1、奇数型达曼
光栅设计
>f3k3XWRT 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
a^(S!I hnlU,p&y3 1）标量衍射理论设计
W"#j7p`d 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
&L2`L ) L+` }euu5 
Va&KIHw （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
Bx_8@+ m|g$'vjk 
rl_1),J\qG （b）达曼光栅衍射效率
D<$j`r E9
:|8#b 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
4c9-[KKCV 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
sP=2NqU3Q D
z]}@Z*jK 
c>%z)uY>/ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
^[SbV^DOL 8=b{'s^^F 
(>kBmK1Aj （b）达曼光栅衍射效率
pU\xzL D 8*Nt&`@ 3）rsoft仿真
kKI!B`j=
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
9X *eE x Jj8njuq4 
K{7S （a）标量衍射结果结构图
tS*^} e* B "s8i{Vm 
yQQDGFTb!= （b）衍射效率
d5Eee^Qu/ Rqd %#v rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
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xaq=?3QOH 
n!E H>'T （a）矢量衍射结果结构图
bC,M&<N Aj)< 8 
cB9KHq B （b）衍射效率
BIB>U W (J) Rs`_ 2、偶数型达曼光栅设计
8b#Yd
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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'c+qBSDA （a）结构图
~IN$hKg^ @_weMz8} 
H?r;S 5)c （b）衍射效率
5['B-
Iw /dP8F 
{II7%\ya （a）结构图
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xo"4mbTV （b）衍射效率
