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PJKxh%J 内容简介 !}eq~3 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 )DW".c 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 NP.qh1{NP 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 /byF:iYI z`J-J*R>d 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 tnXW7ej ^ 目录 hR>`I0|p& Preface 1 aO:A pOAO 内容简介 2 tQMz1$ 目录 i *MWI`=c 1 引言 1 #Guwbg 2 光学薄膜基础 2 p8CaD4bE 2.1 一般规则 2 >^f]Lgp 2.2 正交入射规则 3 #b&=CsW` 2.3 斜入射规则 6 ^sJp!hi4=) 2.4 精确计算 7 Ej@N}r>X 2.5 相干性 8 Hc0V4NHCaL 2.6 参考文献 10 +b dnTV6 3 Essential Macleod的快速预览 10 =lh&oPc1 4 Essential Macleod的特点 32 }V+&o\4 4.1 容量和局限性 33 xLbF9ASim 4.2 程序在哪里? 33 AUU(fy#< 4.3 数据文件 35 %CrpUx 4.4 设计规则 35 &9n=!S'Md 4.5 材料数据库和资料库 37 n>lQ:l~ 4.5.1材料损失 38 h5; +5B}D 4.5.1材料数据库和导入材料 39 /5XdZu6k`h 4.5.2 材料库 41 NA$ODK- 4.5.3导出材料数据 43 i,y{*xBT 4.6 常用单位 43 e A9r M: 4.7 插值和外推法 46 OH5#.${O 4.8 材料数据的平滑 50 p!(]`N 4.9 更多光学常数模型 54 mndNkK5o 4.10 文档的一般编辑规则 55 (bogAi3<F 4.11 撤销和重做 56 %(1y 4.12 设计文档 57 {RH)&k&% 4.10.1 公式 58 PiX(Ase 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 M[Jy?b) 4.10.3 沉积密度 59 `]2y=f<{X 4.10.4 平行和楔形介质 60
A^pRHbRq 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ~HX'8\5 4.10.4 性能 61 C:}"?tri 4.10.5 保存设计和性能 64 l'\m'Ioh 4.10.6 默认设计 64 CakB`q(8 4.11 图表 64 0^MRPE|f5 4.11.1 合并曲线图 67 A6F/w 4.11.2 自适应绘制 68 lHgmljn5u 4.11.3 动态绘图 68 _4t 4.11.4 3D绘图 69 KlRIJOS 4.12 导入和导出 73 rdm&YM`J 4.12.1 剪贴板 73 yu'@gg(
4.12.2 不通过剪贴板导入 76 _ Av_jw`m 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 bO gVCg 4.13 背景 77 2MKB(;k 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 u+]8Sq 4.15 生成Rugate 84 )G|'PXI@, 4.16 参考文献 91 -sk!XWW+ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 j{NcDepLn 5.1 Jobs 92 yKOC1( ~ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 NFb<fD[C 5.3 输入材料 94 I6 Q{ Axy 5.4 设计数据文件夹 95 1&YkRCn0 5.5 默认设计 95 ca$K)=cDW 6 细化和合成 97 ncij)7c)u 6.1 优化介绍 97 )L7h:%h# 6.2 细化 (Refinement) 98 ~@VyJT% 6.3 合成 (Synthesis) 100 $)M5@KT 6.4 目标和评价函数 101 yUFT9bD 6.4.1 目标输入 102 D3;#: 6.4.2 目标 103 kCU(Hi`Q 6.4.3 特殊的评价函数 104 $+[
v17lF 6.5 层锁定和连接 104 p+1kU1F0 6.6 细化技术 104 .|3&lb6 6.6.1 单纯形 105 ft4(^|~ 6.6.1.1 单纯形参数 106 e:RgCDWL 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 FO
xZkU\e= 6.6.2.1 Optimac参数 108 XXPpj< c 6.6.3 模拟退火算法 109 (%iCP/E3 6.6.3.1 模拟退火参数 109 >iI-Cs7TD 6.6.4 共轭梯度 111 -|&&lxrwh 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Zm/I & 6.6.5 拟牛顿法 112 ]9NA3U7F 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 kTs.ps8ei 6.6.6 针合成 113 &^^V*O 6.6.6.1 针合成参数 114 V82N8-l 6.6.7 差分进化 114 c\(CbC 6.6.8非局部细化 115 3g5
