[原创]达曼光栅设计 [复制链接]

1、奇数型达曼光栅设计 pFUW7jE  
以1*5分束比达曼光栅设计为例，分别以标量衍射理论和矢量衍射理论来优化设计，并且利用rsoft和virtuallab软件来验证。 0D\b;ju<  
7Lv5@  
1）标量衍射理论设计 l5}b.B^w  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.3%，结构图和衍射图如下所示。 X`,]@c%C`  
x;G~c5  

图片:2.jpg

         N@z+h  
  （a）达曼光栅结构（坐标已归一化） l5 FM>q  
                           JLZ[sWP='  

图片:23.jpg

nCj_4,O  
（b）达曼光栅衍射效率 #]BpTpRAe<  
w^.^XK4v.  
2）矢量衍射理论RCWA算法设计 TDMyZ!d  
运用matlab编写的多种群遗传算法进行优化，得到衍射效率为78%，非均匀度为0.9%，结构图和衍射图如下所示。 xz#.3|_('  
Ke_&dgsq  

图片:untitled.jpg

                               1VH$l(7IQ  
（a）达曼光栅结构（坐标已归一化） B;ro(R  
[qMFLY$  

图片:untitled2.jpg

U;QN+fF]u  
（b）达曼光栅衍射效率 x+L G4++  
|&>!"27;w  
3）rsoft仿真 @rTAbEk{U  
标量衍射结果与rsoft仿真结果有一定的差异。（分束比越高差异越大） ]{[8$|Mg  
0>E0}AvkT  

图片:捕获77.JPG

                 vfh0aW-O  
（a）标量衍射结果结构图     ~[|zf*ZISG  
#*g.hL<  

图片:捕88获.JPG

/f:)I.FUm  
（b）衍射效率             ~4{E0om@  
xSQ0]vE  
rsoft应用RCWA算法进行仿真，与matlab编写的RCWA算法仿真结果一致，与virtuallab仿真结果一致。 K}]0<\N  
Mohy;#8Wk  

图片:1获.JPG

                       )"&$.bWn  
（a）矢量衍射结果结构图   'pUJlPGx  
Vs)%*1><  

图片:捕获.JPG

                               S[J=d%(  
（b）衍射效率     Qoj}]jve  
`mI%Se  
2、偶数型达曼光栅设计 xTnd9'Pk`:  
偶数型达曼光栅优化设计和奇数型达曼光栅相同，但结构必须满足相位互补状态。下图为1*6和1*8分束比达曼光栅，用标量衍射设计，结果并不是很完美。 +UK".  

图片:捕获55.JPG

                     0P5!fXs*  
（a）结构图 #$vef  
U2tsHm.O  

图片:捕获66.JPG

$J~~.PUXQ  
（b）衍射效率                                                                     pearf2F  
tGKIJ`w*h  

图片:捕获55.JPG

                                   3b_tK^|'  
（a）结构图 [N|/d#  
KAR XC,z  

图片:捕获66.JPG

       !f(aWrw7e6  
（b）衍射效率