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h"nv[0!) 内容简介 7@VR:~n}k Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 =WP}RZ{S 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 }W%}_UT 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 F{<rIR
UuA=qWC 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 t!Av[K 目录 t,P+~ A Preface 1 /L[:C=u 内容简介 2 cKy%0oTla 目录 i {gi"ktgk 1 引言 1 X}bgRzj 2 光学薄膜基础 2 3vs2}IV' 2.1 一般规则 2 ~GY;{ 2.2 正交入射规则 3 .g&BA15<F6 2.3 斜入射规则 6 #wm)e)2@ 2.4 精确计算 7 r*3XM{bZ/@ 2.5 相干性 8 /ci.IT$Q^ 2.6 参考文献 10 RMrt4:-DI 3 Essential Macleod的快速预览 10 qx? lCz a" 4 Essential Macleod的特点 32 %F/tbXy{ 4.1 容量和局限性 33 wy&*6>. 4.2 程序在哪里? 33 AU$5"kBE 4.3 数据文件 35 J<zg 'Jk^ 4.4 设计规则 35 a+BA~|u^ 4.5 材料数据库和资料库 37 9hp0wi@W} 4.5.1材料损失 38 O 1X
! 4.5.1材料数据库和导入材料 39 p9sxA|O=y
4.5.2 材料库 41 <*5D0q#~" 4.5.3导出材料数据 43 )*JTxMQ 4.6 常用单位 43 \)"qN^we 4.7 插值和外推法 46 1!NaOfP;@ 4.8 材料数据的平滑 50 BR%: `uiQ< 4.9 更多光学常数模型 54 ]V]o%onW 4.10 文档的一般编辑规则 55 5Np. & 4.11 撤销和重做 56 1-[{4{R 4.12 设计文档 57 &]c9}Ic 4.10.1 公式 58 ?3, * 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 LOYv%9$0*p 4.10.3 沉积密度 59 (6+0U1[Iz 4.10.4 平行和楔形介质 60 Tuy*Df 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ~gDtj&F 4.10.4 性能 61 K^vMIo h 4.10.5 保存设计和性能 64 J\0YL\jw1K 4.10.6 默认设计 64 WL~`L!_. A 4.11 图表 64 +]_} \ 4.11.1 合并曲线图 67 TPzoU"
qh 4.11.2 自适应绘制 68 JZ7-?
o 4.11.3 动态绘图 68 x[kdQj2[& 4.11.4 3D绘图 69 5~?
J 4.12 导入和导出 73 #WG(V%f] 4.12.1 剪贴板 73 w/<hyEpxg 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 A,/S/_Q= 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 @'y"D 4.13 背景 77 _[7uLWyC9 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 &pAT 4.15 生成Rugate 84 *\>2DUu\` 4.16 参考文献 91 x/<.?[A 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 s_8!x 5.1 Jobs 92 fe$WR~ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 /L
4WWQ5 5.3 输入材料 94 Glr.)PA 5.4 设计数据文件夹 95 1$W!<:uh 5.5 默认设计 95 ro{MDs 6 细化和合成 97 Cu:-< 6.1 优化介绍 97 EIfrZg7R 6.2 细化 (Refinement) 98 zYNJF>^< 6.3 合成 (Synthesis) 100 b6(yyYdF 6.4 目标和评价函数 101 Lsz`nD5 6.4.1 目标输入 102 :[&X*bw[ 6.4.2 目标 103 td~3N,S 6.4.3 特殊的评价函数 104 wtKh8^:YD 6.5 层锁定和连接 104 D.e*IP1R 6.6 细化技术 104 l9h;dI{6 6.6.1 单纯形 105 fYi!Z/Ck2 6.6.1.1 单纯形参数 106 3PGyqt( 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 U8mu<) 6.6.2.1 Optimac参数 108 ]gW J, 6.6.3 模拟退火算法 109 V_kE"W) 6.6.3.1 模拟退火参数 109 !Z ZA I_N 6.6.4 共轭梯度 111 yiq#p"Hs 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 .%A2 6.6.5 拟牛顿法 112 yN.D(ZwF: 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
"gz;Q 6.6.6 针合成 113 loJ0PY'}= 6.6.6.1 针合成参数 114 Vmc)or*# 6.6.7 差分进化 114 6>I.*Qt \l 6.6.8非局部细化 115 u|c+w)a 6.6.8.1非局部细化参数 115 O#\>j 6.7 我应该使用哪种技术? 116 68*{Lo?U 6.7.1 细化 116 Xn=fLb( 6.7.2 合成 117 Ln|${c 6.8 参考文献 117 z"#.o^5 7 导纳图及其他工具 118 nmGHJb,$ 7.1 简介 118 hz%IxI9 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 xTMTkVa+B 7.2.1 四分之一波长规则 119 3@L%#]xwi 7.2.2 导纳图 120 @El<"\ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 M\f0