n>8- 6.6.8.1非局部细化参数 115 O3["5 6.7 我应该使用哪种技术? 116 GC^>oF 6.7.1 细化 116 [I5}q& 6.7.2 合成 117 8~8VoU& 6.8 参考文献 117 #w#:f 7 导纳图及其他工具 118 W(,3j{d2i 7.1 简介 118 J`d;I#R%c 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 JWvL 7.2.1 四分之一波长规则 119 @PyZ u7' 7.2.2 导纳图 120 zqa7!ky 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 qO}Q4a+ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 :c`Gh< u 7.5 斜入射导纳图 141 RD0=\!w *5 7.6 对称周期 141 =2.q=a|' 7.7 参考文献 142 q!\4|KF~ 8 典型的镀膜实例 143 MPD<MaW$ 8.1 单层抗反射薄膜 145 ,\=,,1_ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 MI\35~JAN 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 QNm8`1 8.4 W-膜层 148 R*r;`x 8.5 V-膜层 149 BXB ZX@jVk 8.6 V-膜层高折射基底 150 .h[yw$z6 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 D
$3Mg 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 eNX!EN(^ 8.9 四层抗反射薄膜 153 h@yn0CU3. 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 :2(U3~3: 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 -|_MC^) 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ![j?/376 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 oA]rwaUX 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ~l"]J'jF"H 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Z=j6c" 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ![9umsx 8.17 1/4波长堆栈 162 ]YWz;Z 8.18 陷波滤波器 163 Wg!JQRHtT 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 2nkymEPu
8.20 褶皱 165 I> BGp4 AQ 8.21 消偏振分光器1 169 Lv m"!! 8.22 消偏振分光器2 171 =a^}]k} 8.23 消偏振立体分光器 172 =C 7 WQ 8.24 消偏振截止滤光片 173 ="J *v> 8.25 立体偏振分束器1 174 D,P{ ,/ 8.26 立方偏振分束器2 177 rc`}QoB)R 8.27 相位延迟器 178 1V:I}~\ 8.28 红外截止器 179 ,u_ Z0S M 8.29 21层长波带通滤波器 180 Dbl+izF3 8.30 49层长波带通滤波器 181 2rPmu 8.31 55层短波带通滤波器 182 ce:p* 8.32 47 红外截止器 183 @jY=b< 8.33 宽带通滤波器 184 a|eHo%Qt 8.34 诱导透射滤波器 186 wGg_ vAn 8.35 诱导透射滤波器2 188 V;29ieE! 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 y7~y@ 2 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 7]H<ou 8.35 增益平坦滤波器 193 ?!HU$> 8.38 啁啾反射镜 1 196 a]nK!;>$ 8.39 啁啾反射镜2 198 g0ks[ }f- 8.40 啁啾反射镜3 199 mLm?yb: 8.41 带保护层的铝膜层 200 K*S3{s%UR 8.42 增加铝反射率膜 201 <\ EJ: 8.43 参考文献 202 xM)6'= x6 9 多层膜 204 `IV7\}I| 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 SNtk1pG> 9.2 内部透过率 204 v6P2v 9.3 内部透射率数据 205 5y8VA4L/o 9.4 实例 206 g5:?O,? 9.5 实例2 210 Z@,[a 9.6 圆锥和带宽计算 212 Q@KCODi 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 -}(2}~{e( 10 光学薄膜的颜色 216 o3YW(%cYR 10.1 导言 216 H)+QkQb} 10.2 色彩 216 Kk`LuS? 10.3 主波长和纯度 220 % 'OY 10.4 色相和纯度 221 Jb*E6-9G 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 +\]Gu(z< 10.6 色差 226 2F
:8=_sA 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
"S H=|5+ 10.8 颜色渲染指数 234 #MFIsx)r 10.9 色差计算 235 ^!fY~(=U4 10.10 参考文献 236 Swr4De_5 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 `I.pwst8i- 11.1 短脉冲 238 JED\"(d( 11.2 群速度 239 }i{A4f` 11.3 群速度色散 241 k(he<-GF\ 11.4 啁啾(chirped) 245 e|N~tUVrrN 11.5 光学薄膜—相变 245
RdBIbm 11.6 群延迟和延迟色散 246 J6Vx7 11.7 色度色散 246 YPW
UncV 11.8 色散补偿 249 ?4^ 0xGyE 11.9 空间光线偏移 256 UmR4zGM} 11.10 参考文献 258 0j;q^> 12 公差与误差 260 McpQ7\*h 12.1 蒙特卡罗模型 260
