[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 ~C?)- ]bF  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 }5B\:*yW  
O}6*9X
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1）标量衍射理论设计 "!D,9AkZS  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 "VMb1Zhf  
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  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） LftGA7uGJ)  
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（b）达曼光栅衍射效率 ;g<y{o"Q3p  
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2）矢量衍射理论RCWA算法设计 >V>GiSni  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 b
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                               [Z!oVSCZD%  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 4-C'2?  
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（b）达曼光栅衍射效率 2>Qy*  
Z07n>|WF-  
3）rsoft仿真 q$}gQ9'z'  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） Lu4>C2{  
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（a）标量衍射结果结构图     ]qEg5:yY  
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L.  
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（b）衍射效率             J!@R0
U.  
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rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
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（a）矢量衍射结果结构图   SPtx_+ Q)S  

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（b）衍射效率     _93:_L  
7{NH;U t  
2、偶数型达曼光栅设计 +IlQZwm~  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 Na+h+wD.D  
                     dl3}\o_
 
（a）结构图 8<=sU
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（b）衍射效率                                                                     r,P`$-  
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（a）结构图 gE8>o:6)6:  
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（b）衍射效率