1、奇数型达曼
光栅设计
wx?{ | 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
} C2i#; b @_weMz8} 1）标量衍射理论设计
,LW%'tQ~" 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
K Lv 3YNkT"~T 
KzH}5:qI （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
T`2fPxM:cZ k:uuJ| 
ez<wEt S （b）达曼光栅衍射效率
aPP<W|Cmo2 ~uD;_Y=u)r 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
Q )|LiCR, 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
keq[ 6Lv N55=&-p 
e hB1`%@ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
:DF4g= u5)A+.v 
#$z -]i （b）达曼光栅衍射效率
!J Q~r@j TD= /C| 3）rsoft仿真
.g`*cDW^= 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
YQ`#C #Wb n^(yW 
_q 9lr8hx （a）标量衍射结果结构图
)p_LkX( )A+j 
S2GBX1 （b）衍射效率
7G= P|T\ }Knq9cf rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
*UxB`iA GB0b|9(6D" 
<"Cwy0V kp （a）矢量衍射结果结构图
3jdB8a]T_ ? Gf A;O 
{%k;V ~ （b）衍射效率
&,kB7 r" xla^A}{ 2、偶数型达曼光栅设计
!?M_%fNE 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
O]LuL&=s y 
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R （a）结构图
uU !i`8 2o5< nGn 
a7d- （b）衍射效率
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dw }3B8] （a）结构图
snNg:rT L %((3'le 
%~VIxY |d （b）衍射效率
