[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 3'I^lc  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 lFG9=Wf  
RYR-K^;R  
1）标量衍射理论设计 GHc/Zc"iX  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 Kx`/\u=/  
S33j?+
Vs  

图片:2.jpg

         3{7T4p.G  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ^4Uw8-/9  
                           K?.e|  

图片:23.jpg

b~Y%gC)FR  
（b）达曼光栅衍射效率 $W8Cf[a  
|L3X_Me  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 `#s#it'y  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 I[Ic$ta  
MN8H;0g-  

图片:untitled.jpg

                               udk.zk  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ).412I  
Y}G_Z#-!  

图片:untitled2.jpg

vsyWm.E  
（b）达曼光栅衍射效率 c/3
$AUsuO  
DT(d@upH  
3）rsoft仿真 2a=sm1?  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） @E9" Zv-$  
7{kP}?  

图片:捕获77.JPG

                 j6:7AH|!)2  
（a）标量衍射结果结构图     hlJpElYf  
wFS2P+e;X  

图片:捕88获.JPG

P7 yq^|  
（b）衍射效率             $9!D\N,}]C  
cWAtju?L;  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 R=)55qu  
K7TzF&  

图片:1获.JPG

                       k%'m*Tf  
（a）矢量衍射结果结构图   k)\gWPH  
(#\pQ51  

图片:捕获.JPG

                               VU.@R,  
（b）衍射效率     Do7=#|bAM  
a|j%n  
2、偶数型达曼光栅设计 "
eA
y^,  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 P1>AOH2yG  

图片:捕获55.JPG

                     GRqT-/n"  
（a）结构图 pV[''  
Gctsp2ndW  

图片:捕获66.JPG

afEF]i  
（b）衍射效率                                                                     NaUr!s  
g(x9S'H3l  

图片:捕获55.JPG

                                   i&Fiq&V)[  
（a）结构图 U Z_'><++  
-~f511<  

图片:捕获66.JPG

       .3qu9eP  
（b）衍射效率