 cBOt=vg,5 16.2 应力工具 335 Be^"sC 16.3 均匀性误差 339 >@-.rkd( 16.3.1 圆锥工具 339 ,iZKw8]f 16.3.2 波前问题 341 bcxR7<T,"9 16.4 参考文献 343 F~OQ'59!Pf 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 F,K))325 17.1 引言 345 6g#E/{kQw 17.2 操作数 345 ;K4uu<e\ 18 如何在Function中编写脚本 351 TT#V'r\ 18.1 简介 351 <*/Z>Z_c2 18.2 什么是脚本? 351 k;SKQN 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 0~DsA Ua 18.4 基础 352 3Q7PY46 18.4.1 Classes(类别) 352 k$DRX)e 18.4.2 对象 352 Imclz4'8 18.4.3 信息(Messages) 352 . _Jypk8 18.4.4 属性 352 ip*^eS^ 18.4.5 方法 353 1>2
/1> 18.4.6 变量声明 353 yOP$~L#TWs 18.5 创建对象 354 `JGW8 _ 18.5.1 创建对象函数 355 1g$xKe~]4 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 u{D]Kc?n 18.5.3 丢弃对象 356 $DnR[V}rR! 18.5.4 总结 356 $?[pcgv 18.6 脚本中的表格 357 nhZ/^`Y< 18.6.1 方法1 357 8A-*MU`+ 18.6.2 方法2 357 VuK>lY& 18.7 2D Plots in Scripts 358 ;l < amB 18.8 3D Plots in Scripts 359 hD, |CQ 18.9 注释 360 PB BJ.!Pb 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ,u-9e4 18.11 一个更高级的脚本 362 r5$!41 18.12 <esc>键 364 n%02,pC6, 18.13 包含文件 365 zx+}>(U\U 18.14 脚本被优化调用 366 i!(5y>I_ 18.15 脚本中的对话框 368 E2`9H-6e 18.15.1 介绍 368 t47;X}y f 18.15.2 消息框-MsgBox 368 l>(*bb1}b 18.15.3 输入框函数 370
BmYX8j] 18.15.4 自定义对话框 371 txX>zR*)
18.15.5 对话框编辑器 371 $d.Dk4.ed 18.15.6 控制对话框 377 N{M25ucAHl 18.15.7 更高级的对话框 380 4gmlK,a 18.16 Types语句 384 K&"X7fQ 18.17 打开文件 385 ?Ho> 18.18 Bags 387 Uw3wR!: 18.13 进一步研究 388 @2_E9{ T 19 vStack 389 ']1a 19.1 vStack基本原理 389 vuJEPn% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 z|(<Co8#. 19.3 五棱镜 393 !>kg:xV 19.4 光束距离 396 #2Iw%H 2q& 19.5 误差 399 Jv]$@># 19.6 二向分色棱镜 399 #nZPnc: 19.7 偏振泄漏 404 @s,kx.S 19.8 波前误差—相位 405 13Q87i5B 19.9 其它计算参数 405 1jPh0?BY 20 报表生成器 406 ? 5OK4cR 20.1 入门 406 Ahr 20.2 指令(Instructions) 406 uy<b5.!- 20.3 页面布局指令 406 >S{8sN 20.4 常见的参数图和三维图 407 W}%[i+ 20.5 表格中的常见参数 408 _[wG-W/9R 20.6 迭代指令 408 t"MrrK>T 20.7 报表模版 408 =OTu8_ d0t 20.8 开始设计一个报表模版 409 FNo.#Z5+b 21 一个新的project 413 ={o)82LV 21.1 创建一个新Job 414 %8YUK/(|n 21.2 默认设计 415 ^E+fmY2a 21.3 薄膜设计 416 q; C6ID` 21.4 误差的灵敏度计算 420 O]!o|w( 21.5 显色指数计算 422 x>T+k8[n 21.6 电场分布 424 q [+KQ, 后记 426 VAqZ`y
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