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&_q&TEi 内容简介 n[jyhBf\W Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 &N{XLg> 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ,tdV-9N[O 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 0]tr&BLl* '\I.P 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 9{gY|2R_ 目录 _z:7Dj# Preface 1 l{:7*U{d 内容简介 2 3JB?G>\! 目录 i g\ r%A 1 引言 1 O|t@p=] 2 光学薄膜基础 2 5ua`5Hb; 2.1 一般规则 2 NaeG2>1 2.2 正交入射规则 3 A}(&At%n4 2.3 斜入射规则 6 Ae&470 2.4 精确计算 7 d ] J5c 2.5 相干性 8 ZK =`Y@ 2.6 参考文献 10 >t-9yO1XQq 3 Essential Macleod的快速预览 10 3h:"-{MW. 4 Essential Macleod的特点 32 }9w?[hXW" 4.1 容量和局限性 33 7Eoa~ 4.2 程序在哪里? 33 2s(c#$JVS 4.3 数据文件 35 6#sd"JvtQ 4.4 设计规则 35 `XAlzI 4.5 材料数据库和资料库 37 :'*;>P
.( 4.5.1材料损失 38 f(Vr &X 4.5.1材料数据库和导入材料 39 uJ Q#l\t 4.5.2 材料库 41 ),9^hJ1+@ 4.5.3导出材料数据 43 7Y`/w$ 4.6 常用单位 43 R`? '|G]P 4.7 插值和外推法 46 sEpY&6* 4.8 材料数据的平滑 50 ZWZRG-:&H 4.9 更多光学常数模型 54 QnsD,F; / 4.10 文档的一般编辑规则 55 "MH_hzbBF 4.11 撤销和重做 56 {)E)&lL 4.12 设计文档 57 JI TQ3UL:W 4.10.1 公式 58 oBfh1/<<a 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 *D&(6$[ ^ 4.10.3 沉积密度 59 11%<bmJ]Q3 4.10.4 平行和楔形介质 60 ?P<8Zw 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 a[Pyxx_K 4.10.4 性能 61 8y9oj9
;E] 4.10.5 保存设计和性能 64 %,HuG-L 4.10.6 默认设计 64 I[mlQmwsL. 4.11 图表 64 IYeX\)Gv& 4.11.1 合并曲线图 67 T#ktC0W]h 4.11.2 自适应绘制 68 #\15,!*a= 4.11.3 动态绘图 68 ;?-A4!V, 4.11.4 3D绘图 69 @'go?E)f 4.12 导入和导出 73 j<H5i} 4.12.1 剪贴板 73
V1[Cc?o 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 -0W s3 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 xq#YBi, 4.13 背景 77 tOQ2947zk 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 l~|x*JTq 4.15 生成Rugate 84 oD0WHp 4.16 参考文献 91 _!vxX] 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 uVnbOqR<X 5.1 Jobs 92 }n!$)W*? 5.2 创建一个新Job(工作) 93 dj>ZHdTn 5.3 输入材料 94 \Y37wy4 5.4 设计数据文件夹 95 F+%6?2J 5.5 默认设计 95 r&$r=f< 6 细化和合成 97 u"WqI[IV 6.1 优化介绍 97 PVK. %y9 6.2 细化 (Refinement) 98 F]_w~1
n5 6.3 合成 (Synthesis) 100 zk\YW'x|r 6.4 目标和评价函数 101 IP#w 6.4.1 目标输入 102 {KH!PAh 6.4.2 目标 103 {jnfe}] 6.4.3 特殊的评价函数 104 F 7v 1rf] 6.5 层锁定和连接 104 R^[b
I; 6.6 细化技术 104
Zo=w8Hr 6.6.1 单纯形 105 %E1_)^^ 6.6.1.1 单纯形参数 106 tc.`P]R
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ;|C[.0;kgv 6.6.2.1 Optimac参数 108 s{QS2G$5 6.6.3 模拟退火算法 109 mpsi{%gA
6.6.3.1 模拟退火参数 109 W~EDLL Z 6.6.4 共轭梯度 111 9 E@}@ZV( 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Z@Tb3N/[ 6.6.5 拟牛顿法 112 "pa}']7# 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 [I
XX#^F 6.6.6 针合成 113 UW!*=?h 6.6.6.1 针合成参数 114 S"}G/lBx. 6.6.7 差分进化 114 8-f2$ 6.6.8非局部细化 115 p\>im+0oh 6.6.8.1非局部细化参数 115 dV~d60jOF 6.7 我应该使用哪种技术? 116 F.N4Q'2Z 6.7.1 细化 116 oRp;9 6.7.2 合成 117 -XbO[_Wf
6.8 参考文献 117 :6N'%LKK 7 导纳图及其他工具 118 ^@"H(1Hxu/ 7.1 简介 118 N:4oVi@Je 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 be@\5
