1、奇数型达曼
光栅设计
gA5/,wDO 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
3yY}04[9< goRL1L,5 1）标量衍射理论设计
>#;.n(y 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
w%VU/6~ Z!#!Gu*V 
YTX,cj#D^& （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
*,)M d[ .hP D$o 
\H~T>j{N （b）达曼光栅衍射效率
*_{j=sd ;%5N%0, 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
P[#e/qnXu| 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
='sHj4hU }bpQq6Z F 
M~#g RAUJ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
# E^1|: y$F'(b| ) 
!/*\}\'4 （b）达曼光栅衍射效率
E7 Ul;d
gQelD6 c 3）rsoft仿真
du lI&_x 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
A*R^n}sh uk]$#TV*q> 
Y3 cMC) （a）标量衍射结果结构图
"3"V3w nQtWvT 
TnOggpQ6X （b）衍射效率
&yT qZ*Yuk }J`w4P rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
'8. r-`l( Yty/3T3)e 
o>i4CCU+ （a）矢量衍射结果结构图
q&- `,8# k&q;JyUi 
J +DDh=% （b）衍射效率
7P5) Z-K[ Z1f8/?`W 2、偶数型达曼光栅设计
K.nHii 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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]^ 'Kd*x （a）结构图
GPv1fearl T|op$ s| 
x8\?}UnB （b）衍射效率
qzLPw*; YQ)kRhFA 
f4b/NG| （a）结构图
Y;Dp3v ! rjAn@!| :+ 
l
-m fFN （b）衍射效率
