1、奇数型达曼
光栅设计
n0cqM}P@;! 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
z S^:Ng5 f):|Ad| 1）标量衍射理论设计
C`DTPoXN 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
f>Ij:b`Z2 z;Kyg} 
5Zh
/D0!| （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
;]'mx `~gyq>Ik2 
g<tr |n （b）达曼光栅衍射效率
['{mW4 i ZX'/[wAN) 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
eM{+R^8 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
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6 %kyvt t 
tL LP2^_& （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
g"F vD_ sN;xHT Y 
VBy=X\w] （b）达曼光栅衍射效率
2 y,f 0<fN<iR` 3）rsoft仿真
C?X^h{T p 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
l+RBe<Mq Z+E@B>D7A^ 
\y{C>! WX4 （a）标量衍射结果结构图
s<aJ pi{n4 )] ?sCNb 
]^E<e!z={$ （b）衍射效率
QYDSE h>q& X4- rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
tpU[KR[- a! ]'S4JS 
YG$Y4h"
@" （a）矢量衍射结果结构图
}H\wed] F/ l7n c8K 
gm(`SC?a （b）衍射效率
oBpHmMzA pFx7U RZA 2、偶数型达曼光栅设计
T5Yu+>3 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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}[\l$s S （a）结构图
bU7n1pzW,o P|l62!m< 
B!4chxzUZ （b）衍射效率
,eW K~ pa Ho2#'lSKM 
GU([A@ ; （a）结构图
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<!s! 59 R; n.Q 
f,9 /Yg_ （b）衍射效率
