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o 内容简介 9 #Y2`pT Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ,]7XMU3 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 i=L8=8B` 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 #W|!fILL Xhse~=qA 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 dF
e4K" 目录 ,eXFN?CB Preface 1 C2G |?= 内容简介 2 4%7s259% 目录 i +9zA^0 1 引言 1 TV=c,*TV 2 光学薄膜基础 2 rz.IoQo 2.1 一般规则 2 u s`} 2.2 正交入射规则 3 \f"1}f 2.3 斜入射规则 6 A$@o'Q;he 2.4 精确计算 7 iNJAZ6@+ 2.5 相干性 8 M"(6&M=? 2.6 参考文献 10 o?wt$j- 3 Essential Macleod的快速预览 10 B\[-fq 4 Essential Macleod的特点 32 5
`=KyHi:b 4.1 容量和局限性 33 JYV\oV{ 4.2 程序在哪里? 33 k 4B_W 4.3 数据文件 35 KO&:06V{ 4.4 设计规则 35 -~O/NX 4.5 材料数据库和资料库 37 @9vvR7{P 4.5.1材料损失 38 oLS7`+b$ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 !M(:U,?B 4.5.2 材料库 41 r6t&E%b 4.5.3导出材料数据 43 ~ziexZ=N 4.6 常用单位 43 e+@xsn3 4.7 插值和外推法 46 c~+l-GIWm 4.8 材料数据的平滑 50 0T))>.iu# 4.9 更多光学常数模型 54 %[Zz0|A 4.10 文档的一般编辑规则 55 oZ:{@= 4.11 撤销和重做 56 e$|VG*
d 4.12 设计文档 57 Wc|z7P~',% 4.10.1 公式 58 5UOk)rOf 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 _{Y$o'*#I 4.10.3 沉积密度 59 _~A~+S} 4.10.4 平行和楔形介质 60 tjxvN 4l 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ? )_7U 4.10.4 性能 61 0d4cE10 4.10.5 保存设计和性能 64 G{o+R]Us 4.10.6 默认设计 64 j=ihbR^]Tl 4.11 图表 64 31}W6l88c 4.11.1 合并曲线图 67 /U*yw5 4.11.2 自适应绘制 68 zfjw;sUX 4.11.3 动态绘图 68 Rp/-Pv
4.11.4 3D绘图 69 T~J?AKx 4.12 导入和导出 73 C[YnrI! 4.12.1 剪贴板 73 &fSTR-8ev# 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 J+Bdz6lt 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 e{C6by"j{S 4.13 背景 77 10MU-h.) 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 |C D}<r(N
4.15 生成Rugate 84 Dp^/gL= 4.16 参考文献 91 RrWNJ&o 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 (WE,dY+. 5.1 Jobs 92 ce' TYkPM 5.2 创建一个新Job(工作) 93 kCA5|u 5.3 输入材料 94 )ooWQ-%P 5.4 设计数据文件夹 95 "H1:0p 5.5 默认设计 95 ``9 GY 6 细化和合成 97 $bGD%9
z 6.1 优化介绍 97 ow.j+<M 6.2 细化 (Refinement) 98 /6U
4S>'( 6.3 合成 (Synthesis) 100 0M8.U 6.4 目标和评价函数 101 |+NuYz? 6.4.1 目标输入 102 -0 0}if7 6.4.2 目标 103 R2LK.bTVn 6.4.3 特殊的评价函数 104 m:{tgcE 6.5 层锁定和连接 104 gj+3y9 6.6 细化技术 104 B*,?C]0{ 6.6.1 单纯形 105 6[?}6gQ 6.6.1.1 单纯形参数 106 YKs4{?vw 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 uA\J0"0;} 6.6.2.1 Optimac参数 108 Y8ehmz|g]J 6.6.3 模拟退火算法 109 84M3c 6.6.3.1 模拟退火参数 109 &iSD/W 6.6.4 共轭梯度 111 =nVmthGw 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 >&Fa(o;* 6.6.5 拟牛顿法 112 rkYjq4Z@ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 B*@6xS[IL 6.6.6 针合成 113 |Td5l? 6.6.6.1 针合成参数 114 inF6M8
A1 6.6.7 差分进化 114 O3%[dR 6.6.8非局部细化 115 daX*}Ix 6.6.8.1非局部细化参数 115 \##`pa(8 6.7 我应该使用哪种技术? 116 @J vZ[T/ 6.7.1 细化 116 2c:f<>r0y 6.7.2 合成 117 \9/1L?@ 6.8 参考文献 117 )|]Z>>%t 7 导纳图及其他工具 118 @E_zR 7.1 简介 118 nb+m.X 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Z$;"8XUM 7.2.1 四分之一波长规则 119 7GZq|M_:y 7.2.2 导纳图 120 >o[|"oLO 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 e|'N(D}h* 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ("Dv>&w9 7.5 斜入射导纳图 141 _V@P-Ye 7.6 对称周期 141 wUp)JI 7.7 参考文献 142 )saR0{e0N 8 典型的镀膜实例 143 X\sm[_I 8.1 单层抗反射薄膜 145 RJc%,
]: 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 xb$yu.c 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 \*"`L3 8.4 W-膜层 148 T-8J 8.5 V-膜层 149 8$}OS- 8.6 V-膜层高折射基底 150 9L)L|4A.l 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 @@}`hii 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 (5`T+pAsV 8.9 四层抗反射薄膜 153 'sU)|W(3U 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 n33kb/q* 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Alz~-hqQ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 =!
