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j,80EhZ 内容简介 Oq(_I
b)9 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 i^G/)bq 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 k[6@\D- 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 AT<gV/1l [N$da=`wv 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 VFT
G3,kI 目录 F_/]9tz?; Preface 1 $R2T) 内容简介 2 <t,uj.9_ 目录 i H4Ca+; 1 引言 1 2*vOo^f 2 光学薄膜基础 2 XASoS5 2.1 一般规则 2 {W3%n* q 2.2 正交入射规则 3 i@6MO'y 2.3 斜入射规则 6 gAhCNOp 2.4 精确计算 7 lJ3/^Htn 2.5 相干性 8 TgSU}Mf)a 2.6 参考文献 10 b3wE8Co 3 Essential Macleod的快速预览 10 5`{ +y] 4 Essential Macleod的特点 32 [z]@<99/ 4.1 容量和局限性 33 y<m{eDV7 4.2 程序在哪里? 33 }Y(Q7l 4.3 数据文件 35 |A8Ar 7) 4.4 设计规则 35 &32qv`
V_ 4.5 材料数据库和资料库 37 YPDc
/ 4.5.1材料损失 38 f_Y[I: 4.5.1材料数据库和导入材料 39 D%LqLLD 4.5.2 材料库 41 fGcAkEstT! 4.5.3导出材料数据 43 '&W`x5`t 4.6 常用单位 43 *qAF# 4.7 插值和外推法 46 )F0_V
4 4.8 材料数据的平滑 50 >MUwT$szs 4.9 更多光学常数模型 54 `.
/[/z-g 4.10 文档的一般编辑规则 55 [@"H2#CQ 4.11 撤销和重做 56 'd]9u9u 4.12 设计文档 57 ]cc4+}L~ 4.10.1 公式 58 Q
nDy mVF 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 I}puN! 4.10.3 沉积密度 59 N:)`+} 4.10.4 平行和楔形介质 60 I.fV_
H^ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 n4 KiC!*i0 4.10.4 性能 61 Bg-C:Ok2' 4.10.5 保存设计和性能 64 -DlKFN 4.10.6 默认设计 64 k)'hNk"x 4.11 图表 64 $G"PZ7 4.11.1 合并曲线图 67 K)]7e?:Wu 4.11.2 自适应绘制 68 Y:FV+ SI 4.11.3 动态绘图 68 X8ev uN 4.11.4 3D绘图 69 U_ V0 4.12 导入和导出 73 N;F1Z-9 4.12.1 剪贴板 73 6]\F_Z41 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 kN`[Q$B 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 C(3yJzg>y 4.13 背景 77 r%xp^j} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 uwj/]#` 4.15 生成Rugate 84 \_!FOUPz( 4.16 参考文献 91 G`R Ed-Z[ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 J@oGAa%3) 5.1 Jobs 92 ~B:Lai4" 5.2 创建一个新Job(工作) 93 F]
+t/ 5.3 输入材料 94 la8se=^ 5.4 设计数据文件夹 95 H #E
5.5 默认设计 95 R#
8D}5[& 6 细化和合成 97 ,vrdtL 6.1 优化介绍 97 ,YSQog 6.2 细化 (Refinement) 98 s2@N&7"u) 6.3 合成 (Synthesis) 100
s+[_5n~ 6.4 目标和评价函数 101 bFVz ; 6.4.1 目标输入 102 Eof1sTpA 6.4.2 目标 103 BgA\l+ 6.4.3 特殊的评价函数 104 ba%[! 6.5 层锁定和连接 104 29Kuq ;6 6.6 细化技术 104 =oluw|TCe7 6.6.1 单纯形 105 Z"lL=0rY/ 6.6.1.1 单纯形参数 106 3hmuF6y~ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 x~$P.X7(~ 6.6.2.1 Optimac参数 108 T?) U| 6.6.3 模拟退火算法 109 gET& +M 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ^Xt9AM]e 6.6.4 共轭梯度 111 +DF<o
