[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 O])vR<[  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 3)VO{Cj!  
x}a
?
B  
1）标量衍射理论设计 ]rGd!"q  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 i-0 :Fs  
Q%aF~  
         A
&1EOQ=N  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） EO+Ix7w  
                           FiQ&g*=|  
6'
*6tS  
（b）达曼光栅衍射效率 f
AStM:  
a'`i#U  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 60~*$`  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 umPnw  
^'Lp<YJs6  
                               %tkqWK:  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） #p=+RTZ<  
TCzz]?G]la  
L`M{bRl+1  
（b）达曼光栅衍射效率 iU.` TqR7  
u^C\aujg  
3）rsoft仿真 t#M[w|5?  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） OtL~NTY  
LL:N/1ysG  
                 1;./e&%%  
（a）标量衍射结果结构图     t`&mszd~T  
)+G0m,n  
uF%N`e^S  
（b）衍射效率             aU +uPP  
49/2E@G4.  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 e+Mm!\;`  
)e[q%%ks  
                       .nr%c*JUp  
（a）矢量衍射结果结构图   9&
kY>M>z0  
k!qOE\%B  
                               =S^vIo)  
（b）衍射效率     p^{yA"MQ  
x6T$HN/2  
2、偶数型达曼光栅设计 ViOXmK"  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 N+R{&v7=F%  
                     /jaO\
t'q  
（a）结构图 `h'Ab63  
/ORK9g  

][z!};  
（b）衍射效率                                                                     V!e`P  
ctb , w  
                                   $ ga,$G  
（a）结构图 >SZuN"r8`  
1:h(8%H@"  
       Nde1`W]:  
（b）衍射效率