1、奇数型达曼
光栅设计
>< <$ 以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量
衍射理论和矢量衍射理论来
优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。
Zd[y +$> FbN H+? 1）标量衍射理论设计
TTA{#[=7 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，
结构图和衍射图如下所示。
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p6&LZ=tL3 （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
o 1 hdO zh#OD{ 
~6@ c]: （b）达曼光栅衍射效率
p^pQZ6- Nt`F0
9S 2）矢量衍射理论RCWA算法设计
@1pW!AdN 运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。
TnvHO_P, _/QKWk&j 
~>}dse （a）达曼光栅结构（坐标已归一化）
Sa h<sb= n}AR/3} 
x[GFX8h(k6 （b）达曼光栅衍射效率
@!L@UP0 Ak\D6eHcB 3）rsoft仿真
zumR( <l 标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大）
[3{:H"t k=h/i8i2z 
KRnB[$3F1 （a）标量衍射结果结构图
5@R15q@c6n >j(I[_g 
G<">/_jn （b）衍射效率
d+YVyw.z )RAv[U1 rsoft应用RCWA算法进行
仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。
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Q %T&&x2p^=? 
nK?k< （a）矢量衍射结果结构图
V',m $ 4 BE:&A 
y]QQvCJr3d （b）衍射效率
0] :*v? F'?5V0\he 2、偶数型达曼光栅设计
|k7ts&2 偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。
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0M/\bE G(_ （a）结构图
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yO$r'9?,* （b）衍射效率
5H'b4C yi` $ sA~p_] 
>n$E e J （a）结构图
, IMT '* _Ssv:x c, 
' F 6au[ （b）衍射效率
