[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 Wy(pLBmb  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 ?f@ 9nph  
G{A)H_o*  
1）标量衍射理论设计 A7(M,4`6  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 =xBT>h;  
J"bD\%
 
         vfXJYw+6_  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） a*Jn#Mx<M  
                           -gSj>b7T  
m %
Y(O  
（b）达曼光栅衍射效率 b8HE."*t  
+\U]p_Fo3  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 v?%3~
XoH  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 qsvpW%?aE  
e;;):\p4  
                              
\c68n  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） fM{1Os  
_vIO!*h0  
3"vRK5Bf  
（b）达曼光栅衍射效率 ^5>du~d  
/p}{#DLB  
3）rsoft仿真 F8 ?uQP8  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） gr\@sx?b  
*N'hA5.z  
                 QmHwn)Ly  
（a）标量衍射结果结构图     :K;T Q  
p6[#f96^u  
T\cR2ZT~  
（b）衍射效率             TC@bL<1  
V*~423  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 a6qwL4  
m8u=u4z("  
                       |f3U%2@  
（a）矢量衍射结果结构图   3/l\ <{  
9H[/Tj-;  
                               +:!ScG*  
（b）衍射效率     s~)L_ p  
-HN%B?}. x  
2、偶数型达曼光栅设计 jPpRsw>  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ~z>BfL  
                     v}&#f&q!  
（a）结构图 [5!'ykZ  
gjQ=8&i  
$^K]&Mft  
（b）衍射效率                                                                     4XD)E&  
/_HwifRQ  
                                   /4^G34  
（a）结构图 >j) w\i  
FXeV6zfrE  
       w'|&5cS  
（b）衍射效率