U~ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 S5"xb 6.6.5 拟牛顿法 112 Xr:"8FT 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 j~\\,fl= 6.6.6 针合成 113 BC(f1 6.6.6.1 针合成参数 114 ,'Y*e[ 6.6.7 差分进化 114 kmy?`P10(z 6.6.8非局部细化 115 m,K\e 6.6.8.1非局部细化参数 115 lDe9EJR 6.7 我应该使用哪种技术? 116 g"2@E 6.7.1 细化 116 @IB8(TZ5I 6.7.2 合成 117 w6Dysg: 6.8 参考文献 117 h"l{cDk 7 导纳图及其他工具 118 izY,t! 7.1 简介 118 ).9-=P HlX 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 b[uTt'p} 7.2.1 四分之一波长规则 119 ;1NZY.pyc 7.2.2 导纳图 120 Xvi{A]V 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 GE Xz)4[ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 A!Ng@r 7.5 斜入射导纳图 141 xE9^4-Px* 7.6 对称周期 141 *B#OLx 7.7 参考文献 142 ~SV;"e2N. 8 典型的镀膜实例 143 0w< iz;30 8.1 单层抗反射薄膜 145 k,X)PQc 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 aMm`G}9n 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
1ikkm7 8.4 W-膜层 148 O5_[T43 8.5 V-膜层 149 _]j=[|q 9 8.6 V-膜层高折射基底 150 s_zZ@azJ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 .NCQiQ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 </bWFW~x 8.9 四层抗反射薄膜 153 twf;{lZ( 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 hYi-F.Qtq 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 r\@"({q}_- 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 E IEwrC 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 A
|NX" 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 |1J "r.K 8.15十五层宽带抗反射膜 159 DSd 5? 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 g|)e3q{M 8.17 1/4波长堆栈 162 {EW}Wd 8.18 陷波滤波器 163 xqP0Z),Ow 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Sl:\5]'yJ 8.20 褶皱 165 m"86O:S#d 8.21 消偏振分光器1 169 dMRwQejY{7 8.22 消偏振分光器2 171 QHP^1W` 8.23 消偏振立体分光器 172 YlPZa3\ 8.24 消偏振截止滤光片 173 d`({z]W; 8.25 立体偏振分束器1 174 _[0Ugfz( 8.26 立方偏振分束器2 177 d@C ;rzR 8.27 相位延迟器 178 /I[cj3}{+f 8.28 红外截止器 179 @m6pAo4P 8.29 21层长波带通滤波器 180 :".!6~:2 8.30 49层长波带通滤波器 181 O-|RPW} 8.31 55层短波带通滤波器 182 YV!!bI 8.32 47 红外截止器 183 %{zM> le9 8.33 宽带通滤波器 184 _'2r=a#` 8.34 诱导透射滤波器 186 :JW~$4 8.35 诱导透射滤波器2 188 kwWO1=ikz@ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 &+&^Hc 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 XKks j!'B 8.35 增益平坦滤波器 193 (9Hc`gd)p 8.38 啁啾反射镜 1 196 sUj#:X 8.39 啁啾反射镜2 198 (e F5?I 8.40 啁啾反射镜3 199 8P5xRUkV 8.41 带保护层的铝膜层 200 }pTw$B 8.42 增加铝反射率膜 201 27u$VHwb 8.43 参考文献 202 `e`4[I 9 多层膜 204 pKr3(5~ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 I62Yg
p$K 9.2 内部透过率 204 Qf=%%5+?8 9.3 内部透射率数据 205 ZJR{c 5TE 9.4 实例 206 Yd/qcC(& 9.5 实例2 210 T,WWQm 9.6 圆锥和带宽计算 212 t{?_]2vl 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 RL)'m 10 光学薄膜的颜色 216 K''b)v X4 10.1 导言 216 >!bYuVHA 10.2 色彩 216 M~"]h:m&'v 10.3 主波长和纯度 220 K
=7(=Y{ 10.4 色相和纯度 221 ef!I |.FW 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 0n(Q@O 10.6 色差 226 T}u ' 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 >"`:w
10.8 颜色渲染指数 234 {/n$Y|TIQt 10.9 色差计算 235 AiO,zjM = 10.10 参考文献 236 N>]u;HjH 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 _10#rucr 11.1 短脉冲 238 EEkO[J[= 11.2 群速度 239 -P.)
