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ommW 内容简介 8m
H6?,@6 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ]u<U[l-w 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 o[wiQ9Tl 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 xN$V(ZX4 1\Bh-tzB 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 {{gd}g 目录 d$o m\@ Preface 1 |:SV=T: 内容简介 2 |H=5Am 目录 i fN{wP,jI 1 引言 1 &:C[
n q 2 光学薄膜基础 2 Uf_mwEE 2.1 一般规则 2 C%z9Q 2.2 正交入射规则 3 rc:UG "[ 2.3 斜入射规则 6 B^M
L}$ 2.4 精确计算 7 nzxHd7NIZ 2.5 相干性 8 ,h%n5R$: 2.6 参考文献 10 !1S!)# 3 Essential Macleod的快速预览 10 rp
@%0/[ 4 Essential Macleod的特点 32 5Th\wTh04 4.1 容量和局限性 33 BGfwgI.m 4.2 程序在哪里? 33 T+0z.E!~I 4.3 数据文件 35 Yrf?|, 4.4 设计规则 35 3#""`]9H 4.5 材料数据库和资料库 37 Gn6\n'r0 4.5.1材料损失 38
cMtUb 4.5.1材料数据库和导入材料 39 3bLOT#t 4.5.2 材料库 41 [$$R>ELYQ 4.5.3导出材料数据 43 CNj |vYj 4.6 常用单位 43 eJ[+3Wh 4.7 插值和外推法 46 } j6|+ 4.8 材料数据的平滑 50 _Q\rZ
l 4.9 更多光学常数模型 54 |]:6IuslJ 4.10 文档的一般编辑规则 55 |VE.khq# 4.11 撤销和重做 56 q}'<[Wg 4.12 设计文档 57 R/B/|x 4.10.1 公式 58 7"eIZ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 u ?F},VL; 4.10.3 沉积密度 59 \2f?)id~ 4.10.4 平行和楔形介质 60 Ir` l*:j$ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 OvC@E]/+ 4.10.4 性能 61 4y.'O 4.10.5 保存设计和性能 64 .GYdC' 4.10.6 默认设计 64 )abH//Pps. 4.11 图表 64 b!QRD'31'j 4.11.1 合并曲线图 67 N>s3tGh 4.11.2 自适应绘制 68 p&xj7qwp@F 4.11.3 动态绘图 68 :hB6-CZkqN 4.11.4 3D绘图 69 1_xkGc-z< 4.12 导入和导出 73 7k#>$sY+ 4.12.1 剪贴板 73 :1UOT'_ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 >_\]c-~< 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 -)"\?+T 4.13 背景 77 4;jAdWj3 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 I_Gm2Dd 4.15 生成Rugate 84 J1r\Cp+h0 4.16 参考文献 91 <g&GIFE, 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 g p9;I*! 5.1 Jobs 92 E9.1~
) 5.2 创建一个新Job(工作) 93 PJKxh%J 5.3 输入材料 94 (:+Wc^0 5.4 设计数据文件夹 95 t1#f*G5 5.5 默认设计 95 L]X Lv9J0 6 细化和合成 97 s}^W2 6.1 优化介绍 97 /byF:iYI 6.2 细化 (Refinement) 98 z`J-J*R>d 6.3 合成 (Synthesis) 100 4/x.qoj 6.4 目标和评价函数 101 Py9:(fdS 6.4.1 目标输入 102 $0M7P5]N*G 6.4.2 目标 103 @71y:)W< 6.4.3 特殊的评价函数 104 <qoPBm]) 6.5 层锁定和连接 104 6il+hz2&lH 6.6 细化技术 104 p8CaD4bE 6.6.1 单纯形 105 >^f]Lgp 6.6.1.1 单纯形参数 106 #b&=CsW` 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ^sJp!hi4=) 6.6.2.1 Optimac参数 108 odvUU#l 6.6.3 模拟退火算法 109 Hw#yw g 6.6.3.1 模拟退火参数 109 *:chN' < 6.6.4 共轭梯度 111 rG B*a8 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 1x0)mt3 6.6.5 拟牛顿法 112 ?I.bC 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 1(VskFtZF 6.6.6 针合成 113 ]V"B`ip[2 6.6.6.1 针合成参数 114 <U/r U9O 6.6.7 差分进化 114 *ul-D42!U 6.6.8非局部细化 115 QSo48OFs 6.6.8.1非局部细化参数 115 I\82_t8 6.7 我应该使用哪种技术? 116 cc3+Wx_ 6.7.1 细化 116 4d-"kx3X 6.7.2 合成 117 ;Ac!"_N?7 6.8 参考文献 117 ns[h_g!j; 7 导纳图及其他工具 118 Nu}Zsb|{ 7.1 简介 118 7YU}-gi 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 pWGIA6&v( 7.2.1 四分之一波长规则 119 j+3=&PkA.] 7.2.2 导纳图 120 a3_pF~Qx 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ]@msjz' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 `$VnB 7.5 斜入射导纳图 141 }Do$oyAV$G 7.6 对称周期 141 h`:gMhn 7.7 参考文献 142 |=Pw-uk 8 典型的镀膜实例 143 LkJ-M=y 8.1 单层抗反射薄膜 145 4Cf.%f9@ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
