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qAW?\*n5N 内容简介 S!8gy,7<J Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 *; :dJXR 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 RdqB^>X 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 *!MMl]gU? N;S1s0FN 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 s8.SEk|pB 目录 `6xr:s Preface 1 @hwe 内容简介 2 W9!K~g_ 目录 i 'YvRkWf:KC 1 引言 1 MqjdW 2 光学薄膜基础 2 %R^*MUTx 2.1 一般规则 2 A/!"+Yfw 2.2 正交入射规则 3 He*c=^8k 2.3 斜入射规则 6 5@_kGoqd 2.4 精确计算 7 xi[\2g+ 2.5 相干性 8 -dS@l'$ 2.6 参考文献 10 ):lH 3 Essential Macleod的快速预览 10 ~@$RX:p 4 Essential Macleod的特点 32 .$]-::& 4.1 容量和局限性 33 fj97_Q= 4.2 程序在哪里? 33 } 89-U 4.3 数据文件 35 1ne3CA= 4.4 设计规则 35 8/k"A-m 4.5 材料数据库和资料库 37 Z(I=KBI 4.5.1材料损失 38 k`w/ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ^Lv)){t 4.5.2 材料库 41 *RM 3_ 4.5.3导出材料数据 43 UDW_?SHAx 4.6 常用单位 43 ,c,@WQ2:- 4.7 插值和外推法 46 L+8{%\UPd 4.8 材料数据的平滑 50 ~P BJ~j+G 4.9 更多光学常数模型 54 89x;~D1 4.10 文档的一般编辑规则 55 "0 $UnR 4.11 撤销和重做 56 DY\~O 4.12 设计文档 57 I-^C6~ 4.10.1 公式 58 4L_)@n} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 {fJCj152. 4.10.3 沉积密度 59
]0XlI;ah 4.10.4 平行和楔形介质 60 MK(~ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 *x:*Q \| 4.10.4 性能 61 F+ %l=
fs 4.10.5 保存设计和性能 64 8Si3
aq3 4.10.6 默认设计 64 t:"3MiM=c 4.11 图表 64 =~>g--^U 4.11.1 合并曲线图 67 55FRPNx-x 4.11.2 自适应绘制 68 U$46=F| 4.11.3 动态绘图 68 @b!W8c 6 4.11.4 3D绘图 69 Zs4NN2~ 4.12 导入和导出 73 wjfq"7Q 4.12.1 剪贴板 73 @N]]Cf>x 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 6{quO#! 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 iK=QP+^VN 4.13 背景 77 Sc]G7_ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 oL~?^`cGZ 4.15 生成Rugate 84 2u$rloc$b 4.16 参考文献 91 W{c
Z7$d 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 m(D+!I9 5.1 Jobs 92 M@o^V(j 5.2 创建一个新Job(工作) 93 KP&xk13) 5.3 输入材料 94 (vp#?-i 5.4 设计数据文件夹 95 ;W]9DBAB 5.5 默认设计 95 j^%N:BQ& 6 细化和合成 97 ?:h*=0> 6.1 优化介绍 97 g^^pPVK_ 6.2 细化 (Refinement) 98 %>$Puy\U 6.3 合成 (Synthesis) 100 *E]:VZl
6.4 目标和评价函数 101 7Ie=(x8): 6.4.1 目标输入 102 rsq?4+\ 6.4.2 目标 103 wh)F&@6 R! 6.4.3 特殊的评价函数 104 O4Q"2 6.5 层锁定和连接 104 <PiO %w{ 6.6 细化技术 104 >7PNl\=gG 6.6.1 单纯形 105 80ox$U 6.6.1.1 单纯形参数 106 OJd/#KFm 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 CW2)1%1iz 6.6.2.1 Optimac参数 108 e^'|<0J 6.6.3 模拟退火算法 109 Z&79: 9=#> 6.6.3.1 模拟退火参数 109 QIg'js$W 6.6.4 共轭梯度 111 uXk] 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
tcO{CI 6.6.5 拟牛顿法 112 Cv}^]_`Q 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 >ZW|wpO 6.6.6 针合成 113 5 5m\,UG7 6.6.6.1 针合成参数 114 tHAe 6.6.7 差分进化 114 s_a jA 6.6.8非局部细化 115 0zE@?. 