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(qd $wv^h 内容简介 [<SM*fQ>t Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 G{$(t\>8 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 *V+6409m 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 `L p3snS Zwy8SD'L 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 rmpx8CY" 目录 lrSdFJ% Preface 1 + E8\g 内容简介 2 `k y>M- 目录 i v~^c-]4I 1 引言 1 FlJ(V 2 光学薄膜基础 2 46(Vq| 2.1 一般规则 2 w5*?P4P 2.2 正交入射规则 3 )=VSERs 2.3 斜入射规则 6 H |8vW 2.4 精确计算 7 =
7U^pT 2.5 相干性 8 }#~@HM>6Z 2.6 参考文献 10 0CXh|AU 3 Essential Macleod的快速预览 10 jP'.a. ^o$ 4 Essential Macleod的特点 32 @k+Z?Hp 4.1 容量和局限性 33 &_X6m0z 4.2 程序在哪里? 33 T&Dt;CSF 4.3 数据文件 35 q~*3Bk~ 4.4 设计规则 35 9y=$|"<( 4.5 材料数据库和资料库 37 T' O5>e 4.5.1材料损失 38 V[D[MZ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ZUGuV@&-T 4.5.2 材料库 41 +$i-"^ 4.5.3导出材料数据 43 e*5TZ7. 4.6 常用单位 43 qc^u% 4.7 插值和外推法 46 [@D+kL*> 4.8 材料数据的平滑 50 U9:?d>7 4.9 更多光学常数模型 54 s8w7/*<d 4.10 文档的一般编辑规则 55 gs;3NW 4.11 撤销和重做 56 cU}j
Whu 4.12 设计文档 57 0gY,[aQ2 4.10.1 公式 58 n]&/?6} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 :@LFNcWE 4.10.3 沉积密度 59 |~mq+:44+ 4.10.4 平行和楔形介质 60 O+Z[bis` 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 9( ;lcOz 4.10.4 性能 61 )@DT^#zR 4.10.5 保存设计和性能 64 $Yfm>4 4.10.6 默认设计 64 q^}QwJw 4.11 图表 64 AHsp:0Ma# 4.11.1 合并曲线图 67 G=4Da~<ij 4.11.2 自适应绘制 68 ?>47!):-* 4.11.3 动态绘图 68 rAqg<fR* 4.11.4 3D绘图 69 TbyQ'MbUv 4.12 导入和导出 73 ) *:<3g!
4.12.1 剪贴板 73 U85t !U 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 $q#|B3N% 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ~7PPB|XY 4.13 背景 77
/|] %0B 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 iN%\wkx*N 4.15 生成Rugate 84 ]X4
A)4y 4.16 参考文献 91 d!)
&@k 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 uiq)?XUKv 5.1 Jobs 92 k,0RpE 5.2 创建一个新Job(工作) 93 xM85^B' 5.3 输入材料 94 @DK,ka( 5.4 设计数据文件夹 95 w?kdM1T 5.5 默认设计 95 :w_J/k5Zd 6 细化和合成 97 mNw|S*C 6.1 优化介绍 97 & i|x2;
v 6.2 细化 (Refinement) 98 ~ar8e 6.3 合成 (Synthesis) 100 L+Q"z*W 6.4 目标和评价函数 101 jYKs| J)[ 6.4.1 目标输入 102 btb-MSkO 6.4.2 目标 103 +) 2c\1 6.4.3 特殊的评价函数 104 JBQ,rX_Hw 6.5 层锁定和连接 104 i}Ea>bi{N 6.6 细化技术 104 SZJ~ktXC-V 6.6.1 单纯形 105 qA:CV(Z 6.6.1.1 单纯形参数 106 Cec!{]DL& 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 X~abn7_ 6.6.2.1 Optimac参数 108 *%5#\ I 6.6.3 模拟退火算法 109 Gad!}dz 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ?b, eZ+t 6.6.4 共轭梯度 111 :pQZ)bF 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Uxx=$ 6.6.5 拟牛顿法 112 vvw6 GB,M 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 b8)>:F 6.6.6 针合成 113 reLYtv 6.6.6.1 针合成参数 114 0+IJ, ;Wx 6.6.7 差分进化 114 ZQND^a: 6.6.8非局部细化 115 e#L/ 6.6.8.1非局部细化参数 115 ~$w-I\Q! 6.7 我应该使用哪种技术? 116 l<)(iU 6.7.1 细化 116 l i}4d+ 6.7.2 合成 117 S:{hgi,T* 6.8 参考文献 117 #
4`*`)% 7 导纳图及其他工具 118 zllY$V&<! 7.1 简介 118 ~=(?Z2UDA_ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 "