0d( 11.3 群速度色散 241 YVs{\1|' 11.4 啁啾(chirped) 245 4pc=MR 11.5 光学薄膜—相变 245 a,}{f] 11.6 群延迟和延迟色散 246 F$+_Z~yt3; 11.7 色度色散 246 $&a`zffG 11.8 色散补偿 249 mtTJm4 11.9 空间光线偏移 256 x6$P(eN 11.10 参考文献 258 #p_ ~L4iW 12 公差与误差 260 751\K`L 12.1 蒙特卡罗模型 260 wHIS}OONz 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 lzwr]J%|? 12.2.1 误差工具 267 DORFK 12.2.2 灵敏度工具 271 @``!P&h 12.2.2.1 独立灵敏度 271 $6Ty~.RP5H 12.2.2.2 灵敏度分布 275 BF]b\/I 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 cFH,fj 12.3 参考文献 276 [9>1e 13 Runsheet 与Simulator 277 xNm<` Y? 13.1 原理介绍 277 yq&]>ox 13.2 截止滤光片设计 277 H:~LL0Md% 14 光学常数提取 289 +, PBhB 14.1 介绍 289 ){ wE)NN 14.2 电介质薄膜 289 1miTE4;? 14.3 n 和k 的提取工具 295 ;OVJM
qg 14.4 基底的参数提取 302 nR
,j1IUF 14.5 金属的参数提取 306 Ad`;O+/; 14.6 不正确的模型 306 w>m/c1 14.7 参考文献 311 H"n"Q:Yp 15 反演工程 313 A4SM@ry 15.1 随机性和系统性 313 Yoaz|7LS 15.2 常见的系统性问题 314 hd^?svID 15.3 单层膜 314 .c BJA&/ 15.4 多层膜 314 lYJ]W[! 15.5 含义 319 ea B-u 15.6 反演工程实例 319 f+F /`P% 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 mNuv>GAb 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Ct.Q)p-wn 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 SM@1<OCc 16.1 光学性质的热致偏移 329 -5E%f|U 16.2 应力工具 335 YZmD:P 16.3 均匀性误差 339
|EF*]qI 16.3.1 圆锥工具 339 6wxQ_Qz:Q 16.3.2 波前问题 341 ogQbST 16.4 参考文献 343 'rz*mR8 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 8"p>_K= 17.1 引言 345 M%6{A+( 17.2 操作数 345 r,0> 40^ 18 如何在Function中编写脚本 351 *t*yozN 18.1 简介 351 Ip<STz]- 18.2 什么是脚本? 351 < FN[{YsA 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 U?@UIhtM| 18.4 基础 352 l tQ:c 18.4.1 Classes(类别) 352 rK"$@tc 18.4.2 对象 352 L$Ss]Ar= 18.4.3 信息(Messages) 352 uTn(fs)D 18.4.4 属性 352 s>_n e0 18.4.5 方法 353 "Tfb d^AU 18.4.6 变量声明 353 7@C:4c@0 18.5 创建对象 354 #~
/-n 18.5.1 创建对象函数 355 W;,Jte<'Nm 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ]D<r5P% 18.5.3 丢弃对象 356 4Tq%V|5"& 18.5.4 总结 356 )eUb@Eu 18.6 脚本中的表格 357 6Zkus20 18.6.1 方法1 357 .dl1sv
U 18.6.2 方法2 357 qzmY]N+w| 18.7 2D Plots in Scripts 358 JYKaF6bx8 18.8 3D Plots in Scripts 359 ^oPf>\),C 18.9 注释 360 ^
zo"~1 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 [NH[n# 18.11 一个更高级的脚本 362 _DH,$evS% 18.12 <esc>键 364 &9TG&~(+ 18.13 包含文件 365 R]L7?= 18.14 脚本被优化调用 366 @hg1&pfxZ< 18.15 脚本中的对话框 368 '{Iv?gh" 18.15.1 介绍 368 1p`XK";g 18.15.2 消息框-MsgBox 368 +D$\^ <# 18.15.3 输入框函数 370 {TlS)i` 18.15.4 自定义对话框 371 $yhQ)@#1 18.15.5 对话框编辑器 371 a i}8+L8- 18.15.6 控制对话框 377 }vp\lKP 18.15.7 更高级的对话框 380 OTalR;:]r 18.16 Types语句 384 iB[%5i- 18.17 打开文件 385 Wh 8fC(BE 18.18 Bags 387 /sC$;l 18.13 进一步研究 388 `O0v2?/f0 19 vStack 389 [4sbOl5yZ 19.1 vStack基本原理 389 2hu;N 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 @cSz!E} 19.3 五棱镜 393 IO|">a6 19.4 光束距离 396 QH#|R92: 19.5 误差 399 jC <<S 19.6 二向分色棱镜 399 [;#}BlbN 19.7 偏振泄漏 404 PNc^)|4^Q 19.8 波前误差—相位 405 G#n27y nh 19.9 其它计算参数 405 +KXg&A/^ 20 报表生成器 406 w^z}!/"]u 20.1 入门 406 cfpP? 20.2 指令(Instructions) 406 lSl=6R 20.3 页面布局指令 406 n16,u$| 20.4 常见的参数图和三维图 407 [ @& 20.5 表格中的常见参数 408 Zwp*JH+G 20.6 迭代指令 408 H4Pj 3' 20.7 报表模版 408 lhJT& 20.8 开始设计一个报表模版 409 9cX
~ 21 一个新的project 413 >wz-p
nD 21.1 创建一个新Job 414 rhwY5FD? 21.2 默认设计 415 !<@k\~9^D 21.3 薄膜设计 416 ="<+^$7:k 21.4 误差的灵敏度计算 420 gmy_ZVU' 21.5 显色指数计算 422 V+cHL 21.6 电场分布 424 ~h tV*R 后记 426 cm]8 m_!
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