[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 I>JE\## ^n  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 %p$XK(6  
Rd5-ao4  
1）标量衍射理论设计 #z _<{' P"  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 7}y@VO6]  
/e[m;+9^&  
         ]1XtV<  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） L\UGC%]9  
                           eY
'nS  
`/`iLso&-  
（b）达曼光栅衍射效率 F[SZwMf29  
XzSl"UPYH  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 6W{Nw<  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 /9&!
u )+  
D)?%kNeA  
                               8Iu6r}k?~`  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） '*65j  
cTzR<Yr  
fM7B<eB  
（b）达曼光栅衍射效率 1^*ogMe  
i{TPf1OY`M  
3）rsoft仿真 M2p|&Z%  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ygj%VG  
+_$s9`@]6  
                 VevG 64o  
（a）标量衍射结果结构图     yj#FO'UY  
\8!CKnfs  

Q~qM;l\i  
（b）衍射效率             T#i;=NP"  
LH)1IGAx2y  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 m$^5{qpg  
JbL3/h]  
                       sR>>l3H
 
（a）矢量衍射结果结构图   =X^a  
F-rhxJd  
                               %K')_NS@  
（b）衍射效率     D (8Z90  
K>e-IxA);0  
2、偶数型达曼光栅设计 u"
V,/1++\  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 /;+\6(+X  
                     l0`bseN<  
（a）结构图 6E K<9M
 
-dO8Uis$  
Uq_lT,  
（b）衍射效率                                                                     %(p9AE  
"{qnm+G  
                                   ~cSXBc,+  
（a）结构图 VgIk'.  
B }euIQB  
       /CO=!*7fz  
（b）衍射效率