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    [原创]达曼光栅设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-03
    1、奇数型达曼光栅设计 ,P$Crs[  
    以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 9$e6?<`(Y  
    1JO@G3,  
    1)标量衍射理论设计 - u'5xn7  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 OQa;EBO  
    e?eX9yA7F  
             .GNl31f0  
      (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) GXx/pBdy[4  
                               lO5*n|Ic,  
    %eLf6|1x  
    (b)达曼光栅衍射效率 e6igx  
    g)#.|d+  
    2)矢量衍射理论RCWA算法设计 8i'EO6  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 YztW1GvI  
    PR*qyELu  
                                   ;mLbgiqQ J  
    (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) ZsepTtY  
    ck\gazo~q  
    R.B3  
    (b)达曼光栅衍射效率 Jb"0P`senY  
    Hy0l"CA*|  
    3)rsoft仿真 >KMTxHE`+  
    标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) agMI$  
    %)@3V8OI  
                     0xe*\CAo  
    (a)标量衍射结果结构图     >ISN2Kn   
    ^Q""N<  
    b_xGCBC  
    (b)衍射效率             {[Vkht}  
    mYiIwm1cb(  
    rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。  MuCnBx  
    _4h[q4Z  
                           E]IPag8C  
    (a)矢量衍射结果结构图   YsXf+_._  
    p:9^46N @  
                                   (&t8.7O  
    (b)衍射效率     biw2 f~V  
    v$i[dZSN[  
    2、偶数型达曼光栅设计 5fVm392+  
    偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 "=ogO/_Q"  
                         q&N1| f7  
    (a)结构图 " .:b43Z  
    tyyfMA?'L;  
    CEr*VsvjsU  
    (b)衍射效率                                                                     Q( \2(x\  
    &H<n76G  
                                       ~*,e&I  
    (a)结构图 ss>p  
    K{#1O=Gi  
           #:6gFfk0<  
    (b)衍射效率    
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