4Cv*zn 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 LcZ|A;it 12.2.1 误差工具 267 y @S_CB47 12.2.2 灵敏度工具 271 k%BU&%?1 12.2.2.1 独立灵敏度 271 t{s*,X\b 12.2.2.2 灵敏度分布 275 NSM7n=
*nh 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 !Au#j^5K-o 12.3 参考文献 276 .+,U9e:% 13 Runsheet 与Simulator 277 PMUW<UI 13.1 原理介绍 277 5owK2 13.2 截止滤光片设计 277 zz
/4 ()u 14 光学常数提取 289 SA7(EJ95 14.1 介绍 289 ^e=G} N^ 14.2 电介质薄膜 289 SL-;h#-y
4 14.3 n 和k 的提取工具 295 s VHk;:e>x 14.4 基底的参数提取 302 Q8MIpa!: 14.5 金属的参数提取 306 3{fg3? 14.6 不正确的模型 306 bF6J>&]! 14.7 参考文献 311 f}J(nz>Sh 15 反演工程 313 6tFi\,)E 15.1 随机性和系统性 313 ]IE Z?+F, 15.2 常见的系统性问题 314 Vd(n2JMtG 15.3 单层膜 314 J\P6 15.4 多层膜 314 s&Y"a,|Z 15.5 含义 319 vd)zvI 15.6 反演工程实例 319 "F%JZO51 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 X8">DR&>Y 15.6.2 反演工程提取折射率 327 d$jwh(Ivs 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 G bclR:G 16.1 光学性质的热致偏移 329 0EF~Ouef 16.2 应力工具 335 g/fpXO\ 16.3 均匀性误差 339 8xg^="OJ 16.3.1 圆锥工具 339 vFB^h1k~.M 16.3.2 波前问题 341 ypyKRsx 16.4 参考文献 343 4M|uT
9- 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 [orL.D] 17.1 引言 345 "i\#L`TkzX 17.2 操作数 345 MM_:2 ^P) 18 如何在Function中编写脚本 351 ),-gy~ 18.1 简介 351 Lm=;Y6'`N 18.2 什么是脚本? 351 xhOoZ- 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 !3Pbu=(cte 18.4 基础 352 ykx^RmD`~ 18.4.1 Classes(类别) 352 oFf9KHorW 18.4.2 对象 352 >W;NMcN~ 18.4.3 信息(Messages) 352 ]jFl?LA%7 18.4.4 属性 352 RQb}t, 18.4.5 方法 353 wV"`Du7E; 18.4.6 变量声明 353 Yu>DgMW 18.5 创建对象 354 hd u2?v@ 18.5.1 创建对象函数 355 @J"tM. 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ~y2zl 18.5.3 丢弃对象 356 zD79 M 18.5.4 总结 356 =jJEl=*S 18.6 脚本中的表格 357 )muNfs m 18.6.1 方法1 357 k%sH0 9 18.6.2 方法2 357 6:O<k2=2 18.7 2D Plots in Scripts 358 m^G(qoZ] 18.8 3D Plots in Scripts 359 GD{L$#i! 18.9 注释 360 9MYk5q.X: 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 'Vo8|?.WhX 18.11 一个更高级的脚本 362 EP 4]#]5 18.12 <esc>键 364 &J*M 18.13 包含文件 365 L"NHr~ 18.14 脚本被优化调用 366 r~lZ8$KC 18.15 脚本中的对话框 368 *L$2M?xkY 18.15.1 介绍 368 %)x9u$4W2 18.15.2 消息框-MsgBox 368 `daqzn 18.15.3 输入框函数 370 /}(d'@8p 18.15.4 自定义对话框 371 =d<RgwscJ 18.15.5 对话框编辑器 371 \ph.c*c 18.15.6 控制对话框 377 LmePJ 18.15.7 更高级的对话框 380 *iEtXv 18.16 Types语句 384 lGl'A}]#$ 18.17 打开文件 385 4=xi)qF/@ 18.18 Bags 387 >F7w]XH 18.13 进一步研究 388 `X6JZxGyd 19 vStack 389 Aw |;C 19.1 vStack基本原理 389 V@G#U[D 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 S3E,0%yo+) 19.3 五棱镜 393 D j&~x
19.4 光束距离 396 qk1j mr 19.5 误差 399 VN0We<\Z 19.6 二向分色棱镜 399 .p&@;fZ 19.7 偏振泄漏 404 ~ELMLwn. 19.8 波前误差—相位 405 'J|)4OG: 19.9 其它计算参数 405 QEhn 20 报表生成器 406 c+9L6}D 20.1 入门 406 K^shT h8k 20.2 指令(Instructions) 406 w +t@G`d 20.3 页面布局指令 406 @1JwjtNk 20.4 常见的参数图和三维图 407 GQqGrUQ*} 20.5 表格中的常见参数 408 \^c4v\s<o# 20.6 迭代指令 408 ;Y$>WKsV 20.7 报表模版 408 xc:E>- 20.8 开始设计一个报表模版 409 <Kd(fFe 21 一个新的project 413 ,50 21.1 创建一个新Job 414 YAr6cl 21.2 默认设计 415 _rT\?//B 21.3 薄膜设计 416 ~&i4 |