6.6.8.1非局部细化参数 115 <#RVA{ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ^,#my<{ 6.7.1 细化 116 bAbR0) 6.7.2 合成 117 x|O^#X(, 6.8 参考文献 117 \h_q] 7 导纳图及其他工具 118 :.r_4$F: 7.1 简介 118 dOa9D 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 +V Nk#Z i 7.2.1 四分之一波长规则 119 *AYq:n6 7.2.2 导纳图 120 78Du 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 IrMB=pWo 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 =#v? }JG 7.5 斜入射导纳图 141 L7d1)mV 7.6 对称周期 141 ,uAp;"YJeV 7.7 参考文献 142 y$_@C8?H 8 典型的镀膜实例 143 (0B?OkQ 8.1 单层抗反射薄膜 145 |q58XwU ` 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 L,[Q{:C S 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 +[<YE 8.4 W-膜层 148 GB35o uE 8.5 V-膜层 149 4l+!Z, b 8.6 V-膜层高折射基底 150 fGO\f;P 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 wapSpSt 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 '3Lu_]I- 8.9 四层抗反射薄膜 153 3+15
yEeA 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 |K"Q>V2y 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 =E5bM_P<K 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 I O:*F0 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 D:;idUO 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 y TD4![ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 r!+{In+Z 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 T*f/M 8.17 1/4波长堆栈 162 }!AS? 8.18 陷波滤波器 163 KWZhCS?[( 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ocFk#FW 8.20 褶皱 165 nuXL{tg6 8.21 消偏振分光器1 169 3f] ;y<Km 8.22 消偏振分光器2 171 #3QPcoxa 8.23 消偏振立体分光器 172 IQRuqp KL 8.24 消偏振截止滤光片 173 Jsysk $R 8.25 立体偏振分束器1 174 68Gywk3]=u 8.26 立方偏振分束器2 177 $[A\i<# 8.27 相位延迟器 178 1^4:l!0D 8.28 红外截止器 179 EU %,tp 8.29 21层长波带通滤波器 180 )63
$,y-;$ 8.30 49层长波带通滤波器 181 +yp:douERi 8.31 55层短波带通滤波器 182 <;6{R#Tuh 8.32 47 红外截止器 183 pA6KiY& 8.33 宽带通滤波器 184 jYFJk&c 8.34 诱导透射滤波器 186 p 1'l D 8.35 诱导透射滤波器2 188 njF$1? )sq 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 `oJQA$UD 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ujZ`T0 8.35 增益平坦滤波器 193 Zgo~"G 8.38 啁啾反射镜 1 196 y%SxQA+\ 8.39 啁啾反射镜2 198 y:W6;R 8.40 啁啾反射镜3 199 kFv*>>X` 8.41 带保护层的铝膜层 200 ('tXv"fT 8.42 增加铝反射率膜 201 k*\Bl4g 8.43 参考文献 202 -GAF> 9 多层膜 204 6
Rl[M+Q 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 C/!.VMl^ 9.2 内部透过率 204 sD:o
2(G* 9.3 内部透射率数据 205 x#J9GP. 9.4 实例 206 #wI}93E 9.5 实例2 210 wqb4w7% 9.6 圆锥和带宽计算 212 .|Huzk+ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 N/bOl~!y 10 光学薄膜的颜色 216 *Jd"3Si/ 10.1 导言 216 OG/b5U 10.2 色彩 216 +;?mg(: 10.3 主波长和纯度 220 kAQ(8xV 10.4 色相和纯度 221 ) *~A|[ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 hMa; \ k 10.6 色差 226 9 {&g.+ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 )l7XZ_gw' 10.8 颜色渲染指数 234 H648 [H[k 10.9 色差计算 235 QB*,+u4 10.10 参考文献 236 !6KX^j- 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 6ZqU:^3 11.1 短脉冲 238 ABN4kM>% 11.2 群速度 239 fF(2bVKP: 11.3 群速度色散 241 l 88= 11.4 啁啾(chirped) 245 y9r4]45 11.5 光学薄膜—相变 245 %MeAa?G-# 11.6 群延迟和延迟色散 246 N1a]y/
11.7 色度色散 246 f#0HiE! 11.8 色散补偿 249 Ghgn<YG 11.9 空间光线偏移 256 T/_u;My; 11.10 参考文献 258 wa"0`a:`; 12 公差与误差 260 'D+xs}\ 12.1 蒙特卡罗模型 260 ye^x>a[' 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 |U%NPw5 12.2.1 误差工具 267 T$5wH )< 12.2.2 灵敏度工具 271 oY)eN?c 12.2.2.1 独立灵敏度 271 cx\E40WD 12.2.2.2 灵敏度分布 275 /)ZjI
