[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 s"N\82z)  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 3wo'jOb  
%2,/jhHL  
1）标量衍射理论设计 p$X
nOh  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 [lZ=s[n.  
CMFC"eSe  
         SNN#$8\  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） G-ZhGbAI7  
                           A`g.[7  
oo\
IS\  
（b）达曼光栅衍射效率 d#4Wj0x  
!x6IV25  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 lj Y  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ,k\/]9  
1j+eD:d'  
                               1NW>wo  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） \UhGGg%  
>ks3WMm  
i:{:xKiCa  
（b）达曼光栅衍射效率 AT-0}9z{  
DgVyy&7>  
3）rsoft仿真 /K[]B]1NE  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ss*5.(y  
Y1|^>C#
a  
                 vWuyft*  
（a）标量衍射结果结构图     JLml#Pu4  
:)j7U3u  
:ET x*c  
（b）衍射效率             ["<5
?!bU  
T:Bzz)2/  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 kF#{An)P  
";o~&8?)  
                       ":nI_~q  
（a）矢量衍射结果结构图   pTN%;`) {  
+ 2O
ZJVJ  
                               [@x  
（b）衍射效率     4_WH 6Z  
}!Xf&c{7{  
2、偶数型达曼光栅设计 Z`|>tbOfZ  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 9OH.&g  
                     Cy]"  
（a）结构图 "--/v. Cs  
e5QOB/e&  
4a#B!xW  
（b）衍射效率                                                                     C"k2<IE  
GpScc'a7  
                                   IcRM4Ib))Q  
（a）结构图 %s]U@Ku(a  
coW)_~U|  
       y
(V&z"wk[  
（b）衍射效率