[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 @8;W\L$~1  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 J|w\@inQ  
5A s
P5  
1）标量衍射理论设计 ^OstR`U3  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 V-Cv,8  
;uwRyd  
         %2XHNW  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） Y6Lf@}2(i  
                           XVvK2(  
RV5n,J  
（b）达曼光栅衍射效率 Cb9;QzBVA#  
$+>M{fg?  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 Gcig*5   
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 {a4z2"\A  
pBETA'fY  
                               ~[\_N\rm  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 0o9 3iu=&  
; =X P&  
oE(7v7iY  
（b）达曼光栅衍射效率 " e}3:U5n  
.h>8@5/s  
3）rsoft仿真 bZ|FnY}FB  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 2UFv9  
yp66{o  
                 K9OY
ri^TQ  
（a）标量衍射结果结构图     KN7n@$8YM  
brdmz}  
"87ghj_}  
（b）衍射效率             ?ON-+u  
,=|ZB4HA  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 <K8\n^i~c  
WC|.g,9#  
                       72oF,42y  
（a）矢量衍射结果结构图   =9"W@n[>W  
\'CDRr"uw  
                               C\di7z:  
（b）衍射效率     wAxrc+  
aEWWFN  
2、偶数型达曼光栅设计 hrhb!0  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 ^9ePfF)5  
                     &&VqD w  
（a）结构图 #_(jS+lP?k  
8`fjF/  
U)o$WH.b  
（b）衍射效率                                                                     Qbyv{/  
yRiP{$E  
                                   .F(i/)vaq|  
（a）结构图 mGGsB5#w>  
##EYH1P]  
       !ykx^z  
（b）衍射效率