1、奇数型达曼
光栅设计
WM= kr$/3 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
~w[zX4@ >cM U<'& 1）标量衍射理论设计
V|? 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
5I(`
s#O Z@C
D1+ G 
/'VCJjzZ （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
]\ r~"*TZ $X*$,CCIB 
JG}U,{7( （b）达曼光栅衍射效率
&|E2L1 \wDO E(> 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
A7b7 IM [ 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
`& 9#!T. y'yaCf 
"hlIGJ?_= （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
9'5,V{pj q9WSQ$:z8 
X?7$JV-: （b）达曼光栅衍射效率
ir,Zc\C ,$;CII
v 3）rsoft仿真
cF vGpZ 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
Vj?.' ( DD3J2J 
u5CT7_#) （a）标量衍射结果结构图
O & w$ /
V {w< 
A&t'uY6 （b）衍射效率
y:|7.f Cq(Xa- rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
8v]{ 5 SV\x2^Ea0 
+.lO8 （a）矢量衍射结果结构图
)uX :f8 f1~3y}7^Jq 
v\MH;DW^Z （b）衍射效率
HK[sHB& v" F0 $c 2、偶数型达曼光栅设计
IYCKF/2o 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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IYQYW.`ly （a）结构图
;!~;05^iD M3t_!HP}! 
%Mj PQ （b）衍射效率
/t9w%Y quKD\hL$ 
_ma 4 （a）结构图
hr{%'DAS Maa.>2v< 
Qs?+vk?*h （b）衍射效率
