[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 SDkN  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 _~!,x.Dbp  
?k#%AM  
1）标量衍射理论设计 J0IK=Y  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 hY!G>d{J  
LBg#KQ@  

图片:2.jpg

         DQSv'!KFO  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） $aG'.0HW  
                           x{m)I<.:  

图片:23.jpg

08Q:1 '  
（b）达曼光栅衍射效率 a <3oyY'  

J [1GP_  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 B?jF1F!9  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 QO8/?^d  
&7 ,wdG  

图片:untitled.jpg

                               U+KbvkX wj  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） B~^\jRd"  
gU`QW_{  

图片:untitled2.jpg

 6?6 u  
（b）达曼光栅衍射效率 {1o=/&  
E^g6,Y:i9  
3）rsoft仿真 1g;3MSn~  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） E$cr3 t7Xy  
;RU)Q)a)  

图片:捕获77.JPG

                 Z5\6ca  
（a）标量衍射结果结构图     "-a>Uj")%  
8)i\d`  

图片:捕88获.JPG

o` e~1  
（b）衍射效率             m'pihFR:f  
&rn,[w_F[  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 q+K`+& @\  
5+U~ZW0|+  

图片:1获.JPG

                       {Z|C  
（a）矢量衍射结果结构图  
zmdOL9"a  
?f%@8%px  

图片:捕获.JPG

                               D!:Qy@Zw  
（b）衍射效率     `p!.K9r7  
h.67]U7m  
2、偶数型达曼光栅设计 \UXQy{Ex  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 L9x,G!  

图片:捕获55.JPG

                     -/h$Yb  
（a）结构图 DU;]Q:r{  
2W}RXqV<  

图片:捕获66.JPG

b&LhydaJ  
（b）衍射效率                                                                     Va1|XQ<CL  
"MyYu}AD  

图片:捕获55.JPG

                                   P?bdjU#_n`  
（a）结构图 zNBG;\W  
qWWy}5SOm  

图片:捕获66.JPG

       ;N)qNiJY  
（b）衍射效率