[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 S}Wj.l+F  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 92Gfxld\  
}f;TG:6  
1）标量衍射理论设计 ]lKUpsQI  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 lGahwn:  
=),ZZD#J  
         vxf09v{-  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） F}mt *UcMG  
                           c[,Rhf  
fCu;n%   
（b）达曼光栅衍射效率 5+{oQs_  
9+*{3 t  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 p/0dtnXa(  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 U&(gNuR>J  
Rmn|!C%%K  
                               zytW3sTZA  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ? Lxc1  
/Cwwz  
7~"eT9WV  
（b）达曼光栅衍射效率 &to~#.qc  
l-r$czY  
3）rsoft仿真 |#t^D.j  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ]Rf$&7`g{  
tol-PJS}  
                 CEkf0%YJ  
（a）标量衍射结果结构图     Q& d;UVp  
g'km*EV  
SefF Ci%4  
（b）衍射效率             ~)pZ5%
C  
P;XA|`&  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 BJHWx,v  
lhE]KdE
3  
                       {pXX%>  
（a）矢量衍射结果结构图   j-aTpN  
WUYU\J&q3  
                               Z8h;3Ek  
（b）衍射效率      \v:Z;EbX  
DI-&P3iGx  
2、偶数型达曼光栅设计 n|.eL8lX.<  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 jN= !Q&^i[  
                      m5J@kE%  
（a）结构图 qMVuB
v  
8:I-?z;S  
t#f-3zd9  
（b）衍射效率                                                                     lGT[6S\as  
U7zd7O  
                                   /3Y"F"`M.  
（a）结构图 7/]Ra  
@QpL*F  
       FS)C<T]t  
（b）衍射效率