[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 9<Kj6t_  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 )"+(butI&  
kh%{C]".1  
1）标量衍射理论设计 YDGS}~m~Q  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 D~
o$GW%  
Jk0r&t7  
         kD[ r.Dma  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） sl2@umR7%(  
                           aTf`BG{kw  
:8A!HI}m{  
（b）达曼光栅衍射效率 7<H |QL&  
!ZU2{  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 7bDHXn  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 'Wa,OFd\8  
\P1=5rP  
                               qH['09/F6  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） oA1a/[#  
#M A4  
vky.^  
（b）达曼光栅衍射效率 .
" $  
':R,53tjl  
3）rsoft仿真 JJRK7\~$  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） f{0F|w<gf  
x1 1U@jd+1  
                 t\$U`V)  
（a）标量衍射结果结构图     JF/,K"J  
k<+0o))  
W-/}q0h  
（b）衍射效率             ;\MW$/[JCy  
S(:l+JP  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 ItVugI(^ C  
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                       fb da  
（a）矢量衍射结果结构图   `-3o+ID\  
5[n(7;+gw  
                               xJ2*LM-  
（b）衍射效率    
$wYFEz  
^9-&o  
2、偶数型达曼光栅设计 .Yw'oYnS  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 2Hum!p:1  
                     q64k7<C,  
（a）结构图 ?uMQP NYs  
-+t]15  
 X\}Y  
（b）衍射效率                                                                    
DQwGUF'(  
TE )gVE]  
                                   Y wkyq>Rv  
（a）结构图 <W]g2>9o9  
~afg)[(  
       21RP=0Q:  
（b）衍射效率