[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 ni<[G0#T  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 K'V 2FTJI  
Zt_r9xs>  
1）标量衍射理论设计 `H"vR:~{  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 p_r4^p\  
6<PW./rk:  
         6uqUiRs()  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ~2(]ZfO?>H  
                           }2=hd..  
c})wD+1  
（b）达曼光栅衍射效率 op.d;lO@  
.lr
5!Stb  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 )P%4:P  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 \C7q4p?8  
Qh8C,"a  
                              
SeOy7  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 7DZTQUb"  
`,P >mp)uU  
Wj tft%  
（b）达曼光栅衍射效率 +KP_yUq[  
jqtVpNwM  
3）rsoft仿真 86qcf"?E  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） kT2Wm/L  
.6Fsw   
                 &Sa~/!
M  
（a）标量衍射结果结构图     @k9Pz<ub  
G AEZY

 
-yl;3K]l  
（b）衍射效率             #D0 ~{H  
UKj`_a6  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 V:>`*tlh  
He<;4?:  
                       "k, K~@}  
（a）矢量衍射结果结构图   #N9d$[R*  
6n,xH!7  
                               yV2e5/i  
（b）衍射效率     1$(  
-N4z-ozhC  
2、偶数型达曼光栅设计 \Z'/+}^h  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 9(OAKUQ  
                     - wWRm  
（a）结构图 }I'^./za
 
Qsji0ikG  
,J&9kYz  
（b）衍射效率                                                                     GW8CaTf~  
`;/XK,m-  
                                   Qt~B#R. V  
（a）结构图 D )gD<  
lRH0)5`  
       ;W~4
L+e  
（b）衍射效率