[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 'f$?/5@@  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 o<eWg  
PPIG?fK)  
1）标量衍射理论设计 -`ys pE0?  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 FKvO
7? K  
#,|_d>p:  

图片:2.jpg

         3YZ3fhpw  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） D%";!7u  
                           P\G C8KV]  

图片:23.jpg

J*W;{Vty  
（b）达曼光栅衍射效率 <:_]Yl  
]jT[dX|?  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 2L{:H  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 bNPjefBF  
4OESsN$O  

图片:untitled.jpg

                               ;*$8iwBQ_  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ?28G6T]/?d  
Z_ FL=S\  

图片:untitled2.jpg

OM&\M
o  
（b）达曼光栅衍射效率 e]y=]}A3{  
j]]ziz,E  
3）rsoft仿真 '| Q*~Lh  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） `^4>^  
C&#KdvN/r  

图片:捕获77.JPG

                 k-Hfip[ro  
（a）标量衍射结果结构图     OuJy$e  
:!it7vZ  

图片:捕88获.JPG

i?s&\3--Y  
（b）衍射效率             -<HvhW  
5]O LV1Xt  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 l`w|o  
JqV<A3i  

图片:1获.JPG

                       Fn0LE~O}-8  
（a）矢量衍射结果结构图   o\V4qekk  
a(t<eN>b!  

图片:捕获.JPG

                               wQ/@+
$>  
（b）衍射效率     d'@H@  
|$*9j""u  
2、偶数型达曼光栅设计 p]IhQnj2  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 K&~#@I;  

图片:捕获55.JPG

                     \?]HqPibx  
（a）结构图 Q9'V&jm  
4O,a`:d1$6  

图片:捕获66.JPG

#mFAl|O  
（b）衍射效率                                                                     T!eh?^E  
0$dNrq  

图片:捕获55.JPG

                                   P`Wf'C^h  
（a）结构图 L\'qAfRZ  
-<^Q2]PE;  

图片:捕获66.JPG

        C(Gb  
（b）衍射效率