[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 ')_jK',1  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 18a6i^7  
a29mVmi>  
1）标量衍射理论设计 cLamqZf3  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 m^p Q55,  
4iDo.1B"  
         .3$iOMCH  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） <{e0i  
                           P||u{]vU  
wjpkh~qo  
（b）达曼光栅衍射效率 Il!iqDHz3  
ucTkWqG  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 x!S8'  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 x'}{^'}/  
8 #0?  
                               GMksr%0Pj  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） |Y:T3hra61  
)00#Rrt9  
.nT"f>S&'  
（b）达曼光栅衍射效率 P^+Og_$  
L{aT"Of{X  
3）rsoft仿真 J\#6U|a""u  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） r/8,4:rh  
OG0ro(|dI  
                 ^]OD+
v  
（a）标量衍射结果结构图     9'O<d/xj/  
Bojm lVg  
>C@fSmnOM  
（b）衍射效率             owQLAV  
?zxKk(J  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 76xgExOU?C  
](^VEm}w;  
                       =T;%R^@  
（a）矢量衍射结果结构图   7M5HIK6_  
OpYq qBf_  
                               VAV@Qn  
（b）衍射效率     Xig%Q~oMp  
DtyT8kr  
2、偶数型达曼光栅设计 PE+N5n2Tl  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 9v0f4Pbxm  
                     ]oZ$,2#;~  
（a）结构图 2qw~hWX  
R~)c(jj5  
UIbVtJ  
（b）衍射效率                                                                     %/s:G)  
Ywlym\ [+  
                                   (iH5F9WO  
（a）结构图 .GL
otc  
K@%.T#  
       %5jxq9:K  
（b）衍射效率