[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 wb~@7,D  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 MX+Z ?  
S]E.KLR?[;  
1）标量衍射理论设计 Uk\Id~xLV  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 H'HSD,>(  
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         ^%`wJ.c  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） VcoOeAKL  
                           ;V<fB/S.=+  
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（b）达曼光栅衍射效率 D.mHIsX6\  
 wd)jl%  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 <vwkjCA`  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 o;?/HE%,[  
-+O 9<3ly  
                               !fj(tPq  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 8.[SU  
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4bA  
（b）达曼光栅衍射效率 #UbF9})q  
q&d~ \{J  
3）rsoft仿真 ?Ae ven  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） HbW0wuI  
AFAAuFE"  
                 yiO.z  
（a）标量衍射结果结构图     a1@Y3MQ;i  
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（b）衍射效率             YY!Rz[/  
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 s-v  
8]LD]h)B"  
                       ^#sU*trr  
（a）矢量衍射结果结构图   8w.YYo8`  
C9t4#"  
                               [Vma^B$7Vj  
（b）衍射效率     KY~-;0x  
k5T,990  
2、偶数型达曼光栅设计 MNV% =G  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 0L/n?bf  
                     $ , u+4h  
（a）结构图 ynrT a..  
->V<DZK  
1@-Ns  
（b）衍射效率                                                                     ctGL-kp  
@/31IOIV]`  
                                   o !U 6?  
（a）结构图 y_?Me]  
(UxW;  
       >m$ 1+30X  
（b）衍射效率