["Jt2 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 5lm>~J!/^ 8.4 W-膜层 148 0~nub 8.5 V-膜层 149 UZW)% 8.6 V-膜层高折射基底 150 X
gA(
D 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 S?(/~Vb% 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 H[iR8<rhQ 8.9 四层抗反射薄膜 153 )!D,;,aQ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ^pvnUODW[ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 4{=^J2z 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ]A:G>K 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 }xy[&-dh 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 WS ^%<
h# 8.15十五层宽带抗反射膜 159 =&?BPhJE 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 G+Zm 8.17 1/4波长堆栈 162 )m(?U 8.18 陷波滤波器 163 y$HV;%G{26 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 c0:`+>p2 8.20 褶皱 165 k iY1 8.21 消偏振分光器1 169 ;ywUl`d 8.22 消偏振分光器2 171 J?bx<$C@ 8.23 消偏振立体分光器 172 E$E#c8I: 8.24 消偏振截止滤光片 173 5+iXOs< 8.25 立体偏振分束器1 174 /.[78:G\, 8.26 立方偏振分束器2 177 7a<:\F}E0 8.27 相位延迟器 178 ^9?IS<N0] 8.28 红外截止器 179 e[L%M:e9U 8.29 21层长波带通滤波器 180 `9p;LZC1 K 8.30 49层长波带通滤波器 181 *#CUZJN\ 8.31 55层短波带通滤波器 182 T
[2l32 8.32 47 红外截止器 183 &\M<>>IB 8.33 宽带通滤波器 184 rW0-XLbL5H 8.34 诱导透射滤波器 186 :0j_I\L 8.35 诱导透射滤波器2 188 IX 2 dic' 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ?hnxc0~P 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 'C<4{agS 8.35 增益平坦滤波器 193 </jTWc'} 8.38 啁啾反射镜 1 196 IpI|G!Y, 8.39 啁啾反射镜2 198 2umgF 8.40 啁啾反射镜3 199 3 etW4 8.41 带保护层的铝膜层 200 9g`o+U{ 8.42 增加铝反射率膜 201 4Yya+[RY 8.43 参考文献 202 W 33MYw 9 多层膜 204 ps3jw*QZ{5 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 6Y&`mgMF' 9.2 内部透过率 204 h_K!ch} 9.3 内部透射率数据 205
0ZJt 9.4 实例 206 {:c5/
,7c; 9.5 实例2 210 F'9#dR? 9.6 圆锥和带宽计算 212 ,LVZ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 J'Y;j^ 10 光学薄膜的颜色 216 O
p,_d^ 10.1 导言 216 <e@+w6Kp'7 10.2 色彩 216 ^s?=$&8f![ 10.3 主波长和纯度 220 .V`N^H:l 10.4 色相和纯度 221 XMw*4j2E 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 {E$smX 10.6 色差 226 BDz7$k] 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 `ehcj
G1nY 10.8 颜色渲染指数 234 wOs t). 10.9 色差计算 235 YGf<! 10.10 参考文献 236 NNP ut$. 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Dt=@OZW 11.1 短脉冲 238 bE>"DPq 11.2 群速度 239 j NkobJ1 11.3 群速度色散 241 B0|!s 11.4 啁啾(chirped) 245 b]k9c1x 11.5 光学薄膜—相变 245 nb_$g@ 03 11.6 群延迟和延迟色散 246 Z=j6c" 11.7 色度色散 246 w0`8el; 11.8 色散补偿 249 =`Lci1#pu} 11.9 空间光线偏移 256 6g&Ev' 11.10 参考文献 258 + Un(VTD 12 公差与误差 260 3
G_0DS 12.1 蒙特卡罗模型 260 aGq1YOD[$ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 r6gfxW5 12.2.1 误差工具 267 Bw25+l Px 12.2.2 灵敏度工具 271 Tqj:C8K{ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 6tF_u D 12.2.2.2 灵敏度分布 275 &r)[6a$fW 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 cogIkB&Ju 12.3 参考文献 276 S^T
><C 13 Runsheet 与Simulator 277 |Q?^B a 13.1 原理介绍 277 < wi9
13.2 截止滤光片设计 277 P+bA>lJd 14 光学常数提取 289 "kd)dy95H 14.1 介绍 289 &$g{i:)Z 14.2 电介质薄膜 289 W!t =9i 14.3 n 和k 的提取工具 295 B"?ivxM:U 14.4 基底的参数提取 302 y,s`[=CT 14.5 金属的参数提取 306 U'k 0; 14.6 不正确的模型 306 zv0bE?W9 14.7 参考文献 311 E.eUd4XG 15 反演工程 313 aI;-NnC 15.1 随机性和系统性 313 7BkY0_KK 15.2 常见的系统性问题 314 Oe
~g[I; 15.3 单层膜 314 "Tz'j}< 9C 15.4 多层膜 314 |ya.c\}q 15.5 含义 319 AW8*bq1 15.6 反演工程实例 319 ?"$Rw32 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Yhte&,D" 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ZXl_cq2r 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ]p!)8[< 16.1 光学性质的热致偏移 329 B,A,5SuMk 16.2 应力工具 335 E.N 16.3 均匀性误差 339 ,0a\Ka{^ 16.3.1 圆锥工具 339
s>*xAIx
16.3.2 波前问题 341 7>lM^ :A 16.4 参考文献 343 JIPBJ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 f~ wgMp.W0 17.1 引言 345 gVNoC-n) 17.2 操作数 345 c{
([U 18 如何在Function中编写脚本 351 -nXlW 18.1 简介 351 2F
:8=_sA 18.2 什么是脚本? 351
"S H=|5+ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 #MFIsx)r 18.4 基础 352 ^!fY~(=U4 18.4.1 Classes(类别) 352 Swr4De_5 18.4.2 对象 352 `I.pwst8i- 18.4.3 信息(Messages) 352 JED\"(d( 18.4.4 属性 352 y*%uGG5 18.4.5 方法 353 Ad&VOh+0 18.4.6 变量声明 353 !_P&SmK3 18.5 创建对象 354 N "}N>xe2 18.5.1 创建对象函数 355 EF6h>"']/ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 )2a)$qx; 18.5.3 丢弃对象 356 $*|M+ofQ 18.5.4 总结 356 RqX^$C8M 18.6 脚本中的表格 357 T+e*' <!O 18.6.1 方法1 357 "hi03k 18.6.2 方法2 357 z]7 /Gc,j 18.7 2D Plots in Scripts 358 Dxy^r*B 18.8 3D Plots in Scripts 359 ?lML+ 18.9 注释 360 6?'7`p 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 <RKT
| 18.11 一个更高级的脚本 362 df!i}L 18.12 <esc>键 364 flT6y-d 18.13 包含文件 365 uP+VS>b 18.14 脚本被优化调用 366 H@1}_d 18.15 脚本中的对话框 368 A=3L_
#nO 18.15.1 介绍 368 inip/&P?V 18.15.2 消息框-MsgBox 368 \W]gy_=D{ 18.15.3 输入框函数 370 mRa\ wEg% 18.15.4 自定义对话框 371 s VHk;:e>x 18.15.5 对话框编辑器 371 Q8MIpa!: 18.15.6 控制对话框 377 3{fg3? 18.15.7 更高级的对话框 380 bF6J>&]! 18.16 Types语句 384 f}J(nz>Sh 18.17 打开文件 385 6tFi\,)E 18.18 Bags 387 $1g1Bn 18.13 进一步研究 388 Vd(n2JMtG 19 vStack 389 J\P6 19.1 vStack基本原理 389 s&Y"a,|Z 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 n}I?.r@e 19.3 五棱镜 393 _ OC@J*4. 19.4 光束距离 396 ?xrOhA9 19.5 误差 399 SnR2o3r-Of 19.6 二向分色棱镜 399 4Y$\QZO 19.7 偏振泄漏 404 Ulx]4;uzf 19.8 波前误差—相位 405 %IZd-N7i^ 19.9 其它计算参数 405 $rI 1|;^ 20 报表生成器 406 GX0zirz 20.1 入门 406 MXa^g" 20.2 指令(Instructions) 406 JJM<ywPGp 20.3 页面布局指令 406 Px&_6}YWy 20.4 常见的参数图和三维图 407 P:t .Nr" 20.5 表格中的常见参数 408 .p, VZ9 20.6 迭代指令 408 U8AH,?]# 20.7 报表模版 408 z}B39L 20.8 开始设计一个报表模版 409 N-]/MB8 21 一个新的project 413 e"52'zAV- 21.1 创建一个新Job 414 (6Od 21.2 默认设计 415 oFf9KHorW 21.3 薄膜设计 416 >W;NMcN~ 21.4 误差的灵敏度计算 420 ]jFl?LA%7 21.5 显色指数计算 422 4A6Yl6\Y 21.6 电场分布 424 - X71JU 后记 426 `/ayg:WSU
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