7.2.1 四分之一波长规则 119 tTX@Bb8 7.2.2 导纳图 120 E%+ aqA)f 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 58v q5j<V 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 .u<i<S 7.5 斜入射导纳图 141 V~9vf*X 7.6 对称周期 141 KG2ij~v 7.7 参考文献 142 {c#{dT 8 典型的镀膜实例 143 gwm}19JC 8.1 单层抗反射薄膜 145 vt(A?$j|A 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 7 3 Oo; 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 D'nO 8.4 W-膜层 148 RV%aFI ) 8.5 V-膜层 149 Xa=M{x 8.6 V-膜层高折射基底 150 NWNPq" 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 O8!> t7x 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ~F{u4p7{N 8.9 四层抗反射薄膜 153 -5&|"YYjr{ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 uU|fCwQt 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 eD#R4 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 z~Ec * 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 +nLsiC{& 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 \!]Zq#*kH 8.15十五层宽带抗反射膜 159 BGe&c,feIc 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 `S&$y4|Vs 8.17 1/4波长堆栈 162 <"&I'9 8.18 陷波滤波器 163 mbZS J 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 =P,h5J 8.20 褶皱 165 vWGjc2_ 8.21 消偏振分光器1 169 c)7i%RF' 8.22 消偏振分光器2 171 p!XB\%sv'" 8.23 消偏振立体分光器 172 Y[\ZN 8.24 消偏振截止滤光片 173 6wmMg i_m 8.25 立体偏振分束器1 174 7GyJmzEE 8.26 立方偏振分束器2 177 ,hggmzA~ 8.27 相位延迟器 178 [6$n 8.28 红外截止器 179 \Y?ByY 8.29 21层长波带通滤波器 180 zG[GyyAQ 8.30 49层长波带通滤波器 181 =Nc}XFq 8.31 55层短波带通滤波器 182 m4 :| 8.32 47 红外截止器 183 |q(
.j4[i 8.33 宽带通滤波器 184 DbL=2 8.34 诱导透射滤波器 186 McXid~ 8.35 诱导透射滤波器2 188 B\tP{}P8{ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 e2P
ds` 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 0Ud.u 8.35 增益平坦滤波器 193 mvCH$}w8& 8.38 啁啾反射镜 1 196 L{2KK]IF 8.39 啁啾反射镜2 198 K]<49`MX 8.40 啁啾反射镜3 199 [q<Vm- 8.41 带保护层的铝膜层 200 QoU0>p+2 8.42 增加铝反射率膜 201 4ox[, 8.43 参考文献 202 j9bn|p$DA 9 多层膜 204 |k3^
eeLk 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Bq20U:f 9.2 内部透过率 204 ]P5|V4FXo 9.3 内部透射率数据 205 [VsTyqV a 9.4 实例 206 rEM#J"wF 9.5 实例2 210 {dbPMx 9.6 圆锥和带宽计算 212 4"=(kC~~ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 }H>}v/ 10 光学薄膜的颜色 216 >=WlrmI 10.1 导言 216 !^,<nP 10.2 色彩 216 1&wI*4 10.3 主波长和纯度 220 sK&[sN33 10.4 色相和纯度 221 #cZ<[K q6 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 d=6FL" .o 10.6 色差 226 pc=f, 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 =:5o"g 10.8 颜色渲染指数 234 @_+B'<2 10.9 色差计算 235 Q#Vg5H4 10.10 参考文献 236 HqZ3] 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 $z"1&y) 11.1 短脉冲 238 wB~5&:]jr 11.2 群速度 239 w<0F-0:8 11.3 群速度色散 241 j~'a %P 11.4 啁啾(chirped) 245 T+0Z2H 11.5 光学薄膜—相变 245 8d!t"oj68 11.6 群延迟和延迟色散 246 {zri6P+s 11.7 色度色散 246 q0>@!1Wb 11.8 色散补偿 249 }3Mnq?.- 11.9 空间光线偏移 256 9k`}fk\M 11.10 参考文献 258 6^'BhHP 12 公差与误差 260 |_Tp:][mf 12.1 蒙特卡罗模型 260 ~h<<-c 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 DUAI 12.2.1 误差工具 267 OX
r%b 12.2.2 灵敏度工具 271 ):c)$$dn 12.2.2.1 独立灵敏度 271 uE]kv 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ?|`Ba- 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 4fq:W`9sN 12.3 参考文献 276 [@PD[-2QG3 13 Runsheet 与Simulator 277 1h[xVvo<L 13.1 原理介绍 277 Kz>Bw;R( 13.2 截止滤光片设计 277 Y]33:c_;Mo 14 光学常数提取 289 d<@SRHP( 14.1 介绍 289 REj<2Lo 14.2 电介质薄膜 289 lO>9Q]S< 14.3 n 和k 的提取工具 295 3 utv 14.4 基底的参数提取 302 nc.(bb), 14.5 金属的参数提取 306 p /x] 14.6 不正确的模型 306 RXbhuI 14.7 参考文献 311 I_k!'zR[N 15 反演工程 313 +4r.G(n), 15.1 随机性和系统性 313 @uJ^k
>B 15.2 常见的系统性问题 314 wt(Hk6/B 15.3 单层膜 314 NQdz]o 15.4 多层膜 314 _?YP0GpU 15.5 含义 319 NO%x
2dx0 15.6 反演工程实例 319 I8s%wY9 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ]((Ix,ggP 15.6.2 反演工程提取折射率 327 h,(f3Ik0O 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ]DO~7p[ 16.1 光学性质的热致偏移 329 O
# 16.2 应力工具 335 *\M$pUS{ 16.3 均匀性误差 339 dh~ cj5 16.3.1 圆锥工具 339 us0{y7(p 16.3.2 波前问题 341 WC pCWtmy 16.4 参考文献 343 u |EECjJn 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 1\{_bUZ& 17.1 引言 345 H/I1 n\ 17.2 操作数 345 0?0$6F 18 如何在Function中编写脚本 351 q"uP%TN 18.1 简介 351 P>wDr`* 18.2 什么是脚本? 351 nz}}m^-j 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ,e{|[k 18.4 基础 352 t'.oty= 18.4.1 Classes(类别) 352 ^G*zFqa+` 18.4.2 对象 352 v1m'p:7uGB 18.4.3 信息(Messages) 352 {f12&t 18.4.4 属性 352 5J1q]^ 18.4.5 方法 353 9wB}EDZ 18.4.6 变量声明 353 S
Y7'S# 18.5 创建对象 354 K@0/iWm* 18.5.1 创建对象函数 355 WbP
wO 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 e]qbh_A 18.5.3 丢弃对象 356 KBO{g:" 18.5.4 总结 356 Vo; B#lK 18.6 脚本中的表格 357 pp!>: % 18.6.1 方法1 357 "4,Zox{^ 18.6.2 方法2 357 9_07?`Jr
18.7 2D Plots in Scripts 358 KXtc4wra 18.8 3D Plots in Scripts 359 DsI{*# 18.9 注释 360 $h()%C7s 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Jm5&6= 18.11 一个更高级的脚本 362 P_Bhec|#fT 18.12 <esc>键 364 YcQ3:i 18.13 包含文件 365 `O'@TrI 18.14 脚本被优化调用 366 eKT'd#o2R 18.15 脚本中的对话框 368 mH/$_x)o 18.15.1 介绍 368 >e4w8Svcy 18.15.2 消息框-MsgBox 368 \kQ@G 18.15.3 输入框函数 370 Z
^w5x : 18.15.4 自定义对话框 371 .0eHP 18.15.5 对话框编辑器 371 {;kH&Pp 18.15.6 控制对话框 377 Y unY'xY 18.15.7 更高级的对话框 380 (K}Md~ 18.16 Types语句 384 *a2y 18.17 打开文件 385 \!_:<"nX. 18.18 Bags 387 /P8`)?f~y 18.13 进一步研究 388 R[/]iK+!& 19 vStack 389 u>cU*E4/ 19.1 vStack基本原理 389 LM~,`#3Ru 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 EA/+~ux 19.3 五棱镜 393 !8#!P 19.4 光束距离 396 sXmZ0Dv 19.5 误差 399 x,3oa_'E 19.6 二向分色棱镜 399 hny):59f 19.7 偏振泄漏 404 G3.MS7J 19.8 波前误差—相位 405 ` s}v6 19.9 其它计算参数 405 :2\H>^uV 20 报表生成器 406 ,XZ[L?
> 20.1 入门 406 %~ ROV>& 20.2 指令(Instructions) 406 7fB:wPlG; 20.3 页面布局指令 406 k/|j e~$ 20.4 常见的参数图和三维图 407 NUclF|G 20.5 表格中的常见参数 408 9m:qQ1[\ 20.6 迭代指令 408 ;h
}^f- 20.7 报表模版 408 OcBn1k. 20.8 开始设计一个报表模版 409 `T;M=S^y*E 21 一个新的project 413 -bq\2Yc$] 21.1 创建一个新Job 414 ,uFdhA(i@' 21.2 默认设计 415 05+uBwH 21.3 薄膜设计 416 xzGs%01] 21.4 误差的灵敏度计算 420 HKr6h?Si^ 21.5 显色指数计算 422
hgz7dF 21.6 电场分布 424 kp+\3z_ 后记 426 gXR1nnK
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