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>_LDMs[-p 内容简介 7!N2-6GV Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ~b2wBs)r 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 s
S7c! 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 c[ ]4n -bU oCF0 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 )[|3ZP` 目录 xagBORg+Bd Preface 1 @#-q^}3 内容简介 2 XSZ k%_ 目录 i bv*,#Qm 1 引言 1 5hy""i 2 光学薄膜基础 2 Y(cGk#0 2.1 一般规则 2
D N*t~Z3[ 2.2 正交入射规则 3 TG5XSy 2.3 斜入射规则 6 [2{1b`e 2.4 精确计算 7 +o51x'Ld* 2.5 相干性 8 L;f!.FX# 2.6 参考文献 10 J>bJ
449B 3 Essential Macleod的快速预览 10 d8x \ 4 Essential Macleod的特点 32 EB8\_]6XJ 4.1 容量和局限性 33 |a!fhl+ 4.2 程序在哪里? 33 Zc`BiLzrIG 4.3 数据文件 35 X<%Q"2hW 4.4 设计规则 35 .8G@%p{, 4.5 材料数据库和资料库 37 {b
4.5.1材料损失 38 UQI]>#_/v 4.5.1材料数据库和导入材料 39 bG(3^"dS 4.5.2 材料库 41 ?28N ^ 4.5.3导出材料数据 43 %&Q$dzgb_ 4.6 常用单位 43 K]9"_UnN 4.7 插值和外推法 46 |Xk4&sDrK 4.8 材料数据的平滑 50 w2'f/ 4.9 更多光学常数模型 54 GJqJlgHe 4.10 文档的一般编辑规则 55 jWE:ek* 4.11 撤销和重做 56 xsMBC
4.12 设计文档 57 c. 2).Jt, 4.10.1 公式 58 TBT:/Vfun 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 9
o&`5 4.10.3 沉积密度 59 9c6gkt9eB 4.10.4 平行和楔形介质 60 *N<&GH(j 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 la+[bm<v 4.10.4 性能 61 ]3l 9:| 4.10.5 保存设计和性能 64 >\Ww;1yV 4.10.6 默认设计 64 ikSt"}/hd 4.11 图表 64 ]@Uq=?% 4.11.1 合并曲线图 67 A'&K/) Z 4.11.2 自适应绘制 68 HEM9E&rL 4.11.3 动态绘图 68 aiu5}%U 4.11.4 3D绘图 69 E`uY1B[c 4.12 导入和导出 73 hK,Sf ;5V 4.12.1 剪贴板 73 _c_[C*T] 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 pxh"B\"4* 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Ls] g 4.13 背景 77 cbT7CG 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 20nP/e 4.15 生成Rugate 84 <t
\H^H! 4.16 参考文献 91 (j3xAA 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,^ . 88< 5.1 Jobs 92 ZGKu>yM 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Us0EG\Y 5.3 输入材料 94 /Id%_,}Kb 5.4 设计数据文件夹 95 OD6\Mr2= 5.5 默认设计 95 lUvpszH= 6 细化和合成 97 U5.LDv; 6.1 优化介绍 97 6U R2IxbE 6.2 细化 (Refinement) 98 n+A?"`6*# 6.3 合成 (Synthesis) 100 ?1K#dC52# 6.4 目标和评价函数 101 Nbi.\ 6.4.1 目标输入 102 u /\EtSH 6.4.2 目标 103 EH!
