1、奇数型达曼
光栅设计
?-,v0# 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
>Au ]S ` % Ke:%##Y 1）标量衍射理论设计
@WX]K0 $; 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
X6mY#T'fQ l1~>{:mq 
b|T }mn （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
eR(PY{ Q)}sX6TB 
4 uv'l3 （b）达曼光栅衍射效率
(=${@=!z im^G{ 3z 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
tr2@{xb 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
#F5O>9hA uXuMt
a* Y 
@3bQ2jn （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
M:OY8=V [{_JO+)+n 
[3s,U4a （b）达曼光栅衍射效率
M:c^ [9)y YJ]]6 K+ 3）rsoft仿真
@b2{'#9]} 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
8#S|j BV tFvt i5 
TL+a_]3@ （a）标量衍射结果结构图
__ ""!Yz n{pS+u z 
2RKI M(~ （b）衍射效率
`gy]|gS#b MJ >9[h s rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
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z ,,oiL 
F#@Mf?#2
（a）矢量衍射结果结构图
3|%Q {U E9 {Gaa/{ 
.eW}@1+[; （b）衍射效率
: L ` qgw:Q 2、偶数型达曼光栅设计
)cB00* / 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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H$Fz{[[u （a）结构图
aYe,5dK> 0X# tt`;
zt!mx{l' （b）衍射效率
E0}`+x fk`y}#7M 
b&p*IyJR （a）结构图
R{kZKD= c+#GX)zh\G 
[g/Hf(& （b）衍射效率
