[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 Dms6"x2  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 uG&xtN8  
eiI}:5~ /g  
1）标量衍射理论设计 \kZxys!4  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 [GZ%K`wx  
LHKawEZ  

图片:2.jpg

         BdB/`X*  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） $S|bD$e  
                           Uaog_@2n,  

图片:23.jpg

3J~Q pw0<  
（b）达曼光栅衍射效率 &,2XrXiFu  
IIUoB!
`  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 {LVii}<  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 g:`V:kbY$  
9a"[-B:  

图片:untitled.jpg

                               Y~hBVz2g  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） G+[hE|L~y  
K/KZ}PI-O  

图片:untitled2.jpg

<H`&Zqqk  
（b）达曼光栅衍射效率 3i=+ [  
Ly/"da  
3）rsoft仿真 XLz>h(w=  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） |7 ]v&?y  
ir-srVoXy  

图片:捕获77.JPG

                 ;'NB6[x  
（a）标量衍射结果结构图     :o?On/  
u.x>::i&  

图片:捕88获.JPG

3qE2mYK  
（b）衍射效率             ,]\L\V  
AK%`EsI^  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 (e6JI]tz{  
h7f&7v  

图片:1获.JPG

                       vdAaqM6D  
（a）矢量衍射结果结构图   9'faH  
UUc{1"z{  

图片:捕获.JPG

                               L,M=ogdb  
（b）衍射效率     pca `nN!  
Vb az#I  
2、偶数型达曼光栅设计 |jH- bm  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 BZP}0  

图片:捕获55.JPG

                     4*< x0  
（a）结构图 ET;YAa*  
O{SP4|0JV  

图片:捕获66.JPG

Pky/fF7e  
（b）衍射效率                                                                     p
;zV4uSv  
UUJbF$@;  

图片:捕获55.JPG

                                   G?)NDRM  
（a）结构图 Y|FF ;[  
5R
XZ$/  

图片:捕获66.JPG

       @(M-ZO!D  
（b）衍射效率