1、奇数型达曼光栅设计 V<#E!MG
以1*5分束比达曼光栅设计为例,分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计,并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 t;Rdrk
+dkbt%7M
1)标量衍射理论设计 Dm3/i|Y
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.3%,结构图和衍射图如下所示。 is3nLm(
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(a)达曼光栅结构(坐标已归一化) t*fG;YOg
rQncW~
$jd>=TU|
(b)达曼光栅衍射效率 NMSpi[dr
Z UvA`
2)矢量衍射理论RCWA算法设计 A/ eZ!"Y
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化,得到衍射效率为78%,非均匀度为0.9%,结构图和衍射图如下所示。 iw,F)O
I82?sQ7
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(a)达曼光栅结构(坐标已归一化) kXj%thDx
%^L:K5V
8Ee bWs*1
(b)达曼光栅衍射效率 0I.9m[<Fc
a{lDHk`Wf
3)rsoft仿真 ,RkL|'1l
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。(分束比越高差异越大) b}G4eXkuj
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x 5u.D^
(a)标量衍射结果结构图 <JA`e+Bi
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vDl=.
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(b)衍射效率 728}K^7:
u}QB-oU
rsoft应用RCWA算法进行仿真,与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致,与virtuallab仿真结果一致。 #\+TKK
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(a)矢量衍射结果结构图 K>k MKd1
xM1>kbo|
HQ%-e5Q
(b)衍射效率 Yx_[vLm
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2、偶数型达曼光栅设计 DPfP)J:~
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同,但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅,用标量衍射设计,结果并不是很完美。 J&{qe@^
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(a)结构图 b$sw`Rsw
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(b)衍射效率 ]P TTI\n
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(a)结构图 v>3)^l:=Y*
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(b)衍射效率