[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 -y@# ^SrJ  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 1 P0)La#  
OA_WjTwDs  
1）标量衍射理论设计 [iT*L)R4  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 E46+B2_~zk  
/h.hFM/  
         n86=1G:%  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） " R=,W{=  
                           .B9i`)0  
5{`a\;*  
（b）达曼光栅衍射效率 t08E 2sI  
>Y3ZK{b  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Te\i;7;4u  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 vXq2="+  
>EVY,  
                               u0s25JY.%  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） UWf@(8  
ZQ MK1  
'yIz<o
 
（b）达曼光栅衍射效率 w1N-`S:  
eHIsTL@Fp  
3）rsoft仿真 8c1ma  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） UtpK"U$XOU  
40M/Gu:  
                 K:<0!C!  
（a）标量衍射结果结构图     RaX:&PE  
ws_/F  
H
OY@<'  
（b）衍射效率             ?h1r6?Sug{  
=KCAHNr4?  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 7)FI_uW  
KhWt9=9  
                       8s@k0T<O  
（a）矢量衍射结果结构图   EPn0ZwnS:M  
/W @k:  
                               0Xe?{!@a  
（b）衍射效率     =]Vrl-a`^  
`;\<Fr  
2、偶数型达曼光栅设计 J;mvD^`g  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 '(S@9%,aK1  
                     N Dg*8i  
（a）结构图 cCWk^lF],  
`{ 6K~(  
+j">Ju6Q;.  
（b）衍射效率                                                                     ,!{/Y7PmJ  
fdCN?p[_  
                                   9-6E(D-ux  
（a）结构图 _(&XqEX  
UwQyAD]Ht  
       3R|C$
+Sc  
（b）衍射效率