[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计
}H^#}  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 S%Ja:0=}?  
y@hdN=-  
1）标量衍射理论设计 r$0=b -  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 }KZ/>Z;^  
%zX'u.}8#  

图片:2.jpg

         $H5PB' b  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） sW=@G'}3  
                           R HF;AX n  

图片:23.jpg

v~@Y_`l  
（b）达曼光栅衍射效率 b^A&K@[W#,  
iY(hGlV  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Y*"%;e$tg  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 +mxsjcq0  
-=g`7^qa>  

图片:untitled.jpg

                               8V4Qyi|@F  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ;tKL/eI  
c#G(7.0MU  

图片:untitled2.jpg

TF3Tha]  
（b）达曼光栅衍射效率 s]B^Sz=  
2$3BluK  
3）rsoft仿真 e348^S&rG  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） [ BN2c  
m]u#Dm7h  

图片:捕获77.JPG

                 `SIJszqc  
（a）标量衍射结果结构图     <[pU rJfTr  
` D4J9;|;]  

图片:捕88获.JPG

XK&#K? M  
（b）衍射效率             *nC<1.JW  
O|gb{  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 h]'fX  
] c'owj  

图片:1获.JPG

                       k$+&  
（a）矢量衍射结果结构图   <F!:dyl  
2y<d@z:K  

图片:捕获.JPG

                               ,e>ugI_;*  
（b）衍射效率     $G=\i>R.  
s:fnOMv "  
2、偶数型达曼光栅设计 FyY;F;4P  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 $9b||L  

图片:捕获55.JPG

                     i.fDH57  
（a）结构图 q].C>R*ux8  
QZwRg&d<o  

图片:捕获66.JPG

2QBtwlQ?[  
（b）衍射效率                                                                     Gn_v}31d%  
ltD:w{PO]  

图片:捕获55.JPG

                                   m7!l3W2  
（a）结构图 s"Kp+tTWj  
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a~_k  

图片:捕获66.JPG

       o/&:w z  
（b）衍射效率