[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 c-s`>m  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 ;+r)j"W  
ecY ^C3+S  
1）标量衍射理论设计 'K;4102\  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 Y2=Brtc[@  
 =BqaGXr  

图片:2.jpg

         uhC=  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） DuO%B  
                           A]tf>H#1  

图片:23.jpg

!\&7oAs=I  
（b）达曼光栅衍射效率 h0QYoDvbC  
G)tq/`zNw  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 L5zG0mC8  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 DSDl[;3O{s  
UALg!M#  

图片:untitled.jpg

                               c5B_WqjJ  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） T}w*K[z $  
CD8JYiJ  

图片:untitled2.jpg

9?g]qy,1)  
（b）达曼光栅衍射效率 "x:)$@  
-KIVnV=&m  
3）rsoft仿真
j^aQ>(t(9  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） a!0?L0_W&  
#5ohmp,u  

图片:捕获77.JPG

                 A5.'h<  
（a）标量衍射结果结构图     ZHiICh|et%  
oxCs*  

图片:捕88获.JPG

RXx?/\~yd;  
（b）衍射效率             B(en5|  
9p[W :)P4d  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 _Y ><ih  
SVg@xu+  

图片:1获.JPG

                       TN |{
P  
（a）矢量衍射结果结构图   YA;8uMqh;  
bn*{*=(|  

图片:捕获.JPG

                               $@u^Jt, ?  
（b）衍射效率     j qu
SR=  
zNsL^;uT  
2、偶数型达曼光栅设计 DX%8.@  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 Ghq'k:K,  

图片:捕获55.JPG

                     a_pCjG89  
（a）结构图 DETajf/<F  
y1\^v_.^  

图片:捕获66.JPG

:_~PU$%0  
（b）衍射效率                                                                     4M0
v1`k  
G7_"^r%c9;  

图片:捕获55.JPG

                                   [#Nx>RY  
（a）结构图 ,$6MM6W;-F  
*v:,rh  

图片:捕获66.JPG

       Z'>eT)  
（b）衍射效率