W"| 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 KD kGQh#9 12.3 参考文献 276 b`jR("U 13 Runsheet 与Simulator 277 Ew/MSl6} 13.1 原理介绍 277 .z>/A/&+ 13.2 截止滤光片设计 277 n-Iz!;q 14 光学常数提取 289 6g|,]{ 14.1 介绍 289 @t%da^-HS" 14.2 电介质薄膜 289 >C0B!MT?3% 14.3 n 和k 的提取工具 295 'Z{`P0/^o` 14.4 基底的参数提取 302 M| (VM=~ 14.5 金属的参数提取 306 dn(!wC] 14.6 不正确的模型 306 ^?cu9S3 14.7 参考文献 311 kTL{Q0q 15 反演工程 313 :zHSy&i` 15.1 随机性和系统性 313 _Xf1FzF+a 15.2 常见的系统性问题 314 `<YMkp[ 15.3 单层膜 314 [vi
=^ 15.4 多层膜 314 @]Jq28 15.5 含义 319 ef)RlzLOq 15.6 反演工程实例 319 LJeq{Z 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ,U{dqw8E{ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ;jzJ6~< 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 iC#a+G*N_M 16.1 光学性质的热致偏移 329 La ?A@SD 16.2 应力工具 335 q[U pP`Z% 16.3 均匀性误差 339 )I%M]K]F 16.3.1 圆锥工具 339 sp\6-*F 16.3.2 波前问题 341 (JbRhcg 16.4 参考文献 343 ,RPb<3
B 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Fp.eucRxP 17.1 引言 345 EXSH{P O+ 17.2 操作数 345 &lzY"Y*hA0 18 如何在Function中编写脚本 351 GgpE"M? 18.1 简介 351 D$FTnY 18.2 什么是脚本? 351
,$6si 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 qz`-?,pF 18.4 基础 352 ToHx!,tDS 18.4.1 Classes(类别) 352 ozOc6 18.4.2 对象 352 W? G4>zA 18.4.3 信息(Messages) 352 WL+EpNKSf 18.4.4 属性 352 dpW`e>o 18.4.5 方法 353
^tTM
7 18.4.6 变量声明 353 _{o 3 y"DZ 18.5 创建对象 354 (Aw@}! 18.5.1 创建对象函数 355 0*MUe1{ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 8$uq60JK 18.5.3 丢弃对象 356 3Dr\ O_`u 18.5.4 总结 356 #'/rFT4{v 18.6 脚本中的表格 357 zw3I(_d[ 18.6.1 方法1 357 %p\~ 18.6.2 方法2 357 ub?dfS9$_ 18.7 2D Plots in Scripts 358 Bl>m`/\1i 18.8 3D Plots in Scripts 359 \(??Ytc<B 18.9 注释 360 YMo8C( 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 %R5- 6 18.11 一个更高级的脚本 362 T$kuv`? 18.12 <esc>键 364 TFHYB9vV 18.13 包含文件 365 U%Fa.bL~ 18.14 脚本被优化调用 366 x}ZXeqt{{ 18.15 脚本中的对话框 368 D&fOZVuqZ 18.15.1 介绍 368 H7uh"/A 18.15.2 消息框-MsgBox 368 @Mya|zb 18.15.3 输入框函数 370 +wj}x?ZeV 18.15.4 自定义对话框 371 'z91aNG] 18.15.5 对话框编辑器 371 O}C*weU 18.15.6 控制对话框 377 ;-JF1p 7; 18.15.7 更高级的对话框 380 =o~mZ/ 7=M 18.16 Types语句 384 TTO8tT3[6} 18.17 打开文件 385 -medD G 18.18 Bags 387 /\,3AInLb 18.13 进一步研究 388 :H>I`)bw 19 vStack 389 C#[P<= v 19.1 vStack基本原理 389 ea{zL 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 PC5$TJnj3 19.3 五棱镜 393 =Fe4-B?I 19.4 光束距离 396 iklZ[G%A0 19.5 误差 399 ~;b}_?%o 19.6 二向分色棱镜 399 /pRv
i>_(: 19.7 偏振泄漏 404 #+<YFm\i 19.8 波前误差—相位 405 [$} \Gv 19.9 其它计算参数 405 TQ![ 20 报表生成器 406 "Pc}-& 20.1 入门 406 0[H/>%3O 20.2 指令(Instructions) 406 5ms]Wbh) 20.3 页面布局指令 406 F(j;|okf; 20.4 常见的参数图和三维图 407 9y[U\[H 20.5 表格中的常见参数 408 y.(< 20.6 迭代指令 408 P\@kqf~pC 20.7 报表模版 408 zv"NbN 20.8 开始设计一个报表模版 409 Y{~`g(~9_A 21 一个新的project 413 X6}W] 21.1 创建一个新Job 414 aQHR=.S]X 21.2 默认设计 415 k v_t6 (qd 21.3 薄膜设计 416 h143HXBi1+ 21.4 误差的灵敏度计算 420 N*[b26 21.5 显色指数计算 422 x;SY80D 21.6 电场分布 424 ml2/}} 后记 426 leF!Uog
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