[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 6&.[:IHw  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 I/XVo2
Ee  
`9zP{p  
1）标量衍射理论设计 n)$ q*IN"  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 AGLzA+6M
 
WVJN6YNd V  

图片:2.jpg

         z#D@mn5\a  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） c6BaC@2  
                           P1TLH2)  

图片:23.jpg

@HIC i]  
（b）达曼光栅衍射效率 R0oP#
#]  
AL H^tV?  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 +SUQRDF@i  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 >"z
SW?  
AHn^^'&
x[  

图片:untitled.jpg

                               r4!zA-{  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） l~F,i n.  
Nl;rg*@o  

图片:untitled2.jpg

al#yc  
（b）达曼光栅衍射效率 =
1`  
t)$>++i  
3）rsoft仿真 SJy:5e?zk  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ;M@/AAZ  
L.+5`&  

图片:捕获77.JPG

                 T3'dfeU  
（a）标量衍射结果结构图     zzq/%jki  
z'fGHiX7.0  

图片:捕88获.JPG

&W".fRH_O  
（b）衍射效率             Y,>])R[4  
pm3?  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 J~n{gT<L  
/F/`?=1<$  

图片:1获.JPG

                       /PHktSG  
（a）矢量衍射结果结构图   JMO"(?  
3&x_%R  

图片:捕获.JPG

                               ]J_Dn\  
（b）衍射效率     {%UY1n  
)Bd+jli|s  
2、偶数型达曼光栅设计 D&Ngg)_Mq  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 b$.N8W%  

图片:捕获55.JPG

                     {PYN3\N,  
（a）结构图 P%%Cd  
d~
GT w:  

图片:捕获66.JPG

9I^_
n+E  
（b）衍射效率                                                                     2{@: :JZ  
[4t_ 83  

图片:捕获55.JPG

                                   h1JG^w$ 5  
（a）结构图 <J
?i+b  
NTgk0cq  

图片:捕获66.JPG

       Y @pkfH  
（b）衍射效率