[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 GeDI\-  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 m}u)C&2>  
YA@MLZm  
1）标量衍射理论设计 "={*0P  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 PtYG%/s  
pHuR_U5*?  
         }K8e(i6z  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） 9/!1J  
                           m~ 5"q%;  
5JhvYsf3_  
（b）达曼光栅衍射效率 JO*/UC>"  
z3]W #  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 
?m5EXe  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 ]Zt]wnL+  
 63 'X#S  
                               7UY4* j|[C  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） ~;?<OOt|wG  
xL1Li]fM!'  
}NoP(&ebz*  
（b）达曼光栅衍射效率 3
<Zp+rD  
]iGeqwT  
3）rsoft仿真 ~uH_y
-  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ff5 gE'  
^~I@]5Pq  
                 (M"rpG>L  
（a）标量衍射结果结构图     qC{JsX`~  
CvmIDRP
*  
e*qGrg(E  
（b）衍射效率             X3a9-  
9sT5l"?g  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 (5 @H  
Y*$>d/E  
                       ka!v(j{E  
（a）矢量衍射结果结构图   5e$1KN`  
\7i_2|w  
                               u1L^INo/  
（b）衍射效率     h Fik>B#!  
GkX Se)#p  
2、偶数型达曼光栅设计 C&>*~  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 Bp_R"DS7A  
                     BaW4 s4u  
（a）结构图 _<LL@IX  
Kc?4q=7q  
7M~sol[*  
（b）衍射效率                                                                     VK]U*V1  
\OA{&G.  
                                   l>}f{az-T  
（a）结构图 s6@mXO:H^  
Cp(2]Eb  
       u30D`sky  
（b）衍射效率