q=&d 6.4.3 特殊的评价函数 104 .jk@IL 6.5 层锁定和连接 104 X6@WwM~qz 6.6 细化技术 104 j+uLV{~g6 6.6.1 单纯形 105 [J4gH^Z_
6.6.1.1 单纯形参数 106 UZJCvfi 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 &N\jG373 6.6.2.1 Optimac参数 108 ~ijVmWNk 6.6.3 模拟退火算法 109 Xy$3VU* 6.6.3.1 模拟退火参数 109 li}1S 6.6.4 共轭梯度 111 [k;\S XDZo 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 +
|#O@k 6.6.5 拟牛顿法 112 9vGu0Um 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 Ne[7gxpu 6.6.6 针合成 113
G(G{RAk> 6.6.6.1 针合成参数 114 3 +G$-ru 6.6.7 差分进化 114 'z%o16F)L 6.6.8非局部细化 115 1]@}|
6.6.8.1非局部细化参数 115 )W;o<:x3 6.7 我应该使用哪种技术? 116 V4'YWdTi 6.7.1 细化 116 @W[f1 6.7.2 合成 117 Hn%xDJ' 6.8 参考文献 117 _0]S69lp 7 导纳图及其他工具 118 Y6zbo 7.1 简介 118 {pnS Q 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ~nh:s|l6%M 7.2.1 四分之一波长规则 119 ;kS&A( 7.2.2 导纳图 120 '+?"iVVo 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 pu
7{a 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 3W3ZjdV+ 7.5 斜入射导纳图 141 hPUYyjXPB 7.6 对称周期 141 CzRc%%BA 7.7 参考文献 142 ~,oMz<iMV 8 典型的镀膜实例 143 =E.t`x= 8.1 单层抗反射薄膜 145 |yQZt/*SOZ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 FrL]^59a 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Z\ja 8.4 W-膜层 148 B"TAjB&
* 8.5 V-膜层 149 UQC=g 8.6 V-膜层高折射基底 150 #t:S.A@ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 &:dH, 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ;>?rP88t 8.9 四层抗反射薄膜 153 }%'?p<^M 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 P3)Nl^/ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 iS
WU'K 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 #><.oreXq 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 ]+XYEv 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 clL2k8VS 8.15十五层宽带抗反射膜 159 g!?:Ye`5 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Y&d00 8.17 1/4波长堆栈 162 jv%kOovj 8.18 陷波滤波器 163 V )x$|!( 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 t\{'F7 8.20 褶皱 165 ktFhc3);! 8.21 消偏振分光器1 169 \Zqng 8.22 消偏振分光器2 171 [<g?WPCcC 8.23 消偏振立体分光器 172 c#Sa]n 8.24 消偏振截止滤光片 173 ;CmS ~K: 8.25 立体偏振分束器1 174 G~2jUyv 8.26 立方偏振分束器2 177 ,9}h 8.27 相位延迟器 178 A+"ia1p,} 8.28 红外截止器 179 #\.,? A}9 8.29 21层长波带通滤波器 180 JORGj0v 8.30 49层长波带通滤波器 181 v9w'!C)b 8.31 55层短波带通滤波器 182 s:#V(<J 8.32 47 红外截止器 183
gX]-\ 8.33 宽带通滤波器 184 wsIW
|@ 8.34 诱导透射滤波器 186 aT)BR?OYSJ 8.35 诱导透射滤波器2 188 0=* 8
8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 2jg- 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 #fM#p+v 8.35 增益平坦滤波器 193 \?0&0;5 8.38 啁啾反射镜 1 196 / ';0H_ 8.39 啁啾反射镜2 198 2Ga7$q 8.40 啁啾反射镜3 199 6y+Kjd/D 8.41 带保护层的铝膜层 200 544X1Ww2 8.42 增加铝反射率膜 201 \>:CvTzF 8.43 参考文献 202 6r"eN%m 9 多层膜 204 B$ajK`x&I 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 >/kcdWl 9.2 内部透过率 204 Ljxz.2LGr 9.3 内部透射率数据 205 ~]pE'\D7Ad 9.4 实例 206 Xjo5v*P u 9.5 实例2 210 8/i!' 0r\ 9.6 圆锥和带宽计算 212 T>}5:,N~ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Szq/hv=Q 10 光学薄膜的颜色 216 5R@ 10.1 导言 216 =XucOli6 10.2 色彩 216 Q&wB$*u 10.3 主波长和纯度 220 PP;}e 10.4 色相和纯度 221 /^X/ 8 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 z=rT%lz6
