1、奇数型达曼
光栅设计
Q ` z2SYz> 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
5O:4-} hz OA&r8WK3 1）标量衍射理论设计
'$q3 Ze 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
`/o| 1vv@_ #[sJKW 
F2dwT （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
t7,** $ST fY 1 0a_@x 
.!_^< c6 （b）达曼光栅衍射效率
/7K7o8g N'I9J?e Q 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
*I` Eb7
^ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
gyOAvx Q@cYHFi~+ 
!1`f84d （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
6Bn}W ? zz- X5PFn 
) { 4$oXQ （b）达曼光栅衍射效率
r
['zp=9 UW-`k1 3）rsoft仿真
\1#~]1~
s 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
H=*2A!O[_ Gc<^ b 
b:x*Hjf （a）标量衍射结果结构图
_`xhP-,`S t[\6/`YH 
h `Xl~= （b）衍射效率
, 4@C % >,n K rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
6 8nPz".X Xknbc A| 
%Tz dpQp" （a）矢量衍射结果结构图
"_ON0._(/ bl4I4 RB 
(YHK,aC>u （b）衍射效率
@EUvx &[ $t% :` 2、偶数型达曼光栅设计
|6~ Kin 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
CA ,2&v" 
~oeX0l>F （a）结构图
c1g'l.XL
3 p?x]|`M 
/rv=ml pRL （b）衍射效率
s h}eKwh aY\(R02B 
X9#i!_* （a）结构图
S, RC;D 7 -nnA e
F 
M[^EHa<i （b）衍射效率
