1、奇数型达曼
光栅设计
z1-JoZ 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
V Z#@7t e^N6h3WF 1）标量衍射理论设计
*J ]2"~_. 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
jkzC^aG 8PR1RC J 
F%Xj' = （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
R\^n2gK 8&g`Uy/b 
\Ax[/J2aO （b）达曼光栅衍射效率
}m`+E+T4 WOv m%sX 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
B
66-l!xa 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
d x/NY1 Y(qyuS3h~* 
% yVboA1 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
u?ALZxj? 5Tl3k=o} 
L .cGt"{ （b）达曼光栅衍射效率
>ZE8EL "JH
/ ODm 3）rsoft仿真
zKnHo:SV 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
>+9f{FP
9 dbmt y|d 
m(B,a,g< （a）标量衍射结果结构图
w9Eb\An 4v=NmO } 
K&\3j-8^ （b）衍射效率
=;) M+" 6r|Bi HP rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
Y $@?Y/rhR <9BM% 
g [#4`Q<. （a）矢量衍射结果结构图
RPXkf71iM
x ]6 wiV 
@Cx XkR （b）衍射效率
=:4vRq
[ #dd-rooQuD 2、偶数型达曼光栅设计
ZRK1 UpP 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
KMhEU** 
cAL*Md8+ （a）结构图
y [pU8QSt A.5N<$l 
_olhCLIR- （b）衍射效率
Ot^<:\< `G >h[ { _+ 
0c pI2 （a）结构图
m^9[k,;K "G(^v?x:P 
';CL;A ; （b）衍射效率
