[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 QoxYzln  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 1<m`38'  
Gf.ywqE$Y$  
1）标量衍射理论设计 xbCR4upS  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 k5-4^
 
N@PwC(   
         HQ"T>xb  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） cL#-vW<s3  
                           ^?Xs!kJP  
[G8EX3  
（b）达曼光栅衍射效率 Rf4K Rhi  
H3$py|}lL  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 #w|v.35%?  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 )=GPhC/sw  
b(N\R_IQ~  
                               7 w,D2T  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 26aDPTP$<  
_(J#RH  
BmpAH}%T  
（b）达曼光栅衍射效率 =!SV;^-q  
If'2 m_  
3）rsoft仿真 #:BkDidt2v  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） $>#0RzU  
k^ZP~.G  
                 +:^l|6%}  
（a）标量衍射结果结构图     Eo
J\Jk  
tcoG;ir  
'/qy_7O  
（b）衍射效率             c6i7f:'-0  
=M-=94  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 &u&WP  
K!\v?WbF  
                       ?0:]%t18  
（a）矢量衍射结果结构图   }y*D(`  

TsT5BC63  
                               2LN6pu  
（b）衍射效率     QBGm)h?=  
99*k&mb  
2、偶数型达曼光栅设计 py\:u5QS  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 `,SL\\%u  
                     T5T%[Gv  
（a）结构图 'A5T$JV.r4  
|Io:D:  
N4,oO H~  
（b）衍射效率                                                                     n
xhlTf>3  
jC[
_uG  
                                   0fX` >-X  
（a）结构图 P6kDtUXF  
 &ox  
       |*JMPg?zI  
（b）衍射效率