10.6 色差 226 Ir`eL 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 kbTm^y" 10.8 颜色渲染指数 234 |Y$uqRdV 10.9 色差计算 235 { /K.3 10.10 参考文献 236 Qy^1*j<@& 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 UDL!43K 11.1 短脉冲 238 pk?w\A} 11.2 群速度 239 k9:{9wW 11.3 群速度色散 241 MBt9SXM 11.4 啁啾(chirped) 245 (i34sqV$m 11.5 光学薄膜—相变 245 A+::O@_s 11.6 群延迟和延迟色散 246 S{PJUAu 11.7 色度色散 246 TH; R 11.8 色散补偿 249 mef<=5t 11.9 空间光线偏移 256 C\/xl#e<@ 11.10 参考文献 258 -yE/f2PgQ 12 公差与误差 260 &Sl[lXE 12.1 蒙特卡罗模型 260 <,Ue
0 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Y
;u<GOe 12.2.1 误差工具 267 bvv|;6 12.2.2 灵敏度工具 271 .z)%)PVV 12.2.2.1 独立灵敏度 271 6l5:1|8b,! 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ,4zmb`dP< 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ;A|-n1e>Hc 12.3 参考文献 276 <KE 1f7c 13 Runsheet 与Simulator 277 SH_(rQby 13.1 原理介绍 277 ]l1\? I 13.2 截止滤光片设计 277 : >6F+XZ
14 光学常数提取 289 P;P%n 14.1 介绍 289 wF <n= 14.2 电介质薄膜 289 #JgH}|&a$ 14.3 n 和k 的提取工具 295 KNS.Nw7 14.4 基底的参数提取 302 g#F?!i-[F 14.5 金属的参数提取 306 p[hZ@f(z 14.6 不正确的模型 306 ;'5>q&[qbP 14.7 参考文献 311 ::ajlRZG 15 反演工程 313 ue4Vcf 15.1 随机性和系统性 313 ZAv,*5&< 15.2 常见的系统性问题 314 O\E /. B 15.3 单层膜 314 iz8Bf; 15.4 多层膜 314 *pAV2V(!23 15.5 含义 319 #0ETY\}ZD 15.6 反演工程实例 319 ]8Q4BW 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 |$Xl/)Oq 15.6.2 反演工程提取折射率 327 wF|fK4F 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 txiP!+3OWB 16.1 光学性质的热致偏移 329 j Dy-)2< 16.2 应力工具 335 O-LO/*5MI 16.3 均匀性误差 339 ^Wc@oa` 16.3.1 圆锥工具 339 -u2P ?~ 16.3.2 波前问题 341 5Yl<h)1 16.4 参考文献 343 k`0>36 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 EQf[, 17.1 引言 345 ppZDGpp 17.2 操作数 345 G'6@+$ppS 18 如何在Function中编写脚本 351 POvP]G9'" 18.1 简介 351 RLbKD> 18.2 什么是脚本? 351 ?YZ- P{rTS 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 `Jzp Sw 18.4 基础 352 lTd #bN 18.4.1 Classes(类别) 352 &Q>k7L! 18.4.2 对象 352
c|M6<} 18.4.3 信息(Messages) 352 Z?%zgqTXb 18.4.4 属性 352 D@Vt^_ 18.4.5 方法 353 a#>Yh;FA 18.4.6 变量声明 353 ~ ip,Nl 18.5 创建对象 354 fjU8gV 18.5.1 创建对象函数 355 \De{9v 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 nq6@6GRG 18.5.3 丢弃对象 356 9\/xOwR 18.5.4 总结 356 b]x4o#t 18.6 脚本中的表格 357 pgOQIzu 18.6.1 方法1 357 $e*ce94 18.6.2 方法2 357 l y(>8F 18.7 2D Plots in Scripts 358 R~)\3] "2m 18.8 3D Plots in Scripts 359 .u4
W / 18.9 注释 360 f ` R/
i 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 7cTV?nc 18.11 一个更高级的脚本 362 Jh
]i]7r 18.12 <esc>键 364 G5CI<KRK# 18.13 包含文件 365 [/Rf\T(,jn 18.14 脚本被优化调用 366 BZR:OtR^ 18.15 脚本中的对话框 368 fZ*+2T> 18.15.1 介绍 368 |h;0H` 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ~g5[$r-u-u 18.15.3 输入框函数 370 ^~3SSLS4" 18.15.4 自定义对话框 371 K2J\awX 18.15.5 对话框编辑器 371 *T5!{ 18.15.6 控制对话框 377 mT.u0KUIy 18.15.7 更高级的对话框 380 jV4\A
18.16 Types语句 384 \'|>p/5I 18.17 打开文件 385 JwAYG5W 18.18 Bags 387 ie2WL\tR4 18.13 进一步研究 388 y#q?A,C@n 19 vStack 389 paKSr|O 19.1 vStack基本原理 389 P@9t;dZN 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 X4 A<[&F/ 19.3 五棱镜 393 ,M^ P! 19.4 光束距离 396 ZuS0DPS`L 19.5 误差 399 PX<J&rx 19.6 二向分色棱镜 399 ~])t 6i 19.7 偏振泄漏 404 p$PKa.Y3 19.8 波前误差—相位 405 %?p1d! 19.9 其它计算参数 405 yuat" Pg 20 报表生成器 406 J2'Nd' 20.1 入门 406 |Z=^`J 20.2 指令(Instructions) 406 [%77bv85.G 20.3 页面布局指令 406 \lZf< |