M8j? 7.2.1 四分之一波长规则 119 ?1}1uJMj- 7.2.2 导纳图 120 }K9Vr! 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 {y=H49 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 'wz*GMGWC 7.5 斜入射导纳图 141 c ;` 7.6 对称周期 141 Oa\!5Pw1 7.7 参考文献 142 nab:y(]$/ 8 典型的镀膜实例 143 tUv@4<~,/ 8.1 单层抗反射薄膜 145 DIodQkF 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 q5:-?|jXJ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 A- IpE 8.4 W-膜层 148 YTxUKE: 8.5 V-膜层 149 -wlob`3 8.6 V-膜层高折射基底 150 HH+NNSRO 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 34U/"+|z 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 K^?yD 8.9 四层抗反射薄膜 153 sl-LX)*N# 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 MGX %U6 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 N5csq( 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 y.5mYQA4=[ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 K,%H*1YKK 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 (:].?o 8.15十五层宽带抗反射膜 159 vG#|CO9 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 +SkD/"5ng 8.17 1/4波长堆栈 162 2#C!40j&\ 8.18 陷波滤波器 163 qO[6?q=c: 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 c`mJrS: 8.20 褶皱 165 _WtX8 8.21 消偏振分光器1 169 7J./SBhB 8.22 消偏振分光器2 171 PTIC2 8.23 消偏振立体分光器 172 h=YY>
x 8.24 消偏振截止滤光片 173 Hkg^ 8.25 立体偏振分束器1 174 1K^blOLXe 8.26 立方偏振分束器2 177 6#6Ve$Vl] 8.27 相位延迟器 178 :+ @-F>Q 8.28 红外截止器 179 6tI7vLmG 8.29 21层长波带通滤波器 180 >>Hsx2M 8.30 49层长波带通滤波器 181 zC!]bWsD 8.31 55层短波带通滤波器 182 o1MI&}r 8.32 47 红外截止器 183 1gts=g. 8.33 宽带通滤波器 184 FIlw 8.34 诱导透射滤波器 186 UtG@0(6C 8.35 诱导透射滤波器2 188 #>O,w0<qM 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 (\.[pj%-O 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 -'3vQXj& 8.35 增益平坦滤波器 193 n_AW0i. 8.38 啁啾反射镜 1 196 f(
hK>H 8.39 啁啾反射镜2 198 vTQQd@ 8.40 啁啾反射镜3 199 ?c"No|@+ 8.41 带保护层的铝膜层 200 Crh5^? 8.42 增加铝反射率膜 201 gWqmK/.U.0 8.43 参考文献 202 ;#78`x2 9 多层膜 204 ~ YO') 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 .}kUD]pW 9.2 内部透过率 204 }lML..((1 9.3 内部透射率数据 205 6g29!F`y 9.4 实例 206 DUEA"m h 9.5 实例2 210 Ud^+a H 9.6 圆锥和带宽计算 212 HcUivC 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 TgJx% 10 光学薄膜的颜色 216 Kl{2^q> 10.1 导言 216 yopEqO 10.2 色彩 216 Lg|j0-"N 10.3 主波长和纯度 220 b:\I*WJ 10.4 色相和纯度 221 ]o$Kh$~5 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ly%$>BRU 10.6 色差 226 JxiLjvIq 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 8\!0yM#yK 10.8 颜色渲染指数 234 R}llj$? 10.9 色差计算 235 f,d @*E 10.10 参考文献 236 UY*Hc 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 44f8Hc1g 11.1 短脉冲 238 s) u{A 11.2 群速度 239 :IV4]` 11.3 群速度色散 241 /$\yAOA'y 11.4 啁啾(chirped) 245 5ap}(bO 11.5 光学薄膜—相变 245
'`T.K< 11.6 群延迟和延迟色散 246 "Vho`x3 11.7 色度色散 246 jkQv cU 11.8 色散补偿 249 W>K2d
11.9 空间光线偏移 256 I"#jSazk 11.10 参考文献 258 W:4]-i?2 12 公差与误差 260 Ag }hyIl 12.1 蒙特卡罗模型 260 Tcz67&c |W 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ppN96-]^0 12.2.1 误差工具 267 1m|Oi%i4 12.2.2 灵敏度工具 271 T mH# 12.2.2.1 独立灵敏度 271 #~I%qa"_pa 12.2.2.2 灵敏度分布 275 $.R$I&U 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 j +@1frp 12.3 参考文献 276 ?CA P8 _ 13 Runsheet 与Simulator 277 ppR~e*rv- 13.1 原理介绍 277 OQ
5{# 13.2 截止滤光片设计 277 vpvPRwJ 14 光学常数提取 289 <'v?WV_ 14.1 介绍 289 W!4GL>9m}A 14.2 电介质薄膜 289 +I/7eIG?| 14.3 n 和k 的提取工具 295 YgQ_P4B; 14.4 基底的参数提取 302 !vr">@}K 14.5 金属的参数提取 306 RSG4A>%!mI 14.6 不正确的模型 306 Mto3Ryic! 14.7 参考文献 311 mJc'oG- 15 反演工程 313 o(]kI?` 15.1 随机性和系统性 313 r9%4q4D?>9 15.2 常见的系统性问题 314 _T6WA&;8 15.3 单层膜 314 W~.1f1) 15.4 多层膜 314 BEg%u)"([ 15.5 含义 319 W|G(x8 15.6 反演工程实例 319 8~ .r/!wfy 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 IxYuJpi 15.6.2 反演工程提取折射率 327 R5X<8(4p 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 L/%3_, 16.1 光学性质的热致偏移 329 'dQ2"x?4 16.2 应力工具 335 702&E(rx, 16.3 均匀性误差 339 ul(1)q^ 16.3.1 圆锥工具 339 8 fVI33 16.3.2 波前问题 341 `dMOBYV 16.4 参考文献 343 C;oP"K]4= 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 _;yp^^S 17.1 引言 345 j{7_p$JM 17.2 操作数 345 # h/- 18 如何在Function中编写脚本 351 ym2\o_^( 18.1 简介 351 uDafPTF 18.2 什么是脚本? 351 8|d lt$ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 wDem
}uO 18.4 基础 352 =NSLx 2:T 18.4.1 Classes(类别) 352 tJUMLn? 18.4.2 对象 352 @_FL,AC&m 18.4.3 信息(Messages) 352 A_{QY&%m 18.4.4 属性 352 Fw!5hR`, 18.4.5 方法 353 /]>&OSV 18.4.6 变量声明 353 v8y77: 18.5 创建对象 354 {p9y{$ 18.5.1 创建对象函数 355 /6gqpzum4 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 b^y#.V.|k 18.5.3 丢弃对象 356 lc>nUhj. 18.5.4 总结 356 .',ikez 18.6 脚本中的表格 357 qX0IHe 18.6.1 方法1 357 .J%}ROm 18.6.2 方法2 357 TcpD*%wW 18.7 2D Plots in Scripts 358 +C/K@:p 18.8 3D Plots in Scripts 359 e l'^9K 18.9 注释 360 UI<'T3b 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ]0ouJY 18.11 一个更高级的脚本 362 '#4ya=Ww 18.12 <esc>键 364 )!|K3%9 18.13 包含文件 365 ^+mSf`5 18.14 脚本被优化调用 366 NX@TWBn% 18.15 脚本中的对话框 368 Gw~^6( Qu 18.15.1 介绍 368 xY5Idl-> 18.15.2 消息框-MsgBox 368 qOZc}J0 18.15.3 输入框函数 370 n2Dnpe: 18.15.4 自定义对话框 371 \r324Bw>2 18.15.5 对话框编辑器 371 Ny*M{}E 18.15.6 控制对话框 377 UG
Fx 18.15.7 更高级的对话框 380 ~)tMR9=wX 18.16 Types语句 384 fR5
NiH 18.17 打开文件 385 G/Kz_Y, 18.18 Bags 387 fT[6Cw5w` 18.13 进一步研究 388 ,BW^j.7 19 vStack 389 +SrE 19.1 vStack基本原理 389 Gd%6lab 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 }UXj|SY 19.3 五棱镜 393 #n{wK+lz 19.4 光束距离 396 15iCJ p 19.5 误差 399 OJ@';ZyT= 19.6 二向分色棱镜 399 e~'y %| D 19.7 偏振泄漏 404 ItYG9a 19.8 波前误差—相位 405 70lb6A 19.9 其它计算参数 405
*ErTDy(
20 报表生成器 406 @r+ErFI 20.1 入门 406 dI>)4( ) 20.2 指令(Instructions) 406 wCMsaW 20.3 页面布局指令 406 #8;^ys1f 20.4 常见的参数图和三维图 407 _f|Au`7m 20.5 表格中的常见参数 408 TkWS-=lNH0 20.6 迭代指令 408 1^!=J<`K; 20.7 报表模版 408 *vJ1~SRV 20.8 开始设计一个报表模版 409 iBN,YPo~ 21 一个新的project 413 mRj-$:}L 21.1 创建一个新Job 414 KOhy)h+ h 21.2 默认设计 415 BB--UM{7 21.3 薄膜设计 416 s3g$F23 21.4 误差的灵敏度计算 420 "!E(=W? 21.5 显色指数计算 422 ~M(K{6R 21.6 电场分布 424 bt%k;Z] 后记 426 MukPY2[Am
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