=`g 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 rzHa&:Y 7.5 斜入射导纳图 141 4/?Zp4g 7.6 对称周期 141 s|'L0` <B 7.7 参考文献 142 s_LSsyqo 8 典型的镀膜实例 143 3XtGi<u 8.1 单层抗反射薄膜 145 z<>_*Lfj 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 t^5_;sJQ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
lijy?:__ 8.4 W-膜层 148 W\7*T1TDj 8.5 V-膜层 149 M'iKk[Hjfx 8.6 V-膜层高折射基底 150 l0{DnQA>I 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 -huZnDN 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 N}G(pq} 8.9 四层抗反射薄膜 153 VHCzlg 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 <*(R+to^d 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 "S:N-Tf%U 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 w ZAXfNA 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 . $YF|v[= 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 >ULp! 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ".?{Y(~ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 )g_zPt 8.17 1/4波长堆栈 162 bf/loMtD 8.18 陷波滤波器 163 Y +54z/{ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 /g''-yT7# 8.20 褶皱 165 ;r"B?] JO 8.21 消偏振分光器1 169 ^;Q
pE 8.22 消偏振分光器2 171 {2^@jD 8.23 消偏振立体分光器 172 5i#w:O\cz 8.24 消偏振截止滤光片 173 +=Wdn)T 8.25 立体偏振分束器1 174 dy?|Q33Y" 8.26 立方偏振分束器2 177 .`N`M9 8.27 相位延迟器 178 Els= :4 8.28 红外截止器 179 Q0\5j<'e 8.29 21层长波带通滤波器 180 UE w3AO 8.30 49层长波带通滤波器 181 |LE++t*X~ 8.31 55层短波带通滤波器 182 `r(J6,O 8.32 47 红外截止器 183 |9]K:A 8.33 宽带通滤波器 184 lG>e6[Wc 8.34 诱导透射滤波器 186 z
5+]Z a~ 8.35 诱导透射滤波器2 188 4 GW[GT 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 z,YUguc|
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ,D,f9 8.35 增益平坦滤波器 193 ilpZ/Rs 8.38 啁啾反射镜 1 196 )%w8>1}c 8.39 啁啾反射镜2 198 Z8 %\v(L 8.40 啁啾反射镜3 199 v:1Vli. 8.41 带保护层的铝膜层 200 u#k,G` 8.42 增加铝反射率膜 201 =[os<+ 8.43 参考文献 202 Z3>3&|& 9 多层膜 204 B-'BJ|*4I 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 M|e
n>P 9.2 内部透过率 204 xGv,%'u\ 9.3 内部透射率数据 205 _kX/LR"L+ 9.4 实例 206 mIEaWE;E" 9.5 实例2 210 9XvM%aHs: 9.6 圆锥和带宽计算 212 U]
-@yx 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 p+UHJ& 10 光学薄膜的颜色 216 DeQ'U!?+N 10.1 导言 216 T)f_W 10.2 色彩 216 C+m^Z[ 10.3 主波长和纯度 220 4Olv8nOe< 10.4 色相和纯度 221 LE80`t>M# 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 JO{-
P 10.6 色差 226 K |} ]< 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Z)T@`B6
10.8 颜色渲染指数 234 [3sxzU!t~ 10.9 色差计算 235 BBE1}V!u
10.10 参考文献 236 dQ`ZrWd_U 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ur,"K'w 11.1 短脉冲 238 NG!cEo:2aa 11.2 群速度 239 r9a!,^}F 11.3 群速度色散 241 O8~U<'=* 11.4 啁啾(chirped) 245 _QUu'zJ 11.5 光学薄膜—相变 245 as|c`4r\O 11.6 群延迟和延迟色散 246 =)1YYJTe9 11.7 色度色散 246 ^O Xr: P 11.8 色散补偿 249 ^npS==Y]!. 11.9 空间光线偏移 256 To{G#QEgG 11.10 参考文献 258 K(KP3Q 12 公差与误差 260 EJ;0ypbG 12.1 蒙特卡罗模型 260 $]U5 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 K-k.=6mS 12.2.1 误差工具 267 V& j.