[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 G/Sp/I<d  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 gtu<#h(  
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Y! -qX  
1）标量衍射理论设计 ,GYQ,9:  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 )wM%Ul<s  
Lo!hyQ)  

图片:2.jpg

         zG6l8%q'UE  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） bc'Io
D/  
                           s{'Sl{-Eu  

图片:23.jpg

b/:wpy+9Z  
（b）达曼光栅衍射效率 e7@ m i  
(b f IS  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 zFExYYd   
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 #\l
vzMjCC  
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OA+ob  

图片:untitled.jpg

                               z eT`kZ  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） -9t"
$)&  
Tt)z[^)%  

图片:untitled2.jpg

"Bf8mEmp  
（b）达曼光栅衍射效率 ]A=\P,D  
OA3J(4!"W  
3）rsoft仿真 mEd2f^R  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） 'l.tV7  
W34xrm  

图片:捕获77.JPG

                 tjx8UgSi  
（a）标量衍射结果结构图     WDIin6u-  
`-pw
P  

图片:捕88获.JPG

+112{v=!i  
（b）衍射效率             '37 {$VHw  
Mc@9ivwL#  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 ZDFq=)0C  
|?^<=%  

图片:1获.JPG

                       x'`{#bKD  
（a）矢量衍射结果结构图   eW(pP>@k,  
}Kgi!$<aQx  

图片:捕获.JPG

                               fI)XV7,X  
（b）衍射效率     3s!6rT_=)d  
1PwtzH.w  
2、偶数型达曼光栅设计 b}R_@_<u  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 s0?'mC+p  

图片:捕获55.JPG

                     rS BI'op  
（a）结构图 4@-tT;$  
-pYmM d,  

图片:捕获66.JPG

PF`uwx@zH  
（b）衍射效率                                                                     ES+CAwqf  
M?h{'$T  

图片:捕获55.JPG

                                   8/aJ4w[A  
（a）结构图 ;]-08lzO<4  
|KYl'"5\  

图片:捕获66.JPG

       ,IPt4EH$  
（b）衍射效率