[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 aW=c.Q.  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 !WSY75  
{'#1do}{  
1）标量衍射理论设计 :Oiz|b(  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 11VtC)  
eR3v=Q  
         #B2a?   
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） baQORU=X  
                           ~7=eHU.@  
%8O1sF  
（b）达曼光栅衍射效率 &L[i"1a  
Y5{KtW
 
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 4%B0H>  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 fZ aTckbE  
'\O[j*h^.  
                               '@/1e\-y  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 9r.h^  
6& (bL<8b  
G{.[o6>  
（b）达曼光栅衍射效率 ,&~-Sq)~  
29AE B  
3）rsoft仿真 v,'k2H  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） b/{$#[oP`  
h2-v.Tjf  
                 z]2MR2W@X  
（a）标量衍射结果结构图     /3#h]5Y"T  
2qdc$I
&$  
SBy{sbx4&F  
（b）衍射效率             AGl#f\_^  
s~QIs  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 Q45gC28x  
H_ a##z  
                       D<hX%VJ%M  
（a）矢量衍射结果结构图   1N_T/I8_F  
<5E)6c_W)  
                               R4X9g\KpAt  
（b）衍射效率     sib/~j  
* V7bALY  
2、偶数型达曼光栅设计 >k ==7#P  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 IL:[0q  
                     VX*+:  
（a）结构图 LGw-cX #  
kh@O_Q`j  
x ;~;Ah.p  
（b）衍射效率                                                                     zB`J+r;LU  
lI%RdA[  
                                   Rp;"]Q&b  
（a）结构图 Pl!E$   
=`*@OJHH  
       TQ:h[6v  
（b）衍射效率