1、奇数型达曼光栅设计 ,P$Crs[
以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 9$e6?<`(Y
1J O@G3,
1)标量衍射理论设计 -
u'5xn7
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 OQa;EBO
e?eX9yA7F
.GNl31f0
(a)达曼光栅结构(坐标已归一化) GXx/pBdy[4
lO5*n|Ic,
%eLf6|1x
(b)达曼光栅衍射效率 e6igx
g)#.|d+
2)矢量衍射理论RCWA算法设计 8i'EO6
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 YztW1GvI
PR*qyELu
;mLbgiqQ J
(a)达曼光栅结构(坐标已归一化) ZsepTtY
ck\gazo~q
R.B3
(b)达曼光栅衍射效率 Jb"0P`senY
Hy0l"CA*|
3)rsoft仿真 >KMTxHE`+
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) a gM I$
%)@3V8 OI
0xe*\CAo
(a)标量衍射结果结构图 >ISN2Kn
^Q""N<
b_xGCBC
(b)衍射效率 {[Vkht}
mYiIwm1cb(
rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 MuCnBx
_4h[q4Z
E]IPag8C
(a)矢量衍射结果结构图 YsXf+_._
p:9^46N@
(&t8.7O
(b)衍射效率 biw2f~V
v$i[dZSN[
2、偶数型达曼光栅设计 5fVm392+
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 "=ogO/_Q"
q&N1| f7
(a)结构图 " .:b43Z
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CEr*VsvjsU
(b)衍射效率 Q( \2(x\
&H<n76G
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(a)结构图 ss>p
K{#1O=Gi
#:6gFfk0<
(b)衍射效率