1、奇数型达曼
光栅设计
p^%YBY#,H 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
n>+mL"hs TcjEcMw, 1）标量衍射理论设计
[F0s!,P 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
s2'yY(u/ T>}5:,N~ 
P&9Gga^I （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
Ghx3EVqnx" 2XFU1 AW 
iop2L51eJ （b）达曼光栅衍射效率
J&[@}$N !MYSfPdS 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
cC=[Saatsf 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
# {w9s 0: /<@SFF. 
tZ=E')!\ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
Gn|F`F uD1e!o U 
QMa;Gy （b）达曼光栅衍射效率
R:e<W/P" '(f&P=[b 3）rsoft仿真
#MX'^RZ>2 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
5R'TcWf#W (i34sqV$m 
])|d"[ur= （a）标量衍射结果结构图
S{P JUAu P<l&0dPO8 
A )^`?m3 （b）衍射效率
C\/xl#e<@ ud xZ0 rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
G;v8$) Zj %+8F'&X 
S4^vpY
DeN （a）矢量衍射结果结构图
yaah*1ip[ tZ}
v%3 
'oF%,4 !Y （b）衍射效率
r\b3AKrIN 1T y<\bZ= 2、偶数型达曼光栅设计
CN#+U, NZV 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
)~+E[| 
sm 0x LZ （a）结构图
> TOu|r MHh~vy'HB5 
i=i(% yQ% （b）衍射效率
9z}uc@#D=m N}pw74=1 
}`W){]{k O （a）结构图
(8Bk;bd kSR\RuY* 
R A KF U （b）衍射效率