mJG 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 S,vu]?-8 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ' G#SLqZy 8.15十五层宽带抗反射膜 159 Lk.h.ST 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 /iC_!n u 8.17 1/4波长堆栈 162 ;^-:b(E 8.18 陷波滤波器 163 J22r v( 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 c8ZCs? 8.20 褶皱 165 ,w`~K:b. 8.21 消偏振分光器1 169 G5c7:iGm/c 8.22 消偏振分光器2 171 NWKi
()nA% 8.23 消偏振立体分光器 172 (9GbG" 8.24 消偏振截止滤光片 173 ULl_\5s2 8.25 立体偏振分束器1 174 iBvOJs 8.26 立方偏振分束器2 177 I;j3*lV_ 8.27 相位延迟器 178 Z?1OdoT- 8.28 红外截止器 179 ?q Xs- 8.29 21层长波带通滤波器 180 1K[(ou'rl 8.30 49层长波带通滤波器 181 'ZnIRE,N 8.31 55层短波带通滤波器 182 uva\0q 8.32 47 红外截止器 183 )H+kB<n 8.33 宽带通滤波器 184 gq 4 . d 8.34 诱导透射滤波器 186 {;k_!v{ 8.35 诱导透射滤波器2 188 IZ~.{UQ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 mk= #\> 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 (@Zcx9 8.35 增益平坦滤波器 193 4e9E'
"8% 8.38 啁啾反射镜 1 196 YIOR$ 8.39 啁啾反射镜2 198 6tdI6 8.40 啁啾反射镜3 199 .#!mDlY; 8.41 带保护层的铝膜层 200 9X]f [^ 8.42 增加铝反射率膜 201 V/bH^@,sA 8.43 参考文献 202 LK+felL 9 多层膜 204 -P#nT 2 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 (=JueF@J 9.2 内部透过率 204 /DU*M, 9.3 内部透射率数据 205 `P.CNYR<J 9.4 实例 206 &r@H(}$1\ 9.5 实例2 210 `C'}e 9.6 圆锥和带宽计算 212 n\= (S9 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 z5EVG 10 光学薄膜的颜色 216 E5{n?e 10.1 导言 216 SDc"
4g` 10.2 色彩 216 e&3#2_ 10.3 主波长和纯度 220 :_H>SR: 10.4 色相和纯度 221 x/ I;nMY 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Yu3_=:
<C 10.6 色差 226 xIgql}. 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 !6E:5=L^ 10.8 颜色渲染指数 234 @^CG[:| 10.9 色差计算 235 :`J>bHE 10.10 参考文献 236 Hsl{rN
11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 !}q."%%J_% 11.1 短脉冲 238 Cef7+fa 11.2 群速度 239 7) 0q--B 11.3 群速度色散 241 F5IZ"Itu( 11.4 啁啾(chirped) 245 A&l7d0Z^j5 11.5 光学薄膜—相变 245 Wz{%"o 11.6 群延迟和延迟色散 246 bi,mM,N/ 11.7 色度色散 246 AbZ:(+@cP 11.8 色散补偿 249 "Ot{^_e 11.9 空间光线偏移 256 7@P656{ 11.10 参考文献 258 yW>R RE; 12 公差与误差 260 -f.R#J$2 12.1 蒙特卡罗模型 260 |nm2Uy/0 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 `a'`$'j 12.2.1 误差工具 267 N84qcc 12.2.2 灵敏度工具 271 `M rBav 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ~4 ^p}{ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 IJIQ"
s 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 8IJ-]wHIb 12.3 参考文献 276 o<J5! 13 Runsheet 与Simulator 277 & rQD `E/ 13.1 原理介绍 277 kY!C_kFcn 13.2 截止滤光片设计 277 i+AUQ0Zbf6 14 光学常数提取 289 .. UoyBV 14.1 介绍 289 ;+/NjC1 14.2 电介质薄膜 289 3{pk5_c 14.3 n 和k 的提取工具 295 JUU&Z[6J 14.4 基底的参数提取 302 cY~M4:vgT 14.5 金属的参数提取 306 \G3!TwC% 14.6 不正确的模型 306 0||F`24 14.7 参考文献 311 P;c0L;/ 15 反演工程 313 Nt,~b^9 15.1 随机性和系统性 313 %M6
c0d[9- 15.2 常见的系统性问题 314 +-P<CCvWz 15.3 单层膜 314 -<d(
15.4 多层膜 314 |."G ?* 15.5 含义 319 -yA3 RP 15.6 反演工程实例 319 M[z3 f 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ,D8&q?a 15.6.2 反演工程提取折射率 327 6$(0Ty 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 97]4
:Zv 16.1 光学性质的热致偏移 329 nNs .,J) 16.2 应力工具 335 os_WYQ4>j 16.3 均匀性误差 339 yM|g|;U 16.3.1 圆锥工具 339 `WlH*p)z9 16.3.2 波前问题 341 1M/$<
kQ-N 16.4 参考文献 343 -3 ]|[ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ,-:a?#f> 17.1 引言 345 DO%Pwfkd 17.2 操作数 345 :iEA UM 18 如何在Function中编写脚本 351 ',# 18.1 简介 351 6=3(oUl 18.2 什么是脚本? 351 `:gYXeR 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 jYk5~<\k 18.4 基础 352 re q-Q | 18.4.1 Classes(类别) 352 +Y;8~+ 18.4.2 对象 352 QE*%HR' 18.4.3 信息(Messages) 352 m2ox8(sd 18.4.4 属性 352 m:"+J 18.4.5 方法 353 N-Z^G<[q. 18.4.6 变量声明 353 ?V?<E=13 18.5 创建对象 354 8? F
2jv 18.5.1 创建对象函数 355 nj"m^PmWo3 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
d.I%k1`( 18.5.3 丢弃对象 356 S[sr'ZW 18.5.4 总结 356 lfgtcR {l5 18.6 脚本中的表格 357 FR(QFt!g 18.6.1 方法1 357 R Y9.n 18.6.2 方法2 357 U\?+s2I)v 18.7 2D Plots in Scripts 358 UI_v3c3b 18.8 3D Plots in Scripts 359 4`6< { 18.9 注释 360 Fq4lXlSB 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 j^{b^!4~} 18.11 一个更高级的脚本 362 s" N\82z) 18.12 <esc>键 364
\eT/ %$
18.13 包含文件 365 L,
#Byao 18.14 脚本被优化调用 366 cPSti 18.15 脚本中的对话框 368 "G@E6{/ 18.15.1 介绍 368 EFD?di)s 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Qqh^E_O 18.15.3 输入框函数 370 hu&n=6 18.15.4 自定义对话框 371 ~9bv Wd1D 18.15.5 对话框编辑器 371 Z) t{JHm: 18.15.6 控制对话框 377 :S#i9# aB 18.15.7 更高级的对话框 380 <ipWMZae0F 18.16 Types语句 384 {H'X)n$ 18.17 打开文件 385 f:&)" 18.18 Bags 387 moe/cO5a9 18.13 进一步研究 388 lj
Y 19 vStack 389 !9PX\Xbn 19.1 vStack基本原理 389 JC/d:. 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 5Vm Eyb 19.3 五棱镜 393 T"IW Jpc 19.4 光束距离 396 @??u})^EL 19.5 误差 399 8a?IC|~Pz 19.6 二向分色棱镜 399 SbCJ|z#? 19.7 偏振泄漏 404 eA1'qww"' 19.8 波前误差—相位 405 =^#0. 19.9 其它计算参数 405 E~}[+X@ 20 报表生成器 406 ps"9;4P 20.1 入门 406 fH; |Rm 20.2 指令(Instructions) 406 x!>d
6lgej 20.3 页面布局指令 406 #U:0/4P( 20.4 常见的参数图和三维图 407 |K6nOX!i 20.5 表格中的常见参数 408 uRFNfX(* 20.6 迭代指令 408 A_aO}oBX 20.7 报表模版 408 \6Xn]S 20.8 开始设计一个报表模版 409 f^~2^p
1te 21 一个新的project 413 7WXiG0 21.1 创建一个新Job 414 K[n<+e;G 21.2 默认设计 415 [+_\z',u 21.3 薄膜设计 416 5%'o%`?i 21.4 误差的灵敏度计算 420 \6U 2-m' 21.5 显色指数计算 422 4bE42c=Ca7 21.6 电场分布 424 w~ijD ^g 后记 426 >=bt
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