[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 1G_xP^
H!  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 "DzGBu\  
DoTs9w|5  
1）标量衍射理论设计 PoY>5  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 "9u-lcQ\  
,@,LD  u  
         z.A4x#>-  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） =
jBL'|k5  
                           A<;0L . J  
mC"7)&,F  
（b）达曼光栅衍射效率 <M`-`v6H  
n\ Gg6Y  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 XNK 43fkB.  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 U!_sh<  
$;ch82UiX  
                               *\C}Ok=  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） yvS^2+jW  
H7J`]nr6  
% M+s{ l  
（b）达曼光栅衍射效率 e8 v; D  
r8<JX5zyuo  
3）rsoft仿真 6WCmp,*  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） v7g
[Lk  
=sL(^UISl  
                 \S'cWB  
（a）标量衍射结果结构图     @],Z 2  
 s"#CkG  
?#U0eb5u  
（b）衍射效率             8R BDJ  
^CO#QnB @  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 E#8J+7  
rkbl/py  
                       -Zttj/K  
（a）矢量衍射结果结构图   A"`L~|&  
O5c_\yv=  
                               6_pDe  
（b）衍射效率     3s#|Y,{?6R  
![qRoYpbg8  
2、偶数型达曼光栅设计 K@y-)I2]  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 (tgEa{rPAP  
                     sn2r>m3  
（a）结构图 (di
)`D5Q  
(}VuiNY<3  
D[+|^,^>  
（b）衍射效率                                                                     [))gn  
p, !
1 3X  
                                   ks)fQFSbu  
（a）结构图 $0ym_6n  
L;L2j&i%v)  
       4+BrTGp  
（b）衍射效率