1、奇数型达曼
光栅设计
E|vXM "zFl 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
o (k{Ed v YJ9G"E 1）标量衍射理论设计
@-ml=S7;Sz 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
)dd1B>ej] /go|r ' 
Kl,NL]]4*5 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
M#_ |WL~ "<"m}rE?Q 
BsU}HuQZQ （b）达曼光栅衍射效率
]|-sZ<?<i .VCF[AleS
2）矢量衍射理论RCWA算法设计
B[k=6EU8k 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
Vu,e ]@ %tMx48'N 
L>h|1ZK （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
=C2KHNc _%[po%] 
?<`oKBn （b）达曼光栅衍射效率
Gp{,v (3"N~\9m 3）rsoft仿真
s+? 2oPa 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
Cyos * ]rv4O@||w 
}T0O~c{$i （a）标量衍射结果结构图
&+n9T?+b t/}NX[q 
jU $G<G （b）衍射效率
?j0yT@ G ?ac4GA( rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
rlaeqG V2!0),]B 
pI:,Lt1B （a）矢量衍射结果结构图
Y
hQ)M5 W#%s0EN<_ 
x_ /}R3d （b）衍射效率
{zWR)o .= vQ
L$.A3> 2、偶数型达曼光栅设计
EJ>&\I q 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
[ /YuI@C,@ 
{#ynN`tLyF （a）结构图
@)BO`;*$fF W| D
kq 
d=n@#|3 （b）衍射效率
@AF<Xp{ \n t~K}a 
(-g*U# （a）结构图
{nbT$3=Zt &iInru3 
R0}1:1}$Sn （b）衍射效率