>Y 12.2.2 灵敏度工具 271 2G}7R5``9 12.2.2.1 独立灵敏度 271 AH87UkNL 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Vt)\[Tl~ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 +IO1ipc4cE 12.3 参考文献 276 2T(,H.O 13 Runsheet 与Simulator 277 y_4krY|Zx 13.1 原理介绍 277 QD;f~fZ 13.2 截止滤光片设计 277 'Kzr-)JS 14 光学常数提取 289 Q @OC = 14.1 介绍 289 $x_52 j\j 14.2 电介质薄膜 289 K9O,7h:x 14.3 n 和k 的提取工具 295 qwNKRqT 14.4 基底的参数提取 302 s!;VUr\ 14.5 金属的参数提取 306 %v+fN?%x,d 14.6 不正确的模型 306 (06Vcqg 14.7 参考文献 311 eo*u(@ 15 反演工程 313 .m]=JC5' 15.1 随机性和系统性 313 ~UJu
@M 15.2 常见的系统性问题 314 1s}NQ3 15.3 单层膜 314 azDC'.3{p 15.4 多层膜 314 *v
nxP9< 15.5 含义 319 @FdCbPl$ 15.6 反演工程实例 319 HMS9y%zl/ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 _`X#c-J 15.6.2 反演工程提取折射率 327 q'Pz3/mk 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 3+8" 16.1 光学性质的热致偏移 329 |h=+&*(: 16.2 应力工具 335 HLoQ}oK|K 16.3 均匀性误差 339 m!#)JFe67 16.3.1 圆锥工具 339 Ij6Wz.* 16.3.2 波前问题 341 ss0'GfP 16.4 参考文献 343 C=dx4U~
17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ,8xP8T~Kmv 17.1 引言 345 VkTlPmr 17.2 操作数 345 X#kjt)W 18 如何在Function中编写脚本 351 APtselC 18.1 简介 351 oF@x]bmU 18.2 什么是脚本? 351 |1QbO`f/F 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 n:bB$Ai2 18.4 基础 352 {r].SrW9s9 18.4.1 Classes(类别) 352 rxy{a 18.4.2 对象 352 MCi` TXr 18.4.3 信息(Messages) 352 :Hf0Qx6 18.4.4 属性 352 io9xI3{ 18.4.5 方法 353 d(DX(xg 18.4.6 变量声明 353 ~[uV 18.5 创建对象 354 4g 6ksdFQ 18.5.1 创建对象函数 355 ,na=~.0R: 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 x'M^4{4[ 18.5.3 丢弃对象 356 C'8!cPFVv 18.5.4 总结 356 .W@(nQ-< 18.6 脚本中的表格 357 ,h@R' f! 18.6.1 方法1 357 {KU. 18.6.2 方法2 357 ?9(o*lp 18.7 2D Plots in Scripts 358 da00p-U 18.8 3D Plots in Scripts 359 'Wf?elB+ 18.9 注释 360 vhYMWfbY 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 |YE,) kiF 18.11 一个更高级的脚本 362 kh<pLI >$h 18.12 <esc>键 364 c>R`jb@$N 18.13 包含文件 365 f
E.L 18.14 脚本被优化调用 366 pyg!rf- 18.15 脚本中的对话框 368 O/DAf|X| 18.15.1 介绍 368 CrNwALx 18.15.2 消息框-MsgBox 368 .B 85!lCF 18.15.3 输入框函数 370 T}n}.JwU 18.15.4 自定义对话框 371 zmB31' _ 18.15.5 对话框编辑器 371 7>'uj7r]= 18.15.6 控制对话框 377 %qS]NC 18.15.7 更高级的对话框 380 ^zaKO'KcV 18.16 Types语句 384 y^mWG1"O 18.17 打开文件 385 N>A{)_k3 18.18 Bags 387 aJ5H3X}Y 18.13 进一步研究 388 2/yXY_L 19 vStack 389 q:Y6fbt<7 19.1 vStack基本原理 389 VDByj "% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 d)04;[= 19.3 五棱镜 393 1jH7<%y 19.4 光束距离 396 >:F,-cx< 19.5 误差 399 I!$jYY2 19.6 二向分色棱镜 399 gf68iR.Gs 19.7 偏振泄漏 404 0^GbpSW{ 19.8 波前误差—相位 405 :M22P`: 19.9 其它计算参数 405 J+)'-OFt0 20 报表生成器 406 =y<">- 20.1 入门 406 ]a$Wxvgq 20.2 指令(Instructions) 406 =zeFK_S! 20.3 页面布局指令 406 }O,U2=Hw`] 20.4 常见的参数图和三维图 407 /OQK/
t63 20.5 表格中的常见参数 408 JcTp(fnW.~ 20.6 迭代指令 408 F . K2 20.7 报表模版 408 dSOlD/c
20.8 开始设计一个报表模版 409 QP6z?j. 21 一个新的project 413 ]ZzoJ7lr 21.1 创建一个新Job 414 ^Yj"RM$;N 21.2 默认设计 415 K-J|/eB 21.3 薄膜设计 416 ="uKWt6n' 21.4 误差的灵敏度计算 420 _\
. 21.5 显色指数计算 422 cS<TmS! 21.6 电场分布 424 V#ndyUM; 后记 426 xT9Yes&
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