[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 (cMrEuv  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 3:C *'@  
TEYbB=.  
1）标量衍射理论设计 ;[|x5o/<  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 3~ qgvAr  
5?Bi+fg  

图片:2.jpg

         6L4B$'&KQZ  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） H<qR^a  
                           u-?&~WA  

图片:23.jpg

>s{[d$  
（b）达曼光栅衍射效率 ^awl-CG  

Ar\`OhR  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 l@^RbF['  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 UgUW4x'+  
^EB}e
15"  

图片:untitled.jpg

                               0wc+<CUW  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） DZ EA*E
>  
vg)zk2O  

图片:untitled2.jpg

Zw }7vD0  
（b）达曼光栅衍射效率 wwF20  
c,+oH<bZZs  
3）rsoft仿真 ]2( %^#qBG  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） \h"s[G zq  
iA:CPBv_mu  

图片:捕获77.JPG

                 %7{
6>6%  
（a）标量衍射结果结构图     {}.c.W+  
|S.-
5CAh4  

图片:捕88获.JPG

j\W+wnAgk  
（b）衍射效率             &)wQ|{P~k  
fc M~4yP?  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 "=qdBG9  
y(q1~73s  

图片:1获.JPG

                       ^+}<Q#y-  
（a）矢量衍射结果结构图   yJr'\(  
04,]upC${W  

图片:捕获.JPG

                               &"d4J?io`  
（b）衍射效率     Yc9 M6=E^  
Z'u`)jR  
2、偶数型达曼光栅设计
&3AGj,  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ]A_)&`"Cb  

图片:捕获55.JPG

                     Lrz>00(*4  
（a）结构图 u|Db%)
[  
@ws3X\`<C  

图片:捕获66.JPG

C=.  
（b）衍射效率                                                                     $biCm$a  
u[cbRn,W  

图片:捕获55.JPG

                                   "--rz;+K  
（a）结构图 2#sE\D  
jtd{=[STU  

图片:捕获66.JPG

       Vls*fY:W  
（b）衍射效率