[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 4)-LlYS_d<  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 qp^O\>c  
wnP#.[,V  
1）标量衍射理论设计 b-@VR  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 I' ej?~  
l[l('-f  

图片:2.jpg

         9n$GeRO  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） P6zy<w  
                           D&/(Avx.  

图片:23.jpg

y1(smZU  
（b）达曼光栅衍射效率 ,+KZn}>  
;-lk#D?n9  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 L=Fm:O'#2  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 d90B15]gv  
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图片:untitled.jpg

                               ot]E\g+!  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） @U_w:Q<9u  
cV_nYcLkz  

图片:untitled2.jpg

SgHLs
  
（b）达曼光栅衍射效率 jmmm0,#D  
:kfHILi  
3）rsoft仿真 =4"D8UaHr  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） [iwn"e  
KY<>S/  

图片:捕获77.JPG

                 VJS|H!CH  
（a）标量衍射结果结构图     G)';ucs:,  
PCH&eTKN  

图片:捕88获.JPG

n|Iy  
（b）衍射效率             PGsXB"k<8  
(YF`#v6  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 #Sr_PEo _  
h!?7I=p~#  

图片:1获.JPG

                       <->Nex  
（a）矢量衍射结果结构图   k)UF.=$d  
rP>iPDf  

图片:捕获.JPG

                               1hw1AJ}(F  
（b）衍射效率     8Gzc3  
X(U CN0#  
2、偶数型达曼光栅设计 NDEltG(  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 Q<3=s6@T  

图片:捕获55.JPG

                     Jp=eh  
（a）结构图 Sg(fZ' -  
, \|S BS  

图片:捕获66.JPG

<[ />M  
（b）衍射效率                                                                     l69&-Nyg  
3zo]*6p0  

图片:捕获55.JPG

                                   U:ggZ`.  
（a）结构图 Mo\LFxx>4{  
fhw.A5Ck  

图片:捕获66.JPG

       ~CgKU8  
（b）衍射效率