[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 u=t.1eS5  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 &yG5w4<  
XIn,nCY;  
1）标量衍射理论设计 oL@K{dk  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 i!)\m0Wm  
\3`r/,wY  
         V.Tn1i-v  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） iFnD`l6)  
                           hkMVA  
<QD[hO^/  
（b）达曼光栅衍射效率 :l&Yq!5  
Q89fXi0Ivb  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 J4u>
77I  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 \rd%$hci  
VS>xvF  
                               8Qhj_  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） rn/~W[  
l=ZD&uK  
|}b~YHTs  
（b）达曼光栅衍射效率 %j.n^7i]^:  
T^vhhfCUr  
3）rsoft仿真 :IucH%6V  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） sou~m,#  
ERia5HnoD,  
                 cQ |Q-S  
（a）标量衍射结果结构图      1D_&n@  
Cz &3=),G  
E^A S65%bL  
（b）衍射效率             +lb&_eD  
B
<i(Y1n[  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 .N( X.C  
a~ dgf:e`  
                       L9-Jwy2(>  
（a）矢量衍射结果结构图   Ft?eqDS1  
c0Pj})-  
                               f;AI4:#I  
（b）衍射效率     ]|tR8`DGZ%  
U$Z<lx2P  
2、偶数型达曼光栅设计 u /
]P  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ` FOCX
;  
                     |1zfXG,R  
（a）结构图 *<X1M~p$  
)K$YL='kX  
zc$}4o  
（b）衍射效率                                                                     L^*f$Balz  
U8J9 #+:  
                                   v>j,8E  
（a）结构图 D,Gv nfY  
&>]U c%JK  
       7F2 RH 8)  
（b）衍射效率