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    [原创]达曼光栅设计 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-12-03
    1、奇数型达曼光栅设计 wb~@7,D  
    以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 MX+ Z ?  
    S]E.KLR?[;  
    1)标量衍射理论设计 Uk\Id ~xLV  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 H'HSD,>(  
    >|;aIa@9  
             ^%` wJ.c  
      (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) VcoOeAKL  
                               ;V<fB/S.=+  
    'MY/*k7:  
    (b)达曼光栅衍射效率 D.mHIsX6\  
     wd)jl%  
    2)矢量衍射理论RCWA算法设计 <vwkjCA`  
    运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 o;?/HE%,[  
    -+O 9<3ly  
                                   !fj(tPq  
    (a)达曼光栅结构(坐标已归一化) 8.[SU  
    rylzcN9RM$  
    5# K4bA  
    (b)达曼光栅衍射效率 #UbF9})q  
    q&d~ \{J  
    3)rsoft仿真 ?Ae ve n  
    标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) HbW0wuI  
    AFAAuFE"  
                     yiO. z  
    (a)标量衍射结果结构图     a1@Y3M Q;i  
    [p<w._b i  
    :>=\.\  
    (b)衍射效率             YY!Rz[/  
    f;b[w   
    rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 s-v  
    8]LD]h)B"  
                           ^#sU*trr  
    (a)矢量衍射结果结构图   8w.YYo8`  
    C 9t4#"  
                                   [Vma^B$7Vj  
    (b)衍射效率     KY~- ;0x  
    k5T,990  
    2、偶数型达曼光栅设计 MNV % =G  
    偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 0L/n?bf  
                         $ , u+4h  
    (a)结构图 ynrT a..  
    ->V<DZK  
    1@-Ns  
    (b)衍射效率                                                                     ctGL-kp  
    @/31IOIV]`  
                                       o !U 6?  
    (a)结构图 y_?Me]  
    ( U xW;  
           >m$ 1+30X  
    (